|
+
-
๋ถ๋งํฌ ์ ์ฅ
ํนํ1์ฌ์ฌ๊ฑด
ํนํ๋ฒ์ 2008. 11. 13. ์ ๊ณ 2007ํ8535 ํ๊ฒฐ
[๋ฑ๋ก๋ฌดํจ(ํน)][๋ฏธ๊ฐํ]
ใ์ ๋ฌธใ
ใ์ ๊ณ ใ ์ฃผ์ํ์ฌ ์ดํ
(์์ก๋๋ฆฌ์ธ ๋ณ๋ฆฌ์ฌ ๋ฐํ์ฐ)
ใํผ ๊ณ ใ ํํ
ํธ-ํธ๋ก์ดํํธ-๊ฒ์ ค์คํํธ ํ์ด ์๋ ํธ๋ฆฌ์ ๊ธ๋ฆฌ๋ํ ์ ๋ฒ ํ (์์ก๋๋ฆฌ์ธ ๋ณํธ์ฌ ์ค์ ๋ฏผ์ธ 2์ธ)
ใ๋ณ๋ก ์ข
๊ฒฐใ 2008. 10. 14.
ใ์ฃผ ๋ฌธใ
1. ์๊ณ ์ ์ฒญ๊ตฌ๋ฅผ ๊ธฐ๊ฐํ๋ค.
2. ์์ก๋น์ฉ์ ์๊ณ ์ ๋ถ๋ด์ผ๋ก ํ๋ค.
ใ์ฒญ๊ตฌ์ทจ์งใ ํนํ์ฌํ์์ด 2007. 9. 11. 2006๋น3266ํธ ์ฌ๊ฑด์ ๊ดํ์ฌ ํ ์ฌ๊ฒฐ์ ์ทจ์ํ๋ค.
ใ์ด ์ ใ
1. ๊ธฐ์ด์ฌ์ค
[์ธ์ ๊ทผ๊ฑฐ : ๋คํผ ์๋ ์ฌ์ค, ๊ฐ ์ 1, 2, 3ํธ์ฆ]
๊ฐ. ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
โ ๋ช
์นญ : ๊ณ ํ๋์ ๋ฌด์ ๊ทน ์ ์๋ ฅ ๊ด์ ๋ฐ ์ด๋ฅผ ์๋ํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ
โก ์ถ์์ผ(๊ตญ์ ์ถ์์ผ)/ ์ฐ์ ๊ถ ์ฃผ์ฅ์ผ : 1997. 3. 25.(1996. 7. 18.)/1995. 9. 15., 1996. 3. 27.
โข ๋ฑ๋ก์ผ/ํนํ๋ฒํธ : 2002. 10. 4./์ 356960ํธ
โฃ ํนํ๊ถ์ : ํผ๊ณ
โค ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ์์ฝ ๋ฐ ํนํ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์(2007. 5. 2.์ ์ ์ ์ฒญ๊ตฌ์์ ์ํ ๊ฒ)
์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ์ ๊ทน์ด ์์ด ์ ์๊ธฐ ์ ๋ ์๋ฆฌ(๋ณ์๊ธฐ ์๋ฆฌ)๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ๋์ํ๋ ๋ฌด์ ๊ทน ๋จํ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ ์ ๊ธฐ ๋จํ ์์
๋ธ๋ฆฌ์ ๊ดํ ๊ฒ์ผ๋ก์, ๋จํ ์๋ฒ๋กํ ๋ด ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ์ 0.5torr(0.67mbar) ์ดํ๋ก ์ค์ ํ๊ณ , ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ๋ฅผ 2 ์ํ์ด ์ด์์ผ๋ก ์ค์ ํ์ฌ, ํ๋ผ์ดํธ ์ฝ์ด์ ์์ค์ ํ์ ํ๊ฒ ๊ฐ์์ํค๋ ๊ฒ์ ๊ดํ ๋ฐ๋ช
์ด๋ค. ๊ทธ ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์ ๋ฐ ๋๋ฉด์ ๋ณ์ง 1ํญ๊ณผ ๊ฐ๋ค(์ดํ, ๊ฐ๊ฐ์ ์ฒญ๊ตฌํญ์ โ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
โ๊ณผ ๊ฐ์ด ํ์ํ๋ค).
๋. ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
(๊ฐ ์ 4ํธ์ฆ, 1991. 5. 7.์ ๋ฏธ๊ตญ ํนํ๊ณต๋ณด ์ 5013975ํธ, ์ฃผ์ ๋๋ฉด์ ๋ณ์ง 2ํญ๊ณผ ๊ฐ๋ค)
โ๋ฌด์ ๊ทน ๋ฐฉ์ ๋จํโ๋ก์, ๋ฐํ๋ ๋จํ ํ๋ธ์ ์ฑ์์ง ๊ฐ์ค์ ํจ์จ์ ์ธ ๋ฐ๊ด์ ์ด์ฉํ๋ฉฐ ๋ฎ์ ์จ๋์์ ๋์ ์จ๋์ ์ด๋ฅด๋ ํฐ ์จ๋ ๋ฒ์์์ ์ํ๋ ๊ด๋์ ์ ๊ณตํ ์ ์๋ ๊ธด ์๋ช
์ ๋ฌด์ ๊ทน ๋ฐฉ์ ๋จํ๋ฅผ ์ ๊ณตํ๋ ๊ฒ์ ๋ชฉ์ ์ผ๋ก ํ๋ฉฐ, ๋ฌด์ ๊ทน ๋ฐฉ์ ๋จํ(10)๋ ์ ๋ฆฌ์ ๊ฐ์ ๊ดํฌ๊ณผ ๋ฌผ์ง๋ก ์ด๋ฃจ์ด์ง ๊ฐ์ค๊ธฐ๋ฐ(gas-tight) ๋จํ ํ๋ธ(11)๋ฅผ ํฌํจํ๊ณ , ํ๊ด ๋ฌผ์ง(12)์ ์๊ธฐ ํ๋ธ(11)์ ๋ด๋ฒฝ ํ๋ฉด, ๋ฐ๋์งํ๊ฒ๋ ์ค์ง์ ์ผ๋ก ๋ด๋ถ ์ ๋ฉด์ ๊ฑธ์ณ ๋ํฌ๋๋ฉฐ, ์์ ์ฆ๊ธฐ(Hg) ๋ฐ ๋ค์จ ๊ฐ์ค(Ne)๋ฅผ ํฌํจํ๋ ๋ฐฉ์ ๊ฐ์ค๊ฐ ์๊ธฐ ํ๋ธ(11)์ ์ถฉ์ง๋๊ณ , ์ ๋ ์ฝ์ผ(13)์ ์๊ธฐ ํ๋ธ(11)์ ์ ์ฒด ์ธ์ฃผ๋ถ๋ฅผ ๋ฐ๋ผ ๊ฒฐํฉํ๊ฑฐ๋ ๊ทผ์ ํ์ฌ ๊ถ์ ๋๋ฉฐ, ๋ํ, ๊ณ ์ฃผํ ์์ค(14)๋ ์๊ธฐ ์ ๋ ์ฝ์ผ(13)๊ณผ ์ ์๋์ด ์ ๋ ์ฝ์ผ์ ํ๋ฅด๋ ๊ณ ์ฃผํ ์ ๋ฅ๋ฅผ ๋ฐ์ํ๋ ๊ฒ์ ๊ธฐ์ ์ ๊ตฌ์ฑ์ผ๋ก ํ๋ค. ๋ 10๊ณผ ๊ด๋ จํ์ฌ, โ๋ค์จ ๊ฐ์ค๊ฐ 0.3-3.0Torr์ ์๋ ฅ์์ ์๊ธฐ ๋จํ ํ๋ธ(11 ๋๋ 21)์ ์ถฉ์ง๋๋ค. ์ฆ, ๋ 10์ ์ฐธ์กฐํ๋ฉด, ์๊ธฐ ๋จํ ํ๋ธ(11 ๋๋ 21) ๋ด์ ๋ค์จ ๊ฐ์ค ์๋ ฅ์ด ๋ฎ์์ง์๋ก ๋ฐ๊ด ์ถ๋ ฅ์ ์ฆ๊ฐํ์ง๋ง, ์ด๋ ๋์์ ๊ฐ์ ์ ์์ ์์น์์ผ์, ์๊ธฐ ํ๋ธ(11 ๋๋ 21) ๋ด์ ๋ค์จ ๊ฐ์ค ์๋ ฅ 0.3Torr ์ดํ๊ฐ ๋๋ฉด ์๋์ด ๋ค์ ์
์ํฅ์ ๋ฐ๋ ๋ฐ๋ฉด์, ์๊ธฐ ํ๋ธ(11 ๋๋ 21)์์ ๋ค์จ ๊ฐ์ค ์๋ ฅ์ด 3.0Torr ์ด์์ด ๋๋ฉด, ์๋์ ๋ ์ฝ๊ฒ ๋์ง๋ง ๋ฐ๊ด ์ถ๋ ฅ์ ๋๋ฌด ๋ฎ์์ง๊ฒ ๋๋ค.โ๋ผ๋ ๊ธฐ์ฌ{๊ฐ ์ 4ํธ์ฆ์ ๋ฒ์ญ๋ฌธ 7๋ฉด 9ํ ์ดํ}๊ฐ ์๋ค.
๋ค. ์ ์ฐจ์ ๊ฒฝ์
(1) ์๊ณ ๋ ํผ๊ณ ๋ฅผ ์๋๋ก, ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ์ ํ๊ธฐ์ ๋ค์ ๋นํ์ฌ ์ง๋ณด์ฑ์ด ์๋ค๋ ๋ฑ์ ์ด์ ๋ก 2006. 12. 14. ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๋ํ ๋ฑ๋ก๋ฌดํจ์ฌํ์ ์ฒญ๊ตฌํ์๊ณ , ์ด์ ๋ํ์ฌ ํผ๊ณ ๋ 2007. 5. 2. ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๋ช
์ธ์ ๋ฐ ๋๋ฉด์ ๋ํ ์ ์ ์ ๊ตฌํ๋ ์ ์ ์ฒญ๊ตฌ์๋ฅผ ์ ์ถํ์๋ค.
(2) ํนํ์ฌํ์์ ์ด๋ฅผ 2006๋น3266ํธ๋ก ์ฌ๋ฆฌํ์ฌ 2007. 9. 11. ์ ์ ์ ์ฒญ๊ตฌ์์ ์ํ ์ ์ ์ ์ธ์ ํ๊ณ , ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ์ ํ๊ธฐ์ ๋ค์ ๋นํ์ฌ ์ง๋ณด์ฑ์ด ์๋ค๋ ๋ฑ์ ์ด์ ๋ก ์ ๋ฑ๋ก๋ฌดํจ์ฌํ ์ฒญ๊ตฌ๋ฅผ ๊ธฐ๊ฐํ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ ํ์๋ค.
(3) ๋น์ฌ์๋ค์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ทจ์์์ก์์ ์ ์ ์ ์ ๋ฒ ์ฌ๋ถ์ ๊ดํ์ฌ ๋คํฌ์ง ์๋ํ๋ฏ๋ก ์ดํ์์๋ ์ ์ ๋ ์ฒญ๊ตฌํญ์ ๊ธฐ์ค์ผ๋ก ์ง๋ณด์ฑ ์ฌ๋ถ๋ฅผ ํ๋จํ๋ค.
2. ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๊ธฐ์ฌ๋ถ๋น ๋ฐ ์ฐ์
์ ์คํ๋ถ๊ฐ๋ฅํ ๋ฐ๋ช
์ธ์ง ์ฌ๋ถ์ ๋ํ ํ๋จ
๊ฐ. ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๊ธฐ์ฌ๋ถ๋น ์ฌ๋ถ
(1) ์๊ณ ์ ์ฃผ์ฅ
์๊ณ ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ํนํ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์์ ๊ธฐ์ฌ๋ ๋ฒํผ๊ฐ์ค์ ๋ฐ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ ๊ฐ์ ๋ฒ์๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๋ฐ๋ช
์ ์์ธํ ์ค๋ช
์ด๋ ๋๋ฉด์ ์ํด ๋ท๋ฐ์นจ๋์ง ์๊ณ , ๋ฎ์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค์๊ณผ ๋์ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ์์ ์๊ด๊ด๊ณ์์ ์ฝ์ด ์์ค๊ณผ ๋์ ๊ด์ถ๋ ฅ์ด ๋ฐ์๋๋ค๋ ๊ฒ์ ์ ์ ์์ ์ ๋๋ก ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์์ง ์๊ณ , ๋๋ฉด 5์๋ ๋์ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ ์์ญ์์๋ ํจ์จ๊ณก์ ์ ์๋์ ์ผ๋ก ๋์ํ์ง ์๋ ๋ฑ, ๊ธฐ์ฌ๋ถ๋น์ ํด๋นํ๋ค๊ณ ์ฃผ์ฅํ๋ค.
