|
+
-
๋ถ๋งํฌ ์ ์ฅ
[ํ์ ] ์๊ณ ์ฌ๊ฑด
๋๋ฒ์ 2013. 9. 27. ์ ๊ณ 2013๋4101 ํ๊ฒฐ
[๊ด์ธ๋ถ๊ณผ์ฒ๋ถ์ทจ์][๋ฏธ๊ฐํ]
ใํ์์ฌํญใ
์ค์๊ธฐ์
์ธ ๊ฐ ์ฃผ์ํ์ฌ๊ฐ ์ ์ฃผ์ํ์ฌ ๋ฑ์ผ๋ก ํ์ฌ๊ธ ๋ณด์ธ๊ณต์ฅ ๋ด์์ ๊ฐ ํ์ฌ ๊ณต๊ธ์ ๋ด๊ตญ๋ฌผํ๊ณผ ์ ํ์ฌ ๋ฑ์ ์ธ๊ตญ๋ฌผํ ๋ฑ์ ๊ฒฐํฉํด ์ง์ ํ๋ก ๋ฌผํ์ ์ ์กฐยท๊ฐ๊ณตํ๋๋ก ํ์ฌ ์ด๋ฅผ ๋ณด์ธ๊ณต์ฅ์ผ๋ก๋ถํฐ ๊ตญ๋ด๋ก ๋ฐ์
ํ ํ ๊ฐ๊ณต์ ์ฐจ๋ฅผ ๊ฑฐ์น์ง ์์ ์ฑ ์์ถํ๊ฑฐ๋ ๋ค์ ๊ตญ๋ด ์์ถ๋ฌผํ ์ ์กฐ์
์ฒด์ ๊ณต๊ธํ ๋ค์ โ๊ฐ์ด์ ์กํ๊ธโ์ ๋ฐ์, ๊ดํ ์ธ๊ด์ฅ์ด ๊ด์ธ ๋ถ๊ณผ์ฒ๋ถ์ ํ ์ฌ์์์, ์ ์ฒ๋ถ์ด ์ ๋ฒํ๋ค๊ณ ๋ณธ ์์ฌํ๋จ์ด ์ ๋นํ๋ค๊ณ ํ ์ฌ๋ก
ใ์ฐธ์กฐ์กฐ๋ฌธใ
๊ตฌ ์์ถ์ฉ์์ฌ๋ฃ์ ๋ํ ๊ด์ธ ๋ฑ ํ๊ธ์ ๊ดํ ํน๋ก๋ฒ(2011. 7. 14. ๋ฒ๋ฅ ์ 10817ํธ๋ก ๊ฐ์ ๋๊ธฐ ์ ์ ๊ฒ) ์ 13์กฐ ์ 1ํญ, ์ 2ํญ, ์ 21์กฐ ์ 1ํญ ์ 4ํธ, ๊ตฌ ๊ด์ธ๋ฒ(2010. 12. 30. ๋ฒ๋ฅ ์ 10424ํธ๋ก ๊ฐ์ ๋๊ธฐ ์ ์ ๊ฒ) ์ 2์กฐ ์ 1ํธ, ์ 188์กฐ, ์์ถ์ฉ์์ฌ๋ฃ์ ๋ํ ๊ด์ธ ๋ฑ ํ๊ธ์ฌ๋ฌด์ฒ๋ฆฌ์ ๊ดํ ๊ณ ์ ์ 3-2-3์กฐ ์ 1ํธ
ใ์ ๋ฌธใ
ใ์๊ณ , ์๊ณ ์ธใ ์ฃผ์ํ์ฌ ํฐ์์์ด (์์ก๋๋ฆฌ์ธ ๋ฒ๋ฌด๋ฒ์ธ(์ ํ) ์จ์ด ๋ด๋น๋ณํธ์ฌ ์์๋ฌด ์ธ 4์ธ)
ใํผ๊ณ , ํผ์๊ณ ์ธใ ์ฑ๋จ์ธ๊ด์ฅ
ใ์์ฌํ๊ฒฐใ ์์ธ๊ณ ๋ฒ 2013. 1. 25. ์ ๊ณ 2012๋15991 ํ๊ฒฐ
ใ์ฃผ ๋ฌธใ
์๊ณ ๋ฅผ ๊ธฐ๊ฐํ๋ค. ์๊ณ ๋น์ฉ์ ์๊ณ ๊ฐ ๋ถ๋ดํ๋ค.
