|
+
-
๋ถ๋งํฌ ์ ์ฅ
[ํ์ ] ํญ์์ฌ๊ฑด
์์ธ๊ณ ๋ฑ๋ฒ์ 2015.12.31 2015๋71398
ใ์ฌ๊ฑด๋ช
ใ
์์๋ถ์น์ธ์ฒ๋ถ์ทจ์ ใ์ ๊ณ ใ
์๊ณ , ํญ์์ธ ์๊ณ 1
์์ธ ์ดํ์๋ต
์์ก๋๋ฆฌ์ธ ๋ณํธ์ฌ1 ใํผ ๊ณ ใ
ํผ๊ณ , ํผํญ์์ธ
๊ทผ๋ก๋ณต์ง๊ณต๋จ ใ์ ์ฌํ๊ฒฐใ
1์ฌ 2013๊ตฌ๋จ51933 ์์ธํ์ ๋ฒ์ ใ๋ณ๋ก ์ข
๊ฒฐใ
2017. 04. 28 ใํ๊ฒฐ์ ๊ณ ใ
2017. 05. 26
ใ์ฃผ๋ฌธใ
์ 1์ฌํ๊ฒฐ์ ์ทจ์ํ๋ค.
ํผ๊ณ ๊ฐ 2012. 4. 12.์๋ก ์๊ณ ์๊ฒ ํ ์์๋ถ์น์ธ์ฒ๋ถ์ ์ทจ์ํ๋ค.
์์ก๋น์ฉ์ ํผ๊ณ ๊ฐ ๋ถ๋ดํ๋ค.
์ฒญ๊ท์น์ง ๋ฐ ํญ์์ทจ์ง
์ฃผ๋ฌธ๊ณผ ๊ฐ๋ค.
ใ์ด์ ใ
1. ๊ธฐ์ด์ฌ์ค
๊ฐ. ์๊ณ ๋ 1984. 3. 28.์ ์ฌ์ฑ์ผ๋ก, 2003. 2. 4. โโโโ ์ฃผ์ํ์ฌ(์ดํ 'โโโโ'๋ผ๊ณ ํ๋ค)์ ์
์ฌํ์ฌ ๋ฐ๋์ฒด โโ์ฌ์
์ฅ์์ โโโโ ๊ณต์ ์คํผ๋ ์ดํฐ ๋ฑ์ผ๋ก ๊ทผ๋ฌดํ๋ค๊ฐ 2005. 2. 28. ํด์ฌํ์๋ค.
๋. ์๊ณ ๋ ํด์ฌ ํ 1๊ฐ์ ์ ๋ ์ง๋ ํ์ธ 2005. 4. 2. ์ค์ ํ์ฌ ๋ณ์์์ ๊ฒ์ฌ๋ฅผ ๋ฐ์๋๋ฐ, ๋น์ ์ฒด์ค๊ฐ์(weight loss), ์๋ณ์ด์(nocturia), ๋ถ์ข
(edema)์ ์ฆ์์ ํ์ธํ์์ผ๋ ์ ํํ ๋ณ๋ช
์ ์ง๋จ๋ฐ์ง ๋ชปํ์๋ค. ๊ทธ ํ 2005. 7.๊ฒฝ๋ถํฐ๋ ์๋ ฅ์ ํ ๋ฑ์ ์ฆ์์, 2008. 6์๊ฒฝ๋ถํฐ๋ ์ผ์ชฝ ํ๊ณผ ๋ค๋ฆฌ ๋ถ์์ ๊ฐ๊ฐ์ ํ ๋ฐ ์์ฝ๊ฐ ๋ฑ์ ์ฆ์์, 2008. 7. 1.๊ฒฝ๋ถํฐ๋ ์ข์ธก ์๋ฉด๋ง๋น ๋ฑ์ ์ฆ์์ ๊ฐ ๋ณด์ด๋ค๊ฐ 2008. 11.๊ฒฝ โโโโ๋ณ์์์ ๋ค๋ฐ์ฑ๊ฒฝํ์ฆ(Multiple Sclerosis, ์ดํ '์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ'์ด๋ผ ํ๋ค)์ ์ง๋จ์ ๋ฐ์๋ค.
๋ค.์๊ณ ๋ 2011. 7. 1. ํผ๊ณ ์๊ฒ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ๋ํ ์์๊ธ์ฌ๋ฅผ ์ ์ฒญํ์์ผ๋, ํผ๊ณ ๋ 2012. 4. 12. "์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ๋ฐ๋ณ์์ธ์ด ๋ช
ํํ์ง ์๊ณ , ๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ์ด ์งง์ผ๋ฉฐ, ์ ๊ธฐ์ฉ์ ๋
ธ์ถ ์ ๋๊ฐ ํ์ธ๋์ง ์์ ์
๋ฌด์ ์๋น์ธ๊ณผ๊ด๊ณ๊ฐ ์ธ์ ๋์ง ์๋๋ค."๋ ์ด์ ๋ก ์ด๋ฅผ ๋ถ์น์ธํ์๋ค(์ดํ '์ด ์ฌ๊ฑด ์ฒ๋ถ'์ด๋ผ ํ๋ค).
๋ผ. ์๊ณ ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฒ๋ถ์ ๋ถ๋ณตํ์ฌ ์ฐ์
์ฌํด๋ณด์๋ณดํ์ฌ์ฌ์ฌ์์ํ์ ์ฌ์ฌ์ฌ์ฒญ๊ตฌ๋ฅผ ํ์์ผ๋ 2013. 1. 17. ๊ธฐ๊ฐ๋์๋ค.
[์ธ์ ๊ทผ๊ฑฐ] ๋คํผ์ด ์๋ ์ฌ์ค, ๊ฐ ์ 1-3ํธ์ฆ(๊ฐ์ง๋ฒํธ ์๋ ๊ฒ์ ๊ฐ์ง๋ฒํธ๋ฅผ ํฌํจํ๋ค. ์ดํ ๊ฐ๋ค), ์ ์ 8ํธ์ฆ์ ๊ฐ ๊ธฐ์ฌ ๋ฐ ๋ณ๋ก ์ ์ฒด์ ์ทจ์ง
2. ๋น์ฌ์์ ์ฃผ์ฅ ๋ฐ ์ด ์ฌ๊ฑด์ ์์
๊ฐ. ๋น์ฌ์์ ์ฃผ์ฅ
1) ์๊ณ ์ ์ฃผ์ฅ ์์ง
์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ์๊ณ ๊ฐ โโโโ ๋ฐ๋์ฒด โโ์ฌ์
์ฅ(์ดํ '์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ'์ด๋ผ ํ๋ค)์์ โโโโ ๊ณต์ ์คํผ๋ ์ดํฐ๋ก ๊ทผ๋ฌดํ๋ฉด์ ๊ฐ๊ด์ก(PR์ก) ๋ฑ ์ ๊ธฐ์ฉ์ ์ ์ง์์ ์ผ๋ก ๋
ธ์ถ๋๊ณ , ๊ต๋๊ทผ๋ฌด, ์์ธ์ ๋
ธ์ถ ๋ถ์กฑ, ๊ณผ๋ก์ ์ง๋ฌด์ ์คํธ๋ ์ค ๋ฑ์ ๊ฒช์ผ๋ฉด์ ๋ฐ๋ณ ๋๋ ์
ํ๋ ๊ฒ์ด๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ๊ณผ ์๊ณ ์ ์
๋ฌด์๋ ์๋น์ธ๊ณผ๊ด๊ณ๊ฐ ์๋ค๊ณ ํ ๊ฒ์์๋ ํผ๊ณ ๊ฐ ์ด๋ฅผ ๋ถ์ธํ์ฌ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฒ๋ถ์ ํ ๊ฒ์ ์๋ฒํ๋ค.
2) ํผ๊ณ ์ ์ฃผ์ฅ ์์ง
์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ๋ฐ๋ณ์์ธ์ด ๋ช
ํํ์ง ์๊ณ , ์๊ณ ์ ๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ๋ ์งง์ผ๋ฉฐ, ์๊ณ ๊ฐ ์ ๊ธฐ์ฉ์ ์ ๋
ธ์ถ๋ ๋น๋์ ์๋ ํ์ธ๋์ง ์์ ๋ฟ ์๋๋ผ, ์๊ณ ์ ์์์ ์ฒญ์ ๋ฐ๊ณ ํผ๊ณ ๋ โโโโโโโโ์ฐ๊ตฌ์์ ์ญํ์กฐ์ฌ๋ฅผ ์๋ขฐํ์๋๋ฐ, 16๋ช
์ ์์ ์ค 13๋ช
์ ์์์ด ์
๋ฌด๊ด๋ น์ฑ์ด ๋ฎ๋ค๊ณ ํ๊ฐํ๊ฑฐ๋(6๋ช
) ์
๋ฌด๊ด๋ น์ฑ์ ํ๋จํ๊ธฐ ์ด๋ ต๋ค๊ณ ํ๊ฐํ๋(7๋ช
) ๋ฑ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ด ์๊ณ ์ ์
๋ฌด์ ์๋น์ธ๊ณผ๊ด๊ณ๊ฐ ์๋ค๊ณ ๋ณด๊ธฐ ์ด๋ ค์ฐ๋ฏ๋ก, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฒ๋ถ์ ์ ๋ฒํ๋ค.
๋. ์์
๊ฒฐ๊ตญ ์ด ์ฌ๊ฑด ์์ ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ด ์๊ณ ์ ์
๋ฌด๋ก ์ธํ์ฌ ๋ฐ๋ณ ๋๋ ์
ํ๋์๋์ง ์ฌ๋ถ, ์ฆ ์๊ณ ์ ์
๋ฌด์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ๊ณผ์ ์๋น์ธ๊ณผ๊ด๊ณ์ ์ธ์ ์ฌ๋ถ์ด๋ค.
