|
+
-
๋ถ๋งํฌ ์ ์ฅ
ํนํ์๊ณ ์ฌ๊ฑด
๋๋ฒ์ 2021. 12. 30. ์ ๊ณ 2017ํ1304 ํ๊ฒฐ
[๋ฑ๋ก๋ฌดํจ(ํน)][๊ณต2022์,279]
ใํ์์ฌํญใ
[1] ํนํ๋ฐ๋ช
์์ ๊ตฌ์ฑ์์๋ก ํน์ ๋ ๋ฌผ๊ฑด์ ๊ตฌ์ฑ์ด๋ ์์ฑ์ด ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๋ช
์์ ์ผ๋ก ๊ฐ์๋์ด ์์ง๋ ์์ผ๋ ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๊ฐ์๋ ๋ฌผ๊ฑด์ด ํนํ๋ฐ๋ช
๊ณผ ๋์ผํ ๊ตฌ์ฑ์ด๋ ์์ฑ์ ๊ฐ๋ ๊ฒฝ์ฐ, ํนํ๋ฐ๋ช
์ ์ ๊ท์ฑ์ด ๋ถ์ ๋๋์ง ์ฌ๋ถ(์์น์ ์ ๊ทน) ๋ฐ ์ด๋ ์ ๋ฐ๋ช
์ด ์ํ๋ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ํต์์ ์ง์์ ๊ฐ์ง ์ฌ๋์ด ์ถ์ ๋น์ ๊ทธ ๊ตฌ์ฑ์ด๋ ์์ฑ์ ์ธ์ํ ์ ์์๋ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๋ง์ฐฌ๊ฐ์ง์ธ์ง ์ฌ๋ถ(์ ๊ทน) / ๊ณต์ง๋ ๋ฌผ๊ฑด์ ๋ด์ฌ๋ ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ ํ์
ํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ์ถ์์ผ ์ดํ ๊ณต์ง๋ ์๋ฃ๋ฅผ ์ฆ๊ฑฐ๋ก ์ฌ์ฉํ ์ ์๋์ง ์ฌ๋ถ(์ ๊ทน)
[2] ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๊ฐ์๋ ๋ฌผ๊ฑด์ด ํนํ๋ฐ๋ช
๊ณผ ๋์ผํ ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ ๊ฐ์ง ์๋ ์๋ค๋ ๊ฐ๋ฅ์ฑ ๋๋ ๊ฐ์ฐ์ฑ๋ง์ผ๋ก ๋ ๋ฐ๋ช
์ ๋์ผํ๋ค๊ณ ํ ์ ์๋์ง ์ฌ๋ถ(์๊ทน) ๋ฐ ์ ํ๋ฐ๋ช
์ด ํน์ ์ ์กฐ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ํด ์ ์๋ ๋ฌผ๊ฑด์ ๊ดํ ๊ณต์ง๋ ๋ฌธํ์ธ ๊ฒฝ์ฐ, ์ ์ ์กฐ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ฐ๋ฅธ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฌผ์ด ํ์ฐ์ ์ผ๋ก ํนํ๋ฐ๋ช
๊ณผ ๋์ผํ ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ ๊ฐ์ง๋ค๋ ์ ์ด ์ฆ๋ช
๋์ด์ผ๋ง ๋ ๋ฐ๋ช
์ ๋์ผํ๋ค๊ณ ํ ์ ์๋์ง ์ฌ๋ถ(์ ๊ทน)
ใํ๊ฒฐ์์งใ
[1] ๋ฌผ๊ฑด์ ๋ฐ๋ช
์์ ์ด์ ๋์ผํ ๋ฐ๋ช
์ด ๊ทธ ์ถ์ ์ ์ ๊ณต์ง๋์๊ฑฐ๋ ๊ณต์ฐํ ์ค์๋์์์ด ์ธ์ ๋๋ฉด ๊ทธ ๋ฐ๋ช
์ ์ ๊ท์ฑ์ ๋ถ์ ๋๋ค. ํนํ๋ฐ๋ช
์์ ๊ตฌ์ฑ์์๋ก ํน์ ๋ ๋ฌผ๊ฑด์ ๊ตฌ์ฑ์ด๋ ์์ฑ์ด ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๋ช
์์ ์ผ๋ก ๊ฐ์๋์ด ์์ง ์์ ๊ฒฝ์ฐ๋ผ๋ ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๊ฐ์๋ ๋ฌผ๊ฑด์ด ํนํ๋ฐ๋ช
๊ณผ ๋์ผํ ๊ตฌ์ฑ์ด๋ ์์ฑ์ ๊ฐ๋๋ค๋ ์ ์ด ์ธ์ ๋๋ค๋ฉด, ์ด๋ ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๋ด์ฌ๋ ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ผ๋ก ๋ณผ ์ ์๋ค. ์ด์ ๊ฐ์ ๊ฒฝ์ฐ ํนํ๋ฐ๋ช