ใ์ด ์ ใ
์๊ณ ์ด์ ๋ฅผ ํ๋จํ๋ค.
๊ตฌ ์์ถ์ฉ์์ฌ๋ฃ์ ๋ํ ๊ด์ธ ๋ฑ ํ๊ธ์ ๊ดํ ํน๋ก๋ฒ(2011. 7. 14. ๋ฒ๋ฅ ์ 10817ํธ๋ก ๊ฐ์ ๋๊ธฐ ์ ์ ๊ฒ, ์ดํ โํ๊ธํน๋ก๋ฒโ์ด๋ผ ํ๋ค) ์ 13์กฐ๋ ์ 1ํญ์์ โ๊ด์ธ์ฒญ์ฅ์ ์ค์๊ธฐ์
์์ถ๋ฌผํ์ ๋ํ ๊ณผ์ธ ๋ฑ์ ํ๊ธ์ ์ฐจ๋ฅผ ๊ฐ์ํํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ํ์ํ๋ค๊ณ ์ธ์ ํ๋ ๋์๋ ๋ํต๋ น๋ น์ด ์ ํ๋ ๋ฐ์ ๋ฐ๋ผ ์์ถ์ฉ์์ฌ๋ฃ์ ๋ํ ๊ด์ธ ๋ฑ์ ํ๊ท ํ๊ธ์ก ๋๋ ํ๊ท ๋ฉ๋ถ์ธ์ก ๋ฑ์ ๊ธฐ์ด๋ก ์์ถ๋ฌผํ๋ณ๋ก ์ ์กํ๊ธ์จํ๋ฅผ ์ ํ์ฌ ๊ณ ์ํ ์ ์๋คโ๊ณ ๊ท์ ํ๋ฉด์, ์ 2ํญ์์ โ์ ์กํ๊ธ๋ฅ ํ์ ์ ํ์ฌ์ง ๊ธ์ก์ ๋นํด ๋ฌผํ์ ์์ฐํ๋ ๋ฐ ์์๋๋ ์์ถ์ฉ์์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์์
ํ ๋์ ๋ฉ๋ถํ๋ ๊ด์ธ ๋ฑ์ผ๋ก ๋ณด์ ์ด๋ฅผ ํ๊ธํ๋คโ๊ณ ๊ท์ ํ๊ณ , ์ 21์กฐ ์ 1ํญ ์ 4ํธ๋ โ์ 13์กฐ ์ 1ํญ์ ๊ท์ ์ ์ํ ์ ์กํ๊ธ์จํ๋ฅผ ์ ์ฉํ ์ ์๋ ๋ฌผํ์ ์ ์กํ๊ธ์จํ์ ์ํ์ฌ ํ๊ธ๋ฐ์ ๊ฒฝ์ฐโ์ ์ธ๊ด์ฅ์ด ๋นํด ํ๊ธ๊ธ์ก ๋๋ ๊ณผ๋คํ๊ธ๊ธ์ก์ ๊ด์ธ ๋ฑ์ ํ๊ธ๋ฐ์ ์๋ก๋ถํฐ ์ง์ํ๋๋ก ๊ท์ ํ๊ณ ์๋ค. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์์ถ์ฉ์์ฌ๋ฃ์ ๋ํ ๊ด์ธ ๋ฑ ํ๊ธ์ฌ๋ฌด์ฒ๋ฆฌ์ ๊ดํ ๊ณ ์(์ดํ โํ๊ธ์ฌ๋ฌด์ฒ๋ฆฌ๊ณ ์โ๋ผ ํ๋ค) ์ 3-2-3์กฐ๋ โ๋ค์ ๊ฐ ํธ์ 1์ ๋ฌผํ์ ๋ํ์ฌ๋ ๊ฐ์ด์ ์กํ๊ธ์จํ๋ฅผ ์ ์ฉํ์ง ์๋ํ๋คโ๊ณ ๊ท์ ํ๋ฉด์, ์ 1ํธ์์ ๊ฐ์ด์ ์กํ๊ธ ์ ์ฉ๋ฐฐ์ ๋์์ ํ๋๋ก โ์์ถ์ฉ์์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์์
