서울행정법원 2012.12.31 2012구단4671

【사건명】 요양불승인처분취소 【원 고】 원고 원고1 (생략) 화성시 동탄공원로 이하생략 소송대리인 변호사 변호사1 【피 고】 근로복지공단 【변론종결】 2013. 05. 31 【판결선고】 2013. 08. 23 【주문】 1. 원고의 청구를 기각한다. 2. 소송비용은 원고가 부담한다. 【청구취지】 피고가 2011. 8. 3. 원고에게 한 요양불승인처분을 취소한다. 【이유】 1. 처분의 경위 가. 원고는 1992년 ○○○○ 주식회사(이하 '소외 회사'라 한다)에 입사하여 반도체사업부 ○○○○ 5라인 화학기상증착(CVD) 공정에서 설비 엔지니어로 근무하다가 2006. 8. 31. 퇴사하였다. 나. 원고는 2009. 4. '근위축성 측상경화증'(Amyotrophic Lateral Sclerosis, ALS, 일명 루게릭병, 이하 '이 사건 질병'이라 한다) 확진을 받고 2011. 1. 28. 피고에게 요양급여 신청을 하였다. 다. 이에 대하여 피고는 2011. 8. 3. 이 사건 질병과 원고 업무 사이에 상당인과관계가 인정되지 않는다는 이유로 원고의 신청을 불승인하는 이 사건 처분을 하였다. [인정근거] 갑 제1호증의 1, 2, 제2호증의 각 기재, 변론 전체의 취지 2. 처분의 적법 여부 가. 원고의 주장 요지 원고는 소외 회사에서 설비엔지니어로 근무하면서 장기간 이소프로필알코올(IPA) 등 세척용 유기용제와 독성 화학물질에 노출되있고, 높은 수준의 전자기장에도 노출되었다. 원고는 음주, 흡연을 하지 않고 이 사건 질병의 가족력도 없다. 따라서 원고의 이 사건 질병은 유해한 유기용제, 화학물질 등에 노출되어 발병하였다고 할 것임에도 이와 다른 전제에서 한 이 사건 처분은 위법하다. 나. 인정사실 1) 사업장 개요 및 반도체 제조공정 소외 회사 ○○○○은 반도체 소자를 제조하는 공장으로 1984년 세위졌는데, 기흥단지와 화성단지로 나뉘어져 있고, 기흥단지는 9개의 웨이퍼1) 가공 공정 라인이 있다. 반도체 제조공정은 웨이퍼를 가공하는 공정과 가공된 웨이퍼를 개개의 칩 단위로 조립하는 공정으로 크게 분류할 수 있고, 각 공정은 다시 여러 단계의 하부 공정으로 이루어져 있다. 웨이퍼 가공 공정은 웨이퍼에 산화막을 형성하고 열처리 및 불순물을 확산시기는 확산공정, 회로패턴을 형성시키는 포토공정, 포토공정에서 형성된 패턴을 완성하기 위해 화학적 반응 등을 통해 불필요한 부분을 제거해 주는 식각공정, 반도체에 전도성을 부여하기 위해 아르신, 포스핀 등의 불순물을 주입하는 이온주입공정, 화학적 반응 또는 물리적인 방법으로 전도성 또는 절연성 박막을 형성시키는 증착공정으로 분류할 수 있다. 2) 원고의 업무내역 등 가) 원고는 1992년 소외 회사에 입사한 후 ○○○○ 5라인에 배치되어 파견기간(2001. 4. 16. ~ 6. 30.)을 제외하고는 화학기상증착 공정 설비 엔지니어로 근무하였다. 나) 화학기상증착 공정은 가스간의 화학반응으로 형성된 입자들을 웨이퍼 표면에 증착하여 절연막이나 전도성막을 형성시키는 것을 말한다. 5라인 화학기상증착 공정의 설비 엔지니어는 20~30명 수준이었다. 다) 설비 엔지니어는 생산설비의 유지, 보수, 관리 및 예방정비 작업(Process Management, PM)을 담당하였다. PM 작업시 이소프로필알코올(2007년까지 사용)를 사용하여 설비표면의 이물질 제거 하였다(PM 작업은 2000년부터 협력업체로 단계적으로 이관되었다). 엔지니어가 직접 용기를 교체한 가스 및 화학물질은 트리메틸포스 1) 웨이퍼란 고순도로 정제된 실리콘 용액을 주물에 넣어 회전시기면서 실리콘 원기둥을 만든 후 이것을 지름 5~10m, 두께 수백㎛로 얇게 절단하고 한쪽 면을 거울같이 연마하여 만든 원판을 말한다. 이 웨이퍼 표면에 전자회로를 만들고 도판트를 추가하여 작은 사각형으로 갈라낸 것이 집적회로(IC)이다. 파이트(2008년 이후는 사용공정이 없어 사용하지 않음), TEOS, 육불화텅스텐, 사불화규소, 암모니아이다. 라) 소외 회사는 1996. 1.경 환경수첩을 만들어 이를 반도체 사업장 엔지니어들에게 나누어 주었는데 그 중 공정별로 사용하는 가스와 화학물질에 관한 부분은 별지 '환경수첩'의 기재 내용과 같다. 3) 원고의 건강상태 등 2003. 10. 시행한 건강진단에는 특이사항 없고, 2005. 9. 시행한 건강진단에서 흉부 X선 촬영상 폐결핵(좌측)을 않은 흔적과 늑막질한(좌측)을 않은 흔적이 보인다는 소견 외에는 특별한 질환을 의심할 만한 사항은 없었다. 원고는 술, 담배를 하지 않고, 원고에게 이 사건 질병의 가족력은 없다. 4) 역학조사 결과 ○○○○○○○○공단 산하의 ○○○○○○연구원(이하 '○○○○○○연구원'이라 한다)은 피고의 역학조사 의뢰에 따라 소외 회사의 ○○○○ 5라인에 대하여 2011. 5. 25. 예비조사, 같은 해 6. 3. 작업환경 평가, 같은 해 6. 16. 역학조사평가위원회의 심의 등을 거쳐 보고서를 작성한 후 이를 피고에게 제출하였는데, 그 주요 내용은 다음과 같다. 가) 작업환경 측정 결과 CVD 공정 TEOS 설비의 Injector Clenaning 작업시 배관내부에 침착된 분말과 Supttering 설비와 연결된 집진설비 청소 작업시 집진설비 내부에서 채취한 분진을 대상으로 고형시료 분석을 한 결과 Injector Clenaning 작업시 배관내부 침착된 분말에서는 금속성분이나 산화규소 결정체가 검출되지 않았고, 집진설비 내부에서 채취한 분진은 텅스텐이 주성분이고 기타 금으로 추정되는 성분이 미량 검출되었다. 