3. ์ด ์ฌ๊ฑด ์์ ์ ๊ดํ ํ๋จ
๊ฐ. ๊ด๋ จ ๋ฒ๋ฆฌ
์ฐ์
์ฌํด๋ณด์๋ณดํ๋ฒ ์ 4์กฐ ์ 1ํธ ์์ ์ ์
๋ฌด์ ์ฌํด๋ผ ํจ์ ๊ทผ๋ก์์ ์
๋ฌด์ํ์ค ๊ทธ ์
๋ฌด์ ๊ธฐ์ธํ์ฌ ๋ฐ์ํ ๋ถ์ใ์ง๋ณใ์ ์ฒด์ฅ์ ๋๋ ์ฌ๋ง์ ๋ปํ๋ฏ๋ก ์
๋ฌด์ ์ฌํด ์ฌ์ด์ ์๋น์ธ๊ณผ๊ด๊ณ๊ฐ ์์ด์ผ ํ๊ณ , ์ด ๊ฒฝ์ฐ ๊ทผ๋ก์์ ์
๋ฌด์ ์ฌํด ์ฌ์ด์ ์ธ๊ณผ๊ด๊ณ์ ๊ดํ์ฌ๋ ์ด๋ฅผ ์ฃผ์ฅํ๋ ์ธก์์ ์ฆ๋ช
ํ์ฌ์ผ ํ ๊ฒ์ด๋, ์
๋ฌด์ ์ฌํด ์ฌ์ด์ ์๋น์ธ๊ณผ๊ด๊ณ์ ์ ๋ฌด๋ ๋ณดํต ํ๊ท ์ธ์ด ์๋๋ผ ๋นํด ๊ทผ๋ก์์ ๊ฑด๊ฐ๊ณผ ์ ์ฒด์กฐ๊ฑด์ ๊ธฐ์ค์ผ๋ก ํ์ฌ ํ๋จํ์ฌ์ผ ํ๊ณ , ๋ํ ์ธ๊ณผ๊ด๊ณ์ ์ฆ๋ช
์ ๋์ ๊ดํ์ฌ๋ ๋ฐ๋์ ์ํ์ ใ์์ฐ๊ณผํ์ ์ผ๋ก ๋ช
๋ฐฑํ ์ฆ๋ช
ํ์ฌ์ผ ํ๋ ๊ฒ์ ์๋๊ณ ๊ท๋ฒ์ ๊ด์ ์์ ์ ๋ฐ ์ฌ์ ์ ๊ณ ๋ คํ ๋ ์
๋ฌด์ ์ฌํด ์ฌ์ด์ ์๋น์ธ๊ณผ๊ด๊ณ๊ฐ ์๋ค๊ณ ์ถ๋จ๋๋ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๊ทธ ์ฆ๋ช
์ด ์๋ค๊ณ ํ ๊ฒ์ด๋ค(๋๋ฒ์ 1999. 1. 26. ์ ๊ณ 98๋10103 ํ๊ฒฐ, ๋๋ฒ์ 2015. 6. 11. ์ ๊ณ 2011๋32898 ํ๊ฒฐ ๋ฑ ์ฐธ์กฐ).
๋ฐ๋ผ์ ๊ทผ๋ก์์ ์ง๋ณ์ด ํฌ๊ท์ง๋ณ์ด์ด์ ๊ทธ์ ๊ดํ ์์์ ์๋ฃ๊ฐ ์ถฉ๋ถํ์ง ์๊ณ , ์์
ํ์ฅ์์ ๋ฐ๋ณ์์ธ์ผ๋ก ๊ฑฐ๋ก ๋๋ ์์๋ค๊ณผ ๊ทผ๋ก์์ ์ง๋ณ ์ฌ์ด์ ์ธ๊ณผ๊ด๊ณ๋ฅผ ์ํ์ ใ์์ฐ๊ณผํ์ ์ผ๋ก ๊ท๋ช
ํ๋ ๊ฒ์ด ํ์ฌ์ ์ํ์ ใ์์ฐ๊ณผํ์ ๊ธฐ์ ์์ค์ด๋ ์ฑ๊ณผ์ ๋น์ถ์ด ๋ถ๊ฐ๋ฅํ๊ฑฐ๋ ํ์ ํ ๊ณค๋ํ ๊ฒฝ์ฐ๋ผ๊ณ ํ๋๋ผ๋ ๊ทธ๋ฌํ ์ฌ์ ๋ง์ผ๋ก ๋ง์ฐํ ์๋น์ธ๊ณผ๊ด๊ณ๋ฅผ ๋ถ์ ํ๋ ๊ฒ์ ํ๋นํ์ง ์๊ณ , ํ ๋จ๊ณ์์ ์กฐ์ฌ๊ฐ๋ฅํ ์ํ์ ใ์์ฐ๊ณผํ์ ์ฐ๊ตฌ์ฑ๊ณผ ๋ฑ์ ๋ฐํ์ผ๋ก ํ์ฌ ๊ทผ๋ก์์ ์
๋ฌด ์ ๊ฑด๊ฐ์ํ, ๊ตฌ์ฒด์ ์
๋ฌดํํ, ์ง๋ณ์ ๋ฐ๋ณ์๊ธฐ ๋ฑ์ ๊ณ ๋ คํ๊ณ , ์ฌ๊ธฐ์ ๊ทผ๋ก์์ ์
๋ฌด์ ์ฌํด๋ฅผ ์ ์ํ๊ณ ๊ณต์ ํ๊ฒ ๋ณด์ํจ์ผ๋ก์จ ๊ทผ๋ก์ ๋ณดํธ์ ์ด๋ฐ์งํจ์ ๋ชฉ์ ์ผ๋ก ํ๋ ์ฐ์
์ฌํด๋ณด์๋ณดํ์ ๋์ ์ทจ์ง์ ์ํด๋ก ์ธํ ํน์ํ ์ํ์ ์ ์ ํ๊ฒ ๋ถ์ฐ์์ผ ๊ณต์ ๋ถ์กฐ๋ฅผ ๋๋ชจํ๊ณ ์ ํ๋ ์ฌํ๋ณดํ์ ๋์ ๋ชฉ์ ๋ฐ ์ฌํํํธ์ ๊ด๋
๋ฑ์ ๊ณ ๋ คํ์ฌ ๊ทธ ์ธ๊ณผ๊ด๊ณ์ ์ ๋ฌด๋ฅผ ๊ท๋ฒ์ ๊ด์ ์์ ํ๋จํ์ฌ์ผ ํ ๊ฒ์ด๋ค.
์ด๋ฌํ ๋ฒ๋ฆฌ์ ๋น์ถ์ด ๋ณด๋ฉด, ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ ๋ฑ๊ณผ ๊ฐ์ด ๋ฐ๋ณ์์ธ์ด ๋ช
ํํ๊ฒ ๊ท๋ช
๋์ง ์์ ํฌ๊ท์ฑ ์งํ์ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ํ์ฌ์ ์ํ์ ใ์์ฐ๊ณผํ์ ์ฐ๊ตฌ์ฑ๊ณผ ๋ฑ์ ํตํด ๊ทธ ์ง๋ณ์ ๋ฐ๋ณ ๋๋ ์
ํ์ ์์ธ์ผ๋ก ๊ฑฐ๋ก ๋๋ ์์๋ค์ด ๊ทผ๋ก์์ ์
๋ฌดํ๊ฒฝ์ ์กด์ฌํ๊ณ , ๊ทผ๋ก์๊ฐ ์ ์์ ์ธ ์
๋ฌด์ํ๊ณผ์ ์์ ๊ทธ๋ฌํ ๋ฐ๋ณ์์ธ๋ค์ ๊ฐ์ง๊ฒ ๋์์ผ๋ฉฐ, ๊ทธ ์ด์ ์๋ ๊ทผ๋ก์์๊ฒ ์ง๋ณ์ ์์ธ์ด ๋ ๋งํ ๋ค๋ฅธ ๊ฑด๊ฐ์์ ๊ฒฐํจ์ด๋ ์ ์ ์ ์ธ ์์๊ฐ ๋ฐํ์ง ๋ฐ ์๊ณ , ์
๋ฌด์ํ ์ค ๋๋ ์
๋ฌด์ํ ์งํ์ ๊ทธ๋ฌํ ์ง๋ณ์ ์ฆ์์ด ๋น๋ก์ ๋ํ๋ฌ๋ค๋ฉด ์ผ์ฉ ๊ทผ๋ก์์ ์ฌํด์ ์
๋ฌด ์ฌ์ด์ ์๋น์ธ๊ณผ๊ด๊ณ๋ ์ถ๋จ๋๋ค๊ณ ๋ณด์์ผ ํ ๊ฒ์ด๋ค.
๋. ํ๋จ
1) ์ธ์ ์ฌ์ค
๊ฐ) ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ์์ธ์ ๊ดํ ์ํ์ ใ์์ฐ๊ณผํ์ ์ฐ๊ตฌ ์ฑ๊ณผ
(1) ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ์ค์ถ์ ๊ฒฝ๊ณ ์ ๊ฒฝ์ธํฌ ์์ด(myeline)์ ์์์ ์ ๋ฐํ๋ ์๊ฐ ๋ฉด์ญ์งํ์ธ๋ฐ, ์์ธ์ ์์ง ๋ฐํ์ง์ง ์์์ผ๋ ์๊ฐ ๊ฐ์1)์ด ๋ฐ์ํด ์์ด๊ฐ ์๊ฐ ํญ์ฒด์ ์ํด ํ๊ดด๋๋ค๋ ๊ธฐ์ ๊ณผ ์ธ๋ถ์ ๋
ธ์ถ๋ก ์ ๊ฒฝ์ธํฌ์ ์์์ด ๋ฐ์ํ๊ณ ์ด๋ก ์ธํด ๊ฐ์์ด ์ผ์ด๋ ์์ด๊ฐ ํ๊ดด๋๋ค๋ ๊ธฐ์ ์ด ์ ์๋๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, ์ ์ ์ ์์ธ๊ณผ ํ๊ฒฝ์ ์์ธ์ด ํจ๊ป ์์ฉํ์ฌ ๋ฐ์ํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์๋ ค์ ธ ์๋ค. ์ฐ๋ฆฌ๋๋ผ์์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ์ ๋ณ๋ฅ ์ 10๋ง ๋ช
๋น 3.5๋ช
์ธ๋ฐ, ํ๊ท ๋ฐ๋ณ์ฐ๋ น์ 38.3์ธ์ด๋ฉฐ, 20๋์ ์ ๋ณ๋ฅ ์ 10๋ง ๋ช
๋น 1.4๋ช
์ด๋ค. ์ด์ ๊ฐ์ด ์งํ์ ์์ธ ์์ฒด๊ฐ ๋ถ๋ถ๋ช
ํ๊ณ ์ฐ๊ตฌ๋์์ด ๋ ์ ์๋ ํ์์ ์๊ฐ ์ ํ์ ์ด์ด์ ์ญํ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ ํตํด ํต๊ณ์ ์ผ๋ก ์๋ฏธ ์๋ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋์ถํ๊ธฐ๋ ํ์ค์ ์ผ๋ก ์ด๋ ค์ฐ๋, ์ํ์ ใ์์ฐ๊ณผํ์ ์ฐ๊ตฌ์๋ค์ ํฉ๋ฆฌ์ ์ถ๋ก ์ ํตํด ์๋ ค์ง ํ๊ฒฝ์ ์์ธ์๋ โ Epstein-Barr ๋ฐ์ด๋ฌ์ค ๊ฐ์ผ, โก ํ๋น๋
ธ์ถ ๋ถ์กฑ๊ณผ ๋นํ๋ฏผ D ๊ฒฐํ, โข ์ฝ๋ ์
์ผ๋ก ํก์
ํ๋ ํก์ฐ๊ณผ ๊ฐ์ ํก์ฐ, โฃ ์ ๊ธฐ์ฉ์ ใ๋์ฝใ์ค๊ธ์ ๋
ธ์ถ, โค ์ฒญ์๋
๊ธฐ์ ๋น๋ง, โฅ ๊ต๋๊ทผ๋ฌด(ํนํ 20๋ ์ด์ ์ ์ฒญ์๋
๊ธฐ๋ ๊ต๋๊ทผ๋ฌด ๊ฒฝํ)๊ฐ ์๋ค2).