์ด ํด๋น ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ผ๋ก ์ธํ ๋ฌผ์ง์ ์๋ก์ด ์ฉ๋๋ฅผ ํนํ์ ๋์์ผ๋ก ํ๋ค๋ ๋ฑ์ ํน๋ณํ ์ฌ์ ์ด ์๋ ํ ๊ณต์ง๋ ๋ฌผ๊ฑด์ ์๋๋ถํฐ ์กด์ฌํ์๋ ๋ด์ฌ๋ ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ ๋ฐ๊ฒฌํ ๊ฒ์ ๋ถ๊ณผํ๋ฏ๋ก ์ ๊ท์ฑ์ด ๋ถ์ ๋๋ค. ์ด๋ ๊ทธ ๋ฐ๋ช
์ด ์ํ๋ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ํต์์ ์ง์์ ๊ฐ์ง ์ฌ๋์ด ์ถ์ ๋น์์ ๊ทธ ๊ตฌ์ฑ์ด๋ ์์ฑ์ ์ธ์ํ ์ ์์๋ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๋ง์ฐฌ๊ฐ์ง์ด๋ค. ๋ํ ๊ณต์ง๋ ๋ฌผ๊ฑด์ ๋ด์ฌ๋ ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ ํ์
ํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ์ถ์์ผ ์ดํ ๊ณต์ง๋ ์๋ฃ๋ฅผ ์ฆ๊ฑฐ๋ก ์ฌ์ฉํ ์ ์๋ค.
[2] ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๊ฐ์๋ ๋ฌผ๊ฑด์ด ํนํ๋ฐ๋ช
๊ณผ ๋์ผํ ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ ๊ฐ์ง ์๋ ์๋ค๋ ๊ฐ๋ฅ์ฑ ๋๋ ๊ฐ์ฐ์ฑ๋ง์ผ๋ก๋ ๋ ๋ฐ๋ช
์ ๋์ผํ๋ค๊ณ ํ ์ ์๊ณ , ํ์ฐ์ ์ผ๋ก ๊ทธ์ ๊ฐ์ ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ ๊ฐ์ง๋ค๋ ์ ์ด ์ฆ๋ช
๋์ด์ผ ํ๋ค. ์ฆ, ์ ํ๋ฐ๋ช
์ด ๊ณต์ง๋ ๋ฌผ๊ฑด ๊ทธ ์์ฒด์ผ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๊ทธ ๋ฌผ๊ฑด๊ณผ ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ์ ๋๋นํ์ฌ ์ ๋ฐ๋ช
์ด ๋์ผํ์ง ํ๋จํ ์ ์์ผ๋, ์ ํ๋ฐ๋ช
์ด ํน์ ์ ์กฐ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ํด ์ ์๋ ๋ฌผ๊ฑด์ ๊ดํ ๊ณต์ง๋ ๋ฌธํ์ธ ๊ฒฝ์ฐ, ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๊ฐ์๋ ๋ฌผ๊ฑด์ ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๊ฐ์๋ ์ ์กฐ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ฐ๋ผ ์ ์กฐ๋ ๋ฌผ๊ฑด์ด๋ฏ๋ก, ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๊ฐ์๋ ์ ์กฐ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ฐ๋์ ๊ฒฝ์ฐ ์ฐ์ฐํ ๊ฒฐ๊ณผ์ผ ์๋ ์๋ ํ ์ค์๋ก๊ฐ ์์ ๊ฐ์ ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ ๊ฐ์ง๋ค๋ ์ ์ ๋์ด ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฌผ์ด ํ์ฐ์ ์ผ๋ก ํด๋น ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ ๊ฐ์ง๋ค๋ ์ ์ด ์ฆ๋ช
๋์ด์ผ ์ ํ๋ฐ๋ช
๊ณผ ํนํ๋ฐ๋ช
์ด ๋์ผํ๋ค๊ณ ํ ์ ์๋ค.