휘발성 유기화합물 및 불화수소 노출 측정 결과 TEOS 설비의 Injector Clenaning 작업, Supttering 설비 PM작업, Supttering 설비와 연결된 집진설비 청소 작업시 채취된 시료에서 알려진 휘발성 유기화합물 및 불화수소는 검출되지 아니하였다(다만 Injector Clenaning 작업시 채취된 시료에서 소량의 C₃F₈ 검출). 나) 과거의 작업환경 측정 결과 소외 회사가 실시한 작업환경 측정결과 5라인 CVD 공정에서 2004년부터 2006년까지 암모니아(NH₃), 오존(O₃)이 모두 노출기준 미만으로 측정되었다. 다) 역학조사 평가위원의 의견 역학조사 평가위원 9명 중 4명이 업무관련성이 있다는 의견을, 5명이 업무관련성이 낮다는 의견을, 1명이 추가 검토가 필요하다는 의견을 제시하였다. 5) 이 사건 질병에 관한 의학적 지식 가) 일반적으로 알려진 지식 이 사건 질병은 감각신경은 침범하지 않고 운동신경만 선택적으로 침범하는 특징이 있고, 빠르게 진행되는 치명적인 신경퇴행성 질환으로 뇌와 척수의 상위 운동 신경세포와 하위운동신경세포의 점진적인 소실을 특징으로 한다. 100,000명당 1.5~2명의 발생률과 약 6명의 유병률을 보이며, 남성이 여성보다 발병에 더 취약하다고 알려져 있다. 주로 산발성으로 발생하지만 5~10%는 상염색체 우성으로 유전된다. 평균 발병 연령은 55~65세이며, 5%만이 30세 이전에 발생한다. 이 사건 질병의 원인은 아직 명확히 밝혀지지 않았다. 환경적 요인에 대한 조사가 많이 이루어졌지만 아직까지 명확한 증거를 제시하지 못하고 있다. 운동신경에 손상을 주는 복잡한 유전과 환경의 상호작용에 의한 것이라는 가설이 힘을 얻고 있으며, 산화적 스트레스에 의한 손상이나 글루타메이트의 흥분독성 등에 대한 가설도 제시되고 있다. 이 사건 질병과 환경적 요인과의 일치되고 명확한 관계를 보여주는 연구결과는 아직 없는 실정이다. 현재까지 발표된 연구 중 이 사건 질병의 위험요인이라고 가장 일관되게 알려진 것에는 살충제, 중금속(납, 수은), 격렬한 육체활동(프로 축구선수), 흡연, 전자기장 등이 있다. 나) 원고 주치의사의 견해 이 사건 질병의 발병원인은 아직 밝혀지지 않았지만 여러 가설이 제기되고 있다. 여기에는 유전성, 흥분독성, 산화독성, 단백응집, 면역기전, 감염, 신경미세섬유의 기능 이상, 사립체 기능 이상, 신경성장인자 부족, 호르몬 이상, 환경인자 등이 주로 논의되고 있고 이들은 서로 독립적으로 작용하는 것보다는 서로 기전이 중첩되어 상호작용하는 것으로 추정된다. 납이나 수은이 이 사건 질병의 발병과 연관이 있다는 보고는 있으나 직접적인 증거는 없다. 원고는 혈액검사 및 유전자검사 결과 산발성 ALS로 진단되었다. [인정근거] 갑 제2, 3, 5호증, 제22호증의 1의 각 기재, 이 법원의 ○○○○○병원장에 대한 사실조회결과, 변론 전체의 취지 다. 판단 산업재해보상보험법 제4조 제1호에서 말하는 '업무상의 재해'라 함은 근로자가 업무수행 중 그 업무에 기인하여 발생한 근로자의 부상·질병·신체장애 또는 사망을 뜻하는 것이므로 업무와 재해발생 사이에 인과관계가 있어야 하고 그 인과관계는 이를 주장하는 측에서 입증하여야 한다. 위 인정사실, 앞서 든 증거 및 변론 전체의 취지에 의하여 알 수 있는 다음과 같은 사정을 종합하여 이 사건에 관하여 살핀다. 이 사건 질병인 근위축성 측삭경화증은 현대의학상 아직 그 발병원인이 밝혀지지 아니하였고, 다만 운동신경에 손상을 주는 복잡한 유전과 환경적 요인의 상호작용이 발병원인이라는 가설이 힘을 얻고 있고, 산화적 스트레스에 의한 손상이나 글루타메이트의 흥분독성 등에 대한 가설이 제시되고 있다. 환경적 요인에 관해서는 살충제, 중금속(납, 수은), 전자기장 등이 이 사건 질병의 발병위험성을 높인다는 연구결과가 있지만 상반된 연구결과가 존재하는 등 아직 의학적으로 명백하게 받아들여질 정도는 아닌 것으로 보인다. 그런데 원고가 작업시 이소프로필알코올(IPA), 실란(SiH₄), 포스핀(PH₃), 디글로실란(SiH₂Cl₂), 염화규소(SiC1₂), 암모니아(NH₃), 육불화텅스텐(WF₆), 불화수소(HF), 트리메틸포스파이트(TMPi), 오존(O₃) 등과 같은 화학물질에 노출되었을 가능성이 있고 전자기장에 노출되있을 가능성도 있지만 그 노출 정도가 원고의 건강이나 신체에 영향을 줄 정도였는지가 분명하지 않고, 더구나 앞서 든 화학물질과 이 사건 질병과의 관계에 관해서는 실험연구 및 역학연구가 아직까지 없는 것으로 보인다. 또한 원고가 근무하였던 공장에서 근무한 근로자 중 원고 이외에 이 사건 질병을 진단받은 사람은 없고, 전체 국내 반도체 사업장에서 근무한 근로자 중에서도 이 사건 질병에 이한된 사례가 있다고 볼 자료가 없다. 이러한 사정에 비추어 볼 때 원고가 제출한 증거만으로는 이 사건 질병과 원고 업무 사이에 상당인과관계가 있다고 인정하기에 부족하고 달리 이를 인정할 증거가 없다. 따라서 같은 취지에서 한 이 사건 처분은 적법하다. 3. 결론 그렇다면 원고의 청구는 이유 없으므로 이를 기각한다. 판사 판사1 【별지】【환경수첩】 공정별 GAS