(2) ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ํ๊ฒฝ์ ์์ธ๋ค์ ๊ดํ ๊ตฌ์ฒด์ ์ฐ๊ตฌ์ฑ๊ณผ๋ค์ <๋ณ์ง1> '๋ค๋ฐ์ฑ ๊ฒฝํ์ฆ(MS)์ ์ง์
์ ์์ธ์ ๋ํ ์ฐ๊ตฌ๋ค'์ ๊ธฐ์ฌ์ ๊ฐ๋ค.
๋) ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์ ์ผ๋ฐ์ ์
๋ฌดํ๊ฒฝ
(1) โโโโ์ ๋ฐ๋์ฒด ์ฌ์
์ฅ์ ํฌ๊ฒ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ๊ณผ โโ์ฌ์
์ฅ์ผ๋ก ๋๋๋๋ฐ, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์์๋ ์จ์ดํผ(Wafer)3)์ ์ ์กฐ, ํ๋ก์ค๊ณ, ๊ฐ๊ณต ๊ณต์ ์ด, โโ์ฌ์
์ฅ์์๋ ์จ์ดํผ๋ฅผ ์นฉ์ผ๋ก ์ ๋จํ๋ ๊ณต์ ๋ฐ ์กฐ๋ฆฝ, ๊ฒ์ฌ ๊ณต์ ์ด ์ด๋ฃจ์ด์ง๋ค.
(2) ์จ์ดํผ ๊ฐ๊ณต ๊ณต์ ์ โ ์จ์ดํผ ํ๋ฉด์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์ฐํ๋ง์ ํ์ฑํ๋ ํ์ฐ(Diffusion) ๊ณต์ , โก ์จ์ดํผ ํ๋ฉด์ ํ๋ก๋ฅผ ๋ง๋๋ ๊ดํํ์(Photolithography) ๊ณต์ 4), โข ์ฐํ๋ง๊ณผ ๊ดํ ๊ณผ์ ์์ ๋ง๋ค์ด์ง ๊น๊ด๋ง์ ์ ๊ฑฐํ๋ ์๊ฐ(Etching) ๊ณต์ , โฃ ์จ์ดํผ ํ๋ฉด์ ์ ๋์ฑ ๋๋ ์ ์ฐ์ฑ ๋ง์ ํ์ฑํ๋ ์ฆ์ฐฉ(Deposition) ๊ณต์ [ํํ์ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ(Chmical Vapor Deposition: CVD)๊ณผ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ(Physical Vapor Deposition: PVD)์ผ๋ก ๋๋๋ค.], โค ๋ฐ๋์ฒด์ ์ ๋์ฑ์ ๋ถ์ฌํ๊ธฐ ์ํด '๋ํํธ'(Dopant)๋ผ๋ ๋ถ์๋ฌผ์ ์ฃผ์
ํ๋ ์ด์จ์ฃผ์
(Ion Implantation) ๊ณต์ , โฅ ์จ์ดํผ ๊ฐ๊ณต ๊ณผ์ ์์ ์์ฑ๋ ์จ์ดํผ ํ๋ฉด์ ์ฐํ๋ง ๋ฑ์ ํํ์ , ๋ฌผ๋ฆฌ์ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก ์ฐ๋งํ๋ ์ฐ๋ง(Chemical Mechanical Polishing: CMP) ๊ณต์ ๋ฑ 6๊ฐ์ ์ธ๋ถ ๊ณต์ ์ผ๋ก ์ด๋ฃจ์ด์ง๋ค.
(3) ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์ 1983๋
์ค๋ฆฝ๋์๊ณ , 9๊ฐ์ ์จ์ดํผ ๊ฐ๊ณต๋ผ์ธ์ด ์์ผ๋ฉฐ, 2011๋
๊ธฐ์ค์ผ๋ก ์ฝ 25,000๋ช
๊ทผ๋ฌดํ๊ณ ์๋ค.
๋ค) ์๊ณ ๊ฐ ๊ทผ๋ฌดํ ์ฅ์์ ๊ตฌ์ฒด์ ์
๋ฌดํ๊ฒฝ
(1) ์๊ณ ๊ฐ ๊ทผ๋ฌดํ ์นดํผ๋ผ์ธ ๊ณต์ ์ ์จ์ดํผ ํ๋ฉด์ ๋ถ์ฐฉํ๋ ๋ฐฐ์ ๋ฌผ์ง์ ๊ธฐ์กด์ ์๋ฃจ๋ฏธ๋์์ ๊ตฌ๋ฆฌ๋ก ๋์ฒดํ์ฌ ์์ฐํ๋ ๊ธฐ์ ์ ์ฐ๊ตฌใ๊ฐ๋ฐํ๋ ๊ณณ์ผ๋ก, ์ํํ๋งค๋ฅผ ์ํ ์์ฐ์ฉ ์จ์ดํผ ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ์ ๊ธฐ์ ๊ฐ๋ฐ์ ์ํ ํ
์คํธ ์จ์ดํผ๋ ํจ๊ป ์์ฐํ๋ ๊ณต์ ์ด์๋ค.
(2) โโโโ ๊ณต์ ์์๋ ์ผ๋ฐ ์์ฐ๋ผ์ธ ๊ณต์ ๊ณผ ๋ฌ๋ฆฌ ์์ ๋ณธ ์จ์ดํผ ๊ฐ๊ณต ๊ณต์ ์ค ์ด์จ์ฃผ์
๊ณต์ (โค)์ ์ ์ธํ ๋๋จธ์ง ๊ณต์ (โ ~โฃ, โฅ ๊ณต์ )์ด ์ข์ ๊ณต๊ฐ์์ ํจ๊ป ์ด๋ฃจ์ด์ก์ผ๋ฏ๋ก, ์จ์ดํผ ๊ฐ๊ณต์ ์ฌ์ฉ๋๋ ๋ชจ๋ ์ค๋น๊ฐ ์๊ท๋ชจ๋ก ์ง์ฝ๋์ด ์์๊ณ , ์ผ๋ฐ ์์ฐ๋ผ์ธ ๊ณต์ ์์ ์ด๋ฏธ ์ฌ์ฉํ๋ ๋
ธํํ ์ค๋น๋ค์ด ๋ฐฐ์น๋์๋ค. ๋ํ ์์ฐ์ฉ ์จ์ดํผ์ ๊ด๋ จ๋ ํํ๋ฌผ์ง ์ด์ธ์ ํ
์คํธ ์จ์ดํผ๋ฅผ ์ํ ์ฝํ ๋ฑ๋ ํจ๊ป ์ฌ์ฉ๋์๋ค.
(3) ํนํ ํ
์คํธ ์จ์ดํผ์ ๊ฒฝ์ฐ ์์
์๋ค์ด ์จ์ดํผ ์์ฐ์ ์ ํฉํ ์ค๊ณ์ ๊ณต์ ์กฐ๊ฑด์ ์ฐพ์๋ด๊ธฐ ์ํ์ฌ ๋งค์์
๋ง๋ค ์ค๊ณ์ ๊ณต์ ์กฐ๊ฑด์ ๋ฌ๋ฆฌ ์ค์ ํด ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๊ธฐ๋กํ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์, ์๋์ผ๋ก ๊ฐ๊ด์ก์ด ํฌ์
๋๋ ์์ฐ์ฉ ์จ์ดํผ์ ๋ฌ๋ฆฌ ์์
์๊ฐ ์ค๋น๋ฅผ ์ด๊ณ ์ง์ ์์ผ๋ก ๊ฐ๊ด์ก์ ๋ํฌํ๊ธฐ๋ ํ์๋ค.
(4) ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์์์ ์ฌ๋์ด ์ฌ๋ฌ ๊ณต์ ์ ์ค๋น๋ฅผ ๋์์ ๋ด๋นํ๋ค๋ณด๋ ๊ฐ๊ด์ก ๊ต์ฒด ๋๋ ๊ฐ๊ด์ก ๋ํฌ ๋ฑ๊ณผ ๊ฐ์ด ์ผ๋ฐ ์์ฐ๋ผ์ธ ๊ณต์ ์์ ํ๋ ฅ์
์ฒด ์ง์์ด๋ ์์ง๋์ด๊ฐ ๋ด๋นํ๋ ์์
๋ค์ ์๊ณ ์ ๊ฐ์ ์คํผ๋ ์ดํฐ๋ค์ด ์ง์ ๋ด๋นํ๊ธฐ๋ ํ์๋ค.
(5) โโโโ ๊ณต์ ์ด ์ด๋ฃจ์ด์ง๋ ์์
์ฅ์ ๋ฏธ์ธ๋จผ์ง์ ์ ์ผ์ ์ฐจ๋จํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ์ฐฝ๋ฌธ์ด ์๋ ๋ฐํ๊ณต๊ฐ์ผ๋ก ๋์ด ์๊ณ , ์ธ๋ถ๊ณต๊ธฐ๊ฐ ๋ฏธ์ธ์
์๋ฅผ ์ฌ๊ณผํ๋ HEPA ํํฐ๋ฅผ ํตํด ๋ค์ด์ ๊ทธ ๊ณต๊ธฐ๊ฐ ๊ณต์ฅ๋ด์์ ๊ณ์ ์ํํ๋ ๊ตฌ์กฐ์ ๋ฐฉ(์ด๋ฅธ๋ฐ ํด๋ฆฐ๋ฃธ)์ผ๋ก ๋์ด ์๋ค. ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ์ ๊ฐ ๊ณต์ ์ ์ด๋ ํ ๊ณต์ ์์ ์ ํด๋ฌผ์ง์ด ๋ฐ์ํ๋๋ผ๋ ๊ทธ๊ฒ์ด ๋ณ๋๋ก ๋ฐฐ์ถ๋จ์ด ์์ด ์์
์ฅ ๋ด์ ๊ณ์ ๋จธ๋ฌผ ์ ๋ฐ์ ์์ด ๊ทธ ๋ฐฉ์ ์๋ ๋ชจ๋ ์์
์๋ค์ด ์งใ๊ฐ์ ์ ์ํฅ์ ๋ฐ์๋ค.