(2) ํ๋จ
์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ํนํ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด, ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ 0.5torr ๋ฏธ๋ง์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ ๋ฐ 2์ํ์ด ์ด์์ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ ๊ฐ์ ๊ฐ๋ ๊ฒ์ ํน์ง์ผ๋ก ํ๋๋ฐ, ๋ฐ๋ช
์ ์์ธํ ์ค๋ช
์๋, 0.5torr ๋ฏธ๋ง์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ ๋ฐ 2์ํ์ด ์ด์์ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ๋ ๋์ ๋ฃจ๋ฉ ์ถ๋ ฅ, ๋จ์๋น ๋์ ๋ฃจ๋ฉ, ๋ฎ์ ์ฝ์ด ์์ค ๋ฐ ๊ธด ๋์์๋ช
์ ๋ฐ์์ํค๊ธฐ ์ํด ๊ฒฐํฉ๋ ํ๋ผ๋ฏธํฐ๋ก์ ์ ์ ์ฑ๋ฅ์ ๋ฐ์์ํค๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์๊ณ (์ ์ 5ํธ์ฆ, 8๋ฉด 20ํ ๋ด์ง 9๋ฉด 3ํ), ๋ํ, ๋จ์ํ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ๋ง์ ์ฆ๊ฐ์ํค๋ ๊ฒ๋ง์ผ๋ก๋ ๋จํ ์ฑ๋ฅ์ด ํฅ์๋์ง ์๊ณ ์์์ผ๋ก๋ถํฐ ๊ณ ์ ๋ฅ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์์ธ์ ์ ์ป๊ธฐ ์ํด ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ์ด 0.5torr ๋ฏธ๋ง์ธ ๊ฒ์ด ์ค์ํ๋ค๊ณ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์๋ค(์ ์ 5ํธ์ฆ, 10๋ฉด 7ํ ๋ด์ง 15ํ). ์ฆ ๊ณ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ๊ณผ ๊ฒฐํฉ์ํค๋ ๊ฒ์ด ์ค์ํ๋ฉฐ, ํนํ 2์ํ์ด ์ด์์ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ์ 0.5torr ๋ฏธ๋ง์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ์ ๊ฒฐํฉ์ํค๋ ๊ฒ์ด ๋ฐ๋์งํ๋ค๊ณ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์๋ค. ๊ฒฐ๊ตญ ๊ณ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ์ ์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค์๋ ฅ์ด๋ผ๋ ํ๋ผ๋ฏธํฐ์ ๊ฒฐํฉ์ ์ํ์ฌ ์ฝ์ด ์์ค์ ์ค์ผ ์ ์๋ค๋ ๊ฒ์ธ๋ฐ, ์ฝ์ด ์์ค์ด ์ค์ด๋ ๋ค๋ ๊ฒ์ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ์ ์ฆ๊ฐ์ ๋ฐ๋ผ ์ด๋ก ๋น ์ ธ ๋๊ฐ๋ ์์ค์ด ์ค์ด๋ ๋ค๋ ๊ฒ์ ์๋ฏธํ๊ฒ ๋์ด ๊ด์ผ๋ก ๋ณํ๋๋ ์๋์ง๊ฐ ์ปค์ง๊ฒ ๋์ด ๋จํ์ ํจ์จ์ด ์ฆ๊ฐํ๋ค๊ณ ํ ๊ฒ์ด๋ค. ๋ํ ๋๋ฉด 4 ๋ฐ ๋๋ฉด 5์ ์ด์ ๋ํ ๋ฐ๋ช
์ ์์ธํ ์ค๋ช
์ ๊ธฐ์ฌ ๋ด์ฉ์ ๊ณ ๋ คํ๋ฉด, 0.5torr ๋ฏธ๋ง์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ ๋ฐ 2์ํ์ด ์ด์์ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ ๋ฒ์์์ ์ฝ์ด ์์ค์ ๊ฐ์์ํค๊ณ ๋์ ๋ฃจ๋ฉ ์ถ๋ ฅ์ ๋ฌ์ฑํ๊ณ ์ ํ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ํจ๊ณผ๋ฅผ ํ์ธํ ์ ์๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ํนํ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์์ ๊ธฐ์ฌ๋ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ ๋ฐ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ ๊ฐ์ ๋ฒ์๋ ๋ฐ๋ช
์ ์์ธํ ์ค๋ช
์ ์ํ์ฌ ๋ท๋ฐ์นจ๋๊ณ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
๊ณผ ๊ฐ์ ์กฐ๋ช
๊ณตํ๋ถ์ผ์์ ํต์์ ์ง์์ ๊ฐ์ง ์(์ดํ โํต์์ ๊ธฐ์ ์โ๋ผ๊ณ ํ๋ค)๋ผ๋ฉด ๋ฐ๋ช
์ ์์ธํ ์ค๋ช
์ผ๋ก๋ถํฐ ๊ทธ ์๊ด๊ด๊ณ๋ฅผ ์ถฉ๋ถํ ์ ์ ์๋ค๊ณ ํ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก, ์ด์ ๋ฐํ๋ ์๊ณ ์ ์ฃผ์ฅ์ ์ด์ ์๋ค.
๋. ์ฐ์
์ ์คํ ๋ถ๊ฐ๋ฅํ ๋ฐ๋ช
์ธ์ง ์ฌ๋ถ
(1) ์๊ณ ์ ์ฃผ์ฅ
์๊ณ ๋, ์ต์ ์ ์์์ ๋ฐฉ์ ์ด ๊ฐ์๋๋ ๋ฒํผ๊ฐ์ค์์ 0.15torr ์ ๋๋ก์, ์ด ๊ฐ ์ดํ์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค์์ด ์ฃผ์
๋ ๋จํ์ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๊ทผ๋ณธ์ ์ผ๋ก ๋ฐฉ์ ์ด ๊ฐ์๋์ง ์๋๋ค๊ณ ํ ๊ฒ์ธ๋ฐ, ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ 0.5torr ๋ฏธ๋ง์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์์ผ๋ก ๊ธฐ์ฌํ๊ณ ์์ผ๋ฏ๋ก, ๊ทธ ์คํ์ด ๋ถ๊ฐ๋ฅํ๋ค๊ณ ์ฃผ์ฅํ๋ค.
(2) ํ๋จ
๊ทธ๋ฌ๋, ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๊ทธ ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์์ โ์์์ฆ๊ธฐ ๋ฐ ๋ฒํผ๊ฐ์ค๋ฅผ ๋ฐ๋ดํ๋ ํ์ ๋ฃจํ ๊ดํ ๋จํ ์๋ฒ๋กํ๋ฅผ ํฌํจํ๋ ๋ฌด์ ๊ทน๋จํโ๋ผ๊ณ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์์ด ๋ฒํผ๊ฐ์ค๊ฐ ๋จํ ์๋ฒ๋กํ์ ๋ฐ๋ด๋๋ ๊ฒ์ ์ ์ ๋ก ํ๋ฏ๋ก ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์์ด ์กด์ฌํ์ง ์๋ ๊ฒ์ ์ ์ ๋ก ํ ์๊ณ ์ ์ฃผ์ฅ์ ์ด์ ์๋ค(์ ์ 13ํธ์ฆ์ ๊ธฐ์ฌ์ ์ํ๋ฉด ์ ๊ทน๋จํ์์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ์์ํ ์์ ์ฆ๊ธฐ์ ๋ํ์ฌ๋ ๋ฐฉ์ ์ด ๊ฐ์๋จ์ ์ ์ ์๋ค). ๋ฐ๋ผ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ์คํ์ด ๋ถ๊ฐ๋ฅํ ๊ธฐ์ ์ด๋ผ๊ณ ํ ์ ์๊ณ , ์ด์ ๋ฐํ๋ ์๊ณ ์ ์ฃผ์ฅ์ ๋ชจ๋ ์ด์ ์๋ค.
3. ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ์ง๋ณด์ฑ ์ ๋ฌด์ ๋ํ ํ๋จ
๊ฐ. ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ง๋ณด์ฑ ์ ๋ฌด
(1) ๋ชฉ์ ์ ๋๋น
์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๋ฌด์ ๊ทน ๋จํ๋ฅผ ํฌํจํ๋ ์ ๊ธฐ ๋จํ ์ด์
๋ธ๋ฆฌ์ ๊ดํ ๊ฒ์ผ๋ก, ๋์ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ๋ฎ์ ๋ฒํผ ๊ฐ์ค ์๋ ฅ๊ณผ ๊ฒฐํฉ์ํด์ผ๋ก์จ ์ฝ์ด ์์ค์ ์ค์ด๋ฉด์๋ ๋์ ๊ด ์ถ๋ ฅ์ ๊ฐ๋ ๋จํ๋ฅผ ๋ฌ์ฑํ๋ ๊ฒ์ ๋ชฉ์ ์ผ๋ก ํ๋๋ฐ ๋ฐํ์ฌ, ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
์ ๋ฐํ๋ ๋จํ ํ๋ธ์ ์ฑ์์ง ๊ฐ์ค์ ํจ์จ์ ์ธ ๋ฐ๊ด์ ์ด์ฉํ๋ฉฐ ๋ฎ์ ์จ๋์์ ๋์ ์จ๋์ ์ด๋ฅด๋ ํฐ ์จ๋ ๋ฒ์์์ ์ํ๋ ๊ด๋์ ์ ๊ณตํ ์ ์๋ ๊ธด ์๋ช
์ ๋ฌด์ ๊ทน ๋ฐฉ์ ๋จํ๋ฅผ ์ ๊ณตํ๋ ค๋ ๊ฒ์ผ๋ก, ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
์ ์ฝ์ด ์์ค์ ์ค์ด๋ฉด์๋ ๋์ ๊ด ์ถ๋ ฅ์ ๊ฐ๋ ๋จํ๋ฅผ ๋ฌ์ฑํ๊ณ ์ ํ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ๋ชฉ์ ์ ๋ํด ์ธ์ํ์ง ๋ชปํ๊ณ ์์ผ๋ฏ๋ก, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
๊ณผ ๊ทธ ๋ชฉ์ ์ด ์์ดํ๋ค๊ณ ํ ๊ฒ์ด๋ค.
(2) ๊ตฌ์ฑ ๋ฐ ์์ฉํจ๊ณผ์ ๋๋น
(๊ฐ) ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ
์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ โ์์์ฆ๊ธฐ ๋ฐ ๋ฒํผ๊ฐ์ค๋ฅผ ๋ฐ๋ดํ๋ ํ์ ๋ฃจํ ๊ดํ ๋จํ ์๋ฒ๋กํ(12)๋ฅผ ํฌํจํ๋ ๋ฌด์ ๊ทน ๋จํ(10)(์ดํ โ๊ตฌ์ฑ 1โ์ด๋ผ๊ณ ํ๋ค); ์๊ธฐ ๋จํ ์๋ฒ๋กํ(12) ๋๋ ์ ๋ฐฐ์น๋๊ณ ํ๋ผ์ดํธ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ํฌํจํ ๋ณ์๊ธฐ ์ฝ์ด(22)(์ดํ โ๊ตฌ์ฑ 2โ๋ผ๊ณ ํ๋ค); ์๊ธฐ ๋ณ์๊ธฐ ์ฝ์ด(22)์์ ๋ฐฐ์น๋ ์
๋ ฅ ๊ถ์ (30)(์ดํ โ๊ตฌ์ฑ 3โ์ด๋ผ๊ณ ํ๋ค); ๋ฐ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ๊ฐ์ง ๋ฐฉ์ ์ด ์๊ธฐ ๋จํ ์๋ฒ๋กํ(12)์์ ๋ฐ์ํ๋๋ก ์๊ธฐ ์์์ฆ๊ธฐ ๋ฐ ๋ฒํผ๊ฐ์ค์ ์ถฉ๋ถํ ๊ณ ์ฃผํ์ ์๋์ง๋ฅผ ๊ณต๊ธํ๊ธฐ ์ํด ์๊ธฐ ์
๋ ฅ ๊ถ์ ์ ์ ์๋ ๊ณ ์ฃผํ์ ์ ๋ ฅ์(์ดํ โ๊ตฌ์ฑ 4โ๋ผ๊ณ ํ๋ค)์ ํฌํจํ๋ ์ ๊ธฐ ๋จํ ์ด์
๋ธ๋ฆฌ์ ์์ด์, 0.67mbar(0.5torr) ๋ฏธ๋ง์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ ๋ฐ 2์ํ์ด ์ด์์ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ ๊ฒ(์ดํ โ๊ตฌ์ฑ 5โ๋ผ๊ณ ํ๋ค)์ ํน์ง์ผ๋ก ํ๋ ์ ๊ธฐ ๋จํ ์ด์
๋ธ๋ฆฌโ์ ๊ดํ ๊ฒ์ด๋ค.
(๋) ๊ตฌ์ฑ 1
๊ตฌ์ฑ 1์ ๋จํ ์๋ฒ๋กํ๋ ํ์ ๋ฃจํ ๊ดํ ํํ์์ ๋ฐํ์ฌ, ์ด์ ๋์ํ๋ ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ์ ๊ตฌํ ๋จํ๋ก์, ์ ๊ตฌ์ฑ์ ์์ดํ๋ค. ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์์๋ ๋ฐฉ์ ๊ฒฝ๋ก๊ฐ ์๋์ ์ผ๋ก ์์ ์ง๊ฒฝ์ ๊ฐ๊ณ ์๋์ ์ผ๋ก ๊ธด ํ๋ฃจํํ ๋จํ ์๋ฒ๋กํ๋ฅผ ๋ฐ๋ผ ์์ฑ๋์ด์, ๋ฐฉ์ ๊ฒฝ๋ก๋ค์ ๊ฑฐ์ ๋์ผํ ํํ ๋ฐ ๊ธธ์ด๋ฅผ ๊ฐ๋๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
์์๋ ๋ฐฉ์ ๊ฒฝ๋ก๋ง๋ค ํํ ๋ฐ ๊ธธ์ด๊ฐ ์์ดํ๊ณ , ๋จํ์ ์๋ถ๋ถ๊ณผ ์๋ซ๋ถ๋ถ์๋ ๋ฐฉ์ ๊ฒฝ๋ก๊ฐ ๊ฑฐ์ ์์ฑ๋์ง ์๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์์๋ ํ๋ฃจํํ ๋ฐฉ์ ๊ฒฝ๋ก๋ฅผ ๋ฐ๋ผ ํ๋ฃจํํ ๋จํ ์๋ฒ๋กํ ์ ์ฒด์์ ๊ท ์ผํ ๊ด์ด ๋ฐ์๋์ง๋ง, ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
์์๋ ๋จํ์ ์๋ถ๋ถ๊ณผ ์๋ซ๋ถ๋ถ์์๋ ๊ด์ด ๊ฑฐ์ ๋์ค์ง ์์ผ๋ฉฐ ๋จํ๊ฐ ์๋๋ ์ดํ์๋ ๋จํ ๋ด๋ถ์ ์์น๋ง๋ค ์จ๋๊ฐ ๋ฌ๋ผ์ ธ ์์ดํ ํ์ฅ์ ๊ฐ์ง, ์ฆ ์์ดํ ์์์ ๊ฐ์ง ๋ถ๊ท ์ผํ ๊ด์ ๋ฐฉ์ถํ๋ค๋ ๋ฌธ์ ๊ฐ ์๋ค.