공정		분류	특성	환경영향	화학물질
Diffusion		가연성 가스	가연성, 폭발성	화재	H₂(수소)
		독성 가스	독성, 부식성	산성비, 고엽현상	HCI(염화수소), POC1₃(옥시염화인)
		기타 가스	조연성, 질식성	화재	0₂(산소), N₂(질소)
CVD	LP	가연성 가스	가연성, 폭발성, 독성, 부식성	화재, 구조물 부식	SiH₂cl₂(디클로로실렌)
		독성 가스	가연성, 폭발성, 독성, 부식성	구조물부식, 어류피해	NH₃(암모니아)
		기타 가스	조연성, 질식성	동·식물 피해	N₂(질소), N₂0(이산화질소)
	AP	가연성 가스	자연발화성, 폭발성, 독성, 부식성	하천오염, 화재	SiH₄(실란), B₂H₆(디보란), PH₃(포스핀), SiH₂cl₂(디클로로실렌)
		독성 가스	독성, 부식성	동·식물 피해	WF₆(육불화텅스텐), HF(불화수소)
		기타 가스	조연성, 질식성	화재	질소, 산소
DRY ETCH		독성가스	독성, 부식성	산성비, 고엽현상, 구조물부식	NH₃(삼불화질소), BC1₃(삼염화붕소), HCI(염화수소), SF₆(육불화황), SiC1₄(사염화규소)
DRY ETCH		기타 가스	조연성, 질식성	질식	He(헬륨), CHF(삼불화에탄), C₂F₆(프레온116), CF₄(사불화메탄)
ION IMP		가연성 가스	폭발성, 독성, 부식성	화재, 하천오염	AsH₃(아르신), PH₃(포스핀)
ION IMP		독성 가스	폭발성, 독성, 부식성	질식	BF₃(삼불화붕소)
METAL 증착		기타 가스	질식성	질식	Ar(아르곤)
EPI공정		액화 가스	독성, 부식성	악취(질식), 구조물 부식	SiHiC1₃(디클로로실렌), HCI(염소), SiHC1₃(트리클로로실렌), PH₃(포스핀), B₂H₆(디보란)