(6) โโโโ์ 2002๋
๋ถํฐ 2005๋
๊น์ง ์ฝ 4๋
๊ฐ ์ด์๋์๊ณ , ์ํ๊ท 3,000๊ฐ ์ ๋์ ์จ์ดํผ๋ฅผ ์์ฐํ์๋ค.
๋ผ) ์๊ณ ์ ์
๋ฌด๋ด์ญ
(1) ์๊ณ ๋ ์ โโโโ ๊ณต์ ์ค์์ 2003. 2.๋ถํฐ 2004๋
์ด๊น์ง๋ ์ฃผ์
๋ฌด๋ก ์ฐ๋ง(CMP) ๊ณต์ 5)๊ณผ ์ธ์ (Clean) ๊ณต์ 6), ๊ธ์๋ฐฐ์ (Metal) ๊ณต์ 7)์ ๋ด๋นํ๊ณ , ๋ณด์กฐ์
๋ฌด๋ก ํํ์ฆ์ฐฉ(CVD)๊ณผ ์ฌ๊ฐ(Etching)์ ๋ด๋นํ๋ค. ๋น์ ์ฐ๋ง ๊ณต์ ์๋ ์ฌ๋ฌ๋ฆฌ(Slury)๋ผ๋ ๋ฐ์๋ฌผ์ง์ด ์ฌ์ฉ๋์์ผ๋ฉฐ, ํํ์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ ์๋ ๋ชจ๋
ธ์ค๋, ํฌ์คํ, ๋๋ณด๋, ์ฌ์ผํ๊ท์ ๊ฐ์ค ๋ฑ์ ์ ํด๋ฌผ์ง ๋ฑ์ด ์ฌ์ฉ๋์๋ค.
(2) ์๊ณ ๋ 2004๋
์ด๋ถํฐ 2005. 2. 28. ํด์ฌํ ๋๊น์ง ์ฃผ์
๋ฌด๋ก ํฌํ (Photo) ๊ณต์ ์ ๋ด๋นํ์๊ณ , ๋ณด์กฐ์
๋ฌด๋ก ๊ฒ์ฌ์
๋ฌด(SAM ๊ฒ์ฌ8), SCOPE ๊ฒ์ฌ9))๋ฅผ ํ์๋ค. ์๊ณ ๋ ๊ตฌ์ฒด์ ์ผ๋ก ๊ฐ๊ด์ก์ด ๋ํฌ๋๋ ๊ธฐ๊ณ๋ฅผ ๋ค๋ฃจ๋ฉด์ ๋ฐ(Run)10)์ ์ ๊ธฐ๊ณ์ ๋ฃ๊ณ ๋นผ๋ ์์
์ ํ์๋ค, ๊ฐ๊ด์ก ๋ํฌ์ค๋น ๋น 4๊ฐ์ ๊ฐ๊ด์ก๋ณ์ด ์ฅ์ฐฉ๋์ด ์์๊ณ , ๊ฐ ๊ฐ๊ด์ก๋ณ๋ง๋ค ๋
ธ์ฆ์ด ๋ฌ๋ ค ์์๋ค. 1์ผ 1ํ ์์ง๋์ด๊ฐ ๊ฐ๊ด์ก๋ณ ๋๊ป์ ์ด๊ณ ๋
ธ์ฆ์ ์ฐ๊ฒฐํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก ๊ฐ๊ด์ก๋ณ์ ๊ต์ฒดํ์๋๋ฐ, ์ฃผ 2~3ํ ์ ๋๋ ์์ง๋์ด๊ฐ ์๋ ์คํผ๋ ์ดํฐ๊ฐ ๊ฐ๊ด์ก๋ณ์ ์ง์ ๊ต์ฒดํ์๋ค. ํฌํ ๊ณต์ ์์ ์ฌ์ฉ๋๋ ํํ๋ฌผ์ง์ ๊ฐ๊ด์ก, ํ์(Develop)์ก, ์๋(Thinner)๊ฐ ์์๋ค. ์๊ณ ๋ ๊ทธ ๋ฐ์๋ IPA, ์์ธํค, ์๋ ๋ฑ์ ์ ๊ธฐ์ฉ์ ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์์
์ฅ์ด๋ ์ค๋น์ ๋ฌป์ ํํ๋ฌผ์ง์ ์ ๊ฑฐํ๋ ์ผ๋ ํ์๋ค.
(3) ํํธ ์จ์ดํผ ์์ฐ์ค๋น์ ๋ฌธ์ ๊ฐ ๋ฐ์ํ ๊ฒฝ์ฐ ๋ชจ๋ ๋ํผ๋ฅผ ํ๊ณ ์์ง๋์ด๊ฐ ํ์ํ ์กฐ์น๋ฅผ ์ทจํ๋ ๊ฒ์ด ์์น์ด์์ง๋ง, ์นดํผ๋ผ์ธ ๊ณต์ ์ ๊ฒฝ์ฐ ๊ธฐ๊ณ๊ฐ ๋
ธํ๋์ด 2~3์ผ์ 1๋ฒ์ฉ ๋ฌธ์ ๊ฐ ๋ฐ์ํ์์ผ๋ฏ๋ก, ๋๋๋ก ์ฌ์ฑ ์คํผ๋ ์ดํฐ๊ฐ ์ง์ ์กฐ์น๋ฅผ ์ทจํ๊ธฐ๋ ํ์๋ค.
(4) ์๊ณ ๋ 4์กฐ 3๊ต๋๋ก ํ๋ฃจ 8์๊ฐ ๊ทผ๋ฌด๋ฅผ ํ์๊ณ , ํ ๋ฌ์ ํ๊ท 6~7์ผ ์ ๋ ํด๋ฌดํ์์ผ๋ฉฐ, ํ ๋ฌ์ 2~3๋ฒ ์ ๋ ์ด๊ณผ๊ทผ๋ฌด๋ฅผ ํ์๋ค.
๋ง) ์๊ณ ๊ฐ ์
๋ฌด ์ค ์ทจ๊ธํ์๊ฑฐ๋ ๋
ธ์ถ๋ ํํ๋ฌผ์ง์ ์ข
๋ฅ์ ์ฑ์ง
์๊ณ ๊ฐ โโโโ ๊ณต์ ์์ ์ทจ๊ธํ ํํ๋ฌผ์ง์ ์ข
๋ฅ์ ์ฑ์ง์ <๋ณ์ง2> 'โโโโ์์ ์ทจ๊ธํ ํํ์ ํ์ ์ฑ๋ถ๋ฌผ์ง' ๊ธฐ์ฌ์ ๊ฐ๊ณ , ํฌํ ๊ณต์ฅ์์ ๋ฐ์ํ๋ ๋ฌผ์ง์ ์ข
๋ฅ์ ์ฑ์ง์ <๋ณ์ง3> 'ํฌํ ๊ณต์ ๋ถ์ฐ๋ฌผ' ๊ธฐ์ฌ์ ๊ฐ์ผ๋ฉฐ, ๊ฐ๊ด์ก ์ฑ๋ถ ๋ฌผ์ง์ ์ข
๋ฅ์ ์ฑ์ง์ <๋ณ์ง4> '๊ฐ๊ด์ก ์ฑ๋ถ ๋ฌผ์ง' ๊ธฐ์ฌ์ ๊ฐ๊ณ , ์๋ ์ ํ์ ๋ฌผ์ง์ ์ข
๋ฅ์ ์ฑ์ง์ <๋ณ์ง5> '์๋ ์ ํ์ ์ฑ๋ถ ๋ฌผ์ง' ๊ธฐ์ฌ์ ๊ฐ๋ค.
๋ฐ) ์๊ณ ์ ๊ฑด๊ฐ์ํ ๋ฑ
์๊ณ ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์์ ๊ทผ๋ฌดํ ๋น์ 18~20์ธ์๊ณ , ์์ฃผ๋ ํก์ฐ์ ํ์ง ์์์ผ๋ฉฐ, ์๊ณ ์ ๊ฐ์กฑ ์ค์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ ๋ฑ์ ์์ ์ฌ๋์ ์๋ค.
์๊ณ ๋ ์์ ๋ณธ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด ํด์ฌ ํ 1๊ฐ์ ์ ๋ ์ง๋ ํ์ธ 2005. 4. 2. ์ค์ ํ์ฌ ๊ทธ๋๋ถํฐ ์๋ ฅ์ ํ, ์ผ์ชฝ ํ๊ณผ ๋ค๋ฆฌ ๋ถ์์ ๊ฐ๊ฐ์ ํ ๋ฐ ์์ฝ๊ฐ, ์ข์ธก ์๋ฉด๋ง๋น ๋ฑ์ ์ฆ์์ ์์ฐจ์ ์ผ๋ก ๋ณด์ด๋ค๊ฐ 2008. 11.๊ฒฝ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ํ์ธ ํ์ ์ ๋ฐ์๋ค.
์ฌ) ์ญํ์กฐ์ฌํ๊ฐ์์ํ ํ๊ฐ๊ฒฐ๊ณผ
์๊ณ ๊ฐ ์ด ์ฌ๊ฑด ์์๊ธ์ฌ ์ ์ฒญ์ ํ์ ํผ๊ณ ๋ โโโโโโโโ์ฐ๊ตฌ์์ ์ญํ ์กฐ์ฌ๋ฅผ ์๋ขฐํ์๋๋ฐ, ์ด 16๋ช
์ ์์์ผ๋ก ์ด๋ฃจ์ด์ง ์ญํ์กฐ์ฌํ๊ฐ์์ํ์ ์ฌ์๊ฒฐ๊ณผ๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ๋ค.
โ ์
๋ฌด๊ด๋ จ์ฑ์ด ๋๋ค๊ณ ๋ณธ ๊ฒฌํด(1์ธ)
์ ๊ธฐ์ฉ์ ๋
ธ์ถ๊ณผ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ ๊ฐ์ ์ฐ๊ด์ฑ ์ฆ๊ฑฐ๊ฐ ์์ผ๋ฏ๋ก ์
๋ฌด๊ด๋ น์ฑ์ด ๋๋ค๊ณ ํ๋จ๋จ.