ํ ์ํ ๊ทธ๋๋ก ์์ถ ๋ฑ์ ์ ๊ณตํ๊ฑฐ๋ ๋ด๊ตญ์ ์ฉ์ฅ ๋ฑ์ ์ํ์ฌ ๊ณต๊ธํ ๋ฌผํโ์ ๋ค๊ณ ์๋ค. ํํธ ๊ตฌ ๊ด์ธ๋ฒ(2010. 12. 30. ๋ฒ๋ฅ ์ 10424ํธ๋ก ๊ฐ์ ๋๊ธฐ ์ ์ ๊ฒ) ์ 2์กฐ ์ 1ํธ๋ ์ธ๊ตญ๋ฌผํ์ ์ฐ๋ฆฌ๋๋ผ์ ๋ฐ์
(๋ณด์ธ๊ตฌ์ญ์ ๊ฒฝ์ ํ๋ ๊ฒ์ ๋ณด์ธ๊ตฌ์ญ์ผ๋ก๋ถํฐ ๋ฐ์
ํ๋ ๊ฒ์ ๋งํ๋ค)ํ๋ ๊ฒ ๋ฑ์ โ์์
โ์ผ๋ก ๊ท์ ํ๊ณ , ์ 188์กฐ ๋ณธ๋ฌธ์ โ์ธ๊ตญ๋ฌผํ์ด๋ ์ธ๊ตญ๋ฌผํ๊ณผ ๋ด๊ตญ๋ฌผํ์ ์๋ฃ๋ก ํ๊ฑฐ๋ ์ฌ๋ฃ๋ก ํ์ฌ ์์
์ ํ๋ ๊ฒฝ์ฐ ๊ทธ๋ก์จ ์๊ธด ๋ฌผํ์ ์ธ๊ตญ์ผ๋ก๋ถํฐ ์ฐ๋ฆฌ๋๋ผ์ ๋์ฐฉํ ๋ฌผํ์ผ๋ก ๋ณธ๋ค.โ๊ณ ๊ท์ ํ๊ณ ์๋ค.
์์ฌ์ ์ 1์ฌํ๊ฒฐ ์ด์ ๋ฅผ ์์ฉํ์ฌ, โ ์ค์๊ธฐ์
์ธ ์๊ณ ๊ฐ ์์ด์์ค์ด์ฝ๋ฆฌ์ ์ฃผ์ํ์ฌ ๋ฑ์ผ๋ก ํ์ฌ๊ธ ๊ทธ๋ค์ ๋ณด์ธ๊ณต์ฅ ๋ด์์ ์๊ณ ๊ณต๊ธ์ ๋ด๊ตญ๋ฌผํ์ธ ์จ์ดํผ(Wafer)์ ๊ทธ๋ค ๋ณด์ ์ ์ธ๊ตญ๋ฌผํ์ธ ๋ชฐ๋ฉ์์ง ๋ฑ์ ๊ฒฐํฉํ์ฌ ์ง์ ํ๋ก(์ดํ โ์ด ์ฌ๊ฑด ๋ฌผํโ์ด๋ผ ํ๋ค)๋ฅผ ์ ์กฐยท๊ฐ๊ณตํ๋๋ก ํ ์ฌ์ค, โก ์๊ณ ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ๋ฌผํ์ ๋ณด์ธ๊ณต์ฅ์ผ๋ก๋ถํฐ ๊ตญ๋ด๋ก ๋ฐ์
ํ ํ ๋ณ๋์ ๊ฐ๊ณต์ ์ฐจ๋ฅผ ๊ฑฐ์น์ง ์์ ์ฑ ๊ทธ๋๋ก ์์ถํ๊ฑฐ๋ ๋ค์ ๊ตญ๋ด์ ์์ถ๋ฌผํ ์ ์กฐ์