ใ์ฐธ์กฐ์กฐ๋ฌธใ
[1] ํนํ๋ฒ ์ 29์กฐ ์ 1ํญ / [2] ํนํ๋ฒ ์ 29์กฐ ์ 1ํญ
ใ์ ๋ฌธใ
ใ์๊ณ , ์๊ณ ์ธใ ์ฃผ์ํ์ฌ ํจ๋น
์ค (์์ก๋๋ฆฌ์ธ ๋ฒ๋ฌด๋ฒ์ธ ๊ฐํธ ๋ด๋น๋ณํธ์ฌ ๋ฐ์ฐฌํ ์ธ 1์ธ)
ใํผ๊ณ , ํผ์๊ณ ์ธใ ํ ํ ๊ฐ๋ถ์ํค๊ฐ์ด์ค(TOTO ์ฃผ์ํ์ฌ) ์ธ 1์ธ (์์ก๋๋ฆฌ์ธ ๋ณํธ์ฌ ๋ฐ์ฑ์ ์ธ 8์ธ)
ใ์์ฌํ๊ฒฐใ ํนํ๋ฒ์ 2017. 5. 19. ์ ๊ณ 2016ํ4931 ํ๊ฒฐ
ใ์ฃผ ๋ฌธใ
์๊ณ ๋ฅผ ๋ชจ๋ ๊ธฐ๊ฐํ๋ค. ์๊ณ ๋น์ฉ์ ์๊ณ ๊ฐ ๋ถ๋ดํ๋ค.
ใ์ด ์ ใ
์๊ณ ์ด์ (์๊ณ ์ด์ ์ ์ ์ถ๊ธฐ๊ฐ์ด ์ง๋ ๋ค์ ์ ์ถ๋ ์๊ณ ์ด์ ๋ณด์ถฉ์๋ค์ ์ด๋ฅผ ๋ณด์ถฉํ๋ ๋ฒ์ ๋ด์์)๋ฅผ ํ๋จํ๋ค.
1. ์๊ณ ์ด์ ์ 1 ๋ด์ง 3์ ์ ๊ดํ์ฌ
์์ฌ์ ํ์์ ๊ฐ์ ์ด์ ๋ก ๋ช
์นญ์ โ๋ณตํฉ ๊ตฌ์กฐ๋ฌผโ๋ก ํ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
(ํนํ๋ฒํธ ์๋ต) ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์ ์ 1ํญ(์ดํ โ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
โ์ด๋ผ๊ณ ํ๊ณ , ๋๋จธ์ง ์ฒญ๊ตฌํญ๋ ๊ฐ์ ๋ฐฉ์์ผ๋ก ๋ถ๋ฅธ๋ค)์ ๊ตฌ์ฑ์์ ์ค โ๊ฒฐ์ ๋ผ๋ฆฌ์ ๊ณ๋ฉด์๋ ์ ๋ฆฌ์ธต์ผ๋ก ๋ ์
๊ณ์ธต์ด ์กด์ฌํ์ง ์๋๋ค.โ๋ ๊ฒ์ ์
๊ณ์ธต์ด ๊ฑฐ์ ํ์ฑ๋์ง ์๊ฑฐ๋ ํ์ฑ๋๋๋ผ๋ ๊ทธ ๋๊ป๊ฐ 1nm ์ดํ์ ๋ถ๊ณผํ ๋ฒ์ฃผ๊น์ง๋ฅผ ํฌํจํ๋ค๊ณ ํด์ํ๊ณ , ์ด๋ฅผ ๋ฐํ์ผ๋ก ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ ํนํ๋ฒ(2006. 3. 3. ๋ฒ๋ฅ ์ 7871ํธ๋ก ๊ฐ์ ๋๊ธฐ ์ ์ ๊ฒ) ์ 42์กฐ ์ 3ํญ ๋ฐ ์ 42์กฐ ์ 4ํญ ์ 1ํธ์ ๊ธฐ์ฌ์๊ฑด์ ์ถฉ์กฑํ๋ค๊ณ ํ๋จํ์๋ค.
๊ด๋ จ ๋ฒ๋ฆฌ ๋ฐ ๊ธฐ๋ก์ ๋น์ถ์ด ์ดํด๋ณด๋ฉด, ์ด๋ฌํ ์์ฌํ๊ฒฐ์ ์๊ณ ์ด์ ์ฃผ์ฅ๊ณผ ๊ฐ์ด ํ์ํ ์ฌ๋ฆฌ๋ฅผ ๋คํ์ง ์๋ํ๊ณ ์์ ์ฌ์ฆ์ฃผ์์ ํ๊ณ๋ฅผ ์ผํํ๊ฑฐ๋, ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์ ํด์๊ณผ ๋ช
์ธ์ ๊ธฐ์ฌ์๊ฑด์ ๊ดํ ๋ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ์คํดํ๊ณ ํ์ํ ํ๋จ์ ๋๋ฝํ๋ ๋ฑ์ผ๋ก ํ๊ฒฐ์ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น ์๋ชป์ด ์๋ค.