โก ์
๋ฌด๊ด๋ จ์ฑ์ด ์๋ค๊ณ ๋ณธ ๊ฒฌํด(2์ธ)
์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ๊ณผ ์ง์
์ ์์ธ์ ๋ํ ๋ช
ํํ ๊ท๋ช
์ ๋ถ์กฑํ๋ ํฌ๊ท์งํ์ด๋ผ๋ ์ ๊ณผ ํ์ฌ๊น์ง ๋ฉํ๋ถ์์์ ์ ์๋ ๊ฒฐ๊ณผ, ์ ๊ธฐ์ฉ์ ๋
ธ์ถ๊ฐ๋ฅ์ฑ ๋ฑ์ ์ข
ํฉํ ๋ ์
๋ฌด ๊ด๋ จ์ฑ์ด ์๋ค๊ณ ํ๋จ๋จ.
โข ์
๋ฌด๊ด๋ จ์ฑ์ด ๋ฎ๋ค๊ณ ๋ณธ ๊ฒฌํด(6์ธ)
๋น๋ก ์ ์ ๋ฌธํ์ด๊ธฐ๋ ํ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ์ ๋ฐํ ์ ์๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์๋ ค์ง ์ ๊ธฐ์ฉ์ ์ ๋
ธ์ถ์ด ์์์. ๊ทธ๋ฌ๋ ๊ทธ ๋น๋์ ์์ ํ์ธํ ์ ์๊ณ ์ ๊ธฐ์ฉ์ ์ ์ธ์ฒด์ํฅ์ ๊ฐ์ค์ํฌ๋งํ ์์
์กฐ๊ฑด์ด ์๋๋ฏ๋ก ์
๋ฌด๊ด๋ จ์ฑ์ด ๋ฎ๋ค๊ณ ํ๋จ๋จ(๋ค๋ง ์์ผ๋ก ํฌ๊ท ์ง๋ณ์ ์ ๋ฌธ์์ฌ๊ฐ ํ๊ฐ์ ์ฐธ์ฌํ ์ ์๋๋ก ํ๊ฐ์์ ์ ๋ ๋์
์ ์)
โฃ ์
๋ฌด๊ด๋ จ์ฑ์ ํ๋จ์ด ๋ถ๊ฐ๋ฅํ๋ค๊ณ ๋ณธ ๊ฒฌํด(7์ธ)
๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ์ด 2๋
์ ๋์ด๊ณ , ํ์ฐ๊ตฌ์์๋ ๊ธ์ ๋ฐ ์ ๊ธฐ์ฉ์ ๋ฑ๊ณผ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ๊ณผ์ ๊ด๋ จ์ฑ์ ๋ช
ํํ ๋ฐํ๊ณ ์์ง ๋ชปํ๋ฏ๋ก ์
๋ฌด๊ด๋ จ์ฑ์ ํ๋จํ๊ธฐ ์ด๋ ค์
์) ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ์
๋ฌด๊ด๋ จ์ฑ์ ๊ดํ ์ํ์ ์๊ฒฌ
โ โโ๋ํ๊ต ๋ณด๊ฑด๋ํ์: ๊ธ์
์๊ณ ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ํ์ฌ๊น์ง์ ๊ณผํ์ ์ฐ๊ตฌ์ ์์ค์ ๋ฐ์์ด๋ ์
ํ์ ๊ธฐ์ฌํ ๋จ์์์ธ์ ์ฐพ๊ธฐ๋ ์ด๋ ต์ง๋ง ๋ค์ํ ์์ธ๋ค(๊ต๋๊ทผ๋ฌด๋ก ์ธํ ํ๋น๋
ธ์ถ ๋ถ์กฑ๊ณผ ๋นํ๋ฏผ์ ๋ถ์กฑ, ์ ๊ธฐ์ฉ์ ๋
ธ์ถ, ์คํธ๋ ์ค, ๋ฐ๋ณ ์ฐ๋ น)์ด ๋ณตํฉ์ ์ผ๋ก ์์ฉํ์ฌ ์ด๋ฐใ์
ํ๋์์ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ๋์ ์
๋ฌด๊ด๋ จ์ฑ์ด ์๋ค.
โก โโโโโโ์ํํ: ์ ๋ณด(๊ฐ๋ฅ์ฑ๋ง ์ธ์ )
์ ๊ธฐ์ฉ์ ๋
ธ์ถ์ด ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ๋ฐ์๊ณผ ์ฐ๊ด์ด ์๋ค๋ ์ผ๋ถ ๋ณด๊ณ ๊ฐ ์์ผ๋ฏ๋ก ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ๋ฐ๋ณ์ ์ํฅ์ ์ฃผ์์ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ์๊ณ , ์์ธ์ ๋
ธ์ถ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ๊ณผ ๊ด๋ จ์ด ์๋ค๋ ์ผ๋ถ ๋ณด๊ณ ๊ฐ ์์ง๋ง ๊ทธ ์ ๋์ ์ฐจ์ด๊ฐ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ์ ๋ฐํ ์ ์๋์ง์ ๋ํด์๋ ์ ์ ์๋ค.
โข โโโ๋ํ๊ต โโโโ๋ณ์ ์ง์
ํ๊ฒฝ์ํ๊ณผ: ๊ธ์
ํ์ฌ๊น์ง ์งํ๋ ์ฌ๋ฌ ์ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ์ ์ํ๋ฉด ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ๊ณผ ์๊ณ ์ ์
๋ฌด์์ ์ธ๊ด๊ด๊ณ๋ฅผ ๋ฐํ๊ธฐ๋ ์ด๋ ต๊ณ , ์
๋ฌด๊ด๋ จ์ฑ์ด ์๋ค๊ณ ๋จ์ ์ง์ ์๋ ์๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ์๋ ค์ง ์ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ๊ฐ ๋ถ์กฑํ๋ค๋ ๊ฒ์ด ์
๋ฌด๊ด๋ จ์ฑ์ด ๋ฎ๋ค๋ ์๋ฏธ๋ก ์ง๊ฒฐ๋์ด์๋ ์ ๋๋ค. ํ์ฌ๊น์ง ์๋ ค์ง ์ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ๋ง์ผ๋ก ์
๋ฌด๊ด๋ จ์ฑ์ ํ๋จํด์ผ ํ๋ค๋ฉด, ์๊ณ ์๊ฒ ํ์ธ๋๋ ์ ๊ธฐ์ฉ์ ๋
ธ์ถ, ๊ต๋๊ทผ๋ฌด์ ์์ธ์ ๋
ธ์ถ ๋ถ์กฑ, ์ง๋ฌด ์คํธ๋ ์ค ๋จ๋
์ผ๋ก๋ ์
๋ฌด์์ ๊ด๋ จ์ฑ์ด ์๋ค๊ณ ํ๊ธฐ ์ด๋ ค์ฐ๋, ์ด๋ค ์์ธ์ด ํจ๊ป ์กด์ฌํ์๋ ์ , ์ด๋ค ์์ธ์ด ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ์ํ์ ์ฆ๊ฐ์ํค๋ ๊ธฐ์ , 20์ธ ์ด์ ์ ๊ต๋๊ทผ๋ฌด๋ฅผ ์์ํ ์ , ์๋ ค์ง ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ์ ๋ณต๊ธฐ ๋ฑ์ ๊ฐ์ํ๋ฉด ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ๊ณผ ์๊ณ ์ ์
๋ฌด์์ ๊ด๋ จ์ฑ์ด ์๋ค๊ณ ํ๋จํ๋ ๊ฒ์ด ํ๋นํ๋ค.
โฃ โโ์๋ฃ์ ์ ๊ฒฝ๊ณผ: ์ ๋ณด(๊ฐ๋ฅ์ฑ๋ง ์ธ์ )
์ ๊ธฐ์ฉ์ ๋
ธ์ถ๊ณผ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ ์ฌ์ด์ ๊ด๋ จ์ด ์์ ๊ฒ์ผ๋ก ์ถ์ ๋๋, ๋ค๋ง ๊ธฐ์กด ์ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ๋ค์ด ์ผ๊ด์ฑ์ด ์๊ณ ์ฐ๊ตฌ๋ฐฉ๋ฒ ๋ฉด์์๋ ํธํฅ ๋ฑ์ ๋ฌธ์ ๊ฐ ์์ด์ ๊ทธ ์ฐ๊ด์ฑ์ ๋จ์ ํ๋ ๊ฒ์๋ ์์ง๊น์ง ํ๊ณ๊ฐ ์๋ค. ์๊ณ ๊ฐ ์ ๊ธฐ์ฉ์ ์ ๋
ธ์ถ๋ ๊ฒฝ๋ ฅ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ๋ฐ๋ณ์ ์ํฅ์ ์ฃผ์์ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ์๋ค.
โค โโโโโ๋ํ๊ต ์ฐ์
๋ณด๊ฑดํ๊ณผ: ๊ธ์
์๊ณ ์ ๊ฒฝ์ฐ ํ์ฌ์ ๊ณผํ์์ค์์ ์ ์๋ฏธํ๊ฒ ์ฃผ์ฅ๋๊ณ ์๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ์ฆ๊ฐ์ํค๋ ๋ํ์ ์ธ ํ๊ฒฝ์์ธ๋ค ์ค 3๊ฐ์ง(ํ๋น ๋
ธ์ถ ๋ถ์กฑ, ์ฒญ์๋
๊ธฐ ๊ต๋๊ทผ๋ฌด, ์ ๊ธฐ์ฉ์ ๋
ธ์ถ)๊ฐ ์
๋ฌด์กฐ๊ฑด์ ์ํจ์ด ๋ถ๋ช
ํ๋ฏ๋ก, ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ์๊ณ ์ ์
๋ฌด์ ๊ธฐ์ธํ์์์ ๋ถ์ ํ ์ ์๋ค.
์) ๊ทธ ๋ฐ์ ์ฌ์
(1) โโโโ LCD ์ฌ์
์ฅ๊ณผ ๋ฐ๋์ฒด ์ฌ์
์ฅ์์ ๊ทผ๋ฌดํ ์ฌ๋ ์ค ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ด ๋ฐ๋ณํ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ฐํ์ง ์ฌ๋์ ์๊ณ ๋ฅผ ํฌํจํ์ฌ ์๋ ํ ๊ธฐ์ฌ์ ๊ฐ์ด 4๋ช
์ ์ฌ์ฑ์ด๋ค.
