๋กœ๊ทธ์ธ


+ -   ๋ถ๋งˆํฌ ์ €์žฅ [ํ–‰์ •] ํ•ญ์†Œ์‚ฌ๊ฑด

์„œ์šธ๊ณ ๋“ฑ๋ฒ•์› 2011.12.31 2011๋ˆ„23995

ใ€์‚ฌ๊ฑด๋ช…ใ€‘ ์œ ์กฑ๊ธ‰์—ฌ๋ฐ์žฅ์˜๋น„๋ถ€์ง€๊ธ‰์ฒ˜๋ถ„์ทจ์†Œ๋“ฑ ใ€์› ๊ณ ใ€‘ ์›๊ณ , ํ”ผํ•ญ์†Œ์ธ 1. ์›๊ณ 1 โ—‹โ—‹์‹œ ์ดํ•˜์ƒ๋žต 2. ์›๊ณ 2 โ—‹โ—‹์‹œ ์ดํ•˜์ƒ๋žต ์›๊ณ , ํ•ญ์†Œ์ธ 3. ์›๊ณ 3 โ—‹โ—‹์‹œ ์ดํ•˜์ƒ๋žต 4. ์›๊ณ 4 (๊ฐœ๋ช… ์ „ ์„ฑ๋ช…: ์›๊ณ 5) โ—‹โ—‹์‹œ ์ดํ•˜์ƒ๋žต 5. ์›๊ณ 6 โ—‹โ—‹์‹œ ์ดํ•˜์ƒ๋žต ์†Œ์†ก๋Œ€๋ฆฌ์ธ ๋ฒ•๋ฌด๋ฒ•์ธ(์œ ํ•œ) ๋ฒ•๋ฌด๋ฒ•์ธA [๋‹ด๋‹น๋ณ€ํ˜ธ์‚ฌ ๋ณ€ํ˜ธ์‚ฌ1, ๋ณ€ํ˜ธ์‚ฌ2, ๋ณ€ํ˜ธ์‚ฌ3] ๋ฒ•๋ฌด๋ฒ•์ธ ๋ฒ•๋ฌด๋ฒ•์ธB [๋‹ด๋‹น๋ณ€ํ˜ธ์‚ฌ ๋ณ€ํ˜ธ์‚ฌ4] ๋ฒ•๋ฌด๋ฒ•์ธ ๋ฒ•๋ฌด๋ฒ•์ธC [๋‹ด๋‹น๋ณ€ํ˜ธ์‚ฌ ๋ณ€ํ˜ธ์‚ฌ5, ๋ณ€ํ˜ธ์‚ฌ6] ๋ณ€ํ˜ธ์‚ฌ ๋ณ€ํ˜ธ์‚ฌ7 ใ€ํ”ผ ๊ณ ใ€‘ ํ”ผ๊ณ , ํ”ผํ•ญ์†Œ์ธ๊ฒธ ํ•ญ์†Œ์ธ ๊ทผ๋กœ๋ณต์ง€๊ณต๋‹จ ใ€์ „์‹ฌํŒ๊ฒฐใ€‘ 1์‹ฌ 2010๊ตฌํ•ฉ1149 ์„œ์šธํ–‰์ •๋ฒ•์› ใ€๋ณ€๋ก ์ข…๊ฒฐใ€‘ 2014. 06. 26 ใ€ํŒ๊ฒฐ์„ ๊ณ ใ€‘ 2014. 08. 21 ใ€์ฃผ๋ฌธใ€‘ 1. ์›๊ณ  ์›๊ณ 3, ์›๊ณ 4, ์›๊ณ 6 ๋ฐ ํ”ผ๊ณ ์˜ ํ•ญ์†Œ๋ฅผ ๋ชจ๋‘ ๊ธฐ๊ฐํ•œ๋‹ค. 2. ํ•ญ์†Œ๋น„์šฉ ์ค‘ ์›๊ณ  ์›๊ณ 1, ์›๊ณ 2๊ณผ ํ”ผ๊ณ  ์‚ฌ์ด์—์„œ ์ƒ๊ธด ๋ถ€๋ถ„์€ ํ”ผ๊ณ ๊ฐ€ ๋ถ€๋‹ดํ•˜๊ณ , ์›๊ณ  ์›๊ณ 3, ์›๊ณ 4, ์›๊ณ 6์™€ ํ”ผ๊ณ  ์‚ฌ์ด์—์„œ ์ƒ๊ธด ๋ถ€๋ถ„์€ ์œ„ ์›๊ณ ๋“ค์ด ๋ถ€๋‹ดํ•œ๋‹ค. ใ€์ฒญ๊ตฌ์ทจ์ง€ ๋ฐ ํ•ญ์†Œ์ทจ์ง€ใ€‘ 1. ์ฒญ๊ตฌ์ทจ์ง€ ํ”ผ๊ณ ๊ฐ€ 2009. 5. 15. ์›๊ณ  ์›๊ณ 1, ์›๊ณ 2, ์›๊ณ 3์—๊ฒŒ ํ•œ ๊ฐ ์œ ์กฑ๊ธ‰์—ฌ ๋ฐ ์žฅ์˜๋น„ ๋ถ€์ง€๊ธ‰์ฒ˜๋ถ„, ์›๊ณ  ์›๊ณ 4์—๊ฒŒ ํ•œ ์š”์–‘๋ถˆ์Šน์ธ์ฒ˜๋ถ„, 2009. 9. 7. ์›๊ณ  ์›๊ณ 6์—๊ฒŒ ํ•œ ์š”์–‘๋ถˆ์Šน์ธ์ฒ˜๋ถ„์„ ๋ชจ๋‘ ์ทจ์†Œํ•œ๋‹ค. 2. ํ•ญ์†Œ์ทจ์ง€ ์›๊ณ  ์›๊ณ 3, ์›๊ณ 4, ์›๊ณ 6: ์ œ1์‹ฌ ํŒ๊ฒฐ ์ค‘ ์œ„ ์›๊ณ ๋“ค ํŒจ์†Œ ๋ถ€๋ถ„์„ ์ทจ์†Œํ•œ๋‹ค. ํ”ผ๊ณ ๊ฐ€ 2009. 5. 15. ์›๊ณ  ์›๊ณ 3์—๊ฒŒ ํ•œ ์œ ์กฑ๊ธ‰์—ฌ ๋ฐ ์žฅ์˜๋น„ ๋ถ€์ง€๊ธ‰์ฒ˜๋ถ„, ์›๊ณ  ์›๊ณ 4์—๊ฒŒ ํ•œ ์š”์–‘๋ถˆ์Šน์ธ์ฒ˜๋ถ„, 2009. 9. 7. ์›๊ณ  ์›๊ณ 6์—๊ฒŒ ํ•œ ์š”์–‘๋ถˆ์Šน์ธ์ฒ˜๋ถ„์„ ๋ชจ๋‘ ์ทจ์†Œํ•œ๋‹ค. ํ”ผ๊ณ : ์ œ1์‹ฌ ํŒ๊ฒฐ ์ค‘ ํ”ผ๊ณ  ํŒจ์†Œ ๋ถ€๋ถ„์„ ์ทจ์†Œํ•œ๋‹ค. ์›๊ณ  ์›๊ณ 1, ์›๊ณ 2์˜ ์ฒญ๊ตฌ๋ฅผ ๋ชจ๋‘ ๊ธฐ๊ฐํ•œ๋‹ค. ใ€์ด์œ ใ€‘ 1. ์ฒ˜๋ถ„์˜ ๊ฒฝ์œ„ ๋“ฑ ๊ฐ€. ์žฌํ•ด์˜ ๊ฒฝ์œ„ (1) ์›๊ณ  ์›๊ณ 1(๋ง ์†Œ์™ธ1) โ—‹ ๋ง ์†Œ์™ธ1(1985. 4. 21. ์ƒ)๋Š” 2003. 10. 6. โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ์ฃผ์‹ํšŒ์‚ฌ(์ดํ•˜ 'โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹'๋ผ ํ•œ๋‹ค)์— ์ž…์‚ฌํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ๋ง ์†Œ์™ธ1๋Š” โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ 3๋ผ์ธ์˜ ํ™•์‚ฐ ๋ฐ ์Šต์‹์‹๊ฐ ๊ณต์ •์—์„œ ์ƒ์‚ฐ์ง ์ง์›์ธ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ๋กœ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋‹ค๊ฐ€ 2005. 6. 10. ๊ธ‰์„ฑ ๊ณจ์ˆ˜์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์œผ๋กœ ์ง„๋‹จ๋ฐ›์•˜๊ณ , 2007. 3. 6. ๊ฐ™์€ ์งˆํ™˜์œผ๋กœ ์‚ฌ๋งํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ์›๊ณ  ์›๊ณ 1๋Š” ๋ง ์†Œ์™ธ1์˜ ์•„๋ฒ„์ง€์ด๋‹ค. (2) ์›๊ณ  ์›๊ณ 2(๋ง ์†Œ์™ธ2) โ—‹ ๋ง ์†Œ์™ธ2(1976. 11. 11. ์ƒ)์€ 1995. 1. 17. โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์— ์ž…์‚ฌํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ๋ง ์†Œ์™ธ2์€ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ 3๋ผ์ธ์˜ ๊ธˆ์†๋ฐฐ์„ , ํ™”ํ•™์ฆ์ฐฉ, ์ˆ˜์ฃผ, ํ™•์‚ฐ ๋ฐ ์Šต์‹์‹๊ฐ ๊ณต์ •์—์„œ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ๋กœ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋‹ค๊ฐ€ 2006. 7. 13. ๊ธ‰์„ฑ ๊ณจ์ˆ˜์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์œผ๋กœ ์ง„๋‹จ๋ฐ›์•˜๊ณ , 2006. 8. 17. ๊ฐ™์€ ์งˆํ™˜์œผ๋กœ ์‚ฌ๋งํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ์›๊ณ  ์›๊ณ 2์€ ๋ง ์†Œ์™ธ2์˜ ๋‚จํŽธ์ด๋‹ค. (3) ์›๊ณ  ์›๊ณ 3(๋ง ์†Œ์™ธ3) โ—‹ ๋ง ์†Œ์™ธ3(1974. 2. 25. ์ƒ)์€ 1997. 6. 11. โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์— ์ž…์‚ฌํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ๋ง ์†Œ์™ธ3์€ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ 5๋ผ์ธ์˜ ํ‰ํƒ„ํ™” ๊ณต์ • ๋ฐ 1๋ผ์ธ์˜ ๋ฐฑ๋žฉ(Back-Lap) ๊ณต์ •์—์„œ ์„ค๋น„์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋กœ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋‹ค๊ฐ€ 2004. 10. 27. ๊ธ‰์„ฑ ๋ฆผํ”„๊ตฌ์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์œผ๋กœ ์ง„๋‹จ๋ฐ›์•˜๊ณ , 2005. 7. 23. ๊ฐ™์€ ์งˆํ™˜์œผ๋กœ ์‚ฌ๋งํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ์›๊ณ  ์›๊ณ 3์€ ๋ง ์†Œ์™ธ3์˜ ์•„๋‚ด์ด๋‹ค. (4) ์›๊ณ  ์›๊ณ 4 โ—‹ ์›๊ณ  ์›๊ณ 4์€ 1991. 1. 14. โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์— ์ž…์‚ฌํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ์›๊ณ  ์›๊ณ 4์€ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ๊ณผ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ 1, 2๋ผ์ธ์˜ ์ ˆ๋‹จ ยท ์ ˆ๊ณก ๊ณต์ •์—์„œ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ๋กœ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋‹ค๊ฐ€ 1996. 1. 31. ํ‡ด์‚ฌํ•œ ํ›„, 2005. 2. 23. ๊ธ‰์„ฑ ๊ณจ์ˆ˜์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์œผ๋กœ ์ง„๋‹จ๋ฐ›์•˜๋‹ค. (5) ์›๊ณ  ์›๊ณ 6 โ—‹ ์›๊ณ  ์›๊ณ 6๋Š” 1993. 5. 24. โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์— ์ž…์‚ฌํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ์›๊ณ  ์›๊ณ 6๋Š” โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ 2๋ผ์ธ์˜ ๋„๊ธˆ ๊ณต์ •์—์„œ ์„ค๋น„์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋กœ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋‹ค๊ฐ€ 1998. 12. 30. ํ‡ด์‚ฌํ•œ ํ›„, 2008. 10. 2. ์•…์„ฑ ๋ฆผํ”„์ข…(๋น„ํ˜ธ์ง€ํ‚จ ๋ฆผํ”„์ข…)์œผ๋กœ ์ง„๋‹จ๋ฐ›์•˜๋‹ค. ๋‚˜. ์ฒ˜๋ถ„์˜ ๊ฒฝ์œ„ (1) ์›๊ณ  ์›๊ณ 1๋Š” 2007. 6. 1.๊ฒฝ, ์›๊ณ  ์›๊ณ 2, ์›๊ณ 3์€ 2008. 4. 30.๊ฒฝ ํ”ผ๊ณ ์—๊ฒŒ ์œ ์กฑ๋ณด์ƒ ๋ฐ ์žฅ์˜๋น„ ์ง€๊ธ‰์‹ ์ฒญ์„ ํ•˜์˜€๊ณ , ์›๊ณ  ์›๊ณ 4์€ 2008. 4. 29.๊ฒฝ, ์›๊ณ  ์›๊ณ 6๋Š” 2008. 12. ์—ฐ๊ฒฝ ํ”ผ๊ณ ์—๊ฒŒ ์š”์–‘๊ธ‰์—ฌ๋ฅผ ์‹ ์ฒญํ•˜์˜€๋‹ค. (2) ํ”ผ๊ณ ๋Š” ๋ง ์†Œ์™ธ1, ์†Œ์™ธ2, ์†Œ์™ธ3, ์›๊ณ  ์›๊ณ 4, ์›๊ณ 6์—๊ฒŒ ๋ฐœ๋ณ‘ํ•œ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘ ๋“ฑ๊ณผ ์—…๋ฌด ์‚ฌ์ด์— ์ƒ๋‹น์ธ๊ณผ๊ด€๊ณ„๊ฐ€ ์—†๋‹ค๋Š” ์ด์œ ๋กœ, 2009. 5. 15. ์›๊ณ  ์›๊ณ 1, ์›๊ณ 2, ์›๊ณ 3์—๊ฒŒ ๊ฐ ์œ ์กฑ๋ณด์ƒ ๋ฐ ์žฅ์˜๋น„ ๋ถ€์ง€๊ธ‰์ฒ˜๋ถ„์„ ํ•˜์˜€๊ณ , 2009. 5. 15. ์›๊ณ  ์›๊ณ 4๊ณผ 2009. 9. 7. ์›๊ณ  ์›๊ณ 6์—๊ฒŒ ๊ฐ ์š”์–‘๋ถˆ์Šน์ธ์ฒ˜๋ถ„์„ ํ•˜์˜€๋‹ค. (3) ์œ„ ๊ฐ ์ฒ˜๋ถ„์— ๋Œ€ํ•˜์—ฌ ์›๊ณ  ์›๊ณ 1, ์›๊ณ 2, ์›๊ณ 3, ์›๊ณ 4์€ 2009. 7. 21.๊ฒฝ ํ”ผ๊ณ ์—๊ฒŒ ์‹ฌ์‚ฌ์ฒญ๊ตฌ๋ฅผ ํ•˜์˜€์œผ๋‚˜ 2009. 11. 19.๊ฒฝ ๋ชจ๋‘ ๊ธฐ๊ฐ๋˜์—ˆ๊ณ , ์›๊ณ  ์›๊ณ 6๋Š” 2009. 11.๊ฒฝ ์‚ฐ์—…์žฌํ•ด๋ณด์ƒ๋ณดํ—˜์žฌ์‹ฌ์‚ฌ์œ„์›ํšŒ์— ์žฌ์‹ฌ์‚ฌ์ฒญ๊ตฌ๋ฅผ ํ•˜์˜€์œผ๋‚˜ 2010. 3. 26.๊ฒฝ ๊ธฐ๊ฐ๋˜์—ˆ๋‹ค. [์ธ์ •๊ทผ๊ฑฐ] ๋‹คํˆผ ์—†๋Š” ์‚ฌ์‹ค, ๊ฐ‘ ์ œ1, 3, 9, 10ํ˜ธ์ฆ์˜ ๊ฐ 1, 2, 3, 5, 6, ๊ฐ‘ ์ œ12ํ˜ธ์ฆ์˜ 1, 2, 3, 5, ๊ฐ‘ ์ œ100ํ˜ธ์ฆ์˜ ๊ฐ ๊ธฐ์žฌ, ๋ณ€๋ก  ์ „์ฒด์˜ ์ทจ์ง€ 2. ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ƒ์‚ฐ ๊ณต์ •, ๊ด€๋ จ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ๋ฐ ์˜ํ•™์  ๊ฒฌํ•ด ๋“ฑ ๊ฐ€. ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ƒ์‚ฐ ๊ณต์ • ๋ฐ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ์‚ฌ์—…์žฅ ํ˜„ํ™ฉ (1) ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ƒ์‚ฐ ๊ณต์ • ใˆŽ ๋ฐ˜๋„์ฒด๋Š” ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ์›จ์ดํผ(์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ์›๊ธฐ๋‘ฅ์„ ์–‡๊ฒŒ ์ ˆ๋‹จํ•œ ํ›„ ํ•œ์ชฝ ๋ฉด์„ ๊ฑฐ์šธ๊ฐ™์ด ์—ฐ๋งˆํ•˜์—ฌ ๋งŒ๋“  ์›ํŒ) ๊ฐ€๊ณต ๊ณต์ •๊ณผ ์กฐ๋ฆฝ ๊ณต์ •์„ ํ†ตํ•ด ์ƒ์‚ฐ๋œ๋‹ค. ใˆ ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์— ํšŒ๋กœ๋ฅผ ํ˜•์„ฑํ•˜๊ณ  ์ „๋„์„ฑ ๋“ฑ์„ ๋ถ€์—ฌํ•˜๋Š” ๊ฐ€๊ณต ๊ณต์ •์€ ์•„๋ž˜์™€ ๊ฐ™์€ ์„ธ๋ถ€ ๊ณต์ •์œผ๋กœ ์ด๋ฃจ์–ด์ง€๋Š”๋ฐ, ์—ฌ๋Ÿฌ ์ธต์œผ๋กœ ํšŒ๋กœ๋ฅผ ๊ตฌ์„ฑํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•˜์—ฌ ์•„๋ž˜ ๊ณต์ •์ด ๋ฐ˜๋ณต์ ์œผ๋กœ ์ด๋ฃจ์–ด์ง„๋‹ค. โ—‹ ์‚ฐํ™”(Oxidation): ๊ณ ์˜จ์—์„œ ์‚ฐ์†Œ ๋“ฑ์„ ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์— ํ™”ํ•™๋ฐ˜์‘์‹œ์ผœ ์–‡๊ณ  ๊ท ์ผํ•œ ์‚ฐํ™”๋ง‰์„ ํ˜•์„ฑํ•˜๋Š” ๊ณต์ • โ—‹ ๊ฐ๊ด‘(Photolithography): ์‚ฐํ™”๋œ ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์— ํšŒ๋กœ ํŒจํ„ด์„ ํ˜•์„ฑํ•˜๋Š” ๊ณต์ •์œผ๋กœ, ์„ธ์ฒ™ โ†’ ๊ฐ๊ด‘์•ก(Photo Resist, PR) ๋„ํฌ โ†’ ๊ฑด์กฐ ๋ฐ ์ „์ฒ˜๋ฆฌ(pre-Baking) โ†’ ๋…ธ๊ด‘ โ†’ ํ˜„์ƒ โ†’ Baking โ†’ ๊ฐ๊ด‘์•ก ์ œ๊ฑฐ ๋“ฑ์˜ ๊ณผ์ •์„ ๊ฑฐ์นจ โ—‹ ์‹๊ฐ(Etching): ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์— ํ˜•์„ฑ๋œ ํšŒ๋กœ ์ด์™ธ์˜ ๋ถ€๋ถ„์„ ๋ถ€์‹์„ฑ ๊ฐ€์Šค(๊ฑด์‹์‹ ๊ฐ์˜ ๊ฒฝ์šฐ) ๋˜๋Š” ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ(์Šต์‹์‹๊ฐ์˜ ๊ฒฝ์šฐ)์„ ์ด์šฉํ•˜์—ฌ ์„ ํƒ์ ์œผ๋กœ ์ œ๊ฑฐํ•˜๋Š” ๊ณต์ • โ—‹ ๋„ํ•‘(Doping): ์‹๊ฐ ๊ณต์ •์—์„œ ์ œ๊ฑฐ๋œ ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ์‚ฐํ™”๋ง‰์— ๋ถˆ์ˆœ๋ฌผ(Dopant)์„ ์ฃผ์ž… ํ•˜๋Š” ๊ณต์ •์œผ๋กœ, ํ™•์‚ฐ(Diffusion: ๊ฐ€์Šค ๋˜๋Š” ์•ก์ฒด ํ˜•ํƒœ์˜ Dopant๋ฅผ ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์— ์ž…ํžˆ๋Š” ๊ณต์ •)์ด๋‚˜ ์ด์˜จ์ฃผ์ž…(Implantation: ํšŒ๋กœ ํŒจํ„ด๊ณผ ์—ฐ๊ฒฐ๋œ ๋ถ€๋ถ„์— ๋ฏธ์„ธํ•œ ๊ฐ€์Šค ์ž…์ž ํ˜•ํƒœ์˜ Dopant๋ฅผ ์นจํˆฌ์‹œํ‚ด์œผ๋กœ์จ ์ „์ž์†Œ์ž์˜ ํŠน์„ฑ์„ ๋งŒ๋“ค์–ด ์ฃผ๋Š” ๊ณต์ •) ๋“ฑ์˜ ์„ธ๋ถ€ ๊ณต์ •์œผ๋กœ ๊ตฌ์„ฑ๋จ โ—‹ ํ™”ํ•™์ฆ์ฐฉ(Chemical vapor Deposition): ํ™”ํ•™๋ฐ˜์‘์„ ์ด์šฉํ•˜์—ฌ ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์— ์ ˆ์—ฐ๋ง‰์ด๋‚˜ ์ „๋„์„ฑ๋ง‰์„ ํ˜•์„ฑํ•˜๋Š” ๊ณต์ • โ—‹ ๊ธˆ์†๋ฐฐ์„ (Metallization): ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์— ํ˜•์„ฑ๋œ ํšŒ๋กœ์— ์ด์˜จํ™”๋œ ๊ธˆ์†์„ ์ฆ์ฐฉ์‹œํ‚ค๋Š” ๊ณต์ • โ—‹ ํ‰ํƒ„ํ™”(Chemical Mechanical Polishing, CMP): ํšŒ๋กœ๋ฅผ ์—ฌ๋Ÿฌ ์ธต์œผ๋กœ ์Œ“๋Š” ์ž‘์—…์ด ์ž˜ ์ด๋ฃจ์–ด์ง€๋„๋ก ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์„ ์—ฐ๋งˆํ•˜์—ฌ ํ‰ํƒ„ํ•˜๊ฒŒ ๋งŒ๋“œ๋Š” ๊ณต์ • โ—‹ ๋ฐฑ๋žฉ(Back-Lap): ์ œ์กฐ ๊ณผ์ •์—์„œ ํŒŒ์†์„ ๋ง‰๊ธฐ ์œ„ํ•ด ๋‘๊ป๊ฒŒ ์ œ์ž‘๋œ ์›จ์ดํผ์˜ ๋’ท ๋ฉด์„ ์—ฐ๋งˆํ•˜๋Š” ๊ณต์ • ใˆ ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์— ํ˜•์„ฑ๋œ ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ฐœ์˜ ํšŒ๋กœ๋ฅผ ์ž˜๋ผ๋‚ด์–ด ์™„์„ฑ๋œ ๋ฐ˜๋„์ฒด๋กœ ๋งŒ๋“œ๋Š” ์กฐ๋ฆฝ ๊ณต์ •์€ ์•„๋ž˜์™€ ๊ฐ™์€ ์„ธ๋ถ€ ๊ณต์ •์œผ๋กœ ์ด๋ฃจ์–ด์ง„๋‹ค. โ—‹ ์›จ์ดํผ ์ ˆ๋‹จ(Sawing): ์›จ์ดํผ๋ฅผ ๊ฐœ๊ฐœ์˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์นฉ์œผ๋กœ ์ž๋ฅด๋Š” ๊ณต์ • โ—‹ ์นฉ ์ ‘์ฐฉ(Die Attach): ๋ฐ˜๋„์ฒด ์นฉ์„ ๋ฆฌ๋“œํ”„๋ ˆ์ž„(Lead Frame) ์œ„์— ์ ‘์ฐฉ์‹œํ‚ค๋Š” ๊ณต์ • โ—‹ ๊ธˆ์„  ์—ฐ๊ฒฐ(Wre Bond): ๋ฐ˜๋„์ฒด ์นฉ ์—ฐ๊ฒฐ๋‹จ์ž์™€ ๋ฆฌ๋“œํ”„๋ ˆ์ž„์„ ๊ธˆ์„ ์œผ๋กœ ์—ฐ๊ฒฐํ•˜๋Š” ๊ณต์ • โ—‹ ์„ฑํ˜•(Mold): ์—ด๊ฒฝํ™”์„ฑ์ˆ˜์ง€(Epoxy Molding Compound, EMC)๋กœ ์นฉ์„ ๋ฐ€๋ด‰ํ•˜๋Š” ๊ณต์ • โ—‹ ์ธ์‡„(Marking): ๋ชฐ๋“œ ์œ„์— ์ œํ’ˆ๋ฒˆํ˜ธ ๋“ฑ์„ ์ž‰ํฌ๋‚˜ ๋ ˆ์ด์ €๋กœ ์ƒˆ๊ฒจ ๋„ฃ๋Š” ๊ณต์ • โ—‹ ๋„๊ธˆ(Plating): ๋ฆฌ๋“œํ”„๋ ˆ์ž„์˜ ๋ถ€์‹์„ ๋ง‰๊ณ  ์ „๋„์„ฑ์„ ์ข‹๊ฒŒ ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ๋‚ฉ, ์ฃผ์„ ๋“ฑ์œผ๋กœ ๋„๊ธˆํ•˜๋Š” ๊ณต์ • โ—‹ ์ ˆ๋‹จ ยท ์ ˆ๊ณก(Trim Form): ๋ฆฌ๋“œํ”„๋ ˆ์ž„์—์„œ ๋ถˆํ•„์š”ํ•œ ๋ถ€๋ถ„(Dambar)์„ ์ž˜๋ผ๋‚ด๊ณ , ๋ฆฌ๋“œ๋ฅผ ์ ์ ˆํ•œ ๋ชจ์–‘์œผ๋กœ ๊ตฌ๋ถ€๋ ค ์ฃผ๋Š” ๊ณต์ • (2) โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ์‚ฌ์—…์žฅ ํ˜„ํ™ฉ โ—‹ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ด€๋ จ ์‚ฌ์—…์žฅ์€ ํฌ๊ฒŒ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ๊ณผ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ์œผ๋กœ ๊ตฌ๋ถ„๋œ๋‹ค. โ—‹ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ์—๋Š” โ—‹โ—‹๋‹จ์ง€(1984๋…„ ์„ค๋ฆฝ๋˜์—ˆ๊ณ , 9๊ฐœ์˜ ์›จ์ดํผ ๊ฐ€๊ณต ๋ผ์ธ์ด ์žˆ์Œ)์™€ โ—‹โ—‹๋‹จ์ง€(2002๋…„ ์„ค๋ฆฝ๋˜์—ˆ๊ณ , 6๊ฐœ์˜ ์›จ์ดํผ ๊ฐ€๊ณต ๋ผ์ธ์ด ์žˆ์Œ)๊ฐ€ ์žˆ๋Š”๋ฐ, 2008. 2. ๊ธฐ์ค€์œผ๋กœ 24,000์—ฌ ๋ช…(์ƒ์‚ฐ์ง 19,000์—ฌ ๋ช…, ์‚ฌ๋ฌด์ง 5,000์—ฌ ๋ช…)์˜ ๊ทผ๋กœ์ž๊ฐ€ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. โ—‹ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ์€ 1991. 11.๊ฒฝ ์„ค๋ฆฝ๋˜์—ˆ๋Š”๋ฐ, ์ฃผ๋กœ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์กฐ๋ฆฝ ๊ณต์ •์ด ์ด๋ฃจ์–ด์ง€๊ณ  2008. 2. ๊ธฐ์ค€์œผ๋กœ 6,200์—ฌ ๋ช…(์ƒ์‚ฐ์ง 5,000์—ฌ ๋ช…, ์‚ฌ๋ฌด์ง 1,200์—ฌ ๋ช…)์˜ ๊ทผ๋กœ์ž๊ฐ€ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ๋‚˜. ๊ด€๋ จ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ๋“ฑ (1) ๋ง ์†Œ์™ธ1, ์†Œ์™ธ2, ์†Œ์™ธ3 ๋ฐ ์›๊ณ  ์›๊ณ 4, ์›๊ณ 6์— ๋Œ€ํ•œ ๊ฐœ๋ณ„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ (๊ฐ€) ์กฐ์‚ฌ ๊ฒฝ์œ„ ์›๊ณ ๋“ค์ด ์œ ์กฑ๊ธ‰์—ฌ ๋“ฑ์˜ ์‹ ์ฒญ์„ ํ•˜์ž ํ”ผ๊ณ ๋Š” ์ด ์‚ฌ๊ฑด ๊ฐ ์ฒ˜๋ถ„์— ์•ž์„œ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๊ณต๋‹จ ์‚ฐํ•˜ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์—ฐ๊ตฌ์›(์ดํ•˜ 'โ—‹โ—‹โ—‹'์ด๋ผ ํ•œ๋‹ค)์— ์—…๋ฌด์ƒ ์งˆ๋ณ‘ ์—ฌ๋ถ€์— ๊ด€ํ•œ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ(์ดํ•˜ '๊ฐœ๋ณ„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ'๋ผ ํ•œ๋‹ค)๋ฅผ ์˜๋ขฐํ•˜์˜€๊ณ , โ—‹โ—‹โ—‹์€ ์•„๋ž˜์˜ ๊ณผ์ •์„ ๊ฑฐ์ณ ๊ทธ ์กฐ์‚ฌ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ํ”ผ๊ณ ์—๊ฒŒ ์ œ์ถœํ•˜์˜€๋‹ค(๋‹ค๋งŒ ๋ง ์†Œ์™ธ1์˜ ๊ฒฝ์šฐ, ํ”ผ๊ณ ๊ฐ€ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ๋ฅผ ์˜๋ขฐํ•˜๊ธฐ ์ด์ „์ธ 2007. 5. 21.