2. ์๊ณ ์ด์ ์ 4์ ์ ๊ดํ์ฌ
๊ฐ. ๋ฌผ๊ฑด์ ๋ฐ๋ช
์์ ์ด์ ๋์ผํ ๋ฐ๋ช
์ด ๊ทธ ์ถ์ ์ ์ ๊ณต์ง๋์๊ฑฐ๋ ๊ณต์ฐํ ์ค์๋์์์ด ์ธ์ ๋๋ฉด ๊ทธ ๋ฐ๋ช
์ ์ ๊ท์ฑ์ ๋ถ์ ๋๋ค. ํนํ๋ฐ๋ช
์์ ๊ตฌ์ฑ์์๋ก ํน์ ๋ ๋ฌผ๊ฑด์ ๊ตฌ์ฑ์ด๋ ์์ฑ์ด ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๋ช
์์ ์ผ๋ก ๊ฐ์๋์ด ์์ง ์์ ๊ฒฝ์ฐ๋ผ๋ ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๊ฐ์๋ ๋ฌผ๊ฑด์ด ํนํ๋ฐ๋ช
๊ณผ ๋์ผํ ๊ตฌ์ฑ์ด๋ ์์ฑ์ ๊ฐ๋๋ค๋ ์ ์ด ์ธ์ ๋๋ค๋ฉด, ์ด๋ ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๋ด์ฌ๋ ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ผ๋ก ๋ณผ ์ ์๋ค. ์ด์ ๊ฐ์ ๊ฒฝ์ฐ ํนํ๋ฐ๋ช
์ด ํด๋น ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ผ๋ก ์ธํ ๋ฌผ์ง์ ์๋ก์ด ์ฉ๋๋ฅผ ํนํ์ ๋์์ผ๋ก ํ๋ค๋ ๋ฑ์ ํน๋ณํ ์ฌ์ ์ด ์๋ ํ ๊ณต์ง๋ ๋ฌผ๊ฑด์ ์๋๋ถํฐ ์กด์ฌํ์๋ ๋ด์ฌ๋ ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ ๋ฐ๊ฒฌํ ๊ฒ์ ๋ถ๊ณผํ๋ฏ๋ก ์ ๊ท์ฑ์ด ๋ถ์ ๋๋ค. ์ด๋ ๊ทธ ๋ฐ๋ช
์ด ์ํ๋ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ํต์์ ์ง์์ ๊ฐ์ง ์ฌ๋์ด ์ถ์ ๋น์์ ๊ทธ ๊ตฌ์ฑ์ด๋ ์์ฑ์ ์ธ์ํ ์ ์์๋ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๋ง์ฐฌ๊ฐ์ง์ด๋ค. ๋ํ ๊ณต์ง๋ ๋ฌผ๊ฑด์ ๋ด์ฌ๋ ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ ํ์
ํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ์ถ์์ผ ์ดํ ๊ณต์ง๋ ์๋ฃ๋ฅผ ์ฆ๊ฑฐ๋ก ์ฌ์ฉํ ์ ์๋ค.
ํํธ ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๊ฐ์๋ ๋ฌผ๊ฑด์ด ํนํ๋ฐ๋ช
๊ณผ ๋์ผํ ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ ๊ฐ์ง ์๋ ์๋ค๋ ๊ฐ๋ฅ์ฑ ๋๋ ๊ฐ์ฐ์ฑ๋ง์ผ๋ก๋ ๋ ๋ฐ๋ช
์ ๋์ผํ๋ค๊ณ ํ ์ ์๊ณ , ํ์ฐ์ ์ผ๋ก ๊ทธ์ ๊ฐ์ ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ ๊ฐ์ง๋ค๋ ์ ์ด ์ฆ๋ช
๋์ด์ผ ํ๋ค. ์ฆ, ์ ํ๋ฐ๋ช
์ด ๊ณต์ง๋ ๋ฌผ๊ฑด ๊ทธ ์์ฒด์ผ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๊ทธ ๋ฌผ๊ฑด๊ณผ ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ์ ๋๋นํ์ฌ ์ ๋ฐ๋ช
์ด ๋์ผํ์ง ํ๋จํ ์ ์์ผ๋, ์ ํ๋ฐ๋ช
์ด ํน์ ์ ์กฐ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ํด ์ ์๋ ๋ฌผ๊ฑด์ ๊ดํ ๊ณต์ง๋ ๋ฌธํ์ธ ๊ฒฝ์ฐ, ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๊ฐ์๋ ๋ฌผ๊ฑด์ ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๊ฐ์๋ ์ ์กฐ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ฐ๋ผ ์ ์กฐ๋ ๋ฌผ๊ฑด์ด๋ฏ๋ก, ์ ํ๋ฐ๋ช
์ ๊ฐ์๋ ์ ์กฐ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ฐ๋์ ๊ฒฝ์ฐ ์ฐ์ฐํ ๊ฒฐ๊ณผ์ผ ์๋ ์๋ ํ ์ค์๋ก๊ฐ ์์ ๊ฐ์ ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ ๊ฐ์ง๋ค๋ ์ ์ ๋์ด ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฌผ์ด ํ์ฐ์ ์ผ๋ก ํด๋น ๊ตฌ์ฑ ๋๋ ์์ฑ์ ๊ฐ์ง๋ค๋ ์ ์ด ์ฆ๋ช
๋์ด์ผ ์ ํ๋ฐ๋ช
๊ณผ ํนํ๋ฐ๋ช
์ด ๋์ผํ๋ค๊ณ ํ ์ ์๋ค.