์๋ฒ |
์ด๋ฆ(์ถ์์ฐ๋) |
์ฌ์
์ฅ(์ ํ/๊ณต์ ) |
๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ |
1 |
์์ธ1(1980๋
์) |
๊ธฐํฅ(LCD/ํ
์๋ ๋ฑ) |
1997.6.~2000.6. |
2 |
์์ธ2(1984๋
์) |
์ฒ์(LCD/ํจ๋๊ฒ์ฌ, ๋ชจ๋1ํํธ) |
2002.11.~2007.2. |
3 |
์์ธ3(1980๋
์) |
๊ธฐํฅ(๋ฐ๋์ฒด/๋ํจ์ , ํด๋ฆฐ) |
1997.7.~2005.7. |
4 |
์๊ณ (1984๋
์) |
๊ธฐํฅ(๋ฐ๋์ฒด/ํฌํ , ํด๋ฆฐ) |
2003.2.~2005.2. |
(2) ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์ ๋ํ 2004๋
์๋ฐ๊ธฐ ์์
ํ๊ฒฝ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ ์๊ณ ๊ฐ ๊ทผ๋ฌดํ โโโโ์ ํฌํ ๊ณต์ ์์ ํผํฉ์ ๊ธฐ์ฉ์ ๊ฐ 'Trace(๋ถ์๊ฒฐ๊ณผ ์ซ์๋ก ํํํ ์ ์๋ ๋ฏธ๋ฏธํ ์์ค์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ํํ)'๋ก ์ธก์ ๋์๊ณ , WET ๊ณต์ ์์๋ ํผํฉ์ ๊ธฐ์ฉ์ ๊ฐ 0.0045๋ก ์ธก์ ๋์ด ๋
ธ์ถ๊ธฐ์ค์น 1.216๋ณด๋ค ๋ฎ์๋ค.
(3) โโ๋ํ๊ต ์ฐ์
ํ๋ ฅ๋จ์ด 2009. 6.๋ถํฐ 2009. 10.๊น์ง ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์ ์ ํด์ธ์ ๋
ธ์ถํ๊ฐ๋ฅผ ํ์๋๋ฐ, ๋น์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์ ์ค์น๋ ๊ฐ์ค๋์ถ ๊ฐ์ง์์คํ
์๋ ๋ด์ญ์ ๋ถ์ํ ๊ฒฐ๊ณผ์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด, 6๊ฐ์์ ์ด 46๋ฒ์ ๊ฒฝ๋ณด๊ฐ ๋ฐ์ํ๋๋ฐ, ๊ทธ ์ค PM(์ค๋น์ ์งใ๋ณด์์์
)์ผ๋ก ์ธํ ๊ฒฝ๋ณด๊ฐ ๋ง์๊ณ , ์ผ๋ถ ๋
์ฑ ๋ฌผ์ง์ ๊ฒฝ์ฐ ๋
ธ์ถ๊ธฐ์ค์ ํจ์ฌ ์ด๊ณผํ ์ ๋๋ก ๋
ธ์ถ๋์์์๋ ์ ์ฌ์
์ฅ์์ ํ์ฅ๊ทผ๋ก์๋ค์ ๋ํผ์ํค์ง ์์ ์ฌ์ค์ด ๋๋ฌ๋ฌ๋ค.
(4) ์ฐ์
์์ ๋ณด๊ฑด๊ณต๋จ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์ ๋ํ์ฌ 2013. 4. 1.๋ถํฐ 10์ผ๊ฐ ์์ ๋ณด๊ฑด์ง๋จ์ ์ค์ํ์๋๋ฐ, ๋น์ ์ง๋จ๊ฒฐ๊ณผ์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด "์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์ ์์ ๊ต์ก์ด ํ์์ ์ผ๋ก ์ด๋ฃจ์ด์ ธ ์์ ๋ณด๊ฑด ๋ด๋น์์กฐ์ฐจ ๊ณต์ ์์ ๊ด๋ฆฌ์ ๋ํ์ฌ ์ ์์ง ๋ชปํ๊ณ , ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์ ์ ํด๊ฐ์ค๋ฅผ ์ค์ธ๋ก ๋ฐฐ์ถ์ํค๋ ์ค๋น๊ฐ ์์ผ๋ฉฐ, ์ ํด๋ฌผ์ง์ ๋จ๊ธฐ๊ฐ ๊ณ ๋๋๋ก ๋
ธ์ถ๋ ์ ์๋ ์์
์ ๋ํ ๊ด๋ฆฌ๊ฐ ์ ๋๋ก ๋์ด ์์ง ์๋ค."๋ผ๋ ๋ด์ฉ์ด ์ง์ ๋์ด ์๋ค11).
[์ธ์ ๊ทผ๊ฑฐ] ๋คํผ ์๋ ์ฌ์ค, ๊ฐ ์ 1, 4-6, 8, 10, 14, 21, 23, 26-28, 31ํธ์ฆ, ์ ์ 3-9, 11ํธ์ฆ์ ๊ฐ ๊ธฐ์ฌ, ์ 1์ฌ๋ฒ์์ โโโ๋ํ๊ต โโโโ๋ณ์์ฅ, โโ์๋ฃ์์ฅ์ ๋ํ ๊ฐ ์ง๋ฃ๊ธฐ๋ก๊ฐ์ ์ดํ๊ฒฐ๊ณผ, ์ 1์ฌ๋ฒ์์ โโโโโโ์ํํ์ ๋ํ ์ฌ์ค์กฐํ๊ฒฐ๊ณผ, ์ด ๋ฒ์์ โโโโโ๋ํ๊ต ์ฐ์
๋ณด๊ฑดํ๊ณผ์ ๋ํ ์ฌ์ค์กฐํ๊ฒฐ๊ณผ, ๋ณ๋ก ์ ์ฒด์ ์ทจ์ง
2) ๊ตฌ์ฒด์ ํ๋จ
์ ์ธ์ ์ฌ์ค์ ์ํ์ฌ ์ ์ ์๋ ๋ค์์ ์ฌ์ ๋ฑ์ ์ ๋ฒ๋ฆฌ์ ๋น์ถ์ด ๋ณด๋ฉด, ์๊ณ ์ ์
๋ฌด๋ก ์ธํ์ฌ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ด ๋ฐ๋ณํ์๊ฑฐ๋ ๊ธฐ์กด์ ์ง๋ณ์ด ์ ์์ ์ธ ์งํ์๋ ์ด์์ผ๋ก ๊ธ๊ฒฉํ๊ฒ ์
ํ๋์๋ค๊ณ ์ธ์ ๋๋ฏ๋ก, ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ๊ดด ์
๋ฌด์๋ ์๋น์ธ๊ณผ๊ด๊ณ๊ฐ ์ธ์ ๋๋ค๊ณ ํ ๊ฒ์ด๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ด์ ๋ค๋ฅธ ์ ์ ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฒ๋ถ์ ์๋ฒํ์ฌ ์ทจ์๋์ด์ผ ํ๋ค.
๊ฐ) ํ์ฌ์ ์ํ์ ใ์์ฐ๊ณผํ์ ๊ธฐ์ ์์ค์ ์ํ๋ฉด, ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ๋ฐ๋ณ์์ธ์ผ๋ก ์ ์ ์ ์์ธ๊ณผ ํ๊ฒฝ์ ์์ธ์ด ํจ๊ป ๊ฑฐ๋ก ๋๊ณ ์์ง๋ง, <๋ณ์ง1> '๋ค๋ฐ์ฑ๊ฒฝํ์ฆ(MS)์ ์ง์
์ ์์ธ์ ๋ํ ์ฐ๊ตฌ๋ค'์ ๊ธฐ๋ก๋ ํ์-๋์กฐ๊ตฐ ์ฐ๊ตฌ, ์ฝํธํธ ์ฐ๊ตฌ, ๋ฉํ๋ถ์ ์ฐ๊ตฌ์ ๋ด์ฉ๊ณผ ์์ ์ธ์ ํ ์ํ์ ์๊ฒฌ ๋ฑ์ ์ข
ํฉํด ๋ณด๋ฉด, ์์ ๋ณธ 6๊ฐ์ง ํ๊ฒฝ์ ์์ธ์ ๋
์์ ์ผ๋ก ๋๋ ์ ์ ์ ์์ธ๊ณผ ํจ๊ป ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ๋ฐ๋ณ ๋๋ ์
ํ์ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น๋ค๊ณ ์ธ์ ๋๋ค.
๋) ๋ํ ์ 6๊ฐ์ง ํ๊ฒฝ์ ์์ธ๊ณผ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ์ธ๊ณผ๊ด๊ณ๋ฅผ ๊ฒํ ํจ์ ์์ด์๋ ์ 6๊ฐ์ง ํ๊ฒฝ์ ์์ธ ์ค ์ด๋ ํ๋์ ์์ค์ด ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ๋ฐ์์ํค๋๋ฐ ์ถฉ๋ถํ์๋์ง ์ฌ๋ถ๋ง์ ๊ฒํ ํ ๊ฒ์ด ์๋๋ผ ์ 6๊ฐ์ง์ ํ๊ฒฝ์ ์์ธ์ ๋ณตํฉ์ ์ผ๋ก ๊ณ ๋ คํ์ฌ์ผ ํ๋๋ฐ, ์๊ณ ์ ๊ฒฝ์ฐ ๋ค์์ ์์ธํ ์ธ๊ธํ๋ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์ ๊ทผ๋ฌดํ๋ฉด์ ์ 6๊ฐ์ง ์๊ฑด ์ค ์ต์ 3๊ฐ์ง ์ด์์ ์์ธ(โ ํ๋น๋
ธ์ถ ๋ถ์กฑ์ผ๋ก ์ธํ ๋นํ๋ฏผ D ๊ฒฐํ, โก ์ ๊ธฐ์ฉ์ ๋
ธ์ถ, โข 20๋ ์ด์ ์ ๊ต๋๊ทผ๋ฌด)์ ๊ฐ์ง๊ณ ์์๊ณ , ๋น๋ก ์ ๊ฐ์ฒด ์๊ฑด ์์ค์ด ๋
์์ ์ผ๋ก ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ๋ฐ๋ณ์ ์ผ์ผํฌ ์ ๋๋ ์๋์๋ค๊ณ ํ๋๋ผ๋ ์ ์ด๋ ๊ทธ๋ฌํ ์์ธ๋ค์ด ํฉ์ณ์ ธ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ๋ฐ๋ณ ๋๋ ์
ํ๋ฅผ ์ผ์ผํฌ ์ ๋๋ ๋์๋ค๊ณ ๋ณด์ฌ์ง๋ค12).