์ฒด์ ๊ณต๊ธํ ํ ํ๊ธํน๋ก๋ฒ ์ 13์กฐ ๋ฑ์ ์ํ ๊ฐ์ด์ ์กํ๊ธ์ ์ ์ฒญํ์ฌ ๊ด์ธ๋ฅผ ํ๊ธ๋ฐ์ ์ฌ์ค ๋ฑ์ ์ธ์ ํ ๋ค์, ๊ด์ธ๋ฒ ์ 188์กฐ ๋ณธ๋ฌธ์ ์ํ์ฌ โ์ธ๊ตญ๋ฌผํโ์ผ๋ก ์ทจ๊ธ๋๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ๋ฌผํ์ ํ๊ธ์ฌ๋ฌด์ฒ๋ฆฌ๊ณ ์ ์ 3-2-3์กฐ ์ 1ํธ ์์ ์ ๊ฐ์ด์ ์กํ๊ธ ์ ์ฉ๋ฐฐ์ ๋์์ธ โ์์ถ์ฉ์์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์์
ํ ์ํ ๊ทธ๋๋ก ์์ถ ๋ฑ์ ์ ๊ณตํ๊ฑฐ๋ ๋ด๊ตญ์ ์ฉ์ฅ ๋ฑ์ ์ํ์ฌ ๊ณต๊ธํ ๋ฌผํโ์ ํด๋นํ๋ค๋ ์ด์ ๋ก, ๊ฐ์ด์ ์กํ๊ธ์จํ์ ์ํ์ฌ ํ๊ธํ ๊ด์ธ๋ฅผ ์ง์ํ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฒ๋ถ์ ์ ๋ฒํ๋ค๊ณ ํ๋จํ์๋ค.
๊ด๋ จ ๊ท์ ๊ณผ ๋ฒ๋ฆฌ ๋ฐ ๊ธฐ๋ก์ ๋น์ถ์ด ์ดํด๋ณด๋ฉด, ์์ฌ์ ์ด๋ฌํ ํ๋จ์ ์ ๋นํ๊ณ , ๊ฑฐ๊ธฐ์ ์๊ณ ์ด์ ์์ ์ฃผ์ฅํ๋ ๋ฐ์ ๊ฐ์ ํ๊ธ์ฌ๋ฌด์ฒ๋ฆฌ๊ณ ์ ์ 3-2-3์กฐ ์์ ์ ๊ฐ์ด์ ์กํ๊ธ ์ ์ฉ๋ฐฐ์ ๋์์ ๊ดํ ๋ฒ๋ฆฌ์คํด ๋ฑ์ ์๋ฒ์ด ์๋ค.
๊ทธ๋ฌ๋ฏ๋ก ์๊ณ ๋ฅผ ๊ธฐ๊ฐํ๊ณ ์๊ณ ๋น์ฉ์ ํจ์์๊ฐ ๋ถ๋ดํ๋๋ก ํ์ฌ, ๊ด์ฌ ๋๋ฒ๊ด์ ์ผ์น๋ ์๊ฒฌ์ผ๋ก ์ฃผ๋ฌธ๊ณผ ๊ฐ์ด ํ๊ฒฐํ๋ค.
๋๋ฒ๊ด ๋ฏผ์ผ์(์ฌํ์ฅ) ์ด์ธ๋ณต ๋ฐ๋ณด์(์ฃผ์ฌ) ๊น์
|
|
๋๊ธ 0๊ฐ
๋ก๊ทธ์ธ ํ์๋ฉด, ํ๋ก ๋๊ธ์ ๋ฑ๋กํ์ค ์ ์์ต๋๋ค.
๋ค์ด๋ฒ ๊ฒ์
๋ธ๋ก๊ทธ
์นดํ
๋ด์ค
์น์ฌ์ดํธ
|
|
[ ๋ฒ๊ด/๋๋ฒ๊ด ํ๊ทธ]
|