๋. ์ ๋ฒ๋ฆฌ ๋ฐ ๊ธฐ๋ก์ ๋น์ถ์ด ์ดํด๋ณธ๋ค.
(1) ์ ํ๋ฐ๋ช
1์ โ์์ด๋ก์กธ ๋ํฌ์ง์
๋ฐฉ๋ฒ์ ์ํด ํ์ฑ๋ PZT ํ๋ง์ ๋ฏธ์ธ๊ตฌ์กฐ ๋ฐ ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑโ์ด๋ผ๋ ์ ๋ชฉ์ ๋
ผ๋ฌธ์ผ๋ก, ๊ณต์ง๋ ๋ฌผ๊ฑด ๊ทธ ์์ฒด๊ฐ ์๋๋ผ ๊ณต์ง๋ ๋ฌธํ์ด์ด์, ์ ํ๋ฐ๋ช
1์์ ๋๋น๋์์ด ๋๋ ๊ฒ์ ์ ํ๋ฐ๋ช
1์ ์ ์๋ ์ ์กฐ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ํ์ฌ ์ ์กฐ๋ ๋ง ํ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฌผ์ด๋ค.
(2) ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
๊ณผ ์ ํ๋ฐ๋ช
1์ ๋ชจ๋ ์ทจ์ฑ์ฌ๋ฃ ๋ฏธ๋ฆฝ์๋ฅผ ์์จ์์ ๊ณ ์ ๋ถ์ฌํ์ฌ ๊ธฐ์ฌ ํ๋ฉด์ ์ถฉ๋์ํด์ผ๋ก์จ ๋ฏธ๋ฆฝ์๋ฅผ ๋ณํ ๋๋ ํ์ํ์ฌ ์ ์๋ ๋ง ํ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฌผ์ ๊ดํ ๊ฒ์ด๋ผ๋ ์ ์์ ๊ณตํต๋๊ณ , ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ์
์๊ฐ ๊ฒฐํฉ๋ ฅ์ด ๋ ๋์ ๋ณตํฉ ๊ตฌ์กฐ๋ฌผ์ด ํ์ฑ๋๋ค.
(3) ๋ค๋ง, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ โ๊ฒฐ์ ๋ผ๋ฆฌ์ ๊ณ๋ฉด์ ์ ๋ฆฌ์ธต์ผ๋ก ๋ ์
๊ณ์ธต์ด ์กด์ฌํ์ง ์๋ ๊ฒโ์ ๊ตฌ์ฑ์์๋ก ํ๋ ๋ฐ๋ฉด, ์ ํ๋ฐ๋ช
1์๋ ์ด์ ๋์ํ๋ ๊ธฐ์ฌ๊ฐ ์๊ณ (์ฐจ์ด์ 1), ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ โ๊ตฌ์กฐ๋ฌผ์ ์ผ๋ถ๊ฐ ๊ธฐ์ฌ ํ๋ฉด์ผ๋ก ๋จน์ด ๋ค์ด๊ฐ ์ต์ปค๋ถโ๋ฅผ ๊ตฌ์ฑ์์๋ก ํ๋๋ฐ, ์ ํ๋ฐ๋ช
1์๋ โ100-150nm ๋๊ป์ ์์์ธต์ ์ฆ์ฐฉ๋๋ ๋์ ์ด๋ฏธ์ธ PZT ์
์๋ค์ ๊ธฐ๊ณ์ ์ถฉ๊ฒฉ(anchor)๋ถ๋ก ๋์ด ์๋ค.โ๊ณ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์๋ค(์ฐจ์ด์ 2).