๋ค) ์๊ณ ๊ฐ ๊ทผ๋ฌดํ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์ ์์
๊ณต์ ์ด ํ์๋จ์ผ๋ก์จ ์ด ์ฌ๊ฑด ์์
์ฅ์์์ ์ ํด๋ฌผ์ง ๋
ธ์ถ ์ฌ๋ถ๋ ๊ทธ ๋
ธ์ถ๋์ ๋ํ์ฌ ์ด๋ฅผ ์ฌํ์ ์ผ๋ก ํ์ธํ๋ ๊ฒ์ด ํ์ค์ ์ผ๋ก ์ด๋ ต๋ค๊ณ ํ๋๋ผ๋, ์์ ๋ณธ ์ธ์ ํ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด ์์
์ฅ ๋ด์์ ๋ฐ์ํ ์ ํดํํ๋ฌผ์ง์ด ์ธ๋ถ๋ฌ ๋น ์ ธ๋๊ฐ๊ธฐ ์ด๋ ค์ด ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์ ๊ตฌ์กฐ์๋ค๊ฐ ์ข์ ๊ตฌ์กฐ์๋ค๊ฐ ์ข์ ๊ณต๊ฐ์ ์ฌ๋ฌ ๊ณต์ ์ ์ค๋น๊ฐ ๋ถ์ด ์์ด ๊ฐ์ ์ ์ผ๋ก ์ ํดํํ ๋ฌผ์ง์ ๋
ธ์ถ๋ ์ํ์ด ์ปธ๋ ์
๋ฌดํํ, ์๊ณ ์ ์์
์ฅ์ ์ฌ์ฉ๋ ๋ค์ํ ์ ๊ธฐ์ฉ์ ์ ๊ทธ ์ฑ๋ถ ๋ฌผ์ง์ ์ธ์ฒด์ ํด์ฑ, ์๊ณ ์ ๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ ๋์ ์ด๋ฃจ์ด์ก๋ ์จ์ดํผ ์์ฐ๋ ๋ฑ์๋ค๊ฐ ์๊ณ ์ ํจ๊ป ๊ทผ๋ฌดํ์๋ ๋๋ฃ ์์ธ4์ ์ง์ , โโ๋ํ๊ต ์ฐํํ๋ ฅ๋จ, ์ฐ์
์์ ๋ณด๊ฑด๊ณต๋จ์ด ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์ ๋ํ์ฌ ์ฌํ์ ์ผ๋ก ์ค์ํ ๊ฐ ์ง๋จ๊ฒฐ๊ณผ ๋ฑ์ ๋ํ์ฌ ๋ณด๋ฉด, ์๊ณ ๊ฐ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์ ๊ทผ๋ฌดํ๋ฉด์ <๋ณ์ง2> ~ <๋ณ์ง5> ๊ธฐ์ฌ์ ๊ฐ ์ ํด๋ฌผ์ง์ ์๋นํ ์ ๋ ๋
ธ์ถ๋์๋ค๊ณ ๋ด์ด ์๋นํ๋ค(2004๋
์์
ํ๊ฒฝ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ์ ๋ฐ๋ฅด๋ฉด ์ ๊ธฐ์ฉ์ ๋๋ ์ ํด๋ฌผ์ง ๋
ธ์ถ ์ ๋๊ฐ ๋ฏธ์ฝํ ๊ฒ์ผ๋ก ๊ธฐ์ฌ ๋์ด ์์ผ๋, ์ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ ์๊ณ ๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ ์ค ๋จ 1ํ์ ๊ฑธ์ณ ์กฐ์ฌ๋ ๊ฒ์ด์ด์ ๊ทธ ์ฆ๋ช
๋ ฅ์ด ํฌ์ง ์์ ๋ฟ ์๋๋ผ, ๋น์ ์ธก์ ํ ๋ฌผ์ง์ ์ข
๋ฅ๋ ๋ถ์ฐ, ์ง์ฐ ๋ฑ 8๊ฐ ๋ฌผ์ง์ ๋ถ๊ณผํ์ฌ ์ ์ฆ๊ฑฐ๋ง์ผ๋ก ์์์ ์ธ์ ์ ๋ค์ง๊ธฐ์ ๋ถ์กฑํ๋ค).
๋ผ) ์๊ณ ์ฆ์์ ๋ฐํ ๊ฒฝ๊ณผ ,์น๋ฃ์ ๊ฒฝ์ ๋ฑ์ ๋น์ถ์ด ๋ณผ ๋ ์๊ณ ๋ ์ ์ด๋ ํด์ง 1๋ฌ ํ์ธ 2005๋
. 4. 2.๊ฒฝ์๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ด ๋ฐ๋ณํ์๋ค๊ณ ์ธ์ ๋๊ณ , ์ฌ๊ธฐ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ์ ๋ณต๊ธฐ13) ๋ฑ์ ๊ณ ๋ คํ์ฌ ๋ณด๋ฉด, ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ๊ณผ ์๊ณ ๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ๊ณผ์ ์๊ธฐ์ ๋ฐ์ ์ฑ๋ ๋๋ํ ์ธ์ ๋๋ค14).
๋ง) ์๊ณ ๋ ๋ง 18์ธ์ ์ด๋ฆฐ ๋์ด์ ์
์ฌํ์ฌ ๋ฐํ๋ ์์
๊ณต๊ฐ์์ ๊ต๋๊ทผ๋ฌด, ์ผ๊ฐ๊ทผ๋ฌด ๋ฑ์ ์ง์ํจ์ผ๋ก์จ ์๋น ๊ธฐ๊ฐ ์์ธ์ ๋
ธ์ถ ๋ถ์กฑ์ผ๋ก ์ธํ์ฌ ๋ฉด์ญ์ฒด๊ณ์ ์ํฅ์ ์ค ์ ์๋ ๋นํ๋ฏผ D์ ํฉ์ฑ์ด ๊ฐ์ํ์์ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ณด์ธ๋ค.
๋ฐ) ์ฐ๋ฆฌ๋๋ผ์์์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ์ ๋ณ๋ฅ (10๋ง ๋ช
๋น 3.5๋ช
), ํ๊ท ๋ฐ๋ณ์ฐ๋ น(38.3์ธ), 20๋์ ์ ๋ณ๋ฅ (10๋ง ๋ช
๋น 1.4๋ช
)15) ๋ฑ์ ๋น์ถ์ด ๋ณด์๋, ์๊ณ ์ ๋ฐ๋ณ ์๊ธฐ๊ฐ ํ๊ตญ์ธ์ ํ๊ท ๋ฐ๋ณ ์ฐ๋ น์ ๋นํด ์๋์ ์ผ๋ก ์ด๋ฅด๊ณ , ํนํ ์์ ๋ณธ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด โโโโ ๋ฐ๋์ฒด ์ฌ์
์ฅ ๋ฐ LCD ์ฌ์
์ฅ์์ ์คํผ๋ ์ดํฐ ์
๋ฌด๋ฅผ ์ํํ ์ ์ค ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ด ๋ฐ๋ณํ ์ฌ๋์ด ์๊ณ ๋ฅผ ํฌํจํ์ฌ 4๋ช
16)์ ์ด๋ฅด๋ ์ ๊น์ง ๊ณ ๋ คํด ๋ณด๋ฉด, ์์ ๋ณธ ์
๋ฌดํ๊ฒฝ์ด ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ์ ๋ฐํ์๊ฑฐ๋ ์ ์ด๋ ๊ทธ ๋ฐ๋ณ์ ์ ์์ ์ธ ์๋ ์ด์์ผ๋ก ๋นจ๋ฆฌ ์งํ์์ผฐ๋ค๊ณ ์ธ์ ๋๋ค.
์ฌ) ์๊ณ ๊ฐ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์์ ์ํํ ์ ์
๋ฌด ์ธ์๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ๋ฐ๋ณ์ ๋ถ๋ฌ์ฌ ๋งํ ๊ฐ์กฑ๋ ฅ ๋ฑ์ ์ ์ ์ ์์ธ์ด๋ ๋ค๋ฅธ ํ๊ฒฝ์ ์์ธ์ด ํ์ธ๋์ง ์๋๋ค.
์) ์์ ๋ณธ 5๊ฐ ๊ธฐ๊ด์ ์ํ์ ์๊ฒฌ ์ค 3๊ฐ ๊ธฐ๊ด์ด ์๊ณ ์ ์
๋ฌด์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ ์ฌ์ด์ ์๋น์ธ๊ณผ๊ด๊ณ๋ฅผ ๊ธ์ ํ๊ณ ์๊ณ , 2๊ฐ ๊ธฐ๊ด๋ ๊ทธ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ ๋ถ์ ํ์ง ์๊ณ ์์ผ๋ฉฐ, โโโโโโโโ์ฐ๊ตฌ์ ์์ ์ญํ์กฐ์ฌํ๊ฐ์์ํ์ ์ฌ์๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ณด๋๋ผ๋ ์
๋ฌด๊ด๋ จ์ฑ์ ๋ฎ๊ฒ ๋ณธ ๋น์จ์ ์ ์ฒด ์์ ์๊ฒฌ ์ค ์ฝ 37% ์ ๋(6/16)์ ๋ถ๊ณผํ, ์ฝ 19%(3/16)๋ ์
๋ฌด๊ด๋ น์ฑ์ ๊ธ์ ํ๊ณ , ๋๋จธ์ง ์ฝ 44% ์ ๋๋ ๋ฐ์๊ธฐ์ ์ ๋ถ๋ช
ํ์ฑ์ ์ด์ ๋ก ํ๋จ๋ถ๊ฐ์ ์๊ฒฌ์ ๊ฐ์งํ ๊ฒ์ ๋ถ๊ณผํ๋ฏ๋ก, ๊ทธ๋ฌํ ์ฌ์ ๋ง์ผ๋ก ์ ์๋ฃ๊ธฐ๊ด๋ค์ ๊ฐ์ ์๊ฒฌ์ ๋ฐฐ์ฒํ๊ธฐ์ ๋ถ์กฑํ๋ค.