์ด์ ๋ํ์ฌ ์๊ณ ๋ ์ผ๋ณธ ํน๊ฐํ 7-94151ํธ์ ํ๋ฃจํํ ๋จํ ์๋ฒ๋กํ๊ฐ ๊ฐ์๋์ด ์์ผ๋ฏ๋ก, ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
๊ณผ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ 1์ ์ฐจ์ด์ ์ ์ฝ๊ฒ ๊ทน๋ณตํ ์ ์๋ค๊ณ ์ฃผ์ฅํ๋ค. ๊ฐ ์ 14ํธ์ฆ์ ์ํ๋ฉด โ์ข
๋จ์ด ์๋ ๋ฐฉ์ ๋ฑ(1)์ ์์์ ์๊ต์ํค๊ณ , ์๊ธฐ ๋ฐฉ์ ๋ฑ(1)์ ๋ฐฉ์ ๋ฑ ์ ๋ฅ๋ฅผ ํ๋ฅด๊ฒ ํ๋๋ก ํ ๋ฌด์ ๊ทน ๋ฐฉ์ ๋ฑ ์ ๋ฑ ์ฅ์น์ ์์ด, ๋ฐฉ์ ๋ฑ(1)์ ์ผ๋ถ์, ๊ฐ๋๊ฒ ํ์ฑ๋ ์ธ๊ด๋ถ(2)๊ฐ ์ค์น๋๊ณ , ์ด ์ธ๊ด๋ถ(2)์ ์๊ธฐ ์์์ ์๋ก๋ฅผ ํ์ฑํ๊ธฐ ์ํ ์ฒ ์ฌ(3)์ด ๋ฐ์ผ๋ก ๊ฐ๊ฒจ์ ธ ์๋โ ๊ตฌ์ฑ์ด ๊ฐ์๋์ด ์์ผ๋, ๋ค์์ ๋ณด๋ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค์๋ ฅ ๋ฐ ์ ๋ฅ๋ฅผ ํน์ ์์น์ ๋ฒ์๋ก ๊ตฌ์ฒดํํ ๊ฒ์ธ๋ฐ, ์ ํนํ๊ณต๋ณด์๋ ์ด์ ๊ดํ ์๋ฌด๋ฐ ๊ฐ์๋ ์์๊ฐ ์๋ค.
(๋ค) ๊ตฌ์ฑ 2
๊ตฌ์ฑ 2๋ ํ๋ผ์ดํธ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ํฌํจํ ๋ณ์๊ธฐ ์ฝ์ด์ธ๋ฐ ๋ฐํ์ฌ, ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
์ ํ๋ผ์ดํธ ์ฝ์ด๋ฅผ ํฌํจํ์ง ์์ผ๋ฏ๋ก, ์ ๊ตฌ์ฑ์ ์์ดํ๋ค.
์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ํ๋ผ์ดํธ ์ฝ์ด๋ฅผ ๊ตฌ๋นํ๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ํ๋ผ์ดํธ ์ฝ์ด์ ์๋ณ ์๊ธฐ์ฅ์ด ์ ๋๋๊ณ , ์ด๋ฌํ ์๋ณ ์๊ธฐ์ฅ์ ์ํด ๋จํ ์๋ฒ๋กํ์ ์ ๊ธฐ์ฅ์ด ์ ๋๋จ์ ๋ฐํ์ฌ, ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
์ ํ๋ผ์ดํธ ์ฝ์ด๋ฅผ ๊ตฌ๋นํ์ง ์์ผ๋ฏ๋ก ๋จํ ์๋ฒ๋กํ์ ๋ด๋ถ ๋ฐ ์ธ๋ถ์ ์ง์ ์๋ณ ์๊ธฐ์ฅ์ด ์ ๋๋๊ณ , ์ ์ฒด ์๊ธฐ์ฅ ์ค ์ผ๋ถ์ ํด๋นํ๋ ๋จํ ์๋ฒ๋กํ์ ๋ด๋ถ ์๊ธฐ์ฅ์ ์ํด ์ ๊ธฐ์ฅ์ด ์ ๋๋๋ค.
(๋ค) ๊ตฌ์ฑ 3, 4
๊ตฌ์ฑ 3์ ์
๋ ฅ ๊ถ์ ์ ํด๋นํ๋ ๊ตฌ์ฑ์ด ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
์ ์ ๋ ์ฝ์ผ(13)์ด๊ณ , ๊ตฌ์ฑ 4์ ๊ณ ์ฃผํ์ ์ ๋ ฅ์์ ํด๋นํ๋ ๊ตฌ์ฑ์ด ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
์ ๊ณ ์ฃผํ ์์ค(14)์ด๋ฏ๋ก ๊ฐ๊ฐ ๋์๋๋ ๊ตฌ์ฑ์ด ๊ฐ์๋์ด ์๋ค.
(๋ผ) ๊ตฌ์ฑ 5 ๋๋น
๊ตฌ์ฑ 5๋ 0.5torr ๋ฏธ๋ง์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ ๋ฐ 2์ํ์ด ์ด์์ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ ๊ตฌ์ฑ์ธ๋ฐ,
1) ๋จผ์ , ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ์ ๊ดํ์ฌ ์ดํด๋ณด๋ฉด, ์์ดํ ๋ฐฉ์ ๊ฒฝ๋ก๋ก ์ธํ์ฌ ํ๋ฃจํํ ๋ฌด์ ๊ทน ๋จํ์ ๊ตฌํ ๋ฌด์ ๊ทน ๋จํ ๋ด๋ถ์์ ์ผ์ด๋๋ ํ์์ ๋ค๋ฅด๊ฒ ๋๊ณ , ๊ฐ์ค์ ๋ฐฉ์ ํ์์ ๋จํ์ ํํ, ๋์์๋ฆฌ, ๋ฐฉ์ ๊ฒฝ๋ก ๋ฑ์ ์ข์ฐ๋์ด, ์ต์ ์ ์กฐ๋ช
์ ๋ฌ์ฑํ๊ธฐ ์ํด ํ์ํ ์๊ฑด๋ค์ด ๋ค๋ฅด๊ฒ ๋๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
์ ๋ค์จ ๊ฐ์ค ์๋ ฅ์ด 0.3 ๋ด์ง 3.0torr๋ผ๋ ๊ธฐ์ฌ๊ฐ ์๊ณ , ๋ค์จ ๊ฐ์ค ์๋ ฅ์ด 0.3torr ๋ฏธ๋ง์ธ ๊ฒฝ์ฐ ๋ฐฉ์ ๊ฐ์๊ฐ ๋น๊ต์ ์ด๋ ต๊ณ , 3.0torr ์ด์์ธ ๊ฒฝ์ฐ ๋ฐฉ์ ๊ฐ์๋ ์ฌ์ฐ๋ ๊ด์ถ๋ ฅ์ด ๋ฎ์์ง๋ค๊ณ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์์ด, ๊ฐ์ค์๋ ฅ์ ๊ณ ์ ๋ ๋ฐฉ์ ๊ฐ์ ๋ฐ ๊ด์ถ๋ ฅ์ ์ํฅ์ด ์๋ค๋ ์ ์ ๊ฐ์๋์ด ์๋ค๊ณ ๋ด์ด ์๋นํ๋ค.
2) ๋ค์์ผ๋ก ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ์ ๊ดํ์ฌ ๋ณด๊ฑด๋, ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ์ ๋ฒ์๋ ํ๋ฃจํํ ๋ฌด์ ๊ทน ๋จํ์ ์ฝ์ด ์์ค์ ์ค์ด๊ธฐ ์ํ์ฌ ์ ํ๋ ๊ฒ์ธ๋ฐ, ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
์๋ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ์ ๋ฒ์์ ๋ํ์ฌ ์๋ฌด๋ฐ ๊ฐ์๊ฐ ์๋ค. ๋ฐ๋ฉด ๊ฐ ์ 7ํธ์ฆ์๋ ๋ฒํผ๊ฐ์ค์๋ ฅ์ด 1์์ 5torr์ด๊ณ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ๊ฐ 0. 25์์ 1.0์ํ์ด์ธ ๋ฌด์ ๊ทน ๋จํ์ ๊ดํ ๊ตฌ์ฑ์ด ๊ฐ์๋์ด ์์ผ๋, ๋น์์๋ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ๋๊ฒ ์ค์ ํ๋ฉด, ๋ฐฉ์ ์ ์์ด ๋ฎ๊ฒ ๋์ด, ๋ฐฉ์ ๊ฒฝ๋ก์ ์ธ์น๋น ๋ฐฉ์ ์ ๊ณ๊ฐ ๋ฎ์์ ธ ๊ด์ด ๋์ค์ง ์๊ฑฐ๋ ๊ด์ถ๋ ฅ ํจ์จ์ด ๋จ์ด์ง๋ค๊ณ ์๊ฐํ์ฌ ์๋์ ์ผ๋ก ๋ฐฉ์ ์ ์์ ๋๊ฒ ์ค์ ํ์ฌ ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ผ๋ก ์ฝ์์์ค์ด ์ฆ๊ฐํ๊ฒ ๋๋ ๋ฌธ์ ๊ฐ ์์๋๋ฐ, ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ๊ฐ ์ 7ํธ์ฆ์์ ๊ฐ์๋ 0.25 ๋ด์ง 1.0๋ณด๋ค ํจ์ฌ ๋์ 2์ํ์ด ์ด์์ผ๋ก ์ค์ ํ๊ณ , ์ด์ ๊ฐ์ด ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ๋๊ฒ ํ ๊ฒ์์ ๋ฐ์ํ ์ ์๋ ๋ฌธ์ ์ ์ ํน์ ์์น์ธ 0.5torr ๋ฏธ๋ง์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค์๋ ฅ์ผ๋ก ํจ์ผ๋ก์จ ์ด์ ๊ฐ์ ๋ฌธ์ ์ ์ ๊ทน๋ณตํ์ฌ ์ฝ์ด ์์ค์ ์ค์ด๊ณ , ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ผ๋ก๋ ์ ์ 11, 12ํธ์ฆ์์ ๋ณด๋ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด ์์
์ ์ผ๋ก ์ฑ๊ณตํ์๋ค๋ ์ ์์ ๊ฐ ์ 7ํธ์ฆ์ ๊ฐ์๋ ๋ฌด์ ๊ทน ๋จํ ์ด์
๋ธ๋ฆฌ์ ๊ตฌ๋ณ๋๋ค.
3) ์๊ณ ๋ ๊ตฌ์ฑ 5์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ ๋ฐ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ์ ์์น๋ ํ์ผ๋ฒ์น์ ๋ฐ๋ฅธ ๊ฒ์ผ๋ก์ ํต์์ ๊ธฐ์ ์๊ฐ ์ ์ ํ ์ ํํ์ฌ ์ค์ํ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก ์ง๋ณด์ฑ์ด ์๋ค๊ณ ์ฃผ์ฅํ๋ค. ์ดํผ๊ฑด๋, ํ์ผ๋ฒ์น์ ๊ณต๊ธฐ ์ค์ 2๊ฐ์ ์ ๊ทน์ ์๋ก ๋ง์ฃผ๋ณด๊ฒ ์ค์นํ๊ณ ์ ๊ทน์ ์ ์์ ๊ฐํ๋ฉด ๊ธฐ์ฒด๋ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ ์ฐ์ฒด์ด๋ฏ๋ก ์ ๋ฅ๊ฐ ํ๋ฅด์ง ์์ง๋ง, ์ ๊ทน ์ฌ์ด์ ์ ์์ ๋์ฌ์ฃผ๋ฉด ๊ณต๊ธฐ์ ์ ์ฐ์ด ํ๊ดด๋์ด ์ ๊ทน ์ฌ์ด์ ๋ถ๊ฝ์ด ๋ฐ์ํ๋ ๋ฐฉ์ ์ด ์ผ์ด๋๊ณ , ์ด ๋ ์จ๋๊ฐ ์ผ์ ํ๋ค๋ฉด ์ ์ฐํ๊ดด๋ฅผ ์ํ์ฌ ์๊ตฌ๋๋ ๋ฐฉ์ ๊ฐ์์ ์์ ๊ธฐ์๊ณผ ์ ๊ทน ์ฌ์ด์ ๊ฑฐ๋ฆฌ์ ๊ณฑ์ผ๋ก ๊ฒฐ์ ๋๋ค๋ ๋ฒ์น์ ๋งํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก์ ์ ๊ทน๋จํ์ ๋ฐฉ์ ๊ฐ์์ ์(์๋์ ์)์ ์ ์ฉ๋๋ ๋ฒ์น์ธ๋ฐ, ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๋ฌด์ ๊ทน๋จํ์ ๊ดํ ๊ฒ์ด๊ณ , ๊ตฌ์ฑ 5์ ๊ฒฝ์ฐ๋ ๋ฐฉ์ ๊ฐ์์ ์์ ๊ดํ ์์น๋ฅผ ํ์ ํ ๊ฒ์ด ์๋๋ฏ๋ก ์ ํ์ผ๋ฒ์น์ผ๋ก๋ถํฐ ํต์์ ๊ธฐ์ ์๊ฐ ์ ์ ํ ์ ํํ์ฌ ๋์ถํ ์ ์๋ ๊ฒ์ด๋ผ๊ณ ํ ์ ์๋ค.
4) ํํธ, ์๊ณ ๋ ๊ฐ ์ 5ํธ์ฆ(ํผ๊ณ ๊ฐ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ์ฌ์ฌ๋จ๊ณ์์ ์ ์ถํ ์๊ฒฌ์)์ ๊ธฐ์ดํ์ฌ ์ฝ์ด ์์ค์ ์ค์ด๊ธฐ ์ํ์ฌ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ ๊ฐ์ ๋์ด๋ ๊ธฐ์ ์ด ๊ณต์ง ๊ธฐ์ ์ด๋ผ๊ณ ์ฃผ์ฅํ๋, ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ์ฌ์ฌ๋จ๊ณ์์ ์ ์ถํ ํผ๊ณ ์ ์๊ฒฌ์(๊ฐ ์ 5ํธ์ฆ)์ ๊ธฐ์ฌ๋ โ๋ณ์๊ธฐ์ ์ฝ์ด ์์ค์ ์ ๋ฅ๊ฐ ๋ฎ์์๋ก ์ฆ๊ฐํ๋ ๊ฒ์ ์ฃผ์ง์ ์ฌ์ค์
๋๋คโ๋ผ๋ ๋ฌธ๊ตฌ๋ง์ผ๋ก ์ฝ์ด ์์ค์ ์ค์ด๊ธฐ ์ํ์ฌ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ ๊ฐ์ ๋์ด๋ ๊ฒ์ด ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ์ฐ์ ๊ถ ์ฃผ์ฅ์ผ ์ด์ ์ ๊ณต์ง๋ ๊ธฐ์ ์ด๋ผ๊ณ ๋จ์ ํ ์ ์๋ค.
5) ๋ํ ์๊ณ ๋, ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ํนํ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์์ ๊ธฐ์ฌ๋ ๊ฐ์ค์ ๋ฐ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ ๊ฐ์ ์๊ณ์ ์๋ฏธ๊ฐ ์๋ค๊ณ ๋ ์ฃผ์ฅํ๋ฏ๋ก ์ด์ ๋ํ์ฌ ์ดํด๋ณด๋ฉด, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๋์ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ๋ฎ์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ๊ณผ ๊ฒฐํฉ์ํจ ๊ฒ์ ๊ธฐ์ ์ ํน์ง์ด ์๋ ๊ฒ์ผ๋ก, ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
์ด ๋์ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ๋ฎ์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ๊ณผ ๊ฒฐํฉ์ํจ๋ค๋ ๊ธฐ์ ์ ์ธ์ ๋ฐ ๊ตฌ์ฑ์ ํฌํจํ๊ณ ์์ง ์์ ์ด์, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ด ์ง๋ณด์ฑ์ ๊ฐ๊ธฐ ์ํ์ฌ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ ๋ฐ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ ๊ฐ์ ์๊ณ์ ์์๋ฅผ ํ์๋ก ํ์ง๋ ์๋ ๊ฒ์ด๊ณ , ๊ฐ์ฌ ์๊ณ์ ์์๊ฐ ํ์ํ๋ค๊ณ ํ ๊ฒฝ์ฐ์๋, ๊ตฌ์ฑ 5์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ ๋ฐ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ ๊ฐ์ ๋ฒ์๋ฅผ ์ดํด๋ณด๋ฉด, ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
๋ช
์ธ์์ ์์ธํ ์ค๋ช
์๋ 0.5torr ๋ฏธ๋ง์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ ๋ฐ 2์ํ์ด ์ด์์ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ๋ ๋์ ๋ฃจ๋ฉ ์ถ๋ ฅ, ๋จ์๋น ๋์ ๋ฃจ๋ฉ, ๋ฎ์ ์ฝ์ด ์์ค ๋ฐ ๊ธด ๋์์๋ช
์ ๋ฐ์์ํค๊ธฐ ์ํด ๊ฒฐํฉ๋ ํ๋ผ๋ฏธํฐ๋ก์ ์ ์ ์ฑ๋ฅ์ ๋ฐ์์ํค๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์๊ณ (์ ์ 5ํธ์ฆ, 8๋ฉด 20ํ ๋ด์ง 9๋ฉด 3ํ), ์ ์ 14ํธ์ฆ์ ํ 1๊ณผ ์ด๋ฅผ ๊ธฐ์ด๋ก ๊ทธ๋ ค์ง ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ์ ์ ๋ ฅ๋ณํํจ์จ ๊ฐ์ ์คํ ๊ทธ๋ํ์ธ ์ ์ 15ํธ์ฆ์ ์ํ๋ฉด, ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ ๊ฐ์ด ๋๋ต 2์ํ์ด ๋ฏธ๋ง์ธ ์ง์ ์์ ์ ๋ ฅ๋ณํํจ์จ์ด ๊ธ๊ฒฉํ ๋จ์ด์ง๊ณ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ ๊ฐ์ด ๋๋ต 2์ํ์ด ์ด์์ธ ๋ฒ์์์ ์ฐ์ํ ์ ๋ ฅ๋ณํํจ์จ์ ๊ฐ์ง์ ์ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ๋ํ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ๊ณผ ์์ธ์ ๋ฐฉ์ฌ ํจ์จ ๊ฐ์ ๊ทธ๋ํ์ธ ์ ์ 16ํธ์ฆ์ ์ํ๋ฉด ๋๋ต 0.5torr ๋ฏธ๋ง์ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ์์ ์ฐ์ํ ์์ธ์ ๋ฐฉ์ฌ ํจ์จ์ ๊ฐ์ง์ ์ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ 5์ ๊ธฐ์ฌ๋ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ ๋ฐ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ ๊ฐ์ ๋ฒ์์์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๋ชฉ์ ๋ฐ ํจ๊ณผ๋ฅผ ๋ฌ์ฑํ๊ธฐ ์ํ ๊ธฐ์ ์ ์์๋ฅผ ๊ฐ๋๋ค๊ณ ํ ๊ฒ์ด๋ค.
(๋ง) ๋๋น๊ฒฐ๊ณผ์ ์ ๋ฆฌ
๊ตฌ์ฑ 1 ๋ฐ ๊ตฌ์ฑ 2์ ๋๋น์์ ๋ณธ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
๊ณผ ๊ตฌ์ฑ ๋ฐ ๋์ ์๋ฆฌ๊ฐ ์์ดํ ๋จํ์ ๊ดํ ๊ฒ์ผ๋ก, ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
์๋ ๋ฒํผ๊ฐ์ค ์๋ ฅ ๋ฐ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ ๊ฐ์ ๋ฒ์๊ฐ ๊ฐ์๋์ด ์์ง ์๋ค. ๋ํ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ์ฐ์ ๊ถ ์ฃผ์ฅ์ผ ์ด์ ์ ๊ณต๊ฐ๋ ์ ํ๊ธฐ์ ์ ํด๋นํ์ง ์๋ ํผ๊ณ ์ ์๊ฒฌ์(๊ฐ ์ 5ํธ์ฆ)์ ๊ธฐ์ฌ๋ ํน์ ๋ฌธ๊ตฌ๋ง์ผ๋ก ์ฝ์ด ์์ค์ ์ค์ด๊ธฐ ์ํ์ฌ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ ๊ฐ์ ๋์ด๋ ๊ฒ์ด ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ์ฐ์ ๊ถ ์ฃผ์ฅ์ผ ์ด์ ์ ๊ณต์ง๋ ๊ธฐ์ ์ด๋ผ๊ณ ๋จ์ ํ ์๋ ์๋ค. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์ด๋ฌํ ๊ตฌ์ฑ์ ์ฐจ์ด๋ก ์ธํ์ฌ ๋์ ๋ฐฉ์ ์ ๋ฅ๋ฅผ ๋ฎ์ ๋ฒํผ ๊ฐ์ค ์๋ ฅ๊ณผ ๊ฒฐํฉ์ํด์ผ๋ก์จ ์ฝ์ด ์์ค์ ์ค์ด๋ฉด์๋ ๋์ ๊ด ์ถ๋ ฅ์ ๊ฐ๋ ๋จํ๋ฅผ ๋ฌ์ฑํ ์ ์๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ํจ๊ณผ๋ ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
์ผ๋ก์๋ ๋ฌ์ฑํ ์ ์๊ณ , ๊ฐ ์ 14ํธ์ฆ ๋๋ ๊ฐ ์ 7ํธ์ฆ์ ๊ฐ์๋ ๋ด์ฉ์ ๊ฒฐํฉํ๋ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๋ง์ฐฌ๊ฐ์ง๋ผ๊ณ ํ ๊ฒ์ด๋ค.
(3) ์๊ฒฐ๋ก
์์์ ๋ณธ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
๊ณผ ๋๋นํ์ฌ ๊ทธ ๋ชฉ์ ๋ฐ ๊ตฌ์ฑ์ด ์์ดํ๊ณ , ์๋ก์ด ์์น๋ ํ์ ํ ํจ๊ณผ๊ฐ ์๋ ๊ฒ์ผ๋ก, ํต์์ ๊ธฐ์ ์๊ฐ ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
์ผ๋ก๋ถํฐ ์ฉ์ดํ๊ฒ ๋ฐ๋ช
ํ ์ ์๋ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก ์ง๋ณด์ฑ์ด ๋ถ์ ๋๋ค๊ณ ํ ์ ์๋ค.
๋. ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 2ํญ ๋ด์ง ์ 15ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ง๋ณด์ฑ ์ ๋ฌด
์ด ์ฌ๊ฑด ์ 2ํญ ๋ด์ง ์ 15ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ข
์ํญ ๋ฐ๋ช
์ผ๋ก์, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ์ ๋ชจ๋ ํฌํจํ๊ณ ์์ผ๋ฏ๋ก, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ง๋ณด์ฑ์ด ์ธ์ ๋๋ ์ด์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 2ํญ ๋ด์ง ์ 15ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ง๋ณด์ฑ๋ ์ธ์ ๋๋ค.
๋ค. ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 16ํญ ๋ฐ ์ 17ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ง๋ณด์ฑ ์ ๋ฌด
์ด ์ฌ๊ฑด ์ 16ํญ ๋ฐ๋ช
์ ํ์๋ฃจํ ๊ดํ ๋จํ ์๋ฒ๋กํ๋ฅผ ๊ตฌ๋นํ๋ ๋ฌด์ ๊ทน ๋จํ๋ฅผ ํฌํจํ๋ ์ ๊ธฐ ๋จํ๋ฅผ ๋์์ํค๊ธฐ ์ํ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๊ดํ ๊ฒ์ผ๋ก, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ 1, ๊ตฌ์ฑ 4 ๋ฐ ๊ตฌ์ฑ 5์ ์ค์ง์ ์ผ๋ก ๋์ผํ ๊ตฌ์ฑ์ ํฌํจํ๊ณ ์์ผ๋ฏ๋ก, ์์์ ๋ณธ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด ๊ตฌ์ฑ 1 ๋ฐ ๊ตฌ์ฑ 5์ ์์ดํ ๊ตฌ์ฑ ๋ฐ ์์ฉํจ๊ณผ๋ฅผ ๊ฐ๋ ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
๊ณผ ๋๋นํ์ฌ, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 16ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ง๋ณด์ฑ์ด ์๋ค๊ณ ํ ๊ฒ์ด๋ค.
์ด ์ฌ๊ฑด ์ 17ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 16ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ข
์ํญ ๋ฐ๋ช
์ผ๋ก์, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 16ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ์ ๋ชจ๋ ํฌํจํ๊ณ ์์ผ๋ฏ๋ก, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 16ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ง๋ณด์ฑ์ด ์ธ์ ๋๋ ์ด์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 17ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ง๋ณด์ฑ๋ ์ธ์ ๋๋ค.
๋ผ. ์๊ฒฐ๋ก
์์์ ๋ณธ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ด์ง ์ 17ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๋ชจ๋ ์ง๋ณด์ฑ์ด ์ธ์ ๋๋ค.
4. ๊ฒฐ๋ก
๊ทธ๋ ๋ค๋ฉด, ์ด์ ๊ฒฐ๋ก ์ด ๊ฐ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ ์ ๋ฒํ๋ฏ๋ก ๊ทธ ์ทจ์๋ฅผ ๊ตฌํ๋ ์๊ณ ์ ์ฒญ๊ตฌ๋ ์ด์ ์์ด ์ด๋ฅผ ๊ธฐ๊ฐํ๊ธฐ๋ก ํ์ฌ ์ฃผ๋ฌธ๊ณผ ๊ฐ์ด ํ๊ฒฐํ๋ค.
[๋ณ์ง ์๋ต]
ํ์ฌ ์์ ์(์ฌํ์ฅ) ์ฐ๋ผ์ฅ ์ด์๊ท
|
|
๋๊ธ 0๊ฐ
๋ก๊ทธ์ธ ํ์๋ฉด, ํ๋ก ๋๊ธ์ ๋ฑ๋กํ์ค ์ ์์ต๋๋ค.
๋ค์ด๋ฒ ๊ฒ์
๋ธ๋ก๊ทธ
์นดํ
๋ด์ค
์น์ฌ์ดํธ
|
|
[ ๋ฒ๊ด/๋๋ฒ๊ด ํ๊ทธ]
|