(4) ์ฐจ์ด์ 1์ ๋ํ์ฌ
(๊ฐ) ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๋ช
์ธ์์๋ ์ฌ์ ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํตํ์ฌ ์ทจ์ฑ์ฌ๋ฃ ๋ฏธ๋ฆฝ์์ ๋ด๋ถ ๋ณํ์ ๋ถ์ฌํ๋ ๊ฒ์ด ๋ฐ๋์งํ๋ค๋ ๋ด์ฉ์ด ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์์ผ๋, ์ ํ๋ฐ๋ช
1์๋ ์ด์ ๊ดํ ์ธ๊ธ์ด ์๊ณ , ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ โ์๋ฃ ๋ฏธ๋ฆฝ์์ ํ์๋ก๋ถํฐ ์ฌ๊ฒฐํฉ๊น์ง๊ฐ ์๊ฐ์ ์ผ๋ก ํํด์ง๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๊ฒฐํฉ ์์ ๋ฏธ์ธ ๋จํธ ์
์๋ค์ ํ๋ฉด ๋ถ๊ทผ์์ ์์์ ํ์ฐ์ด ๊ฑฐ์ ์ผ์ด๋์ง ์๊ณ , ๋ฐ๋ผ์ ๊ฒฐ์ ์๋ผ๋ฆฌ์ ๊ณ๋ฉด์ ์์ ๋ฐฐ์ด์ ํํธ๋ฌ์ง์ด ์์ผ๋ฉฐ, ์ฉํด์ธต์ธ ์
๊ณ์ธต(์ ๋ฆฌ์ธต)์ ๊ฑฐ์ ํ์ฑ๋์ง ์๋๋ค.โ๊ณ ๊ทธ ๊ฒฐํฉ ์๋ฆฌ๋ฅผ ์ค๋ช
ํ๋ ๋ฐ๋ฉด, ์ ํ๋ฐ๋ช
1์ ์์ ๊ฐ์ ์ฐ์ํ ํจ๊ณผ๋ฅผ ๋ด๋ ์ค์ ๊ฒฐํฉ ๋ฉ์ปค๋์ฆ์ ๊ท๋ช
๋์ง ์์๋ค๊ณ ํ๊ณ ์๋ค.
(๋) ํํธ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๊ณต๋๋ฐ๋ช
์ ์ค 1์ธ์ธ ์์ธ์ธ์ด ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ์ฐ์ ์ผ์ธ 1999. 10. 12. ์ดํ์ธ 2002๋
๊ฒฝ ๊ณต๋์ ์๋ก ๋ฐํํ ์ ํ๋ฐ๋ช
1๊ณผ ๋์ผํ ์ ๋ง ๋ฐฉ์์ ๋ง ํ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฌผ์ ๊ดํ ๋
ผ๋ฌธ โ๋ฏธ๋ฆฝ์, ์ด๋ฏธ๋ฆฝ์์ ์ถฉ๋ ๊ณ ํ ํ์์ ์ด์ฉํ ์ธ๋ผ๋ฏน ๋ฐ๋ง ํ์ฑ ๊ธฐ์ โ(๊ฐ ์ 12ํธ์ฆ)์์๋, ์ ํ๋ฐ๋ช
1์ ๋ง ํ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฌผ์ ๋ํ TEM(ํฌ๊ณผ์ ์ํ๋ฏธ๊ฒฝ) ์ดฌ์ ์ฌ์ง๊ณผ ์ด๋ณด๋ค ๋ ๊ฐ์ ๋ ๋ฐฉ์์ธ HR TEM(๊ณ ๋ถํด๋ฅ ํฌ๊ณผ์ ์ํ๋ฏธ๊ฒฝ) ์ดฌ์ ์ฌ์ง์ ๊ฐ์ํ๊ณ [๋6(a), (b)] โ์ด๋ค์ ๊ฐ์ด ์์ด Si ๊ธฐํ์์ ์ค์จ ์ฑ๋ง๋ PZT ํ๋ง์ ์ด์ฒ๋ฆฌ ์ ํ์ TEM ์ด๋ฏธ์ง์ด๋ค. ๋ง ์์ ์๋ฃ๋ถ๋ง์ ํํ๋ ๊ด์ฐฐ๋์ง ์๊ณ , ๊ฐ๊ฐ์ ๊ฒฐ์ ์ ์๋ก ๊ฒฐํฉ๋์ด ์น๋ฐํ ๋ง์ ํ์ฑํ๊ณ ์๋ค. ๋ํ ๋ง ์์๋ ์๋ฃ๋ถ๋ง์ ๊ฐ๊น์ด ํฌ๊ธฐ์ ๊ฒฐ์ ์๊ฐ ๋ถ๋ถ์ ์ผ๋ก ๋ณด์ด์ง๋ง, HR TEM ์ด๋ฏธ์ง ๋๋ ์ ์์ ํ์ ์ด๋ฏธ์ง๋ก๋ถํฐ๋ ๊ฒฐ์ ์ ๊ฐ, ์
์ ๊ฐ์ ๋น์ ์ง์ธต์ด๋ ์์ดํ ๋ชจ์์ ๊ฑฐ์ ๋ณผ ์ ์์๊ณ , ์ ์ฒด์ ์ผ๋ก 20nm ์ดํ์ ๋ฏธ์ธ๊ฒฐ์ ์ผ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋์ด ์๋ค.โ๊ณ ์ค๋ช
ํ๊ณ ์๋ค. ์ฆ, ์ ๋
ผ๋ฌธ์ ์ํ๋ฉด ์ ํ๋ฐ๋ช
1์ ๊ฐ์๋ ์ฌ์ง์ ๋ง ํ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฌผ ์ญ์ ๊ฒฐ์ ์ ์ฌ์ด์ ๊ณ๋ฉด์ ๋น์ ์ง์ธต์ธ ์
๊ณ์ธต์ด ์กด์ฌํ์ง ์๋๋ค๋ ๊ฒ์ด๋ค.
(๋ค) ๊ทธ๋ฐ๋ฐ ์ ๋
ผ๋ฌธ์ ์ํ๋ฉด ์ ํ๋ฐ๋ช
1์ ๊ธฐ์ฌ๋ ์ ์กฐ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ฐ๋ฅธ ํ๋์ ์ค์๋ก๊ฐ ์ ๋ฆฌ์ธต์ผ๋ก ๋ ์
๊ณ์ธต์ด ์กด์ฌํ์ง ์๋ ๊ตฌ์ฑ์ ๊ฐ์ง๋ค๋ ์ ์ ์ ์ ์์ง๋ง, ๋ ๋์๊ฐ ์ ํ๋ฐ๋ช
1์ ๊ธฐ์ฌ๋ ์ ์กฐ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ฐ๋์ ๋ ํ์ฐ์ ์ผ๋ก ๋น์ ์ง์ธต์ด ์กด์ฌํ์ง ์๋ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฌผ์ ๋๋ฌํ ๊ฒ์ธ์ง๋ฅผ ์ ์ ์๋ ์๋ฃ๋ ์๋ค. ์คํ๋ ค, ์ ํ๋ฐ๋ช
1์ ์๋ฃ ๋ฏธ๋ฆฝ์์ ์ฌ์ ์ฒ๋ฆฌ ๊ณต์ ์ ์ธ๊ธํ๊ณ ์์ง ์์ ๋ฐ๋ฉด, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๋ช
์ธ์์์๋ ์ฌ์ ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํตํ ๋ด๋ถ ๋ณํ์ ์ค์์ฑ์ ๊ฐ์กฐํ๊ณ ์์ ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ์ ์ ํ ๋ด๋ถ ๋ณํ์ ์ ๋(0.25~2.0%)์ ๋ฐฉ๋ฒ ๋ฑ๊น์ง ๊ธฐ์ฌํ๋ ๋ฑ์ผ๋ก ๋น์ ์ง์ธต์ด ๋ถ์กด์ฌํ๋ ๋ณตํฉ ๊ตฌ์กฐ๋ฌผ์ ์ฑ๊ณต์ ์ผ๋ก ์ ์กฐํ๊ธฐ ์ํ ์ ์กฐ๋ฐฉ๋ฒ์ ๋ ๊ตฌ์ฒด์ ์ผ๋ก ๊ณต๊ฐํ๊ณ ์๋ค.
(๋ผ) ์ด๋ฌํ ์ ์ ๋น์ถ์ด ๋ณด๋ฉด, ๋น์ ์ง์ธต์ ๋ถ์กด์ฌ๊ฐ ์ ํ๋ฐ๋ช
1์ ๊ฐ์๋ ๋ง ํ์ ๊ตฌ์กฐ๋ฌผ์ ๋ด์ฌ๋ ๊ตฌ์ฑ์ด๋ผ๋ ์ ์ด ์ฆ๋ช
๋์๋ค๊ณ ๋ณด๊ธฐ ์ด๋ ค์ฐ๋ฏ๋ก, ๋ ๋ฐ๋ช
์ด ๋์ผํ๋ค๊ณ ํ ์ ์๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ฐจ์ด์ 2์ ๊ดํ์ฌ ๋์๊ฐ ์ดํ ํ์ ์์ด ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ ๊ท์ฑ์ด ๋ถ์ ๋์ง ์๋๋ค.