4. ๊ฒฐ๋ก
๊ทธ๋ ๋ค๋ฉด ์๊ณ ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฒญ๊ตฌ๋ ์ด์ ์์ด ์ด๋ฅผ ์ธ์ฉํ์ฌ์ผ ํ ๊ฒ์ด๋ค. ์ 1์ฌํ๊ฒฐ์ ์ด์ ๊ฒฐ๋ก ์ ๋ฌ๋ฆฌํ์ฌ ๋ถ๋นํ๋ฏ๋ก, ์๊ณ ์ ํญ์๋ฅผ ๋ฐ์๋ค์ฌ ์ 1์ฌํ๊ฒฐ์ ์ทจ์ํ๊ณ , ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฒ๋ถ์ ์ทจ์ํ๊ธฐ๋ก ํ์ฌ ์ฃผ๋ฌธ๊ณผ ๊ฐ์ด ํ๊ฒฐํ๋ค.
์ฌํ์ฅ ํ์ฌ ์ฌํ์ฅ ํ์ฌ1
ํ์ฌ ํ์ฌ1
ํ์ฌ ํ์ฌ2
๊ฐ์ฃผ๋ด์ฉ
1) ๊ฐ์์ด๋ ํญ์์ ์์ฒด์ ํฌ์ฌํ์ฌ ํญ์ฒด๋ฅผ ์์ฐ์ํค๋ ์ ๋์์
์ ๋งํ๋ค. 2) ๊ทธ ๋ฐ์ ๊ณผ๋ก ๋ฐ ์คํธ๋ ์ค. ์์ฃผ ๋ฑ์ ๊ฑฐ๋ก ํ๋ ์ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ๋ ์์ผ๋, ์ด๋ค์ ๊ด๋ จ์ฑ์ ๋ฎ๊ฒ ๋ณด๋ ๊ฒฌํด๋ ์กด์ฌํ๋ค. 3) ์จ์ดํผ(Wafer)๋ ๊ณ ์๋๋ก ์ ์ ๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์ฉ์ก์ ์ฃผํ์ ๋ฃ์ด ํ์ ์ํค๋ฉด์ ์ค๋ฆฌ์ฝ ์๊ธฐ๋ฅ์ ๋ง๋ ํ ์ด๊ฒ์ ์ง๋ฆ 5~10cm, ๋๊ป ์๋ฐฑ ใ๋ก ์๊ฒ ์ ๋จํ๊ณ ํ์ชฝ ๋ฉด์ ๊ฑฐ์ธ๊ฐ์ด ์ฐ๋งํ์ฌ ๋ง๋ ์ํ์ ๋งํ๋ค. 4) ๊ตฌ์ฒด์ ์ผ๋ก, ์จ์ดํผ ์์ ํ๋กํจํด์ ๋ง๋๋ ์์
์ธ๋ฐ, ๋จผ์ ์ฌ๋ฌ ๊ฐ์ง ํํ๋ฌผ์ง๋ก ์จ์ดํผ๋ฅผ ์ธ์ฒํ ํ ๊ฐ๊ด์ก์ ๋ฐ๋ฅด๊ณ ์ด๋ฅผ ๊ฑด์กฐํ ๋ค์ ๋น์ ์์ฌ ํ๋กํจํด ์ฌ์ง์ ์ฐ๋ ๋
ธ๊ด์์
์ ํ ๋ค ์ด๋ฅผ ํ์ํ๊ณ , ๊ทธ๋ ค์ง ํจํด์ ๊ณ ์ ํ๊ธฐ ์ํด ๋ฒ ์ดํน ์์
์ ํ ๋ค ๊ฐ๊ด์ก์ ์ ๊ฑฐํ๋ ๊ณผ์ ์ด๋ค. ์ดํ ์ค์ฌ์ ํฌํ (Photo) ๊ณต์ ์ด๋ผ ํ๋ค. 5) ์จ์ดํผ ๊ฐ๊ณต๊ณผ์ ์์ ์์ฑ๋ ์จ์ดํผ ํ๋ฉด์ ์ฐํ๋ง ๋ฑ์ ํํ์ ๋๋ ๋ฌผ๋ฆฌ์ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก ์ฐ๋งํ์ฌ ํํํ์์ผ์ฃผ๋ ๊ณต์ 6) ์จ์ดํผ๊ฐ ํ์ฐ, ํฌํ , ์๊ฐ, ์ฆ์ฐฉ, ์ฐ๋ง ๋ฑ์ ๊ณต์ ์ ๊ฑฐ์น๋ ์ฌ์ด์ ๊ฐ ๊ณต์ ์์ ๋ฐ์ํ ๋ถ์๋ค์ ์ ๊ฑฐํ๋ ์์
7) ์จ์ดํผ ํ๋ฉด์ ๊ตฌ๋ฆฌ์์๋ฅผ ๋ถ์ฐฉ์์ผ ํ๋ก๋ฅผ ์ฐ๊ฒฐํ๋ ๊ณต์ 8) ๋ฐ๋์ฒด ๊ฒ์ฌ์ฉ ์ด์ํ ํ๋ฏธ๊ฒฝ(Scaning Acoustic Microscope)์ ์ด์ฉํ ์ด์ํ ๊ฒ์ฌ๋ฅผ ๋งํ๋ค. 9) ์นฉ์ ์๊น ๊ฒ์ฌ์ด๋ค. 10) ๋ฐ(Run)์ ์จ์ดํผ 25์ฅ์ผ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋๋ ๋จ์๋ฅผ ๋งํ๋ค. 11) ๋น์ โโโโ๊ฐ ์์
๋น๋ฐ ๋ฑ์ ์ด์ ๋ก ์ ํด๋ฌผ์ง ๋์ถ๊ด๋ฆฌ์์คํ
ํ๊ฐ์ ํ์ํ ์๋ฃ๋ฅผ ์ ์ถํ์ง ์์๋ ์ฌ์ ๊น์ง ๊ณ ๋ คํด ๋ณด๋ฉด, ์์์ ์ง๋ค๋
ธ๋ ๊ฒ ์ด์์ ๋ฌธ์ ์ ์ด ์์์ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ณด์ธ๋ค. 12) ๋๋จธ์ง ๋ฐ์ด๋ฌ์ค ๊ฐ์ผ, ํก์ฐ, ์ฒญ์๋
๊ธฐ์ ๋น๋ง์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ํ๊ฒฝ์ ์์ธ์ด๊ธด ํ๋, ์ด ์ฌ๊ฑด ์
๋ฌด์์ ๊ด๋ จ์ฑ์ ๋ถ์ ํ๋ ์๊ทน์ ์๊ฑด์ผ๋ก ์์ฉํ๋ฏ๋ก, ์๊ณ ์ ๊ฒฝ์ฐ ์ ์ด๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ๊ณผ ์
๋ฌด์์ ๊ด๋ จ์ฑ์ ์ธ์ ํ ์ ์๋ ์ ๊ทน์ ์์ธ์ ๋ชจ๋ ์ถฉ์กฑํ์๋ค๊ณ ์ธ์ ๋๋ค. 13) ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ ์ ๋ณต๊ธฐ๋ ์๋
์ด์์ผ๋ก ๋ค์ ๊ฐ๋ค๊ณ ์๋ ค์ ธ ์๋ค(์ 1์ฌ๋ฒ์์ โโโ๋ํ๊ต โโโโ๋ณ์์ฅ์ ๋ํ ์ง๋ฃ๊ธฐ๋ก๊ฐ์ ์ดํ๊ฒฐ๊ณผ ์ฐธ์กฐ). 14) ์๊ณ ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ์
์ฅ์ ๊ทผ๋ฌดํ๋ ์ค์๋ ๋ง์ฑ์ ์ธ ๋ํต, ์ด์ง๋ฌ์, ๊ตฌํ ์ฆ์, ์๋ฆฌ๋ถ์, ์ฒด์ค๊ฐ์(10kg) ๋ฑ์ ์ฆ์์ ๊ฒฉ์๋ค๊ณ ์ฃผ์ฅํ๊ณ ์๋ค. 15) ์ ๋ณ๋ฅ ์ ๊ธฐ์ด๋ก ์ ์์น์์ ์ดํ๊ธฐ๊ฐ(ํ๊ท 3.8๋
)์ ๋๋ ๋ฐ์๋ฅ ์ ์ฐ์ ํ๋ฉด 10๋ง ๋ช
๋น 0.37๋ช
์ ๋๋ค. 16) โโโโ๊ฐ ๋ฐํ 1997๋
๋ถํฐ 2016๋
๊น์ง์ โโโโ ์ฌ์
์ฅ ๋์ ์์ง์ 120,915๋ช
์ ํ ๋๋ก ํด๋น ๊ธฐ๊ฐ ๊ทผ๋ฌด์ ์ค 4๋ช
์๊ฒ ์ด ์ฌ๊ฑด ์๋ณ์ด ๋ฐ๋ณํ์๋ค๋ ์ฌ์ค์ ๊ธฐ์ด๋ก ์ ๋ณ๋ฅ ์ ์ถ์ฐํ๋ฉด 10๋ง ๋ช
๋น 3.32๋ช
์ด๊ณ , ๋ฐ์๋ฅ ๋ณด๋ค ํจ์ฌ ๋์ ๋ฟ ์๋๋ผ, ๋๊ตฌ๋ ์ ์์น๋ โโโโ ์์ง์ 120,915๋ช
์ด ๋ชจ๋ 20๋์ ํด๋นํ๊ณ , โโโโ ๋ฐ๋์ฒด ์ฌ์
์ฅ ๋ฐ LCD ์ฌ์
์ฅ์์ ๊ทผ๋ฌดํ ๊ฒ์ ์ ์ ๋ก ํ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก, ์ด๋ฌํ ์ ๊น์ง ๊ฐ์ํ๋ฉด ์ ์์น๋ ํจ์ฌ ๋ ๋๊ฒ ๋์ฌ ๊ฒ์ด๋ค.
ใ์ฐธ์กฐ์กฐ๋ฌธใ
์ฐ์
์ฌํด๋ณด์๋ณดํ๋ฒ ์ 4์กฐ
ใ์ฐธ์กฐํ๋กใ
๋๋ฒ์ 1999. 1. 26. ์ ๊ณ 98๋10103 ํ๊ฒฐ
๋๋ฒ์ 2015. 6. 11. ์ ๊ณ 2011๋32898 ํ๊ฒฐ
|
|
๋๊ธ 0๊ฐ
๋ก๊ทธ์ธ ํ์๋ฉด, ํ๋ก ๋๊ธ์ ๋ฑ๋กํ์ค ์ ์์ต๋๋ค.
๋ค์ด๋ฒ ๊ฒ์
๋ธ๋ก๊ทธ
์นดํ
๋ด์ค
์น์ฌ์ดํธ
|
|
[ ์ฐธ์กฐํ๋ก ์ฒด๊ณ๋ ]
-
|