๊ฒฝ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๊ฐ€ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ 3๋ผ์ธ์˜ ํ™•์‚ฐ ๋ฐ ์Šต์‹์‹๊ฐ ๊ณต์ •์— ๋Œ€ํ•œ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์œ ํ•ด๋„ ํ‰๊ฐ€๋ฅผ ์˜๋ขฐํ•˜์˜€์Œ). โ—‹ ๋ง ์†Œ์™ธ1(์›๊ณ  ์›๊ณ 1): 2007. 5. 21. โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๊ฐ€ 3๋ผ์ธ ํ™•์‚ฐ ๋ฐ ์Šต์‹์‹๊ฐ ๊ณต์ •์— ๋Œ€ํ•œ ์œ ํ•ด๋„ ํ‰๊ฐ€ ์˜๋ขฐ / 2007. 5. 22. ๋ฐ 2007. 6. 20. ์˜ˆ๋น„์กฐ์‚ฌ / 2007. 6. 28. ํ”ผ๊ณ ๊ฐ€ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ์˜๋ขฐ / 2007. 9. 17. ~ 2007. 9. 21. ๋ง ์†Œ์™ธ1 ์ž‘์—…๊ณต์ •์— ๋Œ€ํ•œ ์ž‘์—… ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • / 2009. 2. 25. ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌํ‰๊ฐ€์œ„์›ํšŒ ์‹ฌ์˜ โ—‹ ๋ง ์†Œ์™ธ2(์›๊ณ  ์›๊ณ 2): 2008. 5. 2. ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ์˜๋ขฐ / 2008. 8. 8. ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋…ธ์ถœ ํ‰๊ฐ€(์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ •์€ ๋ง ์†Œ์™ธ1์— ๋Œ€ํ•œ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์›์šฉํ•˜๊ณ , ๋ง ์†Œ์™ธ2์ด ๊ทผ๋ฌดํ–ˆ๋˜ 3๋ผ์ธ 2์ธต์— ๋Œ€ํ•ด์„œ๋งŒ ์ถ”๊ฐ€๋กœ ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋…ธ์ถœํ‰๊ฐ€๋ฅผ ์‹ค์‹œํ•จ) / 2009. 2. 25. ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌํ‰๊ฐ€ ์œ„์›ํšŒ ์‹ฌ์˜ โ—‹ ๋ง ์†Œ์™ธ3(์›๊ณ  ์›๊ณ 3): 2008. 5. 2. ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ์˜๋ขฐ / 2008. 8. 8. ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • / 2009. 2. 25. ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌํ‰๊ฐ€์œ„์›ํšŒ ์‹ฌ์˜ โ—‹ ์›๊ณ  ์›๊ณ 4: 2008. 5. 2. ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ์˜๋ขฐ / 2008. 6. 18. ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • / 2009. 2. 25. ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌํ‰๊ฐ€์œ„์›ํšŒ ์‹ฌ์˜ โ—‹ ์›๊ณ  ์›๊ณ 6: 2008. 12. 21. ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ์˜๋ขฐ / 2009. 3. 27. ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • / 2009. 7. 28. ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌํ‰๊ฐ€์œ„์›ํšŒ ์‹ฌ์˜ (๋‚˜) ์กฐ์‚ฌ ๊ฒฐ๊ณผ ๋ง ์†Œ์™ธ1, ์†Œ์™ธ2, ์†Œ์™ธ3, ์›๊ณ  ์›๊ณ 4, ์›๊ณ 6์˜ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ์ด๋‚˜ ์—…๋ฌด ๊ด€๋ จ์„ฑ์— ๋Œ€ํ•œ ๊ฐœ๋ณ„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ๊ฒฐ๊ณผ๋Š” ์•„๋ž˜ ์ œ3ํ•ญ์˜ ์›๊ณ ๋ณ„ ํŒ๋‹จ ๋ถ€๋ถ„์—์„œ ์„ค์‹œํ•œ๋‹ค. (2) โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ์ „์ฒด ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ ๊ทผ๋กœ์ž์— ๋Œ€ํ•œ 2008๋…„๋„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ (๊ฐ€) ์กฐ์‚ฌ ๊ฒฝ์œ„ โ—‹ โ—‹โ—‹โ—‹์€ ๋ง ์†Œ์™ธ1 ๋“ฑ์— ๋Œ€ํ•œ ์œ„์™€ ๊ฐ™์€ ๊ฐœ๋ณ„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ๊ณผ์ •์—์„œ ์ „์ฒด ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ทผ๋กœ์ž์˜ ๋ฆผํ”„์กฐํ˜ˆ๊ณ„์•” ๋ฐœ์ƒ ์œ„ํ—˜์ด ์ผ๋ฐ˜ ๊ตญ๋ฏผ์— ๋น„ํ•˜์—ฌ ๋†’์€์ง€ ์—ฌ๋ถ€ ๋“ฑ์— ๋Œ€ํ•œ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ๊ฐ€ ํ•„์š”ํ•˜๋‹ค๊ณ  ํŒ๋‹จํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ์ด์— ๋”ฐ๋ผ โ—‹โ—‹โ—‹์€ 2008. 1. 1. ~ 2008. 12. 31.๊ฒฝ๊นŒ์ง€ ๊ตญ๋‚ด ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ƒ์‚ฐ์—…์ฒด 6๊ฐœ์‚ฌ์˜ 9๊ฐœ ์‚ฌ์—…์žฅ๊ณผ ๊ทธ ํ˜‘๋ ฅ์—…์ฒด ์ „ ํ˜„์ง ๊ทผ๋กœ์ž ์ค‘ 229,683๋ช…์˜ ๊ณ ์šฉ๋ณดํ—˜์ž๋ฃŒ{๋Œ€ ์ƒ: 1995. 7. 1. ~ 2005. 12. 31.๊นŒ์ง€(ํ‘œ์ค€ํ™” ์•”๋“ฑ๋ก๋น„์˜ ๊ฒฝ์šฐ) ๋˜๋Š” 2006. 12. 31.๊นŒ์ง€ (ํ‘œ์ค€ํ™” ์‚ฌ๋ง๋น„์˜ ๊ฒฝ์šฐ) ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ์—์„œ 1๊ฐœ์›” ์ด์ƒ ๊ทผ๋ฌดํ•œ ๊ฒฝ๋ ฅ์ด ์žˆ๋Š” ๊ทผ๋กœ์ž}์™€ ์ธ์‚ฌ์ž๋ฃŒ{๋Œ€์ƒ: 1998. 1. 1. ~ 2005. 12. 31.๊นŒ์ง€(ํ‘œ์ค€ํ™” ์•”๋“ฑ๋ก๋น„์˜ ๊ฒฝ์šฐ) ๋˜๋Š” 2006. 12. 31.๊นŒ์ง€(ํ‘œ์ค€ํ™” ์‚ฌ๋ง๋น„์˜ ๊ฒฝ์šฐ) ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ์—์„œ 1๊ฐœ์›” ์ด์ƒ ๊ทผ๋ฌดํ•œ ๊ฒฝ๋ ฅ์ด ์žˆ๋Š” ๊ทผ๋กœ์ž}์— ๊ธฐ์ดˆํ•˜์—ฌ ํ†ต๊ณ„์  ๋ฐฉ๋ฒ•์œผ๋กœ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ ๊ทผ๋กœ์ž์˜ ๋ฆผํ”„์กฐํ˜ˆ๊ณ„์•” ์œ„ํ—˜๋„์— ๊ด€ํ•œ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ(์ดํ•˜ '2008๋…„๋„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ'๋ผ ํ•œ๋‹ค)๋ฅผ ์‹œํ–‰ํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ โ—‹โ—‹โ—‹์€ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ์ „ ยท ํ˜„์ง ๊ทผ๋กœ์ž ์ค‘ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘ 10๋ช…, ๋น„ํ˜ธ์ง€ํ‚จ ๋ฆผํ”„์ข… 8๋ช…, ํ˜ธ์ง€ํ‚จ๋ณ‘ 1๋ช… ๋“ฑ ๋ชจ๋‘ 19๋ช…์ด ๋ฆผํ”„์กฐํ˜ˆ๊ณ„์•”์œผ๋กœ ์ง„๋‹จ๋ฐ›์•„ ๊ทธ ์ค‘ 7๋ช…์ด ์‚ฌ๋งํ•˜์˜€๊ณ , ๊ทธ ์™ธ ๋ฆผํ”„์กฐํ˜ˆ๊ณ„ ์งˆํ™˜์˜ ์ผ์ข…์ธ ๋ฌดํ˜•์„ฑ๋นˆํ˜ˆ๋กœ 1๋ช…์ด ์‚ฌ๋งํ•œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์กฐ์‚ฌํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ๋ง โ—‹โ—‹โ—‹๋Š” ์กฐ์‚ฌ ๋Œ€์ƒ๊ธฐ๊ฐ„ ์ดํ›„์— ์‚ฌ๋งํ•˜์—ฌ ์กฐ์‚ฌ ๋Œ€์ƒ ์‚ฌ๋ง์ž์— ํฌํ•จ๋˜์ง€ ์•Š์•˜๊ณ , ์›๊ณ  ์›๊ณ 4์€ ์กฐ์‚ฌ ๋Œ€์ƒ๊ธฐ๊ฐ„ ์ด์ „์— ํ‡ด์‚ฌํ•˜์—ฌ ๊ณ ์šฉ๋ณดํ—˜์ž๋ฃŒ์—๋งŒ ํฌํ•จ๋˜๊ณ  ์ธ์‚ฌ์ž๋ฃŒ์—๋Š” ํฌํ•จ ๋˜์ง€ ์•Š์•˜๋‹ค. (๋‚˜) ์กฐ์‚ฌ ๊ฒฐ๊ณผ
โ—‹ ์ผ๋ฐ˜ ๊ตญ๋ฏผ์— ๋น„ํ•˜์—ฌ ์œ„ํ—˜๋„๊ฐ€ ๋†’๊ฑฐ๋‚˜ ๋‚ฎ๊ณ , ํ†ต๊ณ„์ ์œผ๋กœ๋„ ์œ ์˜ํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ
- ์ธ์‚ฌ์ž๋ฃŒ์— ์˜ํ•œ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์—ฌ์„ฑ ๊ทผ๋กœ์ž์˜ ๋น„ํ˜ธ์ง€ํ‚จ ๋ฆผํ”„์ข… ํ‘œ์ค€ํ™” ์•”๋“ฑ๋ก๋น„๊ฐ€ ์ผ๋ฐ˜ ๊ตญ๋ฏผ๋ณด๋‹ค ๋†’์Œ
- ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋‚จ๋…€ ๊ทผ๋กœ์ž์˜ ์ „์ฒด ํ‘œ์ค€ํ™” ์‚ฌ๋ง๋น„ ๋ฐ ๋ชจ๋“  ์•”์— ๋Œ€ํ•œ ํ‘œ์ค€ํ™” ์‚ฌ๋ง๋น„, ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋‚จ์„ฑ ๊ทผ๋กœ์ž์˜ ์ „์ฒด ํ‘œ์ค€ํ™” ์•”๋“ฑ๋ก๋น„, ๊ณ ์šฉ๋ณดํ—˜์ž๋ฃŒ์— ์˜ํ•œ ๋ฐ˜๋„์ฒด ๋‚จ์„ฑ ๊ทผ๋กœ์ž์˜ ๋ฆผํ”„์กฐํ˜ˆ๊ณ„์•” ํ‘œ์ค€ํ™” ์‚ฌ๋ง๋น„๊ฐ€ ์ผ๋ฐ˜ ๊ตญ๋ฏผ๋ณด๋‹ค ๋‚ฎ์Œ
โ—‹ ์ผ๋ฐ˜ ๊ตญ๋ฏผ์— ๋น„ํ•˜์—ฌ ์œ„ํ—˜๋„๊ฐ€ ๋†’์ง€๋งŒ, ํ†ต๊ณ„์ ์œผ๋กœ๋Š” ์œ ์˜ํ•˜์ง€ ์•Š์€ ๊ฒฐ๊ณผ
- ๋ฐ˜๋„์ฒด ์—ฌ์„ฑ ๊ทผ๋กœ์ž์˜ ์ธ์‚ฌ์ž๋ฃŒ์— ์˜ํ•œ ๋ฆผํ”„์กฐํ˜ˆ๊ณ„์•” ํ‘œ์ค€ํ™” ์‚ฌ๋ง๋น„, ๊ณ ์šฉ๋ณดํ—˜์ž๋ฃŒ์— ์˜ํ•œ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘ ํ‘œ์ค€ํ™” ์•”๋“ฑ๋ก๋น„, ์ธ์‚ฌ์ž๋ฃŒ์— ์˜ํ•œ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘ ํ‘œ์ค€ํ™” ์‚ฌ๋ง๋น„ ๋ฐ ํ‘œ์ค€ํ™” ์•”๋“ฑ๋ก๋น„, ๊ณ ์šฉ๋ณดํ—˜ ์ž๋ฃŒ์— ์˜ํ•œ ๋น„ํ˜ธ์ง€ํ‚จ ๋ฆผํ”„์ข… ํ‘œ์ค€ํ™” ์‚ฌ๋ง๋น„ ๋ฐ ํ‘œ์ค€ํ™” ์•”๋“ฑ๋ก๋น„, ์ธ์‚ฌ์ž๋ฃŒ์— ์˜ํ•œ ๋น„ํ˜ธ์ง€ํ‚จ ๋ฆผํ”„์ข… ํ‘œ์ค€ํ™” ์‚ฌ๋ง๋น„๊ฐ€ ์ผ๋ฐ˜ ๊ตญ๋ฏผ๋ณด๋‹ค ๋†’์Œ
โ—‹ ์กฐ์‚ฌ ๊ฒฐ๊ณผ์˜ ํ•ด์„๊ณผ ๊ด€๋ จํ•œ ์œ ์˜์‚ฌํ•ญ- โ—‹โ—‹โ—‹์€ ์กฐ์‚ฌ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ํ•ด์„ํ•จ์— ์žˆ์–ด ์กฐ์‚ฌ ๋Œ€์ƒ์ด ๋œ ๊ธฐ์—… ์ •๊ทœ์ง ๊ทผ๋กœ์ž๋“ค์ด ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ๋‹ค๋ฅธ ์ธ๊ตฌ์ง‘๋‹จ์— ๋น„ํ•˜์—ฌ ์‚ฌ๋ง์ด๋‚˜ ์•” ๋ฐœ์ƒ ๋น„์œจ์ด ๋‚ฎ๋‹ค๋Š” ์ด๋ฅธ๋ฐ” '๊ฑด๊ฐ• ๊ทผ๋กœ์ž ํšจ๊ณผ'๋ฅผ ๊ณ ๋ คํ•˜์—ฌ์•ผ ํ•œ๋‹ค๊ณ  ๋ฐํž˜
โ—‹ ์œ„์™€ ๊ฐ™์€ ์กฐ์‚ฌ๊ฒฐ๊ณผ์˜ ์ฃผ์š” ๋‚ด์šฉ์€ ์•„๋ž˜ ํ‘œ์™€ ๊ฐ™์Œ
๊ตฌ๋ถ„ ์„ฑ๋ณ„ ๋ถ„์„๋Œ€์ƒ ํ‘œ์ค€ํ™” ์‚ฌ๋ง๋น„(95% ์‹ ๋ขฐ๊ตฌ๊ฐ„) ํ‘œ์ค€ํ™” ์•”๋“ฑ๋ก๋น„(95% ์‹ ๋ขฐ๊ตฌ๊ฐ„)
์ „์ฒด์‚ฌ๋ง ๋‚จ ๊ณ ์šฉ๋ณดํ—˜์ž๋ฃŒ -0.53(0.49-0.57)
์—ฌ ๊ณ ์šฉ๋ณดํ—˜์ž๋ฃŒ 0.66(0.58-0.75)
์ „์ฒด ์•” ๋‚จ ๊ณ ์šฉ๋ณดํ—˜์ž๋ฃŒ 0.74(0.65-0.86) 0.86(0.77-0.95)
์—ฌ ๊ณ ์šฉ๋ณดํ—˜์ž๋ฃŒ 0.73(0.57-0.93) 0.97(0.87-1.09)
์ „์ฒด๋ฆดํ”„์กฐํ˜ˆ๊ณ„์•” ๋‚จ ๊ณ ์šฉ๋ณดํ—˜์ž๋ฃŒ 0.48(0.23-0.88)
์ธ์‚ฌ์ž๋ฃŒ 1.56(0.68-3.09)
์—ฌ ๊ณ ์šฉ๋ณดํ—˜์ž๋ฃŒ 0.92(0.47-1.60)
์ธ์‚ฌ์ž๋ฃŒ 1.56(0.68-3.09)
๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘ ๋‚จ ๊ณ ์šฉ๋ณดํ—˜์ž๋ฃŒ 0.51(0.19-1.12) 086(0.48-1.42)
์ธ์‚ฌ์ž๋ฃŒ 0.36(0.04-1.29) 0.87(0.28-1.72)
์—ฌ ๊ณ ์šฉ๋ณดํ—˜์ž๋ฃŒ 0.89(0.41-1.70) 1.04(0.58-1.71)
์ธ์‚ฌ์ž๋ฃŒ 1.48(0.54-3.22) 1.31(0.57-2.59)
๋น„ํ˜ธ์ง€ํ‚จ ๋ฆผํ”„์ข… ๋‚จ ๊ณ ์šฉ๋ณดํ—˜์ž๋ฃŒ 0.37(0.16-1.47) 0.84(0.45-1.44)
์ธ์‚ฌ์ž๋ฃŒ 0.62(0.08-2.24) 0.77(0.28-1.69)
์—ฌ ๊ณ ์šฉ๋ณดํ—˜์ž๋ฃŒ 1.05(0.22-3.07) 1.61(0.90-2.66)
์ธ์‚ฌ์ž๋ฃŒ 2.05(0.25-7.42) 2.67(1.22-5.07)
(3) โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™๊ต ์‚ฐํ•™ํ˜‘๋ ฅ๋‹จ์˜ 2009๋…„๋„ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ ์œ„ํ—˜์„ฑ ํ‰๊ฐ€ (๊ฐ€) ํ‰๊ฐ€ ๊ฒฝ์œ„ โ—‹ โ—‹โ—‹โ—‹์˜ 2008๋…„๋„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ์ดํ›„๋กœ๋„ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ์˜ ์œ„ํ—˜์„ฑ์— ๋Œ€ํ•œ ๋…ผ๋ž€์ด ์ง€์†๋˜์ž ๊ณ ์šฉ๋…ธ๋™๋ถ€์˜ ๊ถŒ๊ณ ๋กœ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹, ใˆœโ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ๋ฐ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ใˆœ ๋“ฑ 3๊ฐœ ํšŒ์‚ฌ๋Š” ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ์˜ ์‚ฐ์—…๋ณด๊ฑด ์œ„ํ—˜์„ฑ์„ ํ‰๊ฐ€ํ•˜๊ณ  ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ์— ๋”ฐ๋ผ ๊ฐœ์„ ๊ณ„ํš์„ ์ˆ˜๋ฆฝ ยท ์ถ”์ง„ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์„ ๋ชฉ์ ์œผ๋กœ, 2009. 6. ๊ฒฝ โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™๊ต ์‚ฐํ•™ํ˜‘๋ ฅ๋‹จ์— '๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ณต์žฅ ์œ„ํ—˜์„ฑ ํ‰๊ฐ€ ์ปจ์„คํŒ…'์„ ์˜๋ขฐํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ์ด์— ๋”ฐ๋ผ โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™๊ต ์‚ฐํ•™ํ˜‘๋ ฅ๋‹จ(์ž๋ฌธ์ฑ…์ž„์ž: โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™๊ต โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™์› ์†Œ์™ธ4๊ต์ˆ˜)๋Š” 2009. 6. 8.๊ฒฝ ~ 2009. 10. 30.๊ฒฝ๊นŒ์ง€ ์กฐ์‚ฌ๋ฅผ ์ง„ํ–‰ํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์— ๋Œ€ํ•˜์—ฌ๋Š” โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ์˜ 5๋ผ์ธ๊ณผ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ์˜ 1๋ผ์ธ์„ ํ‰๊ฐ€ ๋Œ€์ƒ ์ž‘์—…์žฅ์œผ๋กœ ์„ ์ •ํ•œ ํ›„ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๊ฐ€ ๊ณผ๊ฑฐ ์‹ค์‹œํ•œ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ ๋“ฑ์— ๊ธฐ์ดˆํ•˜์—ฌ ์ž‘์—…์žฅ์˜ ์œ„ํ—˜์„ฑ ๋“ฑ์„ ํ‰๊ฐ€ํ•˜์˜€๋‹ค.(์ดํ•˜ ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ 'โ—‹โ—‹๋Œ€ ๋ณด๊ณ ์„œ'๋ผ ํ•œ๋‹ค). (๋‚˜) ํ‰๊ฐ€ ๊ฒฐ๊ณผ
โ–  ๋…ธ์ถœํ‰๊ฐ€ ๋ถ€๋ถ„
โ—‹ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ 5๋ผ์ธ
- ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์˜ ์‚ฌ์šฉ
ยท ๋ชจ๋‘ 99์ข…(ํ™•์‚ฐ 13์ข…, ๊ฐ๊ด‘ 28์ข…, ์‹๊ฐ ๊ธฐ์ข…, ์„ธ์ฒ™ 10์ข…, ํ™”ํ•™์ฆ์ฐฉ 10์ข…, ์ด์˜จ์ฃผ์ž… 7 ์ข…, ๊ธˆ์†๋ฐฐ์„  5์ข…, ํ‰ํƒ„ํ™” 5์ข… ๋“ฑ)์˜ ํ™”ํ•™์ œํ’ˆ์ด ์‚ฌ์šฉ๋˜๊ณ  ์žˆ์Œยท โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋Š” ๋‚ฉํ’ˆ์—…์ฒด๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ๋ฐ›์€ ์„ฑ๋ถ„ํ‘œ์— ๊ทผ๊ฑฐํ•˜์—ฌ ์œ„ ํ™”ํ•™์ œํ’ˆ๋“ค์˜ ์„ฑ๋ถ„์„ ํŒŒ์•…ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋Š”๋ฐ, ๊ทธ ์„ฑ๋ถ„ํ‘œ์— ๋”ฐ๋ฅด๋ฉด ์œ„ ํ™”ํ•™์ œํ’ˆ๋“ค์— ๋ฐœ์•”์„ฑ ๋ฌผ์งˆ์€ ํฌํ•จ๋˜์–ด ์žˆ์ง€ ์•Š์Œ
ยท ์œ„ 99์ข…์˜ ํ™”ํ•™์ œํ’ˆ ์„ฑ๋ถ„์„ ์‹ค์ œ ํ™•์ธํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ ๋‹จ์ผ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์€ 83์ข…์ธ๋ฐ, ๊ทธ ์ค‘ ์„ฑ๋ถ„ ์ด ๋ฏธํ™•์ธ๋œ ๋ฌผ์งˆ์€ 10์ข…์œผ๋กœ ๋ชจ๋‘ ๋‚ฉํ’ˆ์—…์ฒด์˜ ์˜์—…๋น„๋ฐ€๋กœ ๋˜์–ด ์žˆ๋Š” ๋ฌผ์งˆ์ž„
ยท ์œ„ 83์ข…์˜ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ ์ค‘ 24์ข…๋งŒ์ด ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ •์„ ํ†ตํ•ด ๊ด€๋ฆฌ๋˜๊ณ  ์žˆ์—ˆ๋Š”๋ฐ, ์ธก์ •์„ ํ†ตํ•ด ๊ด€๋ฆฌ๋˜์ง€ ์•Š๋Š” ๋ฌผ์งˆ๋“ค์ด ๋ชจ๋‘ ์•ˆ์ „ํ•œ ๋ฌผ์งˆ์€ ์•„๋‹ˆ๊ณ  ์„ธ์ฒ™ ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋˜๊ณ  ์žˆ๋Š” ์นดํ…Œ์ฝœ, ์ˆ˜์‚ฐํ™”์•”๋ชจ๋Š„ ๋“ฑ์€ ๊ทผ๋กœ์ž ๊ฑด๊ฐ• ๋ณดํ˜ธ๋ฅผ ์œ„ํ•ด ์ธก์ •ํ•  ํ•„์š”์„ฑ์ด ์žˆ๋Š” ๋ฌผ์งˆ๋กœ ํŒ๋‹จ๋จ
- ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผยท ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ์™€ ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋Š” โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ์ง์›์ด๊ณ , ์žฅ๋น„์˜ ์„ธ์ •์ž‘์—…์€ ํ˜‘๋ ฅ์—…์ฒด์—์„œ ์‹ค์‹œํ•˜๊ณ  ์žˆ์Œ. ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ •๋„ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ์™€ ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด์— ๋Œ€ํ•ด์„œ๋Š” โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๊ฐ€, ์ •๋น„์ž‘์—…์— ๋Œ€ํ•ด์„œ๋Š” ํ˜‘๋ ฅ์—…์ฒด๊ฐ€ ์‹ค์‹œํ•˜๊ณ  ์žˆ์Œ
ยท โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ ์ „์ฒด์— ๋Œ€ํ•œ 2007๋…„๋„ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ์— ์˜ํ•˜๋ฉด, ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ์™€ ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด์— ๋Œ€ํ•˜์—ฌ ๋…ธ์ถœ์ง€์ˆ˜(= ๋…ธ์ถœ๋†๋„/๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€)๊ฐ€ ๊ฐ€์žฅ ๋†’๊ฒŒ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ ๋ฌผ์งˆ์€ ์ด์˜จ์ฃผ์ž… ๊ณต์ •์—์„œ ์ธก์ •๋œ ๊ณผ์‚ฐํ™”์ˆ˜์†Œ๋กœ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์˜ 29% ์ˆ˜์ค€์ด์—ˆ์Œ. ์ฆ‰ ๋ชจ๋“  ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ๋Š” ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์˜ 29% ๋ฏธ๋งŒ์ด๋ผ๊ณ  ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Œ