๋ค. ์์ฌ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
๊ณผ ์ ํ๋ฐ๋ช
1์ ์์ ๊ฐ์ ์ ์กฐ๊ณผ์ ์ ์ฐจ์ด ๋ฑ์ ๋ค์ด ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
๊ณผ ์ด๋ฅผ ์ธ์ฉํ๋ ์ข
์ํญ ๋ฐ๋ช
๋ค์ธ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 2ํญ ๋ด์ง ์ 4ํญ ๋ฐ ์ 6ํญ ๋ด์ง ์ 10ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ ๊ท์ฑ์ด ๋ถ์ ๋์ง ์๋๋ค๊ณ ํ๋จํ์๋ค. ์ด๋ฌํ ์์ฌํ๊ฒฐ์ ์๊ณ ์ด์ ์ฃผ์ฅ๊ณผ ๊ฐ์ด ํ์ํ ์ฌ๋ฆฌ๋ฅผ ๋คํ์ง ์๋ํ๊ณ ์์ ์ฌ์ฆ์ฃผ์์ ํ๊ณ๋ฅผ ์ผํํ๊ฑฐ๋, ์ ๊ท์ฑ ํ๋จ์ ๊ดํ ๋ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ์คํดํ๊ณ ํ์ํ ํ๋จ์ ๋๋ฝํ๋ ๋ฑ์ผ๋ก ํ๊ฒฐ์ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น ์๋ชป์ด ์๋ค.
3. ์๊ณ ์ด์ ์ 5์ ์ ๊ดํ์ฌ
์์ฌ์ ํ์์ ๊ฐ์ ์ด์ ๋ก ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
๊ณผ ์ด๋ฅผ ์ธ์ฉํ๋ ์ข
์ํญ ๋ฐ๋ช
๋ค์ธ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 2ํญ ๋ด์ง ์ 4ํญ ๋ฐ ์ 6ํญ ๋ด์ง ์ 10ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ง๋ณด์ฑ์ด ๋ถ์ ๋์ง ์๋๋ค๊ณ ํ๋จํ์๋ค.
๊ด๋ จ ๋ฒ๋ฆฌ ๋ฐ ๊ธฐ๋ก์ ๋น์ถ์ด ์ดํด๋ณด๋ฉด, ์ด๋ฌํ ์์ฌํ๊ฒฐ์ ์๊ณ ์ด์ ์ฃผ์ฅ๊ณผ ๊ฐ์ด ํ์ํ ์ฌ๋ฆฌ๋ฅผ ๋คํ์ง ์๋ํ๊ณ ์์ ์ฌ์ฆ์ฃผ์์ ํ๊ณ๋ฅผ ์ผํํ๊ฑฐ๋, ์ง๋ณด์ฑ ํ๋จ์ ๊ดํ ๋ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ์คํดํ๋ ๋ฑ์ผ๋ก ํ๊ฒฐ์ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น ์๋ชป์ด ์๋ค.
4. ๊ฒฐ๋ก
๊ทธ๋ฌ๋ฏ๋ก ์๊ณ ๋ฅผ ๋ชจ๋ ๊ธฐ๊ฐํ๊ธฐ๋ก ํ์ฌ, ๊ด์ฌ ๋๋ฒ๊ด์ ์ผ์น๋ ์๊ฒฌ์ผ๋ก ์ฃผ๋ฌธ๊ณผ ๊ฐ์ด ํ๊ฒฐํ๋ค.
๋๋ฒ๊ด ์ฒ๋์ฝ(์ฌํ์ฅ) ์กฐ์ฌ์ฐ ๋ฏผ์ ์(์ฃผ์ฌ) ์ด๋์
|
|
๋๊ธ 0๊ฐ
๋ก๊ทธ์ธ ํ์๋ฉด, ํ๋ก ๋๊ธ์ ๋ฑ๋กํ์ค ์ ์์ต๋๋ค.
๋ค์ด๋ฒ ๊ฒ์
๋ธ๋ก๊ทธ
์นดํ
๋ด์ค
์น์ฌ์ดํธ
|
|
[ ๋ฒ๊ด/๋๋ฒ๊ด ํ๊ทธ]
|