공정별 화학물질

세정(cleaning) 식각(Etching)	유기용 제류 (SOLVENT)	인화성, 독성	식수오염, 농작물피해, 생물체 암유발	(CH)₂CO(아세톤), IPA(이소프로필알콜), ACT-CMI(디메틸아세트아미드, 2-메틸에탄올아민 혼합물), CH₃CI(염화메틸), TCE(트리클로로에딜랜), THINNER
	산류	독성, 부식성, 산화성, 접촉성	어류 피해, 토양 산성화	H₂O₂(과산화수소), H₂SO₄(황산), HNO₃(질산), HF(불산), HCI(염화수소), H₃PO₄(인산), CH₃COOH(아세트산)
	알칼리류	독성, 부식성	하천오염	NH₄OH(암모니아수), NH₄F(불화암모늄)
사진(Photo)	유기화합물	독성, 인화성, 접촉성	식수오염, 농작물피해, 생물체 암유발	사진감광액(pr), 표면밀착제(HMDS) (CH₃)₂CO, THINNER
사진(Photo)	알칼리류	독성, 부식성	하천 오염	사진현상액
불순물침적(Diffusion)	액화가스	독성, 부식성, 질식성	질식	옥시염화인(POCI₃), 브롬화붕소
UTIUTY	산류	독성, 부식성, 접촉성, 산화성	식수오염, 농작물피해, 생물체 암유발	H₂SO₄, HCI, H₂O₂, NaHS0₃, NaCCI
	알칼리류	독성, 부식성, 접촉성	하천 오염	Naoh, Ca(OH)₂, Na₂CO₃, KOH
	알콜류	독성, 인화성	악취	CH₃OH

【참조조문】 산업재해보상보험법 제4조

[출처] 근로복지공단 : 산재판례서비스 - 2012구단4671 (2012구단4671_서울행정법원)

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산업재해보상보험법 제4조

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