ยท ๊ทธ ์ค‘ ์„ธ์ฒ™ ๊ณต์ •์—์„œ๋Š” ์ดˆ์‚ฐ, ์•„์„ธํ†ค, ๊ณผ์‚ฐํ™”์ˆ˜์†Œ, ํ™ฉ์‚ฐ, ์ธ์‚ฐ, ์—ผ์‚ฐ, ๋ถˆ์‚ฐ, ์งˆ์‚ฐ, ์ด์†Œํ”„๋กœํ•„์•Œ์ฝœ(IPA), ์•”๋ชจ๋‹ˆ์•„ ๋“ฑ์ด ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ๊ณ , ํ™•์‚ฐ ๊ณต์ •์—์„œ๋Š” ์•„๋ฅด์‹ , ์—ผ์†Œ, ๊ณผ์‚ฐํ™”์ˆ˜์†Œ, ํ™ฉ์‚ฐ, ์ธ์‚ฐ, ์—ผ์‚ฐ, ๋ถˆ์‚ฐ, ์งˆ์‚ฐ, IPA, ํฌ์Šคํ•€ ๋“ฑ์ด ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ์Œยท ์ •๋น„์ž‘์—…์— ๋Œ€ํ•˜์—ฌ ๋…ธ์ถœ์ง€์ˆ˜๊ฐ€ ๊ฐ€์žฅ ๋†’๊ฒŒ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ ๋ฌผ์งˆ์€ ํ™”ํ•™์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ •์—์„œ ์ธก์ •ํ•œ ํ™ฉ์‚ฐ์œผ๋กœ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์˜ 56% ์ˆ˜์ค€์ด์—ˆ์Œ. ๊ทธ ์ค‘ ํ‰ํƒ„ํ™” ๊ณต์ •์—์„œ๋Š” ์ˆ˜์‚ฐํ™”์นผ๋ฅจ, ํ˜ผํ•ฉ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ, IPA ๋“ฑ์ด ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ์Œ
ยท ํ•œํŽธ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ์—์„œ๋Š” ๋‹ค์–‘ํ•œ ์žฅ๋น„๋ฅผ ํ˜„์žฅ ๋‚ด์—์„œ ๊ฐœ๋ฐฉํ•˜๊ณ  ์ ๊ฒ€ ๋ฐ ์ •๋น„ํ•˜๋Š” ์ž‘์—…์ด ๊ทœ์น™์  ํ˜น์€ ๋ถˆ๊ทœ์น™์ ์œผ๋กœ ์‹ค์‹œ๋˜๋ฏ€๋กœ ์ด๋Ÿฌํ•œ ์ž‘์—…์‹œ ์žฅ๋น„ ๋‚ด ์˜ค์—ผ๋ฌผ์งˆ์ด ๊ณต์ • ๋‚ด๋กœ ์œ ์ž…๋  ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์ด ์žˆ์–ด ์ž‘์—…์ž์˜ ๋…ธ์ถœ์— ํฐ ์˜ํ–ฅ์„ ์ค„ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š”๋ฐ, ํ˜„์žฌ์˜ ์ธก์ •๋ฐฉ์‹์€ ์ƒํ•˜๋ฐ˜๊ธฐ ์ค‘ ์ผ์ •ํ•œ ์‹œ๊ธฐ๋ฅผ ์ •ํ•˜์—ฌ ํ•ด๋‹น ๊ธฐ๊ฐ„ ๋™์•ˆ ๊ฐ ๊ณต์ •, ์ž‘์—…์žฅ์†Œ๋ณ„๋กœ 1ํšŒ ์ธก์ •ํ•˜๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•์„ ํ™œ์šฉํ•˜๊ณ  ์žˆ์œผ๋ฏ€๋กœ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ์—๋Š” ํ•œ๊ณ„๊ฐ€ ์žˆ์Œ
-๊ฐ€์Šค๊ฒ€์ง€๊ธฐ ์ž‘๋™ ํ˜„ํ™ฉ
ยท 5๋ผ์ธ ํ™•์‚ฐ ๊ณต์ • ๋“ฑ 6๊ฐœ ๊ณต์ •์—๋Š” ์žฅ๋น„์— 323๊ฐœ, ์žฅ๋น„ ์™ธ๋ถ€(์ž‘์—…์žฅ)์— 28๊ฐœ์˜ ๊ฐ€์Šค๊ฒ€์ง€๊ธฐ๊ฐ€ ์„ค์น˜๋˜์–ด ์žˆ๋Š”๋ฐ, 2009. 2. ~ 2009. 7.๊นŒ์ง€ ๋ชจ๋‘ 46ํšŒ์˜ ๊ฒฝ๋ณด๊ฐ€ ๋ฐœ๋ น๋˜์—ˆ์Œ
ยท ๊ฒฝ๋ณด ๋ฐœ๋ น์˜ ์›์ธ์€ ํ‘œ์ค€์ž‘์—…์ ˆ์ฐจ๋ฅผ ์ค€์ˆ˜ํ•˜๋ฉด์„œ ์œ ์ง€ยท๋ณด์ˆ˜(Preventive Maintenance, PM) ์ž‘์—…์„ ํ•˜๋˜ ์ค‘ ์ž”๋ฅ˜๊ฐ€์Šค์˜ ์˜ํ–ฅ์œผ๋กœ ์ธํ•œ ๊ฒฝ์šฐ 25๊ฑด, ๊ฒ€์ง€๊ธฐ ์˜ค๋™์ž‘ 11๊ฑด, PM ์ž‘์—… ์ค‘ ํ‘œ์ค€์ž‘์—…์ ˆ์ฐจ ๋ฏธ์ค€์ˆ˜๋กœ ์ธํ•œ ๊ฒฝ์šฐ 3๊ฑด, ์ •์ƒ์ ์œผ๋กœ ๊ณต์ •์ด ๊ฐ€๋™๋˜๊ณ  ์žˆ๋Š” ์ƒํ™ฉ์—์„œ ๋ˆ„์ถœ๋œ ๊ฒฝ์šฐ 3๊ฑด, ์›์ธ ๋ฏธํŒŒ์•… 4๊ฑด ๋“ฑ์œผ๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚ฌ์Œ
ยท ๋ˆ„์ถœ๋œ ๋ฌผ์งˆ์€ ์•„๋ฅด์‹ , ์ƒ์—ผํ™”๋ถ•์†Œ, ์—ผ์†Œ, ๋ธŒ๋กฌํ™”์ˆ˜์†Œ, ์—ผ์‚ฐ, ํฌ์Šคํ•€, ์‹ค๋ž€ ๋“ฑ์ด์—ˆ๋Š”๋ฐ, ๊ทธ ์ค‘ 2009. 7. 20. ๋ˆ„์ถœ๋œ ๋ธŒ๋กฌํ™”์ˆ˜์†Œ๋Š” 5,729์ดˆ๊ฐ„ ๊ณ ๋†๋„๋กœ ์‹ค์ œ ๋ˆ„์ถœ๋˜์–ด ๋งค์šฐ ์œ„ํ—˜ํ•œ ์ƒํ™ฉ์ด์—ˆ์Œ์—๋„ ํ˜„์žฅ ๊ทผ๋กœ์ž์˜ ๋Œ€ํ”ผ ๋“ฑ ์ ์ ˆํ•œ ์กฐ์น˜๊ฐ€ ์—†์—ˆ์Œ
ยท ์ •์ƒ์ ์ธ ์กฐ๊ฑด์—์„œ๋Š” ๊ทผ๋กœ์ž๊ฐ€ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์— ๊ฑฐ์˜ ๋…ธ์ถœ๋˜์ง€ ์•Š์œผ๋‚˜, ์„ค๋น„ ์•ˆ์—์„œ ๊ธฐ๊ณ„๋‚˜ ๋ฌผ์งˆ ๊ต์ฒด, ์„ธ์ฒ™ ๋“ฑ์˜ PM ์ง๋ฌด๋ฅผ ์ˆ˜ํ–‰ํ•  ๋•Œ ๊ฒฝ๋ณด๊ฐ€ ๋ฐœ๋ น๋˜๊ณ  ์žˆ์œผ๋ฏ€๋กœ PM ์ง๋ฌด์— ๋Œ€ํ•œ ๋…ธ์ถœํ‰๊ฐ€ ๋ฐ ๊ด€๋ฆฌ๊ฐ€ ์ค‘์š”ํ•จ- ๊ฐ๊ด‘์ œ์˜ ๋ฒค์   ๋“ฑ ํ•จ์œ  ์—ฌ๋ถ€ ๋ถ„์„
ยท 5๋ผ์ธ ๊ฐ๊ด‘ ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉํ•˜๊ณ  ์žˆ๋Š” 40 ~ 50์—ฌ ์ข…์˜ ๊ฐ๊ด‘์ œ ๋ฒŒํฌ(์•ก์ฒด์šฉ์•ก) ์ค‘ 6๊ฐœ ๋ฅผ ์ž„์˜๋กœ ์„ ์ •ํ•ด์„œ ๋ฒค์   ๋“ฑ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์˜ ํ•จ์œ ๋Ÿ‰์„ ๋ถ„์„ํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ๋Š” ์•„๋ž˜ ํ‘œ์™€ ๊ฐ™์Œ
ยท ๋‹ค๋งŒ ๊ทธ ํ•จ์œ ๋Ÿ‰์€ ๊ทนํžˆ ๋ฏธ๋Ÿ‰์ด๊ณ  ๊ฐ๊ด‘ ๊ณต์ • ์ฑ”๋ฒ„์— ๋ฐ€ํํ˜• ๊ตญ์†Œ๋ฐฐ๊ธฐ์žฅ์น˜๊ฐ€ ์„ค์น˜๋˜์–ด ์žˆ์–ด ์ •์ƒ์ ์œผ๋กœ ์šด์˜๋˜๋Š” ๋™์•ˆ์— ์ฑ”๋ฒ„ ๋ฐ– ๊ณต๊ธฐ ์ค‘ ๋†๋„๋Š” ๊ฒ€์ถœํ•œ๊ณ„ ๋ฏธ๋งŒ์ผ ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์ด ๋†’์Œ
๋ถ„์„ ๋ฌผ์งˆ PR๋ฒŒํฌ ์‹œ๋ฃŒ
SPSL 402 SL 4100A SEPR 402 SPUV 5604 SMDT 750 JSAL 2726
๋ฒค์ ค%(ppm) 0.000891(8.91) 0.000218(2.18) 0.000234(2.34) 0.000785(7.85) 0.000015(0.15) 0.00008(0.08)
ํ‹€๋ฃจ์—”%(ppm) 0.015184(151.84) 0.00041(4.1) 0.000448(4.48) 0.000053(0.53) 0.000012(0.12) 0.000019(0.19)
2-๋ฉ”ํ†ก์‹œ์—”ํƒ€์˜ฌ%(ppm) 0.002185(21.85) 0.001079(10.79) 0.006392(63.92) 0.000590(5.90) ๋ถˆ๊ฒ€์ถœ ๋ถˆ๊ฒ€์ถœ
-์ง๋ฌด๋ณ„ ๋…ธ์ถœ์ˆ˜์ค€
ยท ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์œ ํ•ด์ธ์ž ๋ฐœ์ƒ์„ค๋น„ ๋“ฑ์ด ๋ฐ€ํ๋˜์–ด ์žˆ๊ณ  ๊ทผ๋กœ์ž์™€ ๊ฒฉ๋ฆฌ๋˜์–ด ์žˆ์œผ๋ฉฐ ๊ณต์ • ๋‚ด์—์„œ ์ด๋ฃจ์–ด์ง€๋Š” ์žฅ๋น„์™€ ์ˆ˜๋ฆฌ, ์„ธ์ฒ™ ๋“ฑ์—๋Š” ๊ด€์—ฌํ•˜์ง€ ์•Š์œผ๋ฏ€๋กœ ์ •์ƒ ์šด์ „์—์„œ๋Š” ๋†’์€ ๋…ธ์ถœ์ด ์ผ์–ด๋‚˜์ง€ ์•Š๊ณ  ์ด๋“ค์„ ๋Œ€์ƒ์œผ๋กœ ์ธก์ •ํ•œ ์œ ํ•ด์ธ์ž์˜ ๋…ธ์ถœ์ˆ˜์ค€๋„ ๋Œ€๋ถ€๋ถ„ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€ ์ดํ•˜์ด๋ฏ€๋กœ, ์ „๋ฐ˜์ ์ธ ์œ ํ•ด์ธ์ž ๋…ธ์ถœ๊ฐ•๋„๋Š” '๋‚ฎ์Œ'์œผ๋กœ ํ‰๊ฐ€ํ•จ
ยท ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์ฑ”๋ฒ„ ๋‚ด ๋˜๋Š” ๋ณ„๋„์˜ ์„ธ์ •์‹ค์—์„œ ๊ธฐ๊ณ„ ์ •๋น„, ์„ธ์ฒ™, ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ ๊ต์ฒด ๋“ฑ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์ด๋‚˜ ์œ ํ•ด์ธ์ž๊ฐ€ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ์—…๋ฌด๋ฅผ ์ง์ ‘ ๋‹ด๋‹นํ•˜๊ณ  ์žˆ๊ณ  ๋ฌธํ—Œ์—์„œ๋„ ๋‹จ์‹œ๊ฐ„์— ๋†’์€ ์ˆ˜์ค€์— ๋…ธ์ถœ๋  ์œ„ํ—˜์ด ์žˆ๋Š” ์—…๋ฌด๋กœ ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ์œผ๋ฏ€๋กœ, ๋…ธ์ถœ๊ฐ•๋„๋ฅผ '๋†’์Œ'์œผ๋กœ ํ‰๊ฐ€ํ•จ
โ—‹ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ 1 ๋ผ์ธ- ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์˜ ์‚ฌ์šฉ
ยท ๋ชจ๋‘ 33์ข…(๋ชฐ๋“œ 9์ข…, ๊ธˆํ˜•์„ธ์ • 3์ข…, ๋„๊ธˆ 15์ข…, ๊ธฐํƒ€ 6์ข…)์˜ ํ™”ํ•™์ œํ’ˆ์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜๊ณ  ์žˆ๋Š”๋ฐ, โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋Š” ๋‚ฉํ’ˆ์—…์ฒด๋กœ๋ถ€ํ„ฐ ๋ฐ›์€ ์„ฑ๋ถ„ํ‘œ์— ๊ทผ๊ฑฐํ•˜์—ฌ ์œ„ ํ™”ํ•™์ œํ’ˆ์˜ ์„ฑ๋ถ„์„ ํŒŒ์•…ํ•˜๊ณ  ์žˆ์Œ
ยท ์œ„ 33์ข…์˜ ํ™”ํ•™์ œํ’ˆ ์„ฑ๋ถ„์„ ์‹ค์ œ ํ™•์ธํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ ๋‹จ์ผ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์€ 63์ข…์ธ๋ฐ, ๊ทธ ์ค‘ ์„ฑ๋ถ„์ด ๋ฏธํ™•์ธ๋œ ๋ฌผ์งˆ์€ 3์ข…์œผ๋กœ ๋ชจ๋‘ ๋‚ฉํ’ˆ์—…์ฒด์˜ ์˜์—…๋น„๋ฐ€๋กœ ๋˜์–ด ์žˆ๋Š” ๋ฌผ์งˆ์ž„
ยท ์œ„ 63์ข…์˜ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ ์ค‘ 14์ข…๋งŒ์ด ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ •์„ ํ†ตํ•ด ๊ด€๋ฆฌ๋˜๊ณ  ์žˆ๋Š”๋ฐ, ๊ฐ€์žฅ ์ž์ฃผ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ๋ฌผ์งˆ์ธ ์—ํญ์‹œ ์ˆ˜์ง€์™€ ํŽ˜๋†€ ์ˆ˜์ง€๋Š” ์—ด๋ถ„ํ•ด์‚ฐ๋ฌผ๋กœ ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ๊ฐ€ ๋ฐœ์ƒ๋  ์ˆ˜ ์žˆ์Œ์—๋„ ์•„์ง๊นŒ์ง€ ์œ„ ์ˆ˜์ง€๋“ค์„ ์ง์ ‘ ๋ชจ๋‹ˆํ„ฐ๋งํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ •๋ฐฉ๋ฒ•์€ ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ์ง€ ์•Š์€ ์ƒํƒœ์ž„- ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ
ยท โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ์— ๋Œ€ํ•œ 2007๋…„๋„ ์ƒ๋ฐ˜๊ธฐ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ •๊ฒฐ๊ณผ์— ์˜ํ•˜๋ฉด, ๋…ธ์ถœ์ง€์ˆ˜๊ฐ€ ๊ฐ€์žฅ ๋†’๊ฒŒ ๋‚˜ํƒ€๋‚œ ๋ฌผ์งˆ์€ ๋””ํด๋กœ๋กœํ”Œ๋ฃจ์˜ค๋กœ์—ํƒ„๋Œ€CFC-141b)์œผ๋กœ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์˜ 9% ์ˆ˜์ค€์ด์—ˆ๊ณ , ์ „์ฒด ์ธก์ •๊ฑด์ˆ˜ 227๊ฑด ๋ชจ๋‘ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์˜ 10% ๋ฏธ๋งŒ์ด์—ˆ์Œ
- ์ง๋ฌด๋ณ„ ๋…ธ์ถœ์ˆ˜์ค€
ยท ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์œ ํ•ด์ธ์ž ๋…ธ์ถœ๊ฐ•๋„๋Š” '๋‚ฎ์Œ'์œผ๋กœ ํ‰๊ฐ€ํ•จ
ยท ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์ „๋ฐ˜์ ์ธ ๋…ธ์ถœ๊ฐ•๋„๋Š” '์ค‘๊ฐ„' ๋˜๋Š” '๋†’์Œ'์œผ๋กœ ํ‰๊ฐ€ํ•จ
โ–  ์‚ฐ์—… ํ™˜๊ธฐ ๋ถ€๋ถ„
- ์›จ์ดํผ ๊ฐ€๊ณต ๊ณต์ •์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์™ธ๋ถ€ ๊ณต๊ธฐ๊ฐ€ 10 ~ 20% ๋น„์œจ๋กœ ์œ ์ž…๋˜์–ด ์žฌ์ˆœํ™˜ ๊ณต๊ธฐ์™€ ํ•จ๊ป˜ ์ž‘์—…๊ณต๊ฐ„์œผ๋กœ ๊ณต๊ธ‰๋˜๋Š”๋ฐ, ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ์กฐ๋ฆฝ ๊ณต์ •์˜ ์™ธ๋ถ€ ๊ณต๊ธฐ ์œ ์ž…๋ฅ ์ด ๊ฐ€๊ณต ๊ณต์ •์˜ ์™ธ๋ถ€ ๊ณต๊ธฐ ์œ ์ž…๋ฅ ๋ณด๋‹ค ๋†’์€ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํŒ๋‹จ๋จ
- ์ƒ์‚ฐ์„ค๋น„๋ฅผ ์ •๋น„ํ•˜๋ฉด์„œ ์˜ค์—ผ๋ฌผ์งˆ์ด ์œ ์ถœ๋˜๋ฉด ์™ธ๋ถ€ ๊ณต๊ธฐ ์œ ์ž…๋ฅ ์ด 10 ~ 20% ์ •๋„๋ฐ–์— ๋˜์ง€ ์•Š์œผ๋ฏ€๋กœ ์˜ค์—ผ๋ฌผ์งˆ์ด ์ž‘์—…์žฅ ๋‚ด๋ถ€ ๊ณต๊ฐ„๊ณผ ํ”Œ๋ ˆ๋„˜(Plenum: ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ƒ์‚ฐ์„ค๋น„ ๊ฐ€๋™์„ ์œ„ํ•ด ํ•„์š”ํ•œ ๋ฐฐ๊ด€์ด๋‚˜ ๋ถ€๋Œ€์‹œ์„ค์„ ๋‘๋Š” ๊ณต๊ฐ„์œผ๋กœ ์ž‘์—…์žฅ์˜ ์•„๋ž˜ ์ธต์— ์œ„์น˜ํ•จ)์„ ์ˆœํ™˜ํ•˜๋ฉด์„œ ๊ทผ๋กœ์ž๋‚˜ ๊ฒ€์ง€๊ธฐ๊ฐ€ ๊ฐ์ง€ํ•˜์ง€ ๋ชปํ•œ ์‚ฌ์ด์— ๋งŒ์„ฑ์ ์ธ ์ €๋†๋„ ์˜ค์—ผ์„ ์ผ์œผ์ผœ ๊ฑด๊ฐ•์— ์•…์˜ํ–ฅ์„ ์ค„ ์ˆ˜ ์žˆ์Œ
(4) โ—‹โ—‹โ—‹์˜ 2012๋…„๋„ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ ๊ทผ๋กœ์ž์˜ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ๋ฐ ์œ ํ•ด์š”์ธ ๋…ธ์ถœํŠน์„ฑ ์—ฐ๊ตฌ (๊ฐ€) ์—ฐ๊ตฌ ๊ฒฝ์œ„ โ—‹ โ—‹โ—‹โ—‹์˜ 2008๋…„๋„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ๊ฒฐ๊ณผ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ƒ์‚ฐ์ง ์—ฌ์„ฑ ๊ทผ๋กœ์ž์˜ ๋น„ํ˜ธ์ง€ํ‚จ ๋ฆผํ”„์ข… ํ‘œ์ค€ํ™” ์•”๋“ฑ๋ก๋น„๊ฐ€ ์ผ๋ฐ˜ ๊ตญ๋ฏผ๋ณด๋‹ค ์œ ์˜ํ•˜๊ฒŒ ๋†’๊ฒŒ ๋‚˜ํƒ€๋‚˜๋Š” ๋“ฑ ๋…ผ๋ž€์ด ์žˆ์ž ๊ณ ์šฉ ๋…ธ๋™๋ถ€๋Š” โ—‹โ—‹โ—‹์œผ๋กœ ํ•˜์—ฌ๊ธˆ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ ๊ทผ๋กœ์ž์˜ ๊ฑด๊ฐ•์žฅํ•ด ์˜ˆ๋ฐฉ์„ ์œ„ํ•ด ๊ณต์ •๋ณ„๋กœ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์ด๋‚˜ ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋“ฑ์˜ ์œ ํ•ด์š”์ธ ๋…ธ์ถœํŠน์„ฑ ๋“ฑ์„ ์—ฐ๊ตฌํ•˜๋„๋ก ํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ์ด์— ๋”ฐ๋ผ โ—‹โ—‹โ—‹์€ 2009๋…„ ~ 2011๋…„๊นŒ์ง€ 3๋…„๊ฐ„ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹, ใˆœโ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹, โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋ฐ˜๋„์ฒดใˆœ ๋“ฑ 3๊ฐœ ํšŒ์‚ฌ์˜ 4์ธ์น˜ ~ 12์ธ์น˜(โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๊ฒฝ์šฐ 8์ธ์น˜) ์›จ์ดํผ ๊ฐ€๊ณต ๋ผ์ธ๊ณผ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ๋“ฑ 2๊ฐœ ํšŒ์‚ฌ์˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์กฐ๋ฆฝ ๋ผ์ธ์„ ๋Œ€์ƒ์œผ๋กœ ์—ฐ๊ตฌ๋ฅผ ์ง„ํ–‰ํ•˜์—ฌ 2012. 3.๊ฒฝ ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ฐœํ‘œํ•˜์˜€๋‹ค(์ดํ•˜ ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ '2012๋…„๋„ ๋ณด๊ณ ์„œ'๋ผ ํ•œ๋‹ค). (๋‚˜) ์—ฐ๊ตฌ ๊ฒฐ๊ณผ
โ–  ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ ๋ถ„์•ผ
โ—‹ ์›จ์ดํผ ๊ฐ€๊ณต ๋ผ์ธ
โ—‡ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒ ๊ฐ€๋Šฅํ•œ 2์ฐจ ์ƒ์„ฑ๋ฌผ์งˆ
- ๊ฐ๊ด‘ ๊ณต์ •(๊ฐ๊ด‘์•ก์— ๋Œ€ํ•œ ์—ด๋ถ„ํ•ด์‚ดํ—˜์„ ํ†ตํ•ด ์—ด๋ถ„ํ•ด์‚ฐ๋ฌผ์„ํŒŒ์•…ํ•จ)
ยท ๊ฐ๊ด‘์•ก์˜ ๊ตฌ์„ฑ์„ฑ๋ถ„์€ ์˜์—…๋น„๋ฐ€์— ํ•ด๋‹นํ•˜์—ฌ ์ •ํ™•ํžˆ ํ™•์ธํ•  ์ˆ˜ ์—†์—ˆ์œผ๋‚˜, โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ์‚ฌ์—…์žฅ์—์„œ ์ฃผ๋กœ ๋…ธ๋ณด๋ฝ ์ˆ˜์ง€๊ฐ€ ํฌํ•จ๋œ ๊ฐ๊ด‘์•ก์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํŒŒ์•…๋˜์–ด ๋…ธ๋ณด๋ฝ ์ˆ˜์ง€๊ฐ€ ํฌํ•จ๋œ ๊ฐ๊ด‘์•ก์„ ๋Œ€์ƒ์œผ๋กœ ์‹คํ—˜ํ•จ
ยท ์—ด๋ถ„ํ•ด์‹คํ—˜ ๊ฒฐ๊ณผ ๋ฒค์  , ํ†จ๋ฃจ์—”, ํฌ์‹ค๋ Œ, ํŽ˜๋†€ ๋“ฑ์˜ ๋ฌผ์งˆ์ด ๋ฐœ์ƒํ•จ
ยท ๋‹ค๋งŒ ์—ด์— ์˜ํ•ด ์—๋„ˆ์ง€๋ฅผ ์ „๋‹ฌํ•˜๋Š” ๋ฐฉ์‹์œผ๋กœ ์‹คํ—˜ํ–ˆ๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ๊ฐ๊ด‘ ๊ณต์ •์—์„œ์™€ ๊ฐ™์ด UV ๋“ฑ ๋น›์—๋„ˆ์ง€๋ฅผ ์ด์šฉํ•˜์—ฌ ์—๋„ˆ์ง€๋ฅผ ์ „๋‹ฌํ•œ ๋ฐฉ์‹๊ณผ๋Š” ์ฐจ์ด๊ฐ€ ์žˆ๊ณ , ์‚ฌ์šฉ๋œ ์—๋„ˆ์ง€์˜ ์–‘์—๋„ ์ฐจ์ด๊ฐ€ ์žˆ์Œ
ยท ํ•œํŽธ ๋ฏธ๊ตญ์˜ ํŠนํ—ˆ์ž๋ฃŒ์— ์˜ํ•˜๋ฉด UV๋ฅผ ์ด์šฉํ•œ ๋…ธ๊ด‘ ๊ณผ์ •์—์„œ ๊ฐ๊ด‘์•ก ์„ฑ๋ถ„์ด ๋ถ„ํ•ด๋˜์–ด ๋ฒค์  ๊ณผ ๊ฐ™์€ 2์ฐจ ์ƒ์„ฑ๋ฌผ์งˆ์ด ๋ฐœ์ƒ๋  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค๊ณ  ํ•˜๋Š”๋ฐ, ๊ทธ๋Ÿฌํ•œ ๋‚ด์šฉ์ด ์œ„ ์‹คํ—˜์„ ํ†ตํ•ด ํ™•์ธ๋˜์—ˆ๋‹ค๊ณ  ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Œ
- ์‹๊ฐ, ํ™•์‚ฐ, ์ฆ์ฐฉ, ์ด์˜จ์ฃผ์ž… ๊ณต์ •(๋ฌธํ—Œ ๊ฒ€ํ† ๋ฅผ ํ†ตํ•ด ๋ฐœ์ƒ ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ๋ฌผ์งˆ์„ ํŒŒ์•…ํ•จ)
ยท ์‹๊ฐ ๊ณต์ •์€ ๊ฐ•์‚ฐ๊ณผ ๊ฐ•์—ผ๊ธฐ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜๊ฑฐ๋‚˜(์Šต์‹์‹๊ฐ) ์ด์˜จํ™”ํ•œ ๋ฌผ์งˆ๊ณผ์˜ ์ถฉ๋Œ ๋ฐ ๋ฐ˜์‘์„ ๊ฑฐ์น˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์—(๊ฑด์‹์‹๊ฐ) ๊ทธ ๊ณผ์ •์—์„œ PR ์„ฑ๋ถ„์ด ๋ถ„ํ•ด๋˜๋ฉด์„œ ํœ˜๋ฐœ์„ฑ ์œ ๊ธฐ๋ฌผ์งˆ๊ณผ ๊ฐ์ข… ๋ถ€์‚ฐ๋ฌผ ๋“ฑ์ด ๋ฐœ์ƒํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Œ
ยท ํ™•์‚ฐ ๋ฐ ์ข…์ฐฉ ๊ณต์ •์€ ํ™”ํ•™์  ๋ฐ˜์‘์„ ํ†ตํ•ด ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์— ๋ฐ•๋ง‰์„ ํ˜•์„ฑ์‹œํ‚ค๋Š” ๊ณผ์ •์—์„œ ๋‹ค์–‘ํ•œ ๋ถ€์‚ฐ๋ฌผ(์ˆ˜์†Œ, ์—ผ์‚ฐ, ๋ถˆ์‚ฐ ๋“ฑ)์ด ๋ฐœ์ƒํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Œ
ยท ์ด์˜จ์ฃผ์ž… ๊ณต์ •์€ ์žฅ๋น„์— ์•„๋ฅด์‹ , ์‚ผ์—ผํ™”๋ถ•์†Œ, ํฌ์Šคํ•€ ๋“ฑ์„ ๊ณต๊ธ‰ํ•œ ํ›„ ์ด์˜จํ™”์‹œํ‚ค๋Š” ๊ณผ์ •์—์„œ ๋‹ค์–‘ํ•œ ํ˜•ํƒœ์˜ ๋ถ€์‚ฐ๋ฌผ(์•„๋ฅด์‹ ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์•„๋ฅด์‹  ์ด์˜จ, ๋น„์†Œ ์ด์˜จ, ์ค‘์„ฑ์˜ ๋น„์†Œ ๋“ฑ)์ด ๋ฐœ์ƒํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Œ
โ—‡ ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ ๋…ธ์ถœ๋†๋„
-๊ทผ๋กœ์ž ์ž‘์—… ์œ„์น˜์™€ ๊ฐ€๊ณต ๋ผ์ธ ์™ธ๋ถ€ ๊ณต๊ธฐ ์œ ์ž…๊ตฌ ๋“ฑ์—์„œ ์‹œ๋ฃŒ ์ฑ„์ทจํ•˜์—ฌ ๋ถ„์„ํ•จ
-ํœ˜๋ฐœ์„ฑ ์œ ๊ธฐํ™”ํ•ฉ๋ฌผ(ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ ์ œ์™ธ)
ยท ์•„์„ธํ†ค, ๋ฒค์  , IPA, PGME(PropyIene Glycol Monomethyl Ether), ํ†จ๋ฃจ์—”, ํฌ์‹ค๋ Œ ๋“ฑ 10์—ฌ์ข…์˜ ํœ˜๋ฐœ์„ฑ ์œ ๊ธฐํ™”ํ•ฉ๋ฌผ์ด ๊ฒ€์ถœ๋จ
ยท ๋‹ค๋งŒ ์•„์„ธํ†ค, IPA, PGME, ํฌ์‹ค๋ Œ์„ ์ œ์™ธํ•˜๊ณ ๋Š” 0.1ppm ์ด์ƒ ๊ฒ€์ถœ๋œ ๋ฌผ์งˆ์€ ์—†์—ˆ๊ณ  ์•„์„ธํ†ค ๋“ฑ์˜ ๊ฒฝ์šฐ์—๋„ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์˜ 1/100 ์ด์ƒ ๊ฒ€์ถœ๋œ ์‹œ๋ฃŒ๋Š” ์—†์—ˆ์Œ
ยท ๋ฒค์  ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์ž‘์—…์žฅ ๋‚ด ๋†๋„๋Š” ND(๊ฒ€์ถœํ•œ๊ณ„ ๋ฏธ๋งŒ) 0.00038ppm์œผ๋กœ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€(1ppm)์— ๋น„ํ•ด ๋งค์šฐ ๋‚ฎ์•˜๊ณ , ์˜ฅ์™ธ ์™ธ๋ถ€๊ณต๊ธฐ ์œ ์ž…๊ตฌ์—์„œ ์ธก์ •ํ•œ ๋†๋„์ธ ND ~ 0.00030ppm ์ˆ˜์ค€ ๊ณผ ๋ณ„๋‹ค๋ฅธ ์ฐจ์ด๋ฅผ ๋ณด์ด์ง€ ์•Š์•˜์Œ. ํ•œํŽธ ํ™˜๊ฒฝ๋ถ€์—์„œ 2006๋…„๊ฒฝ ์ธก์ •ํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ์— ์˜ํ•˜๋ฉด ์ˆ˜๋„๊ถŒ 4๊ฐœ ์ง€์—ญ(์„œ์šธ, ๊ฐ•ํ™”, ์ธ์ฒœ, ๊ฒฝ๊ธฐ)์˜ ๋Œ€๊ธฐ ์ค‘ ํ‰๊ท  ๋ฒค์  ๋†๋„๋Š” 0.00033 ~ 0.00048ppm์ด์—ˆ์Œ

์‚ฌ์—…์žฅ ์‹œ๋ฃŒ์ˆ˜ ๋ฒค์ ค ๋†๋„(๋‹จ์œ„ : ppm)
๊ฐ€๊ณต ๋ผ์ธ ์˜ฅ์™ธ(์™ธ๋ถ€๊ณต๊ธฐ)
A์‚ฌ 5์ธ์น˜ 28 ND-0.00017 ์˜ฅ์™ธ(์™ธ๋ถ€๊ณต๊ธฐ)
B์‚ฌ(โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹) 8์ธ์น˜ 36 ND ND
C์‚ฌ 8์ธ์น˜ 39 ND~0.00038 ND~0.00030
C์‚ฌ 12์ธ์น˜ 40 ND~0.00028 ND

-ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ
ยท ์›จ์ดํผ ๊ฐ€๊ณต ๋ผ์ธ์—์„œ ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ๊ฐ€ ์ง์ ‘ ์‚ฌ์šฉ๋˜์ง€๋Š” ์•Š์ง€๋งŒ ๋…ธ๋ณด๋ฝ ์ˆ˜์ง€ ๋“ฑ ์œ ๊ธฐ ํ™”ํ•ฉ๋ฌผ์„ ๋งŽ์ด ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ๊ฐ๊ด‘ ๊ณต์ •์˜ ๋…ธ๊ด‘ ๊ณผ์ •์—์„œ 2์ฐจ์ ์œผ๋กœ ๋ฐœ์ƒ ๊ฐ€๋Šฅํ•จ
ยท ๊ฐ€๊ณต ๋ผ์ธ ๊ณต๊ธฐ ์ค‘ ๋†๋„๋Š” 0.0014 ~ 0.0038ppm(โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ 8์ธ์น˜ ๋ผ์ธ์˜ ๊ฒฝ์šฐ 0.0016 ~0.0022ppm)์œผ๋กœ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€(0.5ppm)์˜ 1/100 ๋ฏธ๋งŒ ์ˆ˜์ค€์ด์—ˆ์Œ. ํ•œํŽธ ๊ฒฝ๊ธฐ ์ง€์—ญ์—์„œ 2009. 8. ์ธก์ •๋œ ๋Œ€๊ธฐ ์ค‘ ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ ๋†๋„๋Š” 0.0010 ~ 0.0110ppm(ํ‰๊ท  0.0045ppm)์ด์—ˆ์Œ
- ๋ฌด๊ธฐ์‚ฐ ๋ฐ ๋ฌด๊ธฐ์‚ฐ ๊ฐ€์Šค
ยท ๊ฐ€๊ณต ๋ผ์ธ ์ „๋ฐ˜์— ๊ฑธ์ณ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ ์ž‘์—… ์œ„์น˜ ๋ฐ ์ฑ”๋ฒ„ ์ธ๊ทผ์—์„œ ๋ฌด๊ธฐ์‚ฐ(๋ถˆ์‚ฐ, ์—ผ์‚ฐ, ์งˆ์‚ฐ, ํ™ฉ์‚ฐ) ๋…ธ์ถœ๋†๋„๋ฅผ ํ‰๊ฐ€ํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ ๋ชจ๋‘ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์˜ 3/100 ์ดํ•˜๋กœ ๋‚ฎ์•˜์Œ
- ์•„๋ฅด์‹ , ๋น„์†Œ ๋ฐ ๊ทธ ๋ฌด๊ธฐํ™”ํ•ฉ๋ฌผ (์ด์˜จ์ฃผ์ž… ๊ณต์ •์„ ๋Œ€์ƒ์œผ๋กœ ํ‰๊ฐ€ํ•จ)
ยท ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ์—์„œ ์•„๋ฅด์‹ ์ด ๊ฒ€์ถœํ•œ๊ณ„(0.01ppb) ์ด์ƒ ๊ฒ€์ถœ๋œ ๊ฒฝ์šฐ๋Š” ์—†์—ˆ์Œ
ยท ์žฅ๋น„ ๋ถ„ํ•ด๋ฅผ ํฌํ•จํ•œ PM ์ž‘์—…์‹œ์˜ ์•„๋ฅด์‹  ๋†๋„๋Š” โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ 8์ธ์น˜ ๊ฐ€๊ณต ๋ผ์ธ์˜ ๊ฒฝ์šฐ 4.17ppb(๋‹ค๋งŒ ์ „์ฒด ์ž‘์—…์‹œ๊ฐ„ 372๋ถ„์— ๋Œ€ํ•œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋Œ€์ƒ ๊ทผ๋กœ์ž๊ฐ€ ์‹ค์ œ๋กœ PM ์ž‘์—…์„ ํ•œ 30๋ถ„ ๋™์•ˆ์˜ ๋†๋„๋Š” 4.17ppb์˜ ์ˆ˜ ๋ฐฐ ์ด์ƒ๋  ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํŒ๋‹จ๋จ), 8์‹œ๊ฐ„ ๊ฐ€์ค‘ํ‰๊ท ๋†๋„๋Š” 3.23PPb๋กœ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€(5ppb)์„ ์ดˆ๊ณผํ•˜์ง€ ์•Š์•˜์Œ. ์ „์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ์˜ ๋น„์†Œ ๋ฐ ๊ทธ ๋ฌด๊ธฐํ™”ํ•ฉ๋ฌผ์˜ 8 ์‹œ๊ฐ„ ๊ฐ€์ค‘ํ‰๊ท ๋†๋„๋Š” 0.0013mg/m' ~ 0.0613mg/m3๋กœ 8๊ฑด์˜ ์‹œ๋ฃŒ ์ค‘ 4๊ฑด(โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๊ฒฝ์šฐ 0.0110mg/m')์ด ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€(0.01mg/ms)์„ ์ดˆ๊ณผํ•˜์˜€์Œ
ยท ์žฅ๋น„ ๋ถ„ํ•ด๋ฅผ ํฌํ•จํ•˜์ง€ ์•Š์€ PM ์ž‘์—…์‹œ์˜ ์•„๋ฅด์‹  ๋†๋„๋Š” 3๊ฐœ์‚ฌ ๋ชจ๋‘ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์˜ 0.2 ~ 3%์— ํ•ด๋‹นํ•˜๋Š” ์ˆ˜์ค€์ด๊ณ , ๋น„์†Œ ๋ฐ ๊ทธ ๋ฌด๊ธฐํ™”ํ•ฉ๋ฌผ์€ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์˜ 1 ~ 7% ์ •๋„์ž„
โ—‡ ์‚ฌ์—…์žฅ ์ž์ฒด ์œ ํ•ด๊ฐ€์Šค ๋ชจ๋‹ˆํ„ฐ๋ง
- โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ 8์ธ์น˜ ์›จ์ดํผ ๊ฐ€๊ณต ๋ผ์ธ์˜ 2009. 1. ~ 2009. 12.๊นŒ์ง€์˜ ์œ ํ•ด๊ฐ€์Šค ๋ชจ๋‹ˆํ„ฐ๋ง ๊ฒฐ๊ณผ ์•Œ๋žŒ ๋ฐœ๋ น ๊ฑด์ˆ˜๋Š” ๋ชจ๋‘ 38๊ฑด์ž„
- ๊ทธ ์ค‘ ์•„๋ฅด์‹ ์€ 4๊ฑด์˜ ์•Œ๋žŒ์ด ๋ฐœ๋ น๋˜์—ˆ๋Š”๋ฐ ์ตœ๊ณ ๋†๋„ 550PPb์— ๋‹ฌํ•œ ๊ฒฝ์šฐ(โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋Š” ์ด์˜จ์ฃผ์ž… ์„ค๋น„์˜ ์ž”์œ ๋ฌผ์งˆ ์ œ๊ฑฐํšจ์œจ์„ ํ‰๊ฐ€ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ๊ฐ•์ œ๋กœ ์•„๋ฅด์‹ ์„ ๋ˆ„์ถœ์‹œํ‚จ ํ›„ ๊ฒ€์ง€๊ธฐ ์ž‘๋™์„ ํ…Œ์ŠคํŠธํ•˜๋Š” ๊ณผ์ •์—์„œ ์•Œ๋žŒ์ด ๋ฐœ๋ น๋œ ๊ฒƒ์ด๋ผ๊ณ  ์„ค๋ช…ํ•จ)๋„ ์žˆ์—ˆ์Œ
- ๋ธŒ๋กฌํ™”์ˆ˜์†Œ๋Š” ๋ชจ๋‘ 11๊ฑด์˜ ์•Œ๋žŒ์ด ๋ฐœ๋ น๋˜์—ˆ๋Š”๋ฐ, ๋†๋„์ˆ˜์ค€ 0.3 ~ 23.3ppm์œผ๋กœ ์ตœ๊ณ  ๋†๋„์ˆ˜์ค€์€ ceiling ๊ธฐ์ค€(์–ด๋Š ํ•œ ์ˆœ๊ฐ„์ด๋ผ๋„ ๊ทธ ์ˆ˜์ค€ ์ด์ƒ์œผ๋กœ ๋…ธ์ถœ๋˜์ง€ ์•Š๋„๋ก ๊ถŒ๊ณ ํ•˜๋Š” ์ˆ˜์ค€)์˜ 12๋ฐฐ์— ๋‹ฌํ•˜์˜€์Œ
- ์•Œ๋žŒ์€ PM ์ž‘์—…์‹œ ์ž”์œ ๋ฌผ์˜ ์˜ํ–ฅ์œผ๋กœ ๋ฐœ๋ น๋œ ๊ฒฝ์šฐ๋„ ์žˆ์—ˆ์ง€๋งŒ ์‹ค์ œ ๋ˆ„์ถœ๋กœ ์ธํ•˜์—ฌ ๋ฐœ๋ น๋œ ๊ฒฝ์šฐ๋„ ์žˆ์—ˆ์Œ
โ—‡ ํ™˜๊ธฐ ์‹คํƒœ
- ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ์€ ๋Œ€๋ถ€๋ถ„ ํด๋ฆฐ๋ฃธ ์„ค๋น„ ๋‚ด์—์„œ ์ƒ์‚ฐํ™œ๋™์ด ์ด๋ฃจ์–ด์ง€๊ณ  ์žˆ๋Š”๋ฐ, ๊ณต๊ธฐ๋ฅผ ์žฌ์ˆœํ™˜ํ•˜๋Š” ํด๋ฆฐ๋ฃธ ์„ค๋น„์˜ ํŠน์„ฑ์ƒ ์ƒ์‚ฐ๊ณผ์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•˜์—ฌ ๊ตญ์†Œํ™˜๊ธฐ์žฅ์น˜๋ฅผ ํ†ตํ•ด ๋ฐฐ์ถœ๋˜์ง€ ์•Š์€ ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ์€ ๊ณต์ • ๋‚ด๋กœ ์žฌ์œ ์ž…๋  ์ˆ˜ ์žˆ๊ณ  ์ธ๊ทผ ๊ณต์ •์—๊นŒ์ง€ ์˜ํ–ฅ์„ ์ค„ ์ˆ˜ ์žˆ์Œ
- A์‚ฌ 5์ธ์น˜ ๊ฐ€๊ณต ๋ผ์ธ์— ๋Œ€ํ•œ ํ™˜๊ธฐ ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜ ๊ฒฐ๊ณผ ํ•œ ๊ณต์ •์˜ ๊ณต๊ธฐ๋Š” ํ•˜๋ถ€๋กœ ํ˜๋ €๋‹ค๊ฐ€ ์ƒ๋ถ€๋กœ ์œ ๋„๋˜์–ด ๋‹ค์‹œ ๊ทธ ๊ณต์ •์œผ๋กœ ๋“ค์–ด๊ฐ€๋„๋ก ์„ค๊ณ„๋˜์–ด ์žˆ์œผ๋‚˜, ์ธ์ ‘ ๊ณต์ •๊ฐ„ ์„œ๋น„์Šค์ง€์—ญ์„ ๊ณต์œ ํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ํ•œ ๊ณต์ •์˜ ๊ณต๊ธฐ๋Š” ์„œ๋น„์Šค์ง€์—ญ์„ ๊ณต์œ ํ•˜๋Š” ์ธ์ ‘ ๊ณต์ •์œผ๋กœ ์œ ์ž…๋  ์ˆ˜ ์žˆ์Œ
- A์‚ฌ ๊ฐ€๊ณต ๋ผ์ธ์— ๋Œ€ํ•œ PGME ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ ๊ฐ๊ด‘ ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” PGME๊ฐ€ ํ™•์‚ฐ ๊ณต์ • ์—์„œ๋„ ์œ ์‚ฌํ•œ ๋†๋„๋กœ ๊ฒ€์ถœ๋˜๊ณ  ์ƒ์‚ฐ์„ค๋น„๊ฐ€ ์—†๋Š” ์ค‘๊ฐ„ ํ†ต๋กœ์—์„œ๋„ 50% ์ •๋„ ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ๋Š”๋ฐ”, ์ด๋Ÿฌํ•œ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ๋Š” ํ™˜๊ธฐ ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜ ๊ฒฐ๊ณผ์™€ ์ผ์น˜ํ•จ. ๋‹ค๋งŒ ํ™˜๊ธฐ ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜ ๊ฒฐ๊ณผ๋Š” ์‹ค์ œ์™€ ์ฐจ์ด๊ฐ€ ์žˆ์„ ์ˆ˜ ์žˆ๊ณ , 1 ๊ฐœ ์‚ฌ์—…์žฅ์„ ๋Œ€์ƒ์œผ๋กœ ์‹ค์‹œํ•œ ๊ฒƒ์ด๋ฏ€๋กœ ๋ชจ๋“  ์‚ฌ์—…์žฅ์ด ์ด์™€ ๋™์ผํ•˜๋‹ค๊ณ  ๋ณผ ์ˆ˜๋Š” ์—†์Œ
- โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ 8์ธ์น˜ ๊ฐ€๊ณต ๋ผ์ธ์€ ์™ธ๋ถ€ ๊ณต๊ธฐ(20 ~ 30%)๊ฐ€ ๋‚ด๋ถ€ ์ˆœํ™˜๊ณต๊ธฐ(70 ~ 80%)์™€ ํ˜ผํ•ฉ๋˜์–ด ํ•„ํ„ฐ๋ฅผ ๊ฑฐ์ณ ๊ฐ ๊ณต์ • ์ฒœ์ •์—์„œ ํ•˜๋ถ€๋กœ ํ๋ฅด๋„๋ก ์„ค๊ณ„๋˜์–ด ์žˆ๋Š”๋ฐ, ๊ฐ€๊ณต ๋ผ์ธ ๋‚ด๋ถ€์˜ ํœ˜๋ฐœ์„ฑ ์œ ๊ธฐํ™”ํ•ฉ๋ฌผ ๋†๋„๊ฐ€ ์ „๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ๋‚ฎ์•„ ๊ณต์ •๊ฐ„ ๊ณต๊ธฐ ํ˜ผํ•ฉ ์—ฌ๋ถ€๋ฅผ ํŒ๋‹จํ•˜๊ธฐ ์–ด๋ ค์›€. ๋‹ค๋งŒ IPA๊ฐ€ ์ด์˜จ์ฃผ์ž… ๊ณต์ •์„ ์ œ์™ธํ•˜๊ณ ๋Š” ๋ชจ๋“  ๊ณต์ •์—์„œ ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ๊ณ  ๊ทผ๋กœ์ž๋“ค์ด ์ž‘์—…๋ณต์„ ๊ฐˆ์•„์ž…๋Š” SMOCK room์—์„œ๋„ ๊ฒ€์ถœ๋œ ๊ฒƒ์„ ๋ณด๋ฉด ๊ณต์ •๊ฐ„ ํ˜ผํ•ฉ์„ ๋ฐฐ์ œํ•  ์ˆ˜ ์—†๋‹ค๊ณ  ํŒ๋‹จ๋จ
โ—‹ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์กฐ๋ฆฝ ๋ผ์ธ
โ—‡ ๋ชฐ๋“œ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒ ๊ฐ€๋Šฅํ•œ 2์ฐจ ์ƒ์„ฑ๋ฌผ์งˆ
- โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์™€ C์‚ฌ์˜ ๋ชฐ๋“œ ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” EMC์™€ ๊ธˆํ˜•์„ธ์ •์ œ๋ฅผ ๊ณต์ •์˜จ๋„(180โ„ƒ)์™€ ์œ ์‚ฌํ•œ ์˜จ๋„๋กœ ๊ฐ€์˜จ(์—ด๋ถ„ํ•ด์‹คํ—˜)ํ•˜๋ฉด์„œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ํœ˜๋ฐœ์„ฑ ์œ ๊ธฐํ™”ํ•ฉ๋ฌผ ๋“ฑ์„ ํŒŒ์•…ํ•จ
- ์‹คํ—˜ ๊ฒฐ๊ณผ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์‹คํ—˜ ๋Œ€์ƒ EMC 5์ข… ๋ชจ๋‘์—์„œ ๋ฒค์  , ์—ํ‹ธ์ด์†Œ๋ถ€ํ‹ธ๊ฒŒํ†ค(MIBK) ๋“ฑ ํœ˜๋ฐœ์„ฑ ์œ ๊ธฐํ™”ํ•ฉ๋ฌผ์ด ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ๊ณ , ๊ธˆํ˜•์„ธ์ •์ œ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์ง€๋ฐฉ์‚ฐ, ํŽ˜๋†€, ์•„์„ธํ†ค ๋“ฑ์˜ ์œ ๊ธฐํ™”ํ•ฉ๋ฌผ์ด ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ์Œ
- ํ•œํŽธ EMC์™€ ๊ธˆํ˜•์„ธ์ •์ œ๋Š” ๊ตฌ์กฐ์ ์œผ๋กœ ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ(์ƒ์˜จ์—์„œ๋Š” ์•ˆ์ •ํ•œ ๋ฌผ์งˆ์ž„)๋ฅผ ํฌํ•จํ•˜๊ณ  ์žˆ๋Š”๋ฐ, ๋ชฐ๋“œ ๊ณต์ •์—์„œ๋Š” EMC์™€ ๊ธˆํ˜•์„ธ์ •์ œ๋ฅผ 180โ„ƒ์—์„œ ๋…น์—ฌ์„œ ์ž‘์—…ํ•˜๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ๊ฐ€ ๋ฐœ์ƒํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Œ. ์—ด๋ถ„ํ•ด์‹คํ—˜ ๊ฒฐ๊ณผ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๊ธˆํ˜•์„ธ์ •์ œ 2์ข…๊ณผ C์‚ฌ์˜ EMC 1์ข…์€ ๊ณต์ •์€๋„์—์„œ ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ๊ฐ€ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์„ ํ™•์ธํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์—ˆ์Œ
โ—‡ ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ ๋…ธ์ถœ๋†๋„
- ํœ˜๋ฐœ์„ฑ ์œ ๊ธฐํ™”ํ•ฉ๋ฌผ(ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ, ์—ํƒ„์˜ฌ์•„๋ฏผ ์ œ์™ธ)
ยท ์•„์„ธํ†ค, ๋ฒค์  , ํ†จ๋ฃจ์—” ๋“ฑ 10์—ฌ์ข…์˜ ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ๊ฐ€ ์ •๋Ÿ‰ ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ๋†๋„ ์ด์ƒ ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ์œผ๋‚˜, C์‚ฌ ์‚ฌ์—…์žฅ์˜ ์นฉ ์ ‘์ฐฉ ๊ณต์ •์—์„œ ์•„์„ธํ†ค์ด ์ตœ๊ณ  0.5PPm ๊ฒ€์ถœ๋œ ๊ฒƒ์„ ์ œ์™ธํ•˜๋ฉด ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์ด ์„ค์ •๋˜์–ด ์žˆ๋Š” ๋ฌผ์งˆ ์ค‘ 0.1ppm ์ด์ƒ ๊ฒ€์ถœ๋œ ๋ฌผ์งˆ์€ ์—†์—ˆ๊ณ  ๋ชจ๋‘ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์˜ 1/100 ์ดํ•˜์˜ ๋‚ฎ์€ ๋†๋„ ์ˆ˜์ค€์ด์—ˆ์Œ
ยท ๋ฒค์  ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์กฐ๋ฆฝ ๋ผ์ธ ๊ณต๊ธฐ ์ค‘ ๋†๋„๋Š” ๋ชจ๋‘ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€(1ppm)์˜ 1/100 ์ดํ•˜ ์ˆ˜์ค€์ด ์—ˆ์œผ๋‚˜ ๊ทธ ์ตœ๊ณ  ๋†๋„๋Š” 0.00050 ~ 0.00990ppm์œผ๋กœ ์กฐ๋ฆฝ ๋ผ์ธ ์˜ฅ์™ธ(์™ธ๋ถ€๊ณต๊ธฐ)์—์„œ ์ธก์ •ํ•œ ๋†๋„(0.00031 ~ 0.00037ppm)๋ณด๋‹ค๋Š” ๋†’์€ ์ˆ˜์ค€์ด์—ˆ์Œ. ์ด๋Š” ๋ชฐ๋“œ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ถ€์‚ฐ๋ฌผ๋กœ ๋ฒค์  ์ด ๋ฐœ์ƒํ•˜์˜€๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ธ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํŒ๋‹จ๋จ

์‚ฌ์—…์žฅ ์‹œ๋ฃŒ์ˆ˜ ๋ฒค์   ๋†๋„(๋‹จ์œ„ : ppm)
๊ธฐํ•˜ํ‰๊ท  ์‚ฐ์ˆ ํ‰๊ท  ๋†๋„๋ฒ”์œ„
B์‚ฌ(โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹) ์กฐ๋ฆฝ 1๋ผ์ธ 20 0.00030 0.00036 0.00018~0.00178
B์‚ฌ(โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹) ์กฐ๋ฆฝ 2๋ผ์ธ 15 0.00029 0.00030 0.00017~0.00050
C์‚ฌ 1๊ณต์žฅ ์กฐ๋ฆฝ ๋ผ์ธ 50 0.00056 0.00096 0.00017~0.000990
C์‚ฌ 2๊ณต์žฅ ์กฐ๋ฆฝ ๋ผ์ธ 51 0.00041 0.00056 0.0010~0.00256

- ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ
ยท ์กฐ๋ฆฝ ๋ผ์ธ ๊ณต๊ธฐ ์ค‘ ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ ๋†๋„๋Š” ์ตœ๊ณ  0.015ppm์œผ๋กœ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€(0.5ppm)์˜3/100 ์ดํ•˜ ์ˆ˜์ค€์œผ๋กœ ๋‚ฎ์•˜์œผ๋‚˜, ์กฐ๋ฆฝ ๋ผ์ธ ์˜ฅ์™ธ(์™ธ๋ถ€๊ณต๊ธฐ) ์ธก์ •ํ•œ ๋†๋„(0.002 ~ 0.005ppm)๋ณด๋‹ค๋Š” ๋†’์€ ์ˆ˜์ค€์ด์—ˆ์Œ.
ยท ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ ๋†๋„๊ฐ€ ๊ฐ€์žฅ ๋†’์•˜๋˜ ๊ณต์ • ๋ฐ ์ž‘์—…์€ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ๋ฐ C์‚ฌ ๋ชจ๋‘ ๋ชฐ๋“œ ๊ณต์ •์˜ ๊ธˆํ˜• ์„ธ์ •์ž‘์—…์ด์—ˆ๊ณ  ๊ทธ ์ตœ๊ณ ๋†๋„๋Š” 0.015ppm์œผ๋กœ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์˜ 3/100 ์ˆ˜์ค€์ด์—ˆ๋Š”๋ฐ, ์ด๋Š” ๋ชฐ๋“œ ๊ณต์ •์—์„œ ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ๊ฐ€ ๋ถ€์‚ฐ๋ฌผ๋กœ ๋ฐœ์ƒํ•˜์˜€๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ธ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ํŒ๋‹จ๋จ

์‚ฌ์—…์žฅ ์‹œ๋ฃŒ์ˆ˜ ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ ๋†๋„(๋‹จ์œ„ : ppm)
๊ธฐํ•˜ํ‰๊ท  ์‚ฐ์ˆ ํ‰๊ท  ๋†๋„๋ฒ”์œ„
B์‚ฌ(โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹) ์กฐ๋ฆฝ 1๋ผ์ธ 16 0.006 0.006 0.004~0.013
B์‚ฌ(โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹) ์กฐ๋ฆฝ 2๋ผ์ธ 11 0.004 0.004 0.002~0.006
C์‚ฌ 1๊ณต์žฅ ์กฐ๋ฆฝ ๋ผ์ธ 26 0.008 0.008 0.003~0.011
C์‚ฌ 2๊ณต์žฅ ์กฐ๋ฆฝ ๋ผ์ธ 30 0.006 0.007 0.003~0.015

- ์—ํƒ„์˜ฌ์•„๋ฏผ, ์‚ฐํ™”๊ทœ์†Œ ๊ฒฐ์ •์ฒด, ์ค‘๊ธˆ์†(์‚ผ์‚ฐํ™”์•ˆํ‹ฐ์˜จ, ์ฃผ์„, ๊ตฌ๋ฆฌ ๋“ฑ)์€ ๋ชจ๋‘ ๊ฒ€์ถœ๋˜์ง€ ์•Š๊ฑฐ๋‚˜ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์˜1/100 ๋˜๋Š” 1/1,000 ๋ฏธ๋งŒ ์ˆ˜์ค€์œผ๋กœ ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ์Œ
โ—‡ ํ™˜๊ธฐ ์‹คํƒœ
- ๊ฐ ์‚ฌ์—…์žฅ์—์„œ๋Š” ๋Œ€๋ถ„๋ฅ˜(Front, Package, Test) ๊ณต์ • ๊ธฐ์ค€์œผ๋กœ ์ „์ฒด ํ™˜๊ธฐ๋ฅผ ์‹ค์‹œํ•˜๊ณ  ์žˆ์–ด ๋Œ€๋ถ„๋ฅ˜ ๊ณต์ • ๋‚ด์˜ ๋‹จ์œ„ ๊ณต์ • ์‚ฌ์ด์—๋Š” ๊ณต๊ธฐ์˜ ํ˜ผํ•ฉ์ด ์ด๋ฃจ์–ด์ง€๊ณ  ์žˆ์—ˆ์Œ.
- โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์™€ C์‚ฌ ๋ชจ๋‘ Front ๊ณต์ •์˜ ์นฉ ์ ‘์ฐฉ ์žฅ๋น„, ๊ธˆ์„ ์—ฐ๊ฒฐ ์žฅ๋น„์™€ Test ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ์žฅ๋น„๋ฅผ ์ œ์™ธํ•˜๋ฉด ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ์ด ๋ฐœ์ƒ๋  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๊ฑฐ์˜ ๋ชจ๋“  ์žฅ๋น„์— ๊ตญ์†Œํ™˜๊ธฐ์žฅ์น˜๊ฐ€ ์„ค์น˜๋˜์–ด ์žˆ์—ˆ์Œ
- ์กฐ๋ฆฝ ๋ผ์ธ์—์„œ ํœ˜๋ฐœ์„ฑ ์œ ๊ธฐํ™”ํ•ฉ๋ฌผ ๋“ฑ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์ด ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ์œผ๋‚˜ ๊ทธ ๋†๋„๊ฐ€ ๋‚ฎ์€ ์ด์œ ๋Š” C์‚ฌ ์นฉ ์ ‘์ฐฉ ๊ณต์ •์—์„œ ์•„์„ธํ†ค์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ๊ฒƒ ์™ธ์—๋Š” ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ ๋“ฑ์„ ์ง์ ‘ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ๊ฒฝ์šฐ๊ฐ€ ์—†์—ˆ๊ณ , ๋Œ€๋ถ€๋ถ„์˜ ์žฅ๋น„๊ฐ€ ๋ฐ€ํํ˜• ๊ตฌ์กฐ์ด๊ณ  ๊ตญ์†Œํ™˜๊ธฐ์„ค๋น„๋ฅผ ๊ฐ–์ถ”๊ณ  ์žˆ์–ด ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์˜ ๊ณต๊ธฐ์ค‘ ๋†๋„์ˆ˜์ค€์ด ๋‚ฎ์•˜๋‹ค๊ณ  ํŒ๋‹จ๋จ
โ–  ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋ถ„์•ผ
โ—‹ ์ „๋ฆฌ๋ฐฉ์‚ฌ์„ 
- ๊ฐœ์ธ๋…ธ์ถœ์„ ๋Ÿ‰
ยท ์ „์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ ํ‰๊ท  0.01mSv, ์‚ฌ์—…์žฅ๋ณ„๋กœ๋Š” โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ 1๊ณต์žฅ 0.01mSv, 2๊ณต์žฅ 0.01mSv, C์‚ฌ 1๊ณต์žฅ 0.012mSv, 2๊ณต์žฅ 0.01mSv๋กœ ์ „์ฒด๊ฐ€ ์ž์—ฐ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ๋Ÿ‰ ์ˆ˜์ค€์ด์—ˆ์Œ
ยท ์ด์˜จ์ฃผ์ž… ๋ฐ ๊ฒ€์‚ฌ ๊ณต์ •์—์„œ์˜ ์ง๊ตฐ๋ณ„ ํ‰๊ท  ๋…ธ์ถœ์„ ๋Ÿ‰์€ ๊ณต์ •์—”์ง€๋‹ˆ์–ด 0.012mSv, ์„ค๋น„ ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด 0.010mSv, ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ 0.011mSv๋กœ ์ „์ฒด๊ฐ€ ์ž์—ฐ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ๋Ÿ‰ ์ˆ˜์ค€์ด์—ˆ์Œ
- ์ง€์—ญ๋…ธ์ถœ์„ ๋Ÿ‰
ยท ์ด์˜จ์ฃผ์ž… ๊ณต์ •์˜ ์ง€์—ญ๋…ธ์ถœ์„ ๋Ÿ‰์€ ์‚ฐ์ˆ ํ‰๊ท  1.07ฮผSv/h, ๊ธฐํ•˜ํ‰๊ท  0.15ฮผSv/h, ๊ธฐํ•˜ํ‘œ์ค€ ํŽธ์ฐจ 3.87 ~ 7.28์ธ๋ฐ, ์ด๋Š” ์ž์—ฐ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ์ˆ˜์ค€์˜ ์„ ๋Ÿ‰๊ฐ’์ด ๋งŽ์ง€๋งŒ ์–ด๋–ค ์ด์ƒ๊ฐ’์ด ์กด์žฌํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์„ ์˜๋ฏธํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์ธก์ •์œ„์น˜์— ๋”ฐ๋ผ ์„ ๋Ÿ‰๊ฐ’์˜ ์ฐจ์ด๋„ ํผ์„ ์•Œ ์ˆ˜ ์žˆ์Œ
ยท ๋‹ค๋งŒ ๋Œ€๋ถ€๋ถ„์˜ ๊ฐ€์†์ด์˜จ์ฃผ์ž…๊ธฐ ์„ค์น˜ ์žฅ์†Œ๊ฐ€ ์ž‘์—…์‹œ๊ฐ„ ๋™์•ˆ ์ƒ์ฃผํ•˜๋Š” ์žฅ์†Œ๊ฐ€ ์•„๋‹ˆ๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์— ์ด๋Ÿฌํ•œ ์„ ๋Ÿ‰๊ฐ’์ด ์ง์ ‘ ๊ทผ๋กœ์ž์—๊ฒŒ ๋…ธ์ถœ๋˜์—ˆ๋Š”์ง€๋Š” ์•Œ ์ˆ˜ ์—†์Œ
- ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋ฐœ์ƒ์žฅ์น˜์˜ ํ‘œ๋ฉด์„ ๋Ÿ‰
ยท ์กฐ์‚ฌ ๋Œ€์ƒ High Energy ๊ฐ€์†์ด์˜จ์ฃผ์ž…๊ธฐ 26๋Œ€ ์ค‘ ๋ฏธ๋Ÿ‰์˜ ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์ด ๊ฒ€์ถœ๋œ 17๋Œ€์˜ ํ‰๊ท  ํ‘œ๋ฉด์„ ๋Ÿ‰๋ฅ ์€ 0.15 ~ 42.3ฮผSv/h์˜€๊ณ , ๊ทธ ์ค‘ 8๊ฐœ ์ง€์ ์€ ๋ฏธ๊ตญ ์—๋„ˆ์ง€๋ถ€(Department ofEnergy) ๊ทœ์ œ๊ธฐ์ค€๊ธฐ์ค€(5ฮผSv/h)์„ ์ดˆ๊ณผํ•˜์˜€์Œ
โ—‹ ๋น„์ „๋ฆฌ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ์ค‘ ๊ทน์ €์ฃผํŒŒ ์ž๊ธฐ์žฅ
- ์‚ฌ์—…์žฅ๋ณ„ ๊ทน์ €์ฃผํŒŒ ์ž๊ธฐ์žฅ์— ๋Œ€ํ•œ ๊ฐœ์ธ๋…ธ์ถœ์„ ๋Ÿ‰ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ ์ตœ๊ณ ๋…ธ์ถœ๋Ÿ‰์€ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ 1๊ณต์žฅ 123.2uT, C์‚ฌ 2๊ณต์žฅ 39.8uT, C์‚ฌ 1๊ณต์žฅ 10.1uT, โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ 2๊ณต์žฅ 8.78uT๋กœ ๋ฏธ๊ตญ ์‚ฐ์—… ์œ„์ƒ์‚ฌํ˜‘ํšŒ(ACGIH)์˜ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€(Ceiling: 1.0mT)์˜ 1/8 ๋ฏธ๋งŒ ์ˆ˜์ค€์ด์—ˆ์Œ
- ์ง๊ตฐ๋ณ„ ์ตœ๊ณ ๋…ธ์ถœ๋Ÿ‰์€ ๊ณต์ •์—”์ง€๋‹ˆ์–ด 123.2uT, ์„ค๋น„์—”์ง€๋‹ˆ์–ด 109.4uT, ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ 15.3uT๋กœ ๋ฏธ๊ตญ ACGIH ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์˜ 1/8 ๋ฏธ๋งŒ์ด์ง€๋งŒ ์‚ฌ๋ฌด์‹ค ์ž‘์—…์ž๋ณด๋‹ค๋Š” ๋†’์€ ์ˆ˜์ค€์ด์—ˆ์Œ
๋‹ค. ๋ฆผํ”„์กฐํ˜ˆ๊ณ„์•”์— ๋Œ€ํ•œ ์˜ํ•™์  ๊ฒฌํ•ด ๋“ฑ (1) ์˜ํ•™์  ๊ฒฌํ•ด โ—‹ ๋ฆผํ”„์กฐํ˜ˆ๊ณ„์•”์€ ํ˜ˆ์•ก ๋ฐ ๋ฆผํ”„ ์กฐ์ง์˜ ๋‹ค์–‘ํ•œ ์„ธํฌ๊ณ„์—ด ๋ถ„ํ™” ๊ณผ์ •์—์„œ์˜ ์ด์ƒ์œผ๋กœ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ํ˜ˆ์•ก์•”์œผ๋กœ, ๊ณจ์ˆ˜์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘, ๋ฆผํ”„๊ตฌ์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘, ํ˜ธ์ง€ํ‚จ๋ณ‘, ๋น„ํ˜ธ์ง€ํ‚จ ๋ฆผํ”„์ข… ๋“ฑ์ด ์žˆ๋‹ค. โ—‹ ๋ฆผํ”„์กฐํ˜ˆ๊ณ„์•”์˜ ์ง์—…ํ™˜๊ฒฝ์  ์œ„ํ—˜์š”์ธ์œผ๋กœ ์•Œ๋ ค์ง„ ๊ฒƒ์œผ๋กœ๋Š” ๋ฒค์  , ์ „๋ฆฌ๋ฐฉ์‚ฌ์„ , ์‚ฐํ™”์—ํ‹ธ๋ Œ, ๋†์•ฝ, ์„ธํฌ๋…์„ฑ๊ณผ ๋ฉด์—ญ์–ต์ œ์„ฑ ์•ฝ๋ฌผ ๋“ฑ์ด ์žˆ๋‹ค. ๋น„์ „๋ฆฌ๋ฐฉ์‚ฌ์„ , ์„๋ฉด, ํŠธ๋ฆฌํด ๋กœ๋กœ์—ํ‹ธ๋ Œ(TCE)์„ ๋น„๋กฏํ•œ ๊ธฐํƒ€ ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ ๋“ฑ์€ ๋ฆผํ”„์กฐํ˜ˆ๊ณ„์•” ๋ฐœ๋ณ‘์„ ์œ ๋ฐœํ•˜๋Š” ์˜์‹ฌ์ธ ์ž๋กœ ๋ณด๊ณ ๋˜๊ณ  ์žˆ๊ธฐ๋Š” ํ•˜๋‚˜ ์•„์ง๊นŒ์ง€ ๋ช…ํ™•ํ•œ ๋ฐœ์•”์ธ์ž๋กœ ๋ณด๊ณ ๋˜์ง€๋Š” ์•Š์•˜๊ณ , ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ๋„ ์˜์‹ฌ๋ฌผ์งˆ๋กœ ํŒŒ์•…๋˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. โ—‹ ๊ธ‰์„ฑ ๊ณจ์ˆ˜์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์˜ ๋ฐœ๋ณ‘์›์ธ์œผ๋กœ๋Š” ์œ ์ „, ์ „๋ฆฌ๋ฐฉ์‚ฌ์„ , ๋ฒค์  , 1,3-๋ถ€ํƒ€๋””์—”, ์‚ฐํ™”์—ํ‹ธ๋ Œ, ์•ฝ๋ฌผ(ํ•ญ์•”์ œ) ๋“ฑ์ด ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ๊ณ , ํก์—ฐ, ์„์œ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ, ๋„๋ฃŒ, ์‹œ์‹ ๋ฐฉ๋ถ€์ œ, ์ œ์ดˆ์ œ, ์‚ด์ถฉ์ œ ๋“ฑ๋„ ๋ฐœ์ƒ ์œ„ํ—˜๋„๋ฅผ ์ฆ๊ฐ€์‹œํ‚จ๋‹ค๋Š” ๋ณด๊ณ ๊ฐ€ ์žˆ๋‹ค. โ—‹ ๊ธ‰์„ฑ ๋ฆผํ”„๊ตฌ์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์˜ ๋ฐœ๋ณ‘์›์ธ์œผ๋กœ๋Š” ๋ฒค์  ๊ณผ ์ „๋ฆฌ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์ด ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ๊ณ  ๊ทธ ์™ธ์—๋Š” ํ™•์‹คํ•˜์ง€ ์•Š์œผ๋‚˜ ๋†์•ฝ์„ ํฌํ•จํ•œ ์œ ํ•ดํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ ๋…ธ์ถœ๊ณผ ํก์—ฐ ๋“ฑ์˜ ํ™˜๊ฒฝ์ ์ธ ์š”์ธ์ด ์„ฑ์ธ ๋ฐœ๋ณ‘๋ฅ ์„ ์ฆ๊ฐ€์‹œํ‚จ๋‹ค๋Š” ๋ณด๊ณ ๊ฐ€ ์žˆ๋‹ค. โ—‹ ๋น„ํ˜ธ์ง€ํ‚จ ๋ฆผํ”„์ข…์€ ๋†์—… ์ข…์‚ฌ์ž, ๋ชฉ์žฌ ์ทจ๊ธ‰์ž, ํ•ฉ์„ฑ๊ณ ๋ฌด์‚ฐ์—… ์ข…์‚ฌ์ž, ์œก๋ฅ˜ ๋ฐ ๊ธˆ์†์‚ฐ์—… ์ข…์‚ฌ์ž, ์ˆ˜์˜์‚ฌ ๋ฐ ์„๋ฉด ๋…ธ์ถœ ๊ทผ๋กœ์ž ๋“ฑ์—๊ฒŒ์„œ ๋ฐœ์ƒ์œ„ํ—˜๋„๊ฐ€ ๋†’๋‹ค๊ณ  ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ๊ณ , ์ œ์ดˆ์ œ ๋ฐ ์‚ด์ถฉ์ œ๋กœ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ๋‹ค์ด์˜ฅ์‹  ๋“ฑ์ด ์œ„ํ—˜๋„๊ฐ€ ๋†’๋‹ค๊ณ  ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ๋ฒค์  , TCE์˜ ๊ฒฝ์šฐ๋„ ์—ฐ๊ด€์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค๋Š” ๋ณด๊ณ ๊ฐ€ ์žˆ๋‹ค. โ—‹ ํ†ต๊ณ„์ฒญ ๋ฐœํ‘œ ์ž๋ฃŒ์— ์˜ํ•˜๋ฉด, ์šฐ๋ฆฌ๋‚˜๋ผ ์ธ๊ตฌ 10๋งŒ๋ช…๋‹น ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘ ๋ฐœ์ƒ๊ฑด์ˆ˜๋Š” 2005๋…„ 4.8๋ช…, 2006๋…„ 4.9๋ช…, 2007๋…„ 5.0๋ช…, 2008๋…„ 5.2๋ช…์ด์—ˆ๊ณ , ๋น„ํ˜ธ์ง€ํ‚จ ๋ฆผํ”„์ข…์€ 2005๋…„ 6.2๋ช…, 2006๋…„ 6.6๋ช…, 2007๋…„ 6.8๋ช…, 2008๋…„ 7.0๋ช…์ด์—ˆ๋‹ค. (2) ๋ฌผ์งˆ๋ณ„ ๋ฐœ์•”์„ฑ โ—‹ ๋ฒค์  (Benzene) - ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ๋ฆผํ”„์กฐํ˜ˆ๊ณ„์•”๊ณผ ๊ด€๋ จ์ด ์žˆ๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ๋‹ค. - ๋ฒค์   ๋…ธ์ถœ์— ์˜ํ•œ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘ ๋ฐœ์ƒ์˜ ์ž ๋ณต๊ธฐ๋Š” ๋Œ€์ฒด๋กœ ๋‹ค๋ฅธ ๊ณ ํ˜•์•”์— ๋น„ํ•ด ๋น ๋ฅธ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ๋Š”๋ฐ, ์—ฐ๊ตฌ์ž์— ๋”ฐ๋ผ ๋ณ€์ด์˜ ํญ(2๋…„ ~ 50๋…„)์€ ํฌ์ง€๋งŒ ํ‰๊ท  5๋…„ ๋‚ด์ง€ 15๋…„์œผ๋กœ ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ๋‹ค. - ๋ฏธ๊ตญ ์ง์—…์•ˆ์ „์œ„์ƒ๊ด€๋ฆฌ๊ตญ(OSHA)์€ 1987๋…„๊ฒฝ ๊ณต๊ธฐ ์ค‘ ๋ฒค์  ์˜ ํ—ˆ์šฉ๋†๋„๋ฅผ 10ppm์—์„œ 1ppm์œผ๋กœ ๋‚ฎ์ถ”์—ˆ๊ณ , ์šฐ๋ฆฌ๋‚˜๋ผ์—์„œ๋„ 1986๋…„๊ฒฝ ์ž‘์—…์žฅ ๋‚ด์˜ ๋ฒค์   ๋†๋„๋ฅผ 10ppm ์ดํ•˜๋กœ ๊ทœ์ œํ•˜๋‹ค๊ฐ€ 2003. 7.๊ฒฝ๋ถ€ํ„ฐ 1ppm ์ดํ•˜๋กœ ๊ทœ์ œํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. - ๊ตญ์ œ์•”์—ฐ๊ตฌ์†Œ(IARC)๋Š” ๋ฒค์  ์„ ๊ทธ๋ฃน1(์ธ๊ฐ„์—๊ฒŒ ์•”์„ ์ผ์œผํ‚จ๋‹ค๋Š” ์ฆ๊ฑฐ๊ฐ€ ์ถฉ๋ถ„ํ•œ ๋ฌผ์งˆ)๋กœ ๋ถ„๋ฅ˜ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. โ—‹ ์ „๋ฆฌ ๋ฐฉ์‚ฌ์„ (Ionizing Radiation) - ์„ธํฌ ๋‚ด์˜ ์›์ž๋‚˜ ๋ถ„์ž๋ฅผ ์ด์˜จํ™”์‹œํ‚ฌ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š”(์ฆ‰ ์ „์ž๋ฅผ ๋ถ„๋ฆฌ์‹œํ‚ฌ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š”) ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์œผ๋กœ โ…ฉ์„ ์ด๋‚˜ ๊ฐ๋งˆ์„ , ์ž์™ธ์„  ์ผ๋ถ€๊ฐ€ ์ด์— ํ•ด๋‹นํ•œ๋‹ค. - ๋งŒ์„ฑ ๋ฆผํ”„๊ตฌ์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์„ ์ œ์™ธํ•˜๊ณ  ๋ชจ๋“  ๋ฆผํ”„์กฐํ˜ˆ๊ณ„์•”์ด ์ „๋ฆฌ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋…ธ์ถœ๋กœ ์ธํ•˜์—ฌ ์ฆ๊ฐ€๋˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ๋‹ค. - ํ”ผํญ ํ›„ ๋ฐœ๋ณ‘๊นŒ์ง€์˜ ์ž ๋ณต๊ธฐ๋„ ์—ฌ๋Ÿฌ ์กฐ๊ฑด์— ๋”ฐ๋ผ ๋‹ค๋ฅธ๋ฐ, ๋Œ€๋žต ํ”ผํญ 5 ~ 10๋…„ ํ›„ ๋ฐœ๋ณ‘์œ„ํ—˜๋„๊ฐ€ ๊ฐ€์žฅ ๋†’๊ณ  25๋…„์ด ๊ฒฝ๊ณผํ•˜๋ฉด ์œ„ํ—˜๋„๋Š” ํ”ผํญ ์ด์ „ ์ˆ˜์ค€์ด ๋˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ๋‹ค. ์ผ๋ณธ์˜ ์›ํญ ํ”ผํ•ด์ž๋“ค์„ ๋Œ€์ƒ์œผ๋กœ ํ•œ ์—ฐ๊ตฌ ๊ฒฐ๊ณผ ์ „๋ฆฌ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์— ๋…ธ์ถœ๋œ์ง€ 5 ~ 7๋…„ ํ›„์— ๊ณจ์ˆ˜์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์˜ ๋ฐœ์ƒ๋ฅ ์ด ์ฆ๊ฐ€ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด ๊ด€์ฐฐ๋˜์—ˆ๋‹ค. - ํ•œํŽธ ์ €์„ ๋Ÿ‰ ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ํ”ผํญ์œผ๋กœ ์ธํ•œ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘ ์œ„ํ—˜ ์ฆ๊ฐ€์™€ ๊ด€๋ จํ•˜์—ฌ์„œ๋Š” ๊ณผ๊ฑฐ์—๋Š” ๋ถ€์ •์  ๊ฒฐ๊ณผ๊ฐ€ ๋งŽ์•˜์œผ๋‚˜ ์ตœ๊ทผ์—๋Š” ์ €์„ ๋Ÿ‰ ํ”ผํญ์—์„œ๋„ ์ฆ๊ฐ€ํ•œ๋‹ค๋Š” ์—ฐ๊ตฌ๊ฐ€ ๋‹ค์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค. โ—‹ ๋น„์ „๋ฆฌ๋ฐฉ์‚ฌ์„ (non-Ionizing Radiation) - ๋น„์ „๋ฆฌ๋ฐฉ์‚ฌ์„ (ํŠนํžˆ ๊ทน์ €์ฃผํŒŒ ์ž๊ธฐ์žฅ) ๋…ธ์ถœ์ด ์•”์„ ์ผ์œผํ‚ค๋Š”๊ฐ€์— ๋Œ€ํ•ด์„œ๋Š” ๋งŽ์€ ๋…ผ๋ž€์ด ์žˆ๋Š”๋ฐ, ๋น„์ „๋ฆฌ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋…ธ์ถœ๊ณผ ๊ด€๋ จํ•˜์—ฌ ๊ฐ€์žฅ ๋ฌธ์ œ๋˜๋Š” ์งˆํ™˜์€ ์–ด๋ฆฐ์ด ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์ด๋‹ค. - ๊ตญ์ œ์•”์—ฐ๊ตฌ์†Œ๋Š” ๊ทน์ €์ฃผํŒŒ ์ž๊ธฐ์žฅ์„ ๊ทธ๋ฃน2B(์ธ๊ฐ„์—๊ฒŒ ์•”์„ ์ผ์œผํ‚จ๋‹ค๋Š” ์ฆ๊ฑฐ๊ฐ€ ์ œํ•œ์ ์ด๊ณ  ๋™๋ฌผ์—๊ฒŒ ์•”์„ ์ผ์œผํ‚จ๋‹ค๋Š” ์ฆ๊ฑฐ๋„ ์ถฉ๋ถ„ํ•˜์ง€ ์•Š์€ ๋ฌผ์งˆ)๋กœ ๋ถ„๋ฅ˜ํ•˜๊ณ , ๋‚˜๋จธ์ง€ ์ •์ „์ž๊ธฐ์žฅ๊ณผ ๊ทน์ €์ฃผํŒŒ ์ „๊ธฐ์žฅ์„ ๋ชจ๋‘ ๊ทธ๋ฃน3(์ธ๊ฐ„ ๋ฐ ๋™๋ฌผ์— ๋Œ€ํ•œ ์ฆ๊ฑฐ๊ฐ€ ๋ถˆ์ถฉ๋ถ„ํ•˜์—ฌ ์ธ๊ฐ„์—๊ฒŒ ์•”์„ ์ผ์œผํ‚จ๋‹ค๊ณ  ํŒ๋‹จํ•  ์ˆ˜ ์—†๋Š” ๋ฌผ์งˆ)์œผ๋กœ ๋ถ„๋ฅ˜ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. โ—‹ TCE(Trichloroethylene) -๊ธˆ์†๊ธฐ๊ณ„ ๋ถ€ํ’ˆ์˜ ํƒˆ์œ ์ง€ ์„ธ์ •์ œ ๋“ฑ์œผ๋กœ ๋„๋ฆฌ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ์ด๋‹ค. - TCE ๋…ธ์ถœ๊ณผ ๋ฆผํ”„์กฐํ˜ˆ๊ณ„์•”์˜ ์—ฐ๊ด€์„ฑ๊ณผ ๊ด€๋ จํ•˜์—ฌ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์ด๋‚˜ ๋ฆผํ”„์ข…๊ณผ ๋ณ„๋‹ค๋ฅธ ์—ฐ๊ด€์„ฑ์ด ๋ณด์ด์ง€ ์•Š๋Š”๋‹ค๋Š” ์—ฐ๊ตฌ๋„ ์žˆ๊ณ , ๋น„ํ˜ธ์ง€ํ‚จ ๋ฆผํ”„์ข…๊ณผ ์—ฐ๊ด€์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค๋Š” ์—ฐ๊ตฌ๋„ ์žˆ๋‹ค. - ๊ตญ์ œ์•”์—ฐ๊ตฌ์†Œ๋Š” ๋น„ํ˜ธ์ง€ํ‚จ ๋ฆผํ”„์ข…์ด๋‚˜ ๊ฐ„๋‹ด๋„์•”์˜ ๋ฐœ๋ณ‘๊ณผ ๊ด€๋ จ์ด ์žˆ๋‹ค๋Š” ์ผ๋ถ€ ์—ฐ๊ตฌ ๊ฒฐ๊ณผ ๋“ฑ์— ๊ธฐ์ดˆํ•˜์—ฌ TCE๋ฅผ ๊ทธ๋ฃน2A(์ธ๊ฐ„์—๊ฒŒ ์•”์„ ์ผ์œผํ‚จ๋‹ค๋Š” ์ฆ๊ฑฐ๋Š” ์ œํ•œ์ ์ด์ง€๋งŒ ๋™๋ฌผ์—๊ฒŒ ์•”์„ ์ผ์œผํ‚จ๋‹ค๋Š” ์ฆ๊ฑฐ๋Š” ์ถฉ๋ถ„ํ•œ ๋ฌผ์งˆ)๋กœ ๋ถ„๋ฅ˜ํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ 1,1,1-ํŠธ๋ฆฌํด๋กœ๋ฅผ์—ํƒ„(1,1,1-TCE): ๊ตญ์ œ์•”์—ฐ๊ตฌ์†Œ ๊ทธ๋ฃน3 โ—‹ ๋””ํด๋กœ๋กœํ”Œ๋ฃจ์˜ค๋กœ์—ํƒ„(HCFC-141b): ๋ฐœ์•”์„ฑ์— ๊ด€ํ•œ ๋ณ„๋‹ค๋ฅธ ์ž๋ฃŒ ์—†์Œ โ—‹ ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ(Formaldehyde) - ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ์—์˜ ๋…ธ์ถœ๋Ÿ‰ ๋ฐ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ๊ฐ„์ด ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์˜ ๋ฐœ์ƒ๊ณผ ๊ด€๋ จ์ด ์žˆ๋‹ค๋Š” ์—ฐ๊ตฌ ๊ฒฐ๊ณผ๋„ ์žˆ์œผ๋‚˜, ๊ทธ ์—ฐ๊ด€์„ฑ์ด ๋ช…ํ™•ํžˆ ๋ฐํ˜€์ง€์ง€๋Š” ์•Š์•˜๋‹ค. - ๊ตญ์ œ์•”์—ฐ๊ตฌ์†Œ๋Š” ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ๋ฅผ ๊ทธ๋ฃน1๋กœ ๋ถ„๋ฅ˜ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. โ—‹ ์‚ฐํ™”์—ํ‹ธ(Ethylene Oxide) - ๋ฆผํ”„์กฐํ˜ˆ๊ณ„์•” ํŠนํžˆ ๊ทธ ์ค‘ ๋ฆผํ”„๊ตฌ์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘ ๋ฐ ๋น„ํ˜ธ์ง€ํ‚จ ๋ฆผํ”„์ข…๊ณผ ๊ด€๋ จ์ด ์žˆ๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ๋‹ค. - ๊ตญ์ œ์•”์—ฐ๊ตฌ์†Œ๋Š” ์‚ฐํ™”์—ํ‹ธ๋ Œ์„ ๊ทธ๋ฃน1๋กœ ๋ถ„๋ฅ˜ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. โ—‹ IPA(Isopropyl Alcohol): ๊ตญ์ œ์•”์—ฐ๊ตฌ์†Œ ๊ทธ๋ฃน3 โ—‹ ๋น„๊ฒฐ์ •์งˆ ์‹ค๋ฆฌ์นด(Amorphous Silica): ๊ตญ์ œ์•”์—ฐ๊ตฌ์†Œ ๊ทธ๋ฃน3 โ—‹ ๋น„๊ฒฐ์ •์งˆ ์ฆ๊ธฐ ์‹ค๋ฆฌ์นด(Amorphous Fumed Silica): ๊ตญ์ œ์•”์—ฐ๊ตฌ์†Œ ๊ทธ๋ฃน3 โ—‹ ๋‚ฉ(Lead): ๊ตญ์ œ์•”์—ฐ๊ตฌ์†Œ ๊ทธ๋ฃน2B โ—‹ ์ฃผ์„(Tin): ๋ฐœ์•”์„ฑ์— ๊ด€ํ•œ ๋ณ„๋‹ค๋ฅธ ์ž๋ฃŒ ์—†์Œ โ—‹ ์•„๋ฅด์‹ (Arsine, ์‚ผ์ˆ˜์†Œํ™”๋น„์†Œ) - ์šฉํ˜ˆ ๋ฐ ์šฉํ˜ˆ ๊ด€๋ จ ์˜ํ–ฅ์ด ์žˆ๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ๋‹ค. - ๊ตญ์ œ์•”์—ฐ๊ตฌ์†Œ๋Š” ์•„๋ฅด์‹ ์„ ๊ทธ๋ฃน1๋กœ ๋ถ„๋ฅ˜ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. โ—‹ ํฌ์Šคํ•€(Phosphine): ๋ฐœ์•”์„ฑ์— ๊ด€ํ•œ ๋ณ„๋‹ค๋ฅธ ์ž๋ฃŒ๋Š” ์—†์œผ๋‚˜, ์•„์ฃผ ์‹ฌํ•œ ๊ฒฝ์šฐ ๋ฐฑํ˜ˆ๊ตฌ ๊ฐ์†Œ์ฆ์ด ๋ฐœ์ƒํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋‹ค๊ณ ๋„ ํ•จ โ—‹ ํ™ฉ์‚ฐ(Sulfuric Acid): ๊ตญ์ œ์•”์—ฐ๊ตฌ์†Œ ๊ทธ๋ฃน1 โ—‹ ACT-CMI(N,N-Dimethylacetamide): ๋ฐœ์•”์„ฑ์— ๊ด€ํ•œ ๋ณ„๋‹ค๋ฅธ ์ž๋ฃŒ ์—†์Œ โ—‹ ๋ถˆ์‚ฐ(Hydrofluoric Acid): ๋ฐœ์•”์„ฑ์— ๊ด€ํ•œ ๋ณ„๋‹ค๋ฅธ ์ž๋ฃŒ ์—†์Œ โ—‹ ๋ถˆํ™”์•”๋ชจ(Ammonium Fluoride): ๋ฐœ์•”์„ฑ์— ๊ด€ํ•œ ๋ณ„๋‹ค๋ฅธ ์ž๋ฃŒ ์—†์Œ โ—‹ ๊ณผ์‚ฐํ™”์ˆ˜์†Œ๋Œ€(Hydrogen Peroxide): ๊ตญ์ œ์•”์—ฐ๊ตฌ์†Œ ๊ทธ๋ฃน3 โ—‹ ์•ผ๊ฐ„ ๊ต๋Œ€์ œ ๊ทผ๋ฌด(Shift-work that involves circadian disruption): ๊ตญ์ œ์•”์—ฐ๊ตฌ์†Œ ๊ทธ๋ฃน2A [์ธ์ •๊ทผ๊ฑฐ] ๋‹คํˆผ ์—†๋Š” ์‚ฌ์‹ค, ๊ฐ‘ ์ œ6ํ˜ธ์ฆ์˜ 1, 2, 3, 5, 6, ๊ฐ‘ ์ œ22ํ˜ธ์ฆ์˜ 1, 2, 3, 5, 7, ๊ฐ‘ ์ œ23ํ˜ธ์ฆ์˜ 1, ๊ฐ‘ ์ œ24ํ˜ธ์ฆ์˜ 1, 2, ๊ฐ‘ ์ œ25ํ˜ธ์ฆ, ๊ฐ‘ ์ œ27, 30ํ˜ธ์ฆ์˜ ๊ฐ 1, 2, ๊ฐ‘ ์ œ31ํ˜ธ์ฆ์˜ 3, 4, 9, 11, 13, 14, 15, ๊ฐ‘ ์ œ61ํ˜ธ์ฆ, ๊ฐ‘ ์ œ63ํ˜ธ์ฆ์˜ 3, ์„๋‚˜ ์ œ5, 9, 10, 11ํ˜ธ์ฆ, ์„๋‚˜ ์ œ12ํ˜ธ์ฆ์˜ 4, 5, 6, ์„๋‚˜ ์ œ13, 14, 15, 16, 17, 18ํ˜ธ์ฆ, ์„๋‚˜ ์ œ38 ํ˜ธ์ฆ์˜ 1, ์„๋‚˜ ์ œ39, 42, 65ํ˜ธ์ฆ์˜ ๊ฐ ๊ธฐ์žฌ, ์ œ1์‹ฌ ๋ฒ•์› ๋ฐ ์ด ๋ฒ•์›์˜ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๊ณต๋‹จ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์—ฐ๊ตฌ์›, โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™๊ต ์‚ฐํ•™ํ˜‘๋ ฅ๋‹จ์— ๋Œ€ํ•œ ๊ฐ ์‚ฌ์‹ค์กฐํšŒ๊ฒฐ๊ณผ, ๋ณ€๋ก  ์ „์ฒด์˜ ์ทจ์ง€ ๋ผ. ์‚ฐ์—…์žฌํ•ด๋ณด์ƒ ์‚ฌ๊ฑด์˜ ์ƒ๋‹น์ธ๊ณผ๊ด€๊ณ„ ํ‰๊ฐ€ (1) ์‚ฐ์—…์žฌํ•ด๋ณด์ƒ๋ณดํ—˜๋ฒ•์—์„œ ๋งํ•˜๋Š” '์—…๋ฌด์ƒ ์žฌํ•ด'๋ผ ํ•จ์€ ๊ทผ๋กœ์ž๊ฐ€ ์—…๋ฌด ์ˆ˜ํ–‰ ์ค‘ ๊ทธ ์—…๋ฌด์— ๊ธฐ์ธํ•˜์—ฌ ๋ฐœ์ƒํ•œ ์žฌํ•ด๋ฅผ ๋งํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด๋ฏ€๋กœ, ์—…๋ฌด์™€ ์žฌํ•ด ๋ฐœ์ƒ ์‚ฌ์ด์— ์ƒ๋‹น์ธ๊ณผ๊ด€๊ณ„๊ฐ€ ์žˆ์–ด์•ผ ํ•˜๊ณ  ์ด ๊ฒฝ์šฐ ๊ทผ๋กœ์ž์˜ ์—…๋ฌด์™€ ์งˆ๋ณ‘ ๋˜๋Š” ์œ„ ์งˆ๋ณ‘์— ๋”ฐ๋ฅธ ์‚ฌ๋ง ๊ฐ„์˜ ์ธ๊ณผ๊ด€๊ณ„์— ๊ด€ํ•˜์—ฌ๋Š” ์ด๋ฅผ ์ฃผ์žฅํ•˜๋Š” ์ธก์—์„œ ์ฆ๋ช…ํ•˜์—ฌ์•ผ ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด ์›์น™์ด๋ฉฐ, ์ด ๊ฒฝ์šฐ ์—…๋ฌด์™€ ์žฌํ•ด ์‚ฌ์ด์˜ ์ƒ๋‹น์ธ๊ณผ๊ด€๊ณ„ ์œ ๋ฌด๋Š” ๋ณดํ†ต ํ‰๊ท ์ธ์ด ์•„๋‹ˆ๋ผ ๋‹นํ•ด ๊ทผ๋กœ์ž์˜ ๊ฑด๊ฐ•๊ณผ ์‹ ์ฒด์กฐ๊ฑด์„ ๊ธฐ์ค€์œผ๋กœ ํŒ๋‹จํ•˜์—ฌ์•ผ ํ•œ๋‹ค(๋Œ€๋ฒ•์› 2004. 4. 9. ์„ ๊ณ  2003๋‘12530 ํŒ๊ฒฐ ๋“ฑ ์ฐธ์กฐ). (2) ์ด ๊ฒฝ์šฐ ์ธ๊ณผ๊ด€๊ณ„์˜ ์ฆ๋ช… ์ •๋„์— ๊ด€ํ•˜์—ฌ ๋ณด๋ฉด, ๊ทธ ์ธ๊ณผ๊ด€๊ณ„๋Š” ๋ฐ˜๋“œ์‹œ ์˜ํ•™์ , ์ž์—ฐ๊ณผํ•™์ ์œผ๋กœ ๋ช…๋ฐฑํžˆ ์ฆ๋ช…๋˜์–ด์•ผ๋งŒ ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์€ ์•„๋‹ˆ๊ณ , ๊ทผ๋กœ์ž์˜ ์ทจ์—… ๋‹น์‹œ ๊ฑด๊ฐ•์ƒํƒœ, ์งˆ๋ณ‘์˜ ์›์ธ, ์ž‘์—…์žฅ์— ๋ฐœ๋ณ‘์›์ธ๋ฌผ์งˆ์ด ์žˆ์—ˆ๋Š”์ง€ ์—ฌ๋ถ€, ๋ฐœ๋ณ‘์›์ธ๋ฌผ์งˆ์ด ์žˆ๋Š” ์ž‘์—…์žฅ์—์„œ์˜ ๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ„ ๋“ฑ ์ œ๋ฐ˜ ์‚ฌ์ •์„ ๊ณ ๋ คํ•  ๋•Œ ์—…๋ฌด์™€ ์งˆ๋ณ‘ ๋˜๋Š” ๊ทธ์— ๋”ฐ๋ฅธ ์‚ฌ๋ง ์‚ฌ์ด์— ์ƒ๋‹น์ธ๊ณผ๊ด€๊ณ„๊ฐ€ ์žˆ๋‹ค๊ณ  ์ถ”๋‹จ๋˜๋Š” ๊ฒฝ์šฐ์—๋„ ์ฆ๋ช…์ด ์žˆ๋‹ค๊ณ  ๋ณด์•„์•ผ ํ•œ๋‹ค(๋Œ€๋ฒ•์› 2005. 11. 10. ์„ ๊ณ  2005๋‘8009 ํŒ๊ฒฐ, ๋Œ€๋ฒ•์› 2008. 5. 15. ์„ ๊ณ  2008๋‘3821 ํŒ๊ฒฐ ๋“ฑ ์ฐธ์กฐ). 3. ์›๊ณ ๋“ค์˜ ์ฒญ๊ตฌ์— ๋Œ€ํ•œ ํŒ๋‹จ ๊ฐ€. ์›๊ณ  ์›๊ณ 1(๋ง ์†Œ์™ธ1) ๋ฐ ์›๊ณ  ์›๊ณ 2(๋ง ์†Œ์™ธ2) (1) ์›๊ณ  ์›๊ณ 1, ์›๊ณ 2์˜ ์ฃผ์žฅ ๋ง ์†Œ์™ธ1, ์†Œ์™ธ2(์ดํ•˜ ์›๊ณ  ์›๊ณ 1, ์›๊ณ 2์˜ ์ฒญ๊ตฌ์— ๋Œ€ํ•œ ํŒ๋‹จ ๋ถ€๋ถ„์—์„œ๋Š” '๋ง์ธ๋“ค'์ด๋ผ ํ•œ๋‹ค)์€ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ 3๋ผ์ธ์—์„œ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋ฉด์„œ ์•„๋ž˜์™€ ๊ฐ™์ด ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ ๋“ฑ์— ๋…ธ์ถœ๋จ์œผ๋กœ์จ ๊ธ‰์„ฑ ๊ณจ์ˆ˜์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์ด ๋ฐœ๋ณ‘ํ•˜์—ฌ ์‚ฌ๋งํ•˜์˜€์œผ๋ฏ€๋กœ, ๋ง์ธ๋“ค์˜ ์‚ฌ๋ง๊ณผ ์—…๋ฌด ์‚ฌ์ด์—๋Š” ์ƒ๋‹น์ธ๊ณผ๊ด€๊ณ„๊ฐ€ ์žˆ์Œ์—๋„ ์ด์™€ ๋‹ค๋ฅธ ์ „์ œ์—์„œ ํ•œ ์ด ๋ถ€๋ถ„ ๊ฐ ์ฒ˜๋ถ„์€ ์œ„๋ฒ•ํ•˜๋‹ค. ใˆŽ ๋ง์ธ๋“ค์€ ์•„๋ž˜์™€ ๊ฐ™์ด ์ง์ ‘ ๋‹ด๋‹นํ•œ ์ž‘์—… ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•œ ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ์— ๋…ธ์ถœ๋˜์—ˆ๋‹ค. โ—‹ ์Šต์‹์‹๊ฐ ๊ณต์ •์˜ ์„ธ์ฒ™์ž‘์—… ์ค‘ ์›จ์ดํผ์— ๋ฌป์–ด ์žˆ๋˜ ๊ฐ๊ด‘์ œ ์†์˜ ๋ฒค์  , ์„ธ์ฒ™์ž‘์—…์— ์‚ฌ์šฉ๋œ ๋ถˆ์‚ฐ๊ณผ ๊ฐ๊ด‘์ œ์— ํฌํ•จ๋œ ์—ํ‹ธ๋ Œ๊ธ€๋ฆฌ์ฝœ๋ฅ˜ ํ™”ํ•ฉ๋ฌผ(2-๋ฉ”ํ†ก์‹œ์—ํƒ„์˜ฌ)์ด ๋ฐ˜์‘ํ•˜์—ฌ ์ƒ์„ฑ๋˜๋Š” ์‚ฐํ™”์—ํ‹ธ๋ Œ, ๊ณ„๋ฉดํ™œ์„ฑ์ œ๋กœ ์‚ฌ์šฉ๋œ Triton โ…ฉ-100์— ํฌํ•จ๋œ ์‚ฐํ™”์—ํ‹ธ๋ Œ, ๊ทธ ๋ฐ–์— ์„ธ์ฒ™์ž‘์—…์— ์‚ฌ์šฉ๋œ ์นดํ…Œ์ฝœ, ๋””ํด๋กœ๋กœ๋ฉ”ํƒ„์— ๋…ธ์ถœ๋จ โ—‹ ํ™•์‚ฐ ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋˜๊ฑฐ๋‚˜ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๋น„์†Œ, ํฌ์Šคํ•€, ์˜ฅ์‹œ์—ผํ™”์ธ, ํ™ฉ์‚ฐ ๋“ฑ๊ณผ ์ด์ „์˜ ๊ฐ๊ด‘ ๊ณต์ •์—์„œ ์ œ๋Œ€๋กœ ์ œ๊ฑฐ๋˜์ง€ ์•Š์€ ๊ฐ๊ด‘์ œ ์†์˜ ๋ฒค์  ์— ๋…ธ์ถœ๋จ โ—‹ ํ™•์‚ฐ ๊ณต์ • ์ค‘ ๋”๋ฏธ ์›จ์ดํผ(Dummy Wafer: ์›จ์ดํผ ํ’ˆ์งˆ์˜ ๊ท ์ผ์„ฑ์„ ๋†’์ผ ๋ชฉ์ ์œผ๋กœ ์›จ์ดํผ ๊ฐ€๊ณต์‹œ ํ•จ๊ป˜ ํˆฌ์ž…ํ•˜๋Š” ์ œํ’ˆํ™”๋˜์ง€ ์•Š๋Š” ์›จ์ดํผ)์˜ ํ‘œ๋ฉด์— ๋ฌป์–ด ์žˆ๋Š” ๋ถˆ์ˆœ๋ฌผ์„ ์ œ๊ฑฐํ•˜๋Š” ๋””์บก(Decap) ์ž‘์—…์‹œ ๊ฐ๊ด‘์ œ์— ํฌํ•จ๋œ ๋ฒค์  ์ด๋‚˜ ๋ฐ˜์‘ ๋ถ€์‚ฐ๋ฌผ์ธ ์‚ฐํ™”์—ํ‹ธ๋ Œ ๋“ฑ์— ๋…ธ์ถœ๋จ โ—‹ ๊ทธ ๋ฐ–์— ์„ธ์ฒ™์ž‘์—…์— ์‚ฌ์šฉ๋œ ์„ธ์ฒ™์ œ์— ํฌํ•จ๋œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์ถ”์ •๋˜๋Š” ๋ฒค์  , ํ™•์‚ฐ ๋ฐ ์‹๊ฐ ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋œ ์‹œ๋„ˆ(ํ˜ผํ•ฉ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ)์— ํฌํ•จ๋œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์ถ”์ •๋˜๋Š” ๋ฒค์  , ๋Œ€๋ถ€๋ถ„์˜ ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋œ ์•„์„ธํ†ค์— ํฌํ•จ๋œ ๋ฒค์   ๋“ฑ์— ๋…ธ์ถœ๋จ ใˆ ๋ง์ธ๋“ค์€ ์ธ๊ทผ์˜ ๋‹ค๋ฅธ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•œ ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ์—๋„ ๋…ธ์ถœ๋˜์—ˆ๋‹ค. โ—‹ ์™ธ๋ถ€ ๊ณต๊ธฐ๋ฅผ ์žฌ์ˆœํ™˜ ๊ณต๊ธฐ์™€ ํ˜ผํ•ฉํ•˜์—ฌ ์ž‘์—…์žฅ์— ๊ณต๊ธ‰ํ•˜๋Š” ํ™˜๊ธฐ์‹œ์Šคํ…œ์ƒ ๋‹ค๋ฅธ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ์—๋„ ๋…ธ์ถœ๋จ โ—‹ ์œ„์™€ ๊ฐ™์€ ๊ฒฝ๋กœ๋กœ ๊ฐ๊ด‘ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๋ฒค์  , ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ, ์ด์˜จ์ฃผ์ž… ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๋น„์†Œ, ์•„๋ฅด์‹ , ์‚ผ์‚ฐํ™”๋น„์†Œ, ๊ทธ ๋ฐ–์— ๋‹ค๋ฅธ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๋ถˆ์‚ฐ, ์—ผ์‚ฐ, ์งˆ์‚ฐ, ํ™ฉ์‚ฐ ๋“ฑ์— ๋…ธ์ถœ๋จ ใˆ ๋ง์ธ๋“ค์€ ์ „๋ฆฌ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋ฐ ๋น„์ „๋ฆฌ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์—๋„ ๋…ธ์ถœ๋˜์—ˆ๋‹ค. โ—‹ ์ž‘์—… ์ค‘ ์ˆ˜์‹œ๋กœ ๊ฐ€์†์ด์˜จ์ฃผ์ž…๊ธฐ ์•ž์„ ์ง€๋‚˜๋‹ค๋‹ˆ๋ฉด์„œ ์ „๋ฆฌ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์— ๋…ธ์ถœ๋จ โ—‹ ํ™•์‚ฐ ๊ณต์ •์˜ ์„ค๋น„์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๋น„์ „๋ฆฌ๋ฐฉ์‚ฌ์„ (๊ทน์ €์ฃผํŒŒ ์ž๊ธฐ์žฅ)์— ๋…ธ์ถœ๋จ ใˆ‘ ๋ง์ธ๋“ค์€ ์ƒ์ฒด๋ฆฌ๋“ฌ์„ ๊นจ๋œจ๋ฆฌ๋Š” ์•ผ๊ฐ„ ๊ต๋Œ€์ œ ๊ทผ๋ฌด๋ฅผ ํ•˜๋ฉด์„œ ๊ณผ๋กœํ•˜์˜€๊ณ  ์—…๋ฌด์ƒ ์ŠคํŠธ๋ ˆ์Šค๋ฅผ ๋ฐ›์•˜๋‹ค. ใˆ’ ๊ทธ ๋ฐ–์— ๋ง ์†Œ์™ธ2์€ ํ™”ํ•™์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋œ TCE์— ๋…ธ์ถœ๋˜์—ˆ๋‹ค. (2) ์ธ์ •์‚ฌ์‹ค ใˆŽ ๋ง์ธ๋“ค์˜ ์ž…์‚ฌ, ๊ทผ๋ฌด, ๋ฐœ๋ณ‘ ๋ฐ ์‚ฌ๋ง ๊ฒฝ์œ„ โ‘  ๋ง ์†Œ์™ธ1 โ—‹ 2003. 10. 6. โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ์ž…์‚ฌ โ—‹ 2004. 1. ~ 2004. 11. โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ(์ดํ•˜ ์›๊ณ  ์›๊ณ 1, ์›๊ณ 2, ์›๊ณ 3์˜ ์ฒญ๊ตฌ์— ๋Œ€ํ•œ ํŒ๋‹จ ๋ถ€๋ถ„์—์„œ๋Š” ํŠน๋ณ„ํžˆ ํ•„์š”ํ•œ ๊ฒฝ์šฐ๋ฅผ ์ œ์™ธํ•˜๊ณ ๋Š” 'โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ'์ด๋ผ๋Š” ํ‘œ์‹œ๋Š” ํ•˜์ง€ ์•Š๋Š”๋‹ค) 3๋ผ์ธ 1, 22, 24๋ฒ ์ด(Bay: ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ œ์กฐ ๊ณต์ • ์ค‘ ํ•˜๋‚˜์˜ ๊ณต์ •์ด ์ง„ํ–‰๋˜๋Š” ์ž‘์—…๊ณต๊ฐ„, ํ•œํŽธ ๋ฒ ์ด์™€ ๋ฒ ์ด๊ฐ€ ๋ฌถ์—ฌ ์žˆ๋Š” ์ „์ฒด ์ž‘์—…๊ณต๊ฐ„์„ ๋ผ์ธ์ด๋ผ๊ณ  ํ•จ) ํ™•์‚ฐ ๊ณต์ •์—์„œ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ๋กœ ๊ทผ๋ฌด โ—‹ 2004. 12. ~ 2005. 6. 3๋ผ์ธ 3๋ฒ ์ด ์Šต์‹์‹๊ฐ ๊ณต์ •์—์„œ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ๋กœ ๊ทผ๋ฌด โ—‹ 2005. 6. 10. ๊ธ‰์„ฑ ๊ณจ์ˆ˜์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘ ์ง„๋‹จ โ—‹ 2005. 9. 15. ํœด์ง ๋ฐ 2006. 10. 31. ํ‡ด์ง(์˜์›๋ฉด์ง)์„œ โ—‹ 2007. 3. 6. ๊ธ‰์„ฑ ๊ณจ์ˆ˜์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์œผ๋กœ ์‚ฌ๋ง โ‘ก ๋ง ์†Œ์™ธ2 โ—‹ 1995. 1. 17. โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ์ž…์‚ฌ โ—‹ 1995. 1. ~ 2001. 6. 3๋ผ์ธ 2์ธต 6, 9๋ฒ ์ด Sputter ๊ณต์ •์—์„œ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ๋กœ ๊ทผ๋ฌด โ—‹ 2001. 6. ~ 2004. 6. 3๋ผ์ธ 11, 14๋ฒ ์ด ํ™”ํ•™์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ •์—์„œ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ๋กœ ๊ทผ๋ฌด โ—‹ 2004. 6. ~ 2005. 3. 3๋ผ์ธ ์ˆ˜์ฃผ(๋ผ๋ฒจ ๋ถ€์ฐฉ) ์—…๋ฌด ๋‹ด๋‹น โ—‹ 2005. 3. ~ 2005. 8. 3๋ผ์ธ 3๋ฒ ์ด ์Šต์‹์‹๊ฐ ๊ณต์ •์—์„œ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ๋กœ ๊ทผ๋ฌด โ—‹ 2005. 8. ~ 2006. 3. 3๋ผ์ธ 22๋ฒ ์ด ํ™•์‚ฐ ๊ณต์ •์—์„œ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ๋กœ ๊ทผ๋ฌด โ—‹ 2006. 3. ~ 2006. 6. ์ถœ์‚ฐํœด๊ฐ€ โ—‹ 2006. 6. ~ 3๋ผ์ธ 3๋ฒ ์ด ์Šต์‹์‹๊ฐ ๊ณต์ •์—์„œ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ๋กœ ๊ทผ๋ฌด โ—‹ 2006. 7. 13. ๊ธ‰์„ฑ ๊ณจ์ˆ˜์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘ ์ง„๋‹จ โ—‹ 2006. 8. 17. ๊ธ‰์„ฑ ๊ณจ์ˆ˜์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์œผ๋กœ ์‚ฌ๋ง(๋™์ผ์ž ๋ฉด์ง) ใˆ ๋ง์ธ๋“ค์˜๊ฒฐ๋ฌด ๋ฐ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ๋“ฑ โ‘  ํ™•์‚ฐ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ง์ธ๋“ค์˜ ์—…๋ฌด โ—‹ ํ™•์‚ฐ ๊ณต์ •์€ ๋Œ€๋ถ€๋ถ„ ์ž๋™์„ค๋น„๊ฐ€ ๊ฐ–์ถ”์–ด์ ธ ์žˆ์–ด์„œ ๊ทผ๋กœ์ž๋“ค์˜ ์ผ๋ฐ˜์ ์ธ ์ž‘์—…์€ ๋Ÿฐ(Run: ์›จ์ดํผ 25์žฅ์”ฉ์˜ ์ž‘์—… ๋‹จ์œ„)์ด ๋‹ด๊ธด ์บ๋ฆฌ์–ด๋ฅผ ๋กœ๋”(Loader)์— ์˜ฌ๋ ค๋†“๊ณ  ์บ๋ฆฌ์–ด๊ฐ€ ์ž๋™์œผ๋กœ ์„ค๋น„ ์•ˆ์œผ๋กœ ๋“ค์–ด๊ฐ€ ํ™•์‚ฐ ๊ณต์ •์„ ๊ฑฐ์นœ ํ›„ ๋‚˜์˜ค๋ฉด ์ด๋ฅผ 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์ž‘์—…ํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ๊ทธ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ๋น„์œจ์€ ํ™•์ธํ•  ์ˆ˜ ์—†์ง€๋งŒ ์ฃผ๋กœ ์ˆ˜๋™์„ค๋น„์—์„œ ์œ„์™€ ๊ฐ™์ด ์ง์ ‘ ์บ๋ฆฌ์–ด๋ฅผ BOE ์šฉ์•ก ๋“ฑ์ด ๋‹ด๊ธด ์ˆ˜์กฐ์— ๋ฐ˜๋ณต์ ์œผ๋กœ ๋‹ด๊ฐ”๋‹ค๊ฐ€ ๊บผ๋‚ด๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•์œผ๋กœ ์„ธ์ฒ™์ž‘์—…์„ ํ•œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋ณด์ธ๋‹ค (๊ฐ‘ ์ œ6ํ˜ธ์ฆ์˜ 1 ์ค‘ 12์ชฝ, ๊ฐ‘ ์ œ6ํ˜ธ์ฆ์˜ 2 ์ค‘ 10์ชฝ ์ฐธ์กฐ). โ—‹ ํ•œํŽธ ๊ทผ๋กœ์ž๋“ค์€ 2์ธ 1์กฐ๋กœ ์„ธ์ฒ™์ž‘์—…์„ ํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ๋ง ์†Œ์™ธ1๋Š” ์ฒ˜์Œ์—๋Š” ์†Œ์™ธ7๊ณผ ์ž‘์—…ํ•˜๋‹ค๊ฐ€ ์†Œ์™ธ7์ด ํ‡ด์‚ฌํ•œ ํ›„์—๋Š” ๋ง ์†Œ์™ธ2๊ณผ ํ•œ ์กฐ๋ฅผ ์ด๋ฃจ์–ด ์ž‘์—…ํ•˜์˜€๋‹ค. โ‘ข Sputter ๊ณต์ • ๋ฐ ํ™”ํ•™์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ง ์†Œ์™ธ2์˜ ์—…๋ฌด โ—‹ ๊ธˆ์†๋ฐฐ์„  ์ค‘ Sputter ๊ณต์ •์€ ๊ธˆ์†๋ง‰ ์ฆ์ฐฉ์žฅ์น˜(Sputter)๋กœ ์•Œ๋ฃจ๋ฏธ๋Š„ ์›์ž๋ฅผ ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์— ๋ถ€์ฐฉ์‹œ์ผœ ๋ฐฐ์„ ์„ ๋งŒ๋“œ๋Š” ๊ณต์ •์ด๋‹ค. ๋ง ์†Œ์™ธ2์€ ์œ„ ๊ณต์ •์—์„œ ์›จ์ดํผ๊ฐ€ ๋“ค์–ด์žˆ๋Š” ์บ๋ฆฌ์–ด๋ฅผ ๋กœ๋”์— ์˜ฌ๋ฆฌ๊ณ  ์บ๋ฆฌ์–ด๊ฐ€ ์ž๋™์œผ๋กœ ๋ฐ€ํ๋œ ์„ค๋น„ ์•ˆ์œผ๋กœ ๋“ค์–ด๊ฐ€ ์ŠคํผํŠธ ๊ณต์ •์„ ๊ฑฐ์นœ ํ›„ ๋‚˜์˜ค๋ฉด ์ด๋ฅผ ๋กœ๋”์—์„œ ๊บผ๋‚ด 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2009. 6. ํ˜„์žฌ ๋ฒค์  , ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ, ์‚ฐํ™”์—ํ‹ธ๋ Œ, ๋น„์†Œ ๋“ฑ 1,572์ข…์˜ ๋ฌผ์งˆ์„ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ œ์กฐ ์ „์ฒด ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๊ธˆ์ง€๋ฌผ์งˆ๋กœ ์ง€์ •ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค.
๊ณต์ •๋ณ„ Cas
๊ณต์ • ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ
ํ™•์‚ฐ ์ˆ˜์†Œ, ์—ผ์‚ฐ, ์˜ฅ์‹œ์—ผํ™”์ธ, ์‚ฐ์†Œ, ์งˆ์†Œ
ํ™”ํ•™์ฆ์ฐฉ ๋””ํด๋กœ๋กœ์‹ค๋ Œ, ์•”๋ชจ๋‹ˆ์•„, ์งˆ์†Œ, ์ด์‚ฐํ™”์งˆ์†Œ, ์‹ค๋ž€, ๋””๋ณด๋ž€, ํฌ์Šคํ•€, ์œก๋ถˆํ™”ํ……์Šคํ…, ๋ถˆ์‚ฐ, ์งˆ์†Œ, ์‚ฐ์†Œ
๊ฑด์‹์‹๊ฐ„ ์‚ผ๋ถˆํ™”์งˆ์†Œ, ์‚ผ์—ผํ™”๋ถ•์†Œ, ์—ผ์‚ฐ, ์œก๋ถˆํ™”ํ™ฉ, ์‚ฌ์—ผํ™”๊ทœ์†Œ, ํ—ฌ๋ฅจ, ์‚ผ๋ถˆํ™”๋ฉ”ํƒ„, ํ”„๋ ˆ์˜จ116, ์‚ฌ๋ถˆํ™”๋ฉ”ํƒ„
์ด์˜จ์ฃผ์ž… ์•„๋ฅด์‹ , ํฌ์Šคํ•€, ์‚ผ๋ถˆํ™”๋ถ•์†Œ
๊ธˆ์†๋ฐฐ์„  ์•„๋ฅด๊ณค
EPI ๊ณต์ • ๋””ํด๋กœ๋กœ์‹ค๋ Œ, ์—ผ์‚ฐ, ํŠธ๋ฆฌํด๋กœ๋กœ์‹ค๋ Œ, ํฌ์Šคํ•€, ๋””๋ณด๋ž€
๊ณต์ •๋ณ„ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ
๊ณต์ • ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ
์„ธ์ • ๋ฐ ์‹๊ฐ ์•„์„ธํ†ค, IPA, ACT-CMI, ์—ผํ™”๋ฉ”๋ฆด, TCE, ๊ฐ์ข… ์‹œ๋„ˆ, ๊ณผ์‚ฐํ™”์ˆ˜์†Œ, ํ™ฉ์‚ฐ, ์งˆ์‚ฐ, ๋ถˆ์‚ฐ, ์—ผ์‚ฐ, ์ธ์‚ฐ, ์•„์„ธํŠธ์‚ฐ, ๊ฐ์ข… ํ˜ผํ•ฉ์‚ฐ๋ฅ˜, ์•”๋ชจ๋‹ˆ์•„์ˆ˜, ๋ถˆํ™”์•”๋ชจ๋Š„
๊ฐ๊ด‘ ๊ฐ๊ด‘์•ก(PR), ํ‘œ๋ฉด๋ฐ€์ฐฉ์ œ, ์•„์„ธํ†ค, ์‹œ๋„ˆ, ํ˜„์ƒ์•ก
ํ™•์‚ฐ ์˜ฅ์‹œ์—ผํ™”์ธ, ๋ธŒ๋กฌํ™”๋ถ•์†Œ
Utility ํ™ฉ์‚ฐ, ์—ผ์‚ฐ, ๊ณผ์‚ฐํ™”์ˆ˜์†Œ, ์•„ํ™ฉ์‚ฐ๋‚˜ํŠธ๋ฅจ, ์ฐจ์—ผ์‚ฐ๋‚˜ํŠธ๋ฅจ, ์ˆ˜์‚ฐํ™”๋‚˜ํŠธ๋ฅจ, ์ˆ˜์‚ฐํ™”์นผ์Š˜, ํƒ„์‚ฐ๋‚˜ํŠธ๋ฅจ, ์ˆ˜์‚ฐํ™”์นผ๋ฅจ, ๋ฉ”ํƒ„์˜ฌ
โ—‹ ํ•œํŽธ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๊ฐ€ ๋ง์ธ๋“ค์— ๋Œ€ํ•œ ๊ฐœ๋ณ„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ๋‹น์‹œ โ—‹โ—‹โ—‹์— ์ œ์ถœํ•œ ์ž๋ฃŒ (๊ฐ‘ ์ œ103ํ˜ธ์ฆ ์ฐธ์กฐ)์— ์˜ํ•˜๋ฉด, 3๋ผ์ธ ์Šต์‹์‹๊ฐ ๊ณต์ • ์ค‘ ์„ธ์ฒ™์ž‘์—…(3๋ฒ ์ด)์—์„œ๋Š” ์ˆ˜์‚ฐํ™” ์•”๋ชจ๋Š„, ์•”๋ชจ๋‹ˆ์•„, ๊ณผ์‚ฐํ™”์ˆ˜์†Œ, ๋ถˆ์‚ฐ, ํ™ฉ์‚ฐ, IPA, BOE ์šฉ์•ก, ํ™•์‚ฐ ๊ณต์ •(22, 23, 24๋ฒ ์ด) ์—์„œ๋Š” ์งˆ์†Œ, ์‚ฐ์†Œ, ์•”๋ชจ๋‹ˆ์•„, ์—ผ์‚ฐ, ๋ชจ๋…ธ์‹ค๋ž€, ์ˆ˜์†Œ, ๋””ํด๋กœ๋กœ์‹ค๋ž€, ํ™”ํ•™์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ •(11, 14๋ฒ ์ด)์—์„œ๋Š” ๋ชจ๋…ธ์‹ค๋ž€, ์•”๋ชจ๋‹ˆ์•„, ํผํ”Œ๋ฃจ์˜ค๋กœํ”„๋กœํŒ, ์•„์‚ฐํ™”์งˆ์†Œ, ํฌ์Šคํ•€, ๋””๋ณด๋ž€, ์œก๋ถˆํ™”ํ……์Šคํ…, ์งˆ์†Œ, ์‚ฐ์†Œ, ์•„๋ฅด๊ณค, 2์ธต ๊ธˆ์†๋ฐฐ์„  ๊ณต์ •(6, 9๋ฒ ์ด)์—์„œ๋Š” ์•„๋ฅด๊ณค, ์งˆ์†Œ๊ฐ€ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๊ธฐ์žฌ๋˜์–ด ์žˆ๋‹ค. โ—‹ ์ด์˜จ์ฃผ์ž… ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ๊ฐ€์†์ด์˜จ์ฃผ์ž…๊ธฐ(์„ค๋น„ ์ž์ฒด์— ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ์ฐจํ์‹œ์„ค์ด ์„ค์น˜๋˜์–ด ์žˆ์Œ)๋Š” ์•„๋ž˜ ๊ทธ๋ฆผ๊ณผ ๊ฐ™์ด 3๋ผ์ธ์— ๋ชจ๋‘ 23๋Œ€๊ฐ€ ์„ค์น˜๋˜์–ด ์žˆ๋Š”๋ฐ(๋‹ค๋งŒ 1๋ฒ ์ด ๋’ค์ชฝ์˜ ๊ฐ€์†์ด์˜จ์ฃผ์ž…๊ธฐ 2๋Œ€๋Š” ๊ฐ๊ฐ 2006. 2.๊ณผ 2006. 3.๊ฒฝ ์„ค์น˜๋˜์–ด ๋ง ์†Œ์™ธ1๊ฐ€ ๊ทผ๋ฌด ํ•˜๋˜ ๋‹น์‹œ์—๋Š” ์—†์—ˆ์Œ), 12, 13๋ฒ ์ด ๋’ค์ชฝ์˜ ๊ฐ€์†์ด์˜จ์ฃผ์ž…๊ธฐ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๋ง์ธ๋“ค์ด ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋˜ 3๋ฒ ์ด์—์„œ 80m ๊ฐ€๋Ÿ‰ ๋–จ์–ด์ ธ ์žˆ๋‹ค. โ‘ค ์•ˆ์ „๋ณดํ˜ธ๊ตฌ, ํ™˜๊ธฐ์‹œ์Šคํ…œ ๋ฐ ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ ๊ฐ์ง€์‹œ์Šคํ…œ ๋“ฑ โ—‹ 3๋ผ์ธ์—๋Š” ๋ณด์•ˆ๊ฒฝ, ๋‚ด์‚ฐ ์•ž์น˜๋งˆ, ํ† ์‹œ ๋ฐ PVC ์žฅ๊ฐ‘ ๋“ฑ์˜ ๋ณดํ˜ธ์žฅ๊ตฌ๊ฐ€ ๊ฐ–์ถ”์–ด์ ธ ์žˆ์—ˆ์ง€๋งŒ(๋‹ค๋งŒ ์ผ๋ถ€ ๋ฐฉ๋…๋ฉด์„ ์ œ์™ธํ•˜๊ณ ๋Š” ๊ทผ๋กœ์ž๋“ค์•„ ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ์‚ฌ์šฉํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๋ฐฉ๋…๋งˆ์Šคํฌ๋Š” ๊ฐ–์ถ”์–ด์ ธ ์žˆ์ง€ ์•Š์•˜์Œ), ๊ทผ๋กœ์ž๋“ค์€ ์—…๋ฌดํšจ์œจ์„ ๋†’์ด๊ธฐ ์œ„ํ•ด ํ•„์š”ํ•œ ๋ณดํ˜ธ ์žฅ๊ตฌ๋ฅผ ์ฐฉ์šฉํ•˜์ง€ ์•Š์€ ์ฑ„ ์ž‘์—…ํ•˜๋Š” ๊ฒฝ์šฐ๋„ ์žˆ์—ˆ๋˜ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋ณด์ธ๋‹ค. โ—‹ 3๋ผ์ธ์˜ ๊ฐ ๋ฒ ์ด๋Š” ์ถœ์ž…๋ฌธ ์—†์ด ๊ฐœ๋ฐฉ๋œ ํ˜•ํƒœ์˜€๋Š”๋ฐ, ๋ผ์ธ ๋‚ด๋ถ€์—๋Š” ์••๋ ฅ์„ ์ด์šฉํ•˜์—ฌ ์œ„์ชฝ์˜ ๊ณต๊ธฐ๋ฅผ ์•„๋ž˜์ชฝ์œผ๋กœ ์ด๋™ ๋ฐฐ์ถœ์‹œ์ผœ ๊ณต๊ธฐ๋ฅผ ์ˆœํ™˜์‹œํ‚ค๋Š” ํ†ฑ๋‹ค์šด(Top-dowm) ๋ฐฉ์‹์˜ ํ™˜๊ธฐ์‹œ์Šคํ…œ์ด ์„ค์น˜๋˜์–ด ์žˆ์—ˆ๋‹ค. โ—‹ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋Š” ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ ๋‚ด์— ๊ฐ€์Šค ๊ฐ์ง€์‹œ์Šคํ…œ๋งŒ ๊ฐ–์ถ”๊ณ  ์žˆ๋‹ค๊ฐ€ ์œ ๊ธฐํ™”ํ•ฉ๋ฌผ๋„ ๊ฐ์ง€ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์‹œ์Šคํ…œ(์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์‹ค์‹œ๊ฐ„ ๋ชจ๋‹ˆํ„ฐ๋ง ์‹œ์Šคํ…œ)์„ ์ƒˆ๋กœ์ด ๊ตฌ์ถ•ํ•˜์—ฌ 2007. 6.๊ฒฝ๋ถ€ํ„ฐ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ์— ์ ์šฉํ•˜์˜€๋‹ค. ์œ„ ์‹œ์Šคํ…œ ๊ตฌ์ถ• ๋‹น์‹œ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋Š” ์‹œ๋ฒ” ์šด์˜ ๊ฒฐ๊ณผ ๋ผ์ธ๋‚ด ์•…์ทจ์˜ ์›์ธ์€ ์ฃผ๋กœ ์œ ๊ธฐํ™”ํ•ฉ๋ฌผ์ธ๋ฐ, ์„ค๋น„ ์ด์ƒ ๋˜๋Š” ์„ค๋น„ ๋ณด์ˆ˜์ž‘์—… ๋“ฑ ๋‹ค์–‘ํ•œ ์›์ธ์— ์˜ํ•˜์—ฌ ๋ฐœ์ƒํ•˜๊ณ  ์ˆœ๊ฐ„ ๋†๋„์น˜๊ฐ€ ์ž์ฒด ๊ด€๋ฆฌ๊ธฐ์ค€์„ ์ƒํšŒํ•˜๋Š” ๊ฒฝ์šฐ๋„ ์žˆ์—ˆ์œผ๋‚˜ 8์‹œ๊ฐ„ ๊ฐ€์ค‘ ํ‰๊ท ์น˜๋กœ๋Š” ๋‚ฎ์€ ์ˆ˜์ค€์ด์—ˆ๋‹ค๊ณ  ํ‰๊ฐ€ํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ํ•œํŽธ ๊ฑด์‹์‹๊ฐ ๋ฐ ๊ฐ๊ด‘์ œ ์ œ๊ฑฐ ๊ณต์ •์„ ๊ฑฐ์ณค๋Š”๋ฐ๋„ ๊ฐ๊ด‘์ œ ๋“ฑ์ด ์™„์ „ํžˆ ์ œ๊ฑฐ ๋˜์ง€ ์•Š์€ ์ƒํƒœ์˜ ๋ถˆ๋Ÿ‰์„ ์–ธ์• ์‹ฑ(Unashing)์ด๋ผ๊ณ  ํ•˜๋Š”๋ฐ, โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋Š” 2003. 9.๊ฒฝ '๋ƒ‰๊ฐ ์ฑ”๋ฒ„์—์„œ ์–ธ์• ์‹ฑ๋œ ํฌํ† ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ(PR)์˜ ์ž”๋ฅ˜๋ฅผ ๊ฐ์ง€ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์‹๊ฐ์žฅ๋น„ ๋ฐ ์ด๋ฅผ ์ด์šฉํ•œ ํฌํ† ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ์˜ ์ž”๋ฅ˜๋ฌผ ๊ฐ์ง€๋ฐฉ๋ฒ•'์ด๋ผ๋Š” ํŠนํ—ˆ๋ฅผ ์ถœ์›ํ•˜์˜€๋‹ค. โ‘ฅ ๊ต๋Œ€์ œ ๊ทผ๋ฌด ๋ฐ ์—ฐ์žฅ ๊ทผ๋ฌด โ—‹ ๋ง์ธ๋“ค์€ 4์กฐ 3๊ต๋Œ€๋กœ 1์ผ 8์‹œ๊ฐ„์”ฉ(์˜ค์ „ 06:00 ~ 14:00, ์˜คํ›„ 14:00 ~ 22:00, ์•ผ๊ฐ„ 22:00 ~ ๋‹ค์Œ๋‚  06:00) ๊ทผ๋ฌดํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ์—ฐ์žฅ๊ทผ๋ฌด๋ฅผ ํ•˜๋Š” ๊ฒฝ์šฐ๊ฐ€ ์ ์ง€ ์•Š์•˜๋‹ค. โ—‹ ๋ง์ธ๋“ค์€ 6์ผ ๊ทผ๋ฌด ํ›„ 2์ผ ํœด๋ฌดํ•˜์˜€๊ณ  8์ผ ๊ฐ„๊ฒฉ์œผ๋กœ ๊ทผ๋ฌด์‹œ๊ฐ„๋Œ€๊ฐ€ ๋ฐ”๋€Œ์—ˆ๋‹ค. ใˆ ๋ง์ธ๋“ค์˜ ๊ฑด๊ฐ•์ƒํƒœ ๋“ฑ โ‘  ๋ง ์†Œ์™ธ1 โ—‹ ๋ง ์†Œ์™ธ1๋Š” โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์— ์ž…์‚ฌํ•  ๋‹น์‹œ ๋ฐ›์€ ๊ฑด๊ฐ•๊ฒ€์ง„์—์„œ Bํ˜• ๊ฐ„์—ผ ์˜ˆ๋ฐฉ์ ‘์ข…์ด ํ•„์š”ํ•˜๋‹ค๋Š” ์†Œ๊ฒฌ ์™ธ์—๋Š” ์ ํ•ฉํŒ์ •์„ ๋ฐ›์•˜๊ณ , 2004๋…„๋„ ๊ฑด๊ฐ•๊ฒ€์ง„์—์„œ๋„ ์ด ์ฝœ๋ ˆ์Šคํ…Œ๋กค์ด ๊ธฐ์ค€์น˜๋ฅผ ์ดˆ๊ณผํ•˜๋Š” ์™ธ์—๋Š” ์ •์ƒ ํŒ์ •์„ ๋ฐ›์•˜์œผ๋ฉฐ, ๊ฐ€์กฑ ์ค‘์— ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์ด ๋ฐœ๋ณ‘ํ•œ ์‚ฌ๋žŒ๋„ ์—†์—ˆ๋‹ค. โ—‹ ๋ง ์†Œ์™ธ1๋Š” 2005. 5.๊ฒฝ๋ถ€ํ„ฐ ๊ตฌํ† , ํ”ผ๋กœ, ์–ด์ง€๋Ÿผ์ฆ ๋“ฑ์˜ ์ฆ์ƒ์„ ๋ณด์ด๋‹ค๊ฐ€ 2005. 6. 10. โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™๊ต๋ณ‘์›์—์„œ ๊ธ‰์„ฑ ๊ณจ์ˆ˜์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์œผ๋กœ ์ง„๋‹จ๋ฐ›์€ ํ›„ 2005. 12.๊ฒฝ ๊ณจ์ˆ˜์ด์‹์ˆ˜์ˆ ์„ ๋ฐ›์•˜์œผ๋‚˜, 2006. 11.๊ฒฝ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์ด ์žฌ๋ฐœํ•˜์—ฌ ์™ธ๋ž˜์ง„๋ฃŒ๋ฅผ ๋ฐ›๋˜ ์ค‘ 2007. 3. 6. ์‚ฌ๋งํ•˜์˜€๋‹ค. โ‘ก ๋ง ์†Œ์™ธ2 โ—‹ ๋ง ์†Œ์™ธ2์€ 2003๋…„๋ถ€ํ„ฐ 2005๋…„๊นŒ์ง€์˜ ๊ฑด๊ฐ•๊ฒ€์ง„์—์„œ ๊ฒฝ๋„์˜ ํ˜ˆ์ƒ‰์†Œ ๊ฐ์†Œ ์™ธ์—๋Š” ํŠน๋ณ„ํ•œ ์ด์ƒ์ด ์—†์—ˆ๊ณ , ์ž„์‹  ๋ฐ ์ถœ์‚ฐ ๋‹น์‹œ ์‹œํ–‰ํ•œ ๊ฒ€์ง„์—์„œ๋„ ๋ชจ๋‘ ์ •์ƒ์ด์—ˆ์œผ๋ฉฐ, ๊ฐ€์กฑ ์ค‘์— ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์ด ๋ฐœ๋ณ‘ํ•œ ์‚ฌ๋žŒ๋„ ์—†์—ˆ๋‹ค. โ—‹ ๋ง ์†Œ์™ธ2์€ 1998๋…„๊ฒฝ ์ดํ›„ ๊ฑฐ์˜ ๋งค๋…„ ๋งŒ์„ฑ ์œ„์—ผ, ๋งŒ์„ฑ ๋น„์—ผ, ๊ธ‰ ๋งŒ์„ฑ ์งˆ์—ผ, ์ ‘์ด‰ํ”ผ๋ถ€์—ผ, ๊ธ‰์„ฑ ๊ธฐ๊ด€์ง€์—ผ, ์น˜์€์—ผ ๋“ฑ ์—ผ์ฆ์„ฑ ์งˆํ™˜์œผ๋กœ ์น˜๋ฃŒ๋ฐ›์•˜๋Š”๋ฐ, 2006. 6. ์ค‘์ˆœ๊ฒฝ ์ถœ์‚ฐํœด๊ฐ€์—์„œ ๋ณต๊ท€ํ•œ ๋ฉฐ์น  ํ›„๋ถ€ํ„ฐ ๋‹ค๋ฆฌ์— ๋ฉ์ด ๋“ค๊ณ  ์ž‡๋ชธ์—์„œ ํ”ผ๊ฐ€ ๋‚˜์˜ค๋Š” ์ฆ์ƒ์„ ๋ณด์ด๋‹ค๊ฐ€ 2006. 7. 13. โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™๊ต๋ณ‘์›์—์„œ ๊ธ‰์„ฑ ๊ณจ์ˆ˜์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์œผ๋กœ ์ง„๋‹จ๋ฐ›์•˜๊ณ , ์ดํ›„ ํ•ญ์•”์น˜๋ฃŒ๋ฅผ ๋ฐ›์•˜์œผ๋‚˜ ํšŒ๋ณต๋˜์ง€ ๋ชปํ•˜๊ณ  2006. 8. 17. ์‚ฌ๋งํ•˜์˜€๋‹ค. ใˆ‘ ๋ง์ธ๋“ค์˜ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ๋“ฑ์— ๋Œ€ํ•œ โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๊ฐœ๋ณ„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ๊ฒฐ๊ณผ ์œ„ ์ œ2์˜ ๋‚˜ (1)ํ•ญ๊ณผ ๊ฐ™์€ ๊ฒฝ์œ„๋กœ ์ง„ํ–‰๋œ โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๊ฐœ๋ณ„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ๊ฒฐ๊ณผ์˜ ์ฃผ์š” ๋‚ด์šฉ์€ ์•„๋ž˜์™€ ๊ฐ™๋‹ค. โ‘  ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ โ—‹ 3๋ผ์ธ 3๋ฒ ์ด ์Šต์‹์‹๊ฐ ๊ณต์ •์˜ ์„ธ์ฒ™์ž‘์—…์—์„œ๋Š” ๋ถˆ์‚ฐ์€ 0.0011 ~ 0.0048mg/m (๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€ 2.5mg/m3), ์—ผ์‚ฐ์€ ๊ฒ€์ถœ๋˜์ง€ ์•Š๊ฑฐ๋‚˜ ์ตœ๋Œ€ 0.00091mg/m3(๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€ 1.5mg/m), ํ™ฉ์‚ฐ์€ ๊ฒ€์ถœ๋˜์ง€ ์•Š๊ฑฐ๋‚˜ ์ตœ๋Œ€ 0.00255mg/m3(๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€ 0.2mg/m3)๊ฐ€ ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ๊ณ , ๋ถˆํ™”๋ฌผ์€ ๊ฒ€์ถœ๋˜์ง€ ์•Š์•˜์œผ๋ฉฐ, IPA๋Š” 0.122 ~ 0.265ppm(๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€ 200PPm)์ด ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ๋‹ค. โ—‹ ์ „์ฒด์ ์œผ๋กœ 3๋ผ์ธ 9๊ฐœ ๋ฒ ์ด์—์„œ ๋ฒค์  , ํ†จ๋ฃจ์—”, ํฌ์‹ค๋ Œ, n-๋ถ€ํ‹ธ์•„์„ธํ…Œ์ดํŠธ, 2-์—ํ†ก์‹œ์—ํ‹ธ ์•„์„ธํ…Œ์ดํŠธ, 2-๋ฉ”ํ†ก์‹œ์—ํƒ„์˜ฌ, 2-ํ—ตํƒ€๋…ผ, ์—ํ‹ธ๋ Œ๊ธ€๋ฆฌ์ฝœ, ์ธ์‚ฐ์€ ๊ฒ€์ถœ๋˜์ง€ ์•Š์•˜๊ณ , ์•„๋ฅด์‹ ์€ ๋ชจ๋“  ์‹œ๋ฃŒ์—์„œ ๊ฒ€์ถœ๋˜์ง€ ์•Š๊ฑฐ๋‚˜ ํ”์ (trace: ๊ฒ€์ถœ์€ ๋˜์ง€๋งŒ ์ •ํ™•ํ•œ ์–‘์„ ํŠน์ •ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด ์˜๋ฏธ ์—†๋Š” ๊ฒฝ์šฐ์— ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ์šฉ์–ด๋กœ ์ •๋Ÿ‰ํ•œ๊ณ„ ๋ฏธ๋งŒ ๋“ฑ์„ ์˜๋ฏธํ•จ)์œผ๋กœ ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ์œผ๋ฉฐ, ๋ถˆํ™”๋ฌผ์€ ์ตœ๊ณ  ๋…ธ์ถœ๋†๋„๊ฐ€ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์˜ 0.17%, ๋ถˆ์‚ฐ์€ 0.2%, ์—ผ์‚ฐ์€ 0.06%, ํ™ฉ์‚ฐ์€ 1.7%, ์งˆ์‚ฐ์€ 0.05%, IPA๋Š” 0.4%, ํฌ์Šคํ•€์€ 2%, ํ”„๋กœํ•„๋ Œ๊ธ€๋ฆฌ์ฝœ ๋ชจ๋…ธ๋ฉ”ํ‹ธ ์—ํ…Œ๋ฅด ์•„์„ธํ…Œ์ดํŠธ(PGMEA)๋Š” 0.1% ๋ฏธ๋งŒ์œผ๋กœ ์ธก์ •๋˜์—ˆ๋‹ค. โ—‹ ์ „์ฒด์ ์œผ๋กœ 9๊ฐœ ๋ฒ ์ด์—์„œ ์ธก์ •ยทํ‰๊ฐ€๊ฐ€ ์ด๋ฃจ์–ด์ง„ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ ์ˆ˜์ค€์€ ๋งค์šฐ ๋‚ฎ์€ ํŽธ์ด์—ˆ๊ณ , ๋ฐœ์•”์„ฑ ๋ฌผ์งˆ๋กœ ์•Œ๋ ค์ง„ ๋ฒค์  ์€ ๊ฒ€์ถœ๋˜์ง€ ์•Š์•˜๋‹ค. โ‘ก โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๊ณผ๊ฑฐ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ โ—‹ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋Š” ๋งค๋…„ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ •์„ ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋Š”๋ฐ, 2001๋…„๋ถ€ํ„ฐ 2006๋…„๊นŒ์ง€์˜ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ •์ž๋ฃŒ ๊ฒ€ํ†  ๊ฒฐ๊ณผ ๋ชจ๋“  ์œ ๊ธฐํ™”ํ•ฉ๋ฌผ์ด ์ธก์ •๋˜์ง€ ์•Š๊ฑฐ๋‚˜ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€ ๋ฏธ๋งŒ์œผ๋กœ ์ธก์ •๋˜์—ˆ๋‹ค. โ—‹ ๊ทธ ์ค‘ 2006๋…„๋„ 3๋ผ์ธ์— ๋Œ€ํ•œ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ์— ์˜ํ•˜๋ฉด, ์Šต์‹์‹๊ฐ ์ค‘ ์„ธ์ฒ™์ž‘์—…์„ ๋‹ด๋‹นํ•˜๋Š” 3๋ฒ ์ด์—์„œ ๊ณผ์‚ฐํ™”์ˆ˜์†Œ 0.0033ppm(๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€ Ippm), ๊ด‘ํ•™ํ˜„์ƒ์ž‘์—…์„ ๋‹ด๋‹นํ•˜๋Š” 7, 8, 9, 15, 16๋ฒ ์ด์—์„œ IPA 0.35ppm(๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€ 200ppm), ์ด์˜จ์ฃผ์ž… ๊ณต์ •์„ ๋‹ด๋‹นํ•˜๋Š” 12, 13๋ฒ ์ด์—์„œ ํฌ์Šคํ•€ 0.0082ppm(๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€ Ippm), ์•„๋ฅด์‹  0.000079ppm(๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€ 0.05ppm), ํ™•์‚ฐ ๊ณต์ •์„ ๋‹ด๋‹นํ•˜๋Š” 22, 23, 24๋ฒ ์ด์—์„œ ์—ผ์‚ฐ 0.0029ppm(๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€ 2ppm) ๋“ฑ์ด ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ๋‹ค. โ‘ข ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋…ธ์ถœ ํ‰๊ฐ€ ๊ฒฐ๊ณผ โ—‹ ๊ฐ€์†์ด์˜จ์ฃผ์ž…๊ธฐ๊ฐ€ ์„ค์น˜๋œ ์žฅ์†Œ ๋ฐ ์ž‘์—…์ž์˜ ๋™์„ ์„ ๋”ฐ๋ผ 5๊ฐœ ์ง€์ ์„ ์„ ํƒํ•˜์—ฌ ๊ทผ๋กœ์ž๊ฐ€ 1์ผ 8์‹œ๊ฐ„ ๋™์•ˆ ํ”ผํญ๋  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์ตœ๋Œ€ ํ”ผํญ์„ ๋Ÿ‰์„ ์‚ฐ์ถœํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ 4๊ฐœ ์ง€์ ์—์„œ๋Š” ์ž์—ฐ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ์— ์˜ํ•œ ํ”ผํญ์„ ๋Ÿ‰ ๋ฏธ๋งŒ์˜ ๊ฐ’์„ ๋ณด์˜€๊ณ , 12๋ฒ ์ด ๊ฐ€์†์ด์˜จ์ฃผ์ž…๊ธฐ ์•ž์ชฝ์˜ 1๊ฐœ ์ง€์ ์€ ์‹œ๊ฐ„๋‹น 2.4ฮผSv๋กœ 1๋…„์— ์ฃผ๋‹น 40์‹œ๊ฐ„์”ฉ 50์ฃผ๊ฐ„ ๊ทผ๋ฌดํ•œ๋‹ค๊ณ  ๊ฐ€์ •ํ–ˆ์„ ๋•Œ ์—ฐ๊ฐ„ 4.8mSv์˜ ์„ ๋Ÿ‰์ด ๊ฐ์ง€๋˜์—ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ์ธก์ •์น˜๋Š” ์›์ž๋ ฅ๋ฒ• ์‹œํ–‰๋ น(ํ˜„์žฌ์˜ ์›์ž๋ ฅ์•ˆ์ „๋ฒ• ์‹œํ–‰๋ น)์—์„œ ์ œ์‹œํ•œ ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ์ž‘์—… ์ข…์‚ฌ์ž์˜ ์„ ๋Ÿ‰ํ•œ๋„(50mSv/yr)๋Š” ์ดˆ๊ณผํ•˜์ง€ ์•Š์ง€๋งŒ ์ผ๋ฐ˜์ธ์˜ ์„ ๋Ÿ‰ํ•œ๋„(1mSv/yr)๋Š” ์ดˆ๊ณผํ•˜๋Š” ์ˆ˜์ค€์ด๋‹ค. โ—‹ ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋…ธ์ถœ ํ‰๊ฐ€์— ๊ทผ๊ฑฐํ•˜์—ฌ ๊ฐ€์žฅ ๋†’์€ ์„ ๋Ÿ‰์„ ๋ณด์ธ ์ง€์ ์„ ๊ธฐ์ค€์œผ๋กœ ํ•˜๋ฃจ 8์‹œ๊ฐ„ ํ”ผํญ๋˜์—ˆ๋‹ค๊ณ  ๋ณด์•˜์„ ๋•Œ ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋…ธ์ถœ์— ์˜ํ•œ ์•” ๋ฐœ์ƒ์˜ ์ธ๊ณผํ™•๋ฅ ์€ 99 ๋ฐฑ๋ถ„์œ„์ˆ˜ (์ „์ฒด ์ธก์ • ๊ฐœ์ฒด์ˆ˜๋ฅผ 100๊ฐœ๋กœ ํ™˜์‚ฐํ•  ๊ฒฝ์šฐ ๊ทธ ์ค‘ 99๋ฒˆ์งธ ์žˆ๋Š” ๊ฐœ์ฒด๋ฅผ ์˜๋ฏธํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ, ์‹ค์ œ ์•” ๋ฐœ์ƒ์˜ ์ธ๊ณผํ™•๋ฅ ์ด ์ด๋ณด๋‹ค ๋†’๊ฒŒ ๋‚˜์˜ฌ ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์ด 1% ๋ฏธ๋งŒ์ž„์„ ์˜๋ฏธํ•จ)๊ฐ€ 0.53%, ํ•˜๋ฃจ 30๋ถ„ ํ”ผํญ์„ ๊ฐ€์ •ํ•˜๋ฉด 0.03%๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚ฌ๋‹ค. ํ•œํŽธ ํ•˜๋ฃจ 8์‹œ๊ฐ„ ํ”ผํญ๋˜์—ˆ์„ ๋•Œ 50 ๋ฐฑ๋ถ„์œ„์ˆ˜๋Š” 0.18%๋กœ ๋‚˜ํƒ€๋‚ฌ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ๋Š” ํ”ผํญ์ด ๊ฐ€์žฅ ํฐ ์ž๋ฆฌ์—์„œ ์›€์ง์ด์ง€ ์•Š๊ณ  ๊ณ„์† ๊ทผ๋ฌดํ•œ๋‹ค๋Š” ๊ฐ€์ •์—์„œ ๋‚˜์€ ๊ฒƒ์ด๋ฏ€๋กœ, ์‹ค์ œ ์ž‘์—…์˜ ๊ฒฝ์šฐ์—๋Š” ํ”ผํญ์ด ๊ฑฐ์˜ ์ผ์–ด๋‚˜์ง€ ์•Š์•˜์„ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋ณด์ธ๋‹ค. โ—‹ ํ•œํŽธ ๋ง ์†Œ์™ธ2์— ๋Œ€ํ•œ ๊ฐœ๋ณ„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ๊ณผ์ •์—์„œ ๋ง์†Œ์™ธ2์ด ๊ทผ๋ฌดํ–ˆ๋˜ 3๋ผ์ธ 2์ธต์˜ ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋…ธ์ถœ ์ •๋„์— ๋Œ€ํ•œ ์ถ”๊ฐ€ ์กฐ์‚ฌ๊ฐ€ ์ด๋ฃจ์–ด์กŒ๋Š”๋ฐ, 2์ธต 4๊ฐœ ์ง€์ ์—์„œ ์ธก์ •ํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ ๋ชจ๋‘ ์ž์—ฐ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ๋Ÿ‰ ์ˆ˜์ค€์˜ ๋ฐฉ์‚ฌ์„ ๋งŒ ์ธก์ •๋˜์—ˆ๋‹ค. โ‘ฃ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ํ‰๊ฐ€์œ„์›์˜ ์˜๊ฒฌ โ—‹ ๋ง์ธ๋“ค์— ๋Œ€ํ•˜์—ฌ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ํ‰๊ฐ€์œ„์› 13๋ช… ์ค‘ 3๋ช…์€ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค๋Š” ์˜๊ฒฌ์„, 1๋ช…์€ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค๋Š” ์ฆ๊ฑฐ๋„ ์—†์œผ๋‚˜ ๋ช…๋ฐฑํ•œ ๋ฐ˜์ฆ๋„ ์—†๋‹ค๋Š” ์˜๊ฒฌ์„, 9๋ช…์€ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ๋‚ฎ๋‹ค๋Š” ์˜๊ฒฌ์„ ์ œ์‹œํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ์ด์™€ ๋ณ„๋„๋กœ ์œ ๊ฐ€์กฑ์ด ์ถ”์ฒœํ•œ ์ „๋ฌธ๊ฐ€ 2๋ช…์€ ๋ง์ธ๋“ค์— ๋Œ€ํ•˜์—ฌ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค๋Š” ์˜๊ฒฌ์„ ์ œ์‹œํ•˜์˜€๋‹ค. [์ธ์ •๊ทผ๊ฑฐ] ๋‹คํˆผ ์—†๋Š” ์‚ฌ์‹ค, ๊ฐ‘ ์ œ6ํ˜ธ์ฆ์˜ 1, 2, ๊ฐ‘ ์ œ15ํ˜ธ์ฆ, ๊ฐ‘ ์ œ17, 18ํ˜ธ์ฆ์˜ ๊ฐ 1, 2, ๊ฐ‘ ์ œ19, 34ํ˜ธ์ฆ, ๊ฐ‘ ์ œ38ํ˜ธ์ฆ์˜ 1, 2, 3, 4, ๊ฐ‘ ์ œ42, 97, 103ํ˜ธ์ฆ, ์„๋‚˜ ์ œ2, 13, 22, 24ํ˜ธ์ฆ, ์ œ1์‹ฌ ์ฆ์ธ ์†Œ์™ธ5์˜ ์ฆ์–ธ, ๋ณ€๋ก  ์ „์ฒด์˜ ์ทจ์ง€ (3) ํŒ๋‹จ ใˆŽ ์›๊ณ  ์›๊ณ 1, ์›๊ณ 2์˜ ์ฃผ์žฅ ์ค‘ ์•„๋ž˜ ๋ถ€๋ถ„์€ ๋ฐ›์•„๋“ค์ผ ์ˆ˜ ์—†๋‹ค. โ‘  ์›๊ณ  ์›๊ณ 1, ์›๊ณ 2์€ ๋ง์ธ๋“ค์ด ๋””์บก ์ž‘์—…์„ ์ˆ˜ํ–‰ํ•˜์˜€์Œ์„ ์ „์ œ๋กœ ์œ„ ์ž‘์—…์‹œ ๋ฒค์   ๋“ฑ์— ๋…ธ์ถœ๋˜์—ˆ๋‹ค๊ณ  ์ฃผ์žฅํ•œ๋‹ค. ๊ทธ๋Ÿฌ๋‚˜ ๋ง ์†Œ์™ธ1๊ฐ€ ์ˆ˜ํ–‰ํ•œ ์ž‘์—… ๋‚ด์šฉ ๋“ฑ์ด ๊ธฐ์žฌ๋˜ ์—ˆ๋‹ค๋Š” ํด๋ฆฐ๋…ธํŠธ(๊ฐ‘ ์ œ35ํ˜ธ์ฆ)๋Š” ๋ง์ธ๋“ค์ด ์‹ค์ œ๋กœ ์ˆ˜ํ–‰ํ•œ ์ž‘์—…์— ๋Œ€ํ•œ ๊ฒƒ์ด๋ผ๊ธฐ ๋ณด๋‹ค๋Š” ๋ง์ธ๋“ค์ด ๋‹ด๋‹นํ•˜๊ฒŒ ๋  ์—…๋ฌด๋ฅผ ์ „๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ์„ค๋ช…ํ•˜๊ณ  ๊ต์œกํ•œ ๋‚ด์šฉ์— ๊ด€ํ•œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋ณด์ผ ๋ฟ์ด์–ด์„œ ์œ„ ๋…ธํŠธ์— ๊ธฐ์žฌ๋œ ๋ชจ๋“  ์ž‘์—…์„ ๋ง์ธ๋“ค์ด ์‹ค์ œ ์ˆ˜ํ–‰ํ•˜์˜€๋‹ค๊ณ  ๋ณด๊ธฐ๋Š” ์–ด๋ ต๊ณ , ๋‹ฌ๋ฆฌ ๋ง์ธ๋“ค์ด ๋””์บก ์ž‘์—…์„ ์ˆ˜ํ–‰ํ•˜์˜€๋‹ค๊ณ  ๋ณผ๋งŒํ•œ ์ฆ๊ฑฐ๊ฐ€ ์—†๋‹ค. โ‘ก ์›๊ณ  ์›๊ณ 1, ์›๊ณ 2์€ ๋ง์ธ๋“ค์ด ์„ธ์ฒ™์ž‘์—… ์ค‘ ACT-CMI, TCE์—๋„ ๋…ธ์ถœ๋˜์—ˆ๋‹ค๊ณ  ์ฃผ์žฅํ•˜๊ณ , โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๊ฐ€ ์†Œ์† ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋“ค์—๊ฒŒ ๋ฐฐํฌํ•œ ํ™˜๊ฒฝ์ˆ˜์ฒฉ(๊ฐ‘ ์ œ34ํ˜ธ์ฆ ๋˜๋Š” ์„ ๋‚˜ ์ œ24ํ˜ธ์ฆ)์—๋„ ์„ธ์ • ๋ฐ ์‹๊ฐ ๊ณต์ •์—์„œ ์œ„ ๋ฌผ์งˆ๋“ค์ด ์‚ฌ์šฉ๋˜๊ณ  ์žˆ๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๊ธฐ์žฌ๋˜์–ด ์žˆ๊ธฐ๋Š” ํ•˜๋‹ค. ๊ทธ๋Ÿฌ๋‚˜ ์œ„ ํ™˜๊ฒฝ์ˆ˜์ฒฉ์€ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ ์ „์ฒด์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ๋ฌผ์งˆ์„ ๊ธฐ์žฌํ•œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ, ๊ทธ ์ค‘ ์„ธ์ •์ด๋‚˜ ์‹๊ฐ ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๊ธฐ์žฌ๋œ ๋ฌผ์งˆ์ด ๋ฐ˜ ๋“œ์‹œ ๋ง์ธ๋“ค์ด ๊ทผ๋ฌดํ–ˆ๋˜ ์Šต์‹์‹๊ฐ ๊ณต์ • ์ค‘ ์„ธ์ฒ™์ž‘์—…(3๋ผ์ธ 3๋ฒ ์ด)์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋˜์—ˆ๋‹ค๊ณ  ๋ณผ๋งŒํ•œ ์ฆ๊ฑฐ๊ฐ€ ์—†๋‹ค(์›๊ณ  ์›๊ณ 1, ์›๊ณ 2์ด ์ œ์ถœํ•œ ๊ฐ‘ ์ œ30ํ˜ธ์ฆ์˜ 2, ๊ฐ‘ ์ œ86ํ˜ธ์ฆ, ๊ฐ‘ ์ œ95ํ˜ธ์ฆ์˜ 1, ๊ฐ‘ ์ œ96ํ˜ธ์ฆ ๋“ฑ๋„ ๋ชจ๋‘ 3๋ผ์ธ 3๋ฒ ์ด์—์„œ์˜ ์ž‘์—… ๋‚ด์šฉ๊ณผ ์ง์ ‘์ ์ธ ๊ด€๋ จ์„ฑ์€ ์—†๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋ณด์ธ๋‹ค). โ‘ข ๊ทธ ๋ฐ–์— ์›๊ณ  ์›๊ณ 1, ์›๊ณ 2์€ ๋ง์ธ๋“ค์ด ์—ฌ๋Ÿฌ 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(2) ์ธ์ •์‚ฌ์‹ค ใˆŽ ๋ง์ธ์˜ ์ž…์‚ฌ, ๊ทผ๋ฌด, ๋ฐœ๋ณ‘ ๋ฐ ์‚ฌ๋ง ๊ฒฝ์œ„ โ—‹ 1997. 6. 11. โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ์ž…์‚ฌ โ—‹ 1997. 11. ~ 2002. 8. 5๋ผ์ธ ํ‰ํƒ„ํ™” ๊ณต์ •์—์„œ ์„ค๋น„์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋กœ ๊ทผ๋ฌด โ—‹ 2002. 8. ~ 1๋ผ์ธ ๋ฐฑ๋žฉ ๊ณต์ •์—์„œ ์„ค๋น„์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋กœ ๊ทผ๋ฌด โ—‹ 2004. 10. 27. ๊ธ‰์„ฑ ๋ฆผํ”„๊ตฌ์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘ ์ง„๋‹จ โ—‹ 2005. 4. 23. ํœด์ง โ—‹ 2005. 7. 23. ๊ธ‰์„ฑ ๋ฆผํ”„๊ตฌ์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์œผ๋กœ ์‚ฌ๋ง(๋™์ผ์ž ๋ฉด์ง) ใˆ ๋ง์ธ์˜ ์—…๋ฌด ๋ฐ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ๋“ฑ โ‘  ํ‰ํƒ„ํ™” ๊ณต์ •์—์„œ ๋ง์ธ์˜ ์—…๋ฌด โ—‹ ํ‰ํƒ„ํ™” ๊ณต์ •์—์„œ ์„ค๋น„์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋Š” ์„ค๋น„๋ฅผ ์œ ์ง€ ๊ด€๋ฆฌํ•˜๊ณ  ๊ฐ์ข… ์ง€ํ‘œ(๊ฐ ์„ค๋น„์˜ ๊ณ ์žฅ๋ฅ , ๊ณ ์žฅ์›์ธ ๋“ฑ)๋ฅผ ๋ฐ์ดํ„ฐํ™”ํ•˜๋Š” ์ผ์„ ํ•˜๋Š”๋ฐ, ๊ทธ ์ค‘ ์„ค๋น„์˜ ์œ ์ง€ ๊ด€๋ฆฌ์—…๋ฌด๋Š” ์ฃผ๋กœ ์„ค๋น„์˜ ์„ธ์ •๊ณผ ์Šฌ๋Ÿฌ๋ฆฌ(์—ฐ๋งˆ์ œ) ํ†ต์„ ํฌํ•จํ•œ ์†Œ๋ชจํ’ˆ ๊ต์ฒด ์—…๋ฌด๋กœ ๊ตฌ์„ฑ๋œ๋‹ค. ๋ฐฑ๋žฉ ๊ณต์ •์—์„œ ์„ค๋น„์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๊ฐ€ ๋‹ด๋‹นํ•˜๋Š” ์—…๋ฌด๋„ ์ด์™€ ๊ฐ™๋‹ค. โ—‹ ํ‰ํƒ„ํ™” ๊ณต์ •์€ 1990๋…„๋Œ€์— ์ด๋ฅด๋Ÿฌ ์ƒˆ๋กœ์ด ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ œ์กฐ ๊ณต์ •์— ๋„์ž…๋˜์—ˆ๋Š”๋ฐ, โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์—์„œ๋„ 1997๋…„๊ฒฝ 5๋ผ์ธ(1993๋…„๊ฒฝ ์„ค๋ฆฝ)๋ถ€ํ„ฐ ํ‰ํƒ„ํ™” ๊ณต์ •์„ ๋„์ž…ํ•˜๊ธฐ ์‹œ์ž‘ํ–ˆ๋‹ค. ์ด๋Ÿฌํ•œ ๊ฒฝ์œ„๋กœ 5๋ผ์ธ ํ‰ํƒ„ํ™” ๊ณต์ • ์ž‘์—…์žฅ์€ 2์ธต ๋†’์ด์— ๋ณ„๋„๋กœ ๋งˆ๋ จ๋œ ๊ณต๊ฐ„(M์ธต)์— ์„ค์น˜๋˜์—ˆ๊ณ  ๊ทธ ์•„๋ž˜ ๋ถ€๋ถ„์— 50 ~ 60cm ์ •๋„ ๊นŠ์ด์˜ ๋ณ„๋„ ๊ณต๊ฐ„์„ ๋งˆ๋ จํ•˜์—ฌ ๋ฐฐ๊ด€ ๋“ฑ์„ ์„ค์น˜ํ•˜์˜€๋‹ค. ์ด์™€ ์œ ์‚ฌํ•˜๊ฒŒ ๋ฐฑ๋žฉ ๊ณต์ •์˜ ์ž‘์—…์žฅ๋„ 2002๋…„๊ฒฝ 1๋ผ์ธ(1984๋…„๊ฒฝ ์„ค๋ฆฝ) 3์ธต ๋†’์ด์— ์ตœ์ดˆ๋กœ ์„ค์น˜๋˜์—ˆ๋‹ค. โ—‹ ๋ง์ธ์€ 5๋ผ์ธ ํ‰ํƒ„ํ™” ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ƒ์‚ฐ์‹œ์„ค์˜ ๋ณด์ˆ˜๋‚˜ ์ง€ํ‘œ๊ด€๋ฆฌ์—…๋ฌด๋ฅผ ๋‹ด๋‹นํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ๋ณดํ†ต 2์‹œ๊ฐ„ ์ •๋„ ์‚ฌ๋ฌด์‹ค์—์„œ ์„ค๋น„๊ฐ€ ์ •์ƒ์ ์œผ๋กœ ์ž‘๋™ํ•˜๋Š”์ง€์˜ ์—ฌ๋ถ€๋ฅผ ์ ๊ฒ€ํ•˜๊ณ , 6์‹œ๊ฐ„ ์ •๋„ ์ž‘์—…์žฅ์—์„œ ์ง์ ‘ ์„ค๋น„ ์œ ์ง€ ยท ๋ณด์ˆ˜์—…๋ฌด๋ฅผ ์ˆ˜ํ–‰ํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ๊ทธ ๊ณผ์ •์—์„œ ์Šฌ๋Ÿฌ๋ฆฌ ํ†ต์„ ๊ต์ฒดํ•˜๋Š” ์ž‘์—…๋„ ํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ํ•œํŽธ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋Š” ๋ง์ธ์ด ์ž…์‚ฌํ•˜๊ธฐ ์ „์ธ 1995๋…„๊ฒฝ๋ถ€ํ„ฐ 5๋ผ์ธ์˜ ์ฃผ๊ธฐ์ ์ธ ์„ค๋น„ ์„ธ์ •์ž‘์—…์„ ์™ธ์ฃผ์—…์ฒด์— ๋งก๊ฒผ๋‹ค. ๋‹ค๋งŒ ์œ„์™€ ๊ฐ™์€ ์„ธ์ •์ž‘์—… ์™ธ์ฃผํ™” ์ดํ›„์—๋„ ์„ธ์ •์„ ์œ„ํ•œ ์„ค๋น„์˜ ํ•ด์ฒด๋‚˜ ์„ธ์ • ํ›„ ์„ค๋น„์˜ ์žฌ์กฐ๋ฆฝ ๋“ฑ์€ ๋ง์ธ๊ณผ ๊ฐ™์€ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ์†Œ์† ์„ค๋น„์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๊ฐ€ ๋‹ด๋‹นํ•˜์˜€๋˜ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋ณด์ธ๋‹ค. โ‘ก ๋ฐฑ๋žฉ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ง์ธ์˜ ์—…๋ฌด โ—‹ ๋ง์ธ์€ 1๋ผ์ธ ๋ฐฑ๋žฉ ๊ณต์ •์—์„œ๋„ ํ‰ํƒ„ํ™” ๊ณต์ •์—์„œ์™€ ๊ฐ™์ด ์‚ฌ๋ฌด์‹ค ๋ฐ ์ž‘์—…์žฅ์—์„œ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์ƒ์‚ฐ์‹œ์„ค์˜ ๋ณด์ˆ˜๋‚˜ ์ง€ํ‘œ๊ด€๋ฆฌ์—…๋ฌด๋ฅผ ๋‹ด๋‹นํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ๋ง์ธ์€ 1๋ผ์ธ ๋ฐฑ๋žฉ ๊ณต์ •์—์„œ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋ฉด์„œ 2002. 8.๊ฒฝ ์•ฝ 1๋‹ฌ ๋™์•ˆ์€ ์„ค๋น„ ์„ค์น˜(Set-up) ์ž‘์—…์— ์ฐธ์—ฌํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ์„ค๋น„์˜ ์„ค์น˜๋Š” ์ฃผ๋กœ ์„ค๋น„ ๊ณต๊ธ‰์—…์ฒด์˜ ์ง์›๋“ค์ด ๋‹ด๋‹น ํ•˜์˜€๊ณ  ๊ทธ ๊ณผ์ •์—์„œ ๋ง์ธ์„ ํฌํ•จํ•œ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ์†Œ์† ์„ค๋น„์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋“ค์€ ์„ค์น˜๊ณ„ํš์˜ ์ˆ˜๋ฆฝ, ์„ค์น˜ ์œ„์น˜ ๋“ฑ์˜ ๋ ˆ์ด์•„์›ƒ, ๋ฐฐ๊ด€ ๋ฐ ์ „๊ธฐ์ž‘์—…์„ ์ „๋‹ดํ•˜๋Š” ์œ ํ‹ธ๋ฆฌํ‹ฐ ๋ถ€์„œ์™€์˜ ์—ฐ๋ฝ, ์ผ์ • ๊ด€๋ฆฌ ๋“ฑ ์„ค์น˜์ž‘์—…์— ๋Œ€ํ•œ ๊ฐ๋… ๋ฐ ์ ๊ฒ€์—…๋ฌด๋ฅผ ์ˆ˜ํ–‰ํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ํ•œํŽธ 1๋ผ์ธ ๋ฐฑ๋žฉ ๊ณต์ •์˜ ์„ค๋น„ ์„ธ์ •์ž‘์—…๋„ ์™ธ์ฃผํ™”๋˜์—ˆ๋Š”๋ฐ, ๊ทธ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ์‹œ๊ธฐ๋ฅผ ํ™•์ธํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์ž๋ฃŒ๋Š” ์—†๋‹ค. โ‘ข ํ‰ํƒ„ํ™” ๋ฐ ๋ฐฑ๋žฉ ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋œ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ โ—‹ ํ‰ํƒ„ํ™” ๋ฐ ๋ฐฑ๋žฉ ๊ณต์ •์€ ์›จ์ดํผ์˜ ์•ž๋ฉด์ด๋‚˜ ๋’ท๋ฉด์„ ๋ฌผ๋ฆฌ์  ๋งˆ์ฐฐ์„ ํ†ตํ•ด ์–‡๊ฒŒ ์—ฐ๋งˆํ•˜๋Š” ๊ณต์ •์œผ๋กœ, ๊ทธ ๊ณผ์ •์—์„œ ์Šฌ๋Ÿฌ๋ฆฌ(Slurry)๋กœ ๋ถˆ๋ฆฌ๋Š” ์—ฐ๋งˆ์ œ๊ฐ€ ์‚ฌ์šฉ๋œ๋‹ค. โ—‹ ์Šฌ๋Ÿฌ๋ฆฌ๋Š” ๋น„๊ฒฐ์ •์งˆ ์‹ค๋ฆฌ์นด ๋˜๋Š” ๋น„๊ฒฐ์ •์งˆ ์ฆ๊ธฐ ์‹ค๋ฆฌ์นด, ์•”๋ชจ๋‹ˆ์•„์ˆ˜ ๋“ฑ์˜ ์„ฑ๋ถ„์œผ๋กœ ์ด๋ฃจ์–ด์ ธ ์žˆ๋‹ค. โ‘ฃ ๊ต๋Œ€์ œ ๊ทผ๋ฌด ๋ฐ ์—ฐ์žฅ ๊ทผ๋ฌด ๋ง์ธ์€ 3์กฐ 3๊ต๋Œ€๋กœ 1์ผ 8์‹œ๊ฐ„์”ฉ(์˜ค์ „ 06:00 ~ 14:00, ์˜คํ›„ 14:00 ~ 22:00, ์•ผ๊ฐ„ 22:00 ~ ๋‹ค์Œ๋‚  06:00) ๊ทผ๋ฌดํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ์—ฐ์žฅ๊ทผ๋ฌด๋ฅผ ํ•˜๋Š” ๊ฒฝ์šฐ๊ฐ€ ์ ์ง€ ์•Š์•˜๋‹ค. ใˆ ๋ง์ธ์˜ ๊ฑด๊ฐ•์ƒํƒœ ๋“ฑ โ—‹ ๋ง์ธ์€ 2001๋…„๋ถ€ํ„ฐ 2004๋…„๊นŒ์ง€์˜ ๊ฑด๊ฐ•๊ฒ€์ง„์—์„œ ๊ฒฝ๋„์˜ ๊ณ ํ˜ˆ์••, ๊ณผ์ฒด์ค‘, ์ค‘์„ฑ ์ง€๋ฐฉ์น˜ ์ƒ์Šน ์™ธ์—๋Š” ๋ณ„๋‹ค๋ฅธ ์ด์ƒ์ด ์—†์—ˆ๊ณ , ๊ฐ€์กฑ ์ค‘์— ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์ด ๋ฐœ๋ณ‘ํ•œ ์‚ฌ๋žŒ๋„ ์—†์—ˆ๋‹ค. โ—‹ ๋ง์ธ์€ 2004. 9.๊ฒฝ๋ถ€ํ„ฐ ๊ฐ๊ธฐ๋ชธ์‚ด ๋“ฑ์˜ ์ฆ์ƒ์„ ๋ณด์ด๋‹ค๊ฐ€ 2004. 10. 27. โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™๊ต๋ณ‘์›์—์„œ ๊ธ‰์„ฑ ๋ฆผํ”„๊ตฌ์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์œผ๋กœ ์ง„๋‹จ๋ฐ›์•˜๊ณ , ์ดํ›„ ํ•ญ์•”์น˜๋ฃŒ๋ฅผ ๋ฐ›๊ณ  ์–ด๋Š ์ •๋„ ํšŒ๋ณต๋˜์—ˆ์œผ๋‚˜ ๋‹ค์‹œ ์žฌ๋ฐœํ•˜์—ฌ 2005. 7. 23. ์‚ฌ๋งํ•˜์˜€๋‹ค. ใˆ‘ ๋ง์ธ์˜ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ๋“ฑ์— ๋Œ€ํ•œ โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๊ฐœ๋ณ„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ๊ฒฐ๊ณผ ์œ„ ์ œ2์˜ ๋‚˜ (1)ํ•ญ๊ณผ ๊ฐ™์€ ๊ฒฝ์œ„๋กœ ์ง„ํ–‰๋œ โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๊ฐœ๋ณ„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ๊ฒฐ๊ณผ์˜ ์ฃผ์š” ๋‚ด์šฉ์€ ์•„๋ž˜์™€ ๊ฐ™๋‹ค. โ‘  ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ 5๋ผ์ธ ํ‰ํƒ„ํ™” ๊ณต์ •๊ณผ 2๋ผ์ธ ๋ฐฑ๋žฉ ๊ณต์ •(2008. 8. ์กฐ์‚ฌ ๋‹น์‹œ 1๋ผ์ธ ๋ฐฑ๋žฉ ๊ณต์ •์€ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ์œผ๋กœ ์ด๊ด€๋˜์–ด ์ข…์ „์˜ 1๋ผ์ธ๊ณผ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ์ด ์œ ์‚ฌํ•œ 2๋ผ์ธ ๋ฐฑ๋žฉ ๊ณต์ •์„ ๋Œ€์ƒ์œผ๋กœ ์กฐ์‚ฌํ•จ)์—์„œ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘ ์œ ๋ฐœ์ธ์ž ๋˜๋Š” ํ˜ˆ์•กํ•™์  ์˜ํ–ฅ๋ฌผ์งˆ๋กœ ์•Œ๋ ค์ง„ ๋ฒค์  , ์…€๋กœ์†”๋ธŒ, ์•„๋ฅด์‹  ๋“ฑ์˜ ์ž”๋ฅ˜ ์—ฌ๋ถ€์— ๋Œ€ํ•˜์—ฌ ์กฐ์‚ฌํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ 2๋ผ์ธ ๋ฐฑ๋žฉ ๊ณต์ •์—์„œ๋งŒ ์•„๋ฅด์‹ ์ด ํ”์ (trace)์œผ๋กœ ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ๊ณ , ๊ทธ ๋ฐ–์˜ ๋ฌผ์งˆ์€ ๊ฒ€์ถœ๋˜์ง€ ์•Š์•˜๋‹ค. โ‘ก โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๊ณผ๊ฑฐ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ 2002๋…„๋ถ€ํ„ฐ 2004๋…„๊นŒ์ง€ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ •ํšŸ์ˆ˜ ์กฐ์ •์ด ์Šน์ธ๋˜์–ด 5๋ผ์ธ ํ‰ํƒ„ํ™” ๊ณต์ •๊ณผ 1๋ผ์ธ ๋ฐฑ๋žฉ ๊ณต์ •์— ๋Œ€ํ•œ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ๋Š” ์—†๊ณ , 2005๋…„์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๋ฐฑ๋žฉ ๊ณต์ •์€ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๋Œ€์ƒ ๊ณต์ •์ด ์•„๋‹ˆ์–ด์„œ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ •๊ฒฐ๊ณผ๊ฐ€ ์—†์—ˆ๋‹ค(ํ•œํŽธ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๊ฐ€ 2007๋…„์— ์‹ค์‹œํ•œ 5๋ผ์ธ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ์— ์˜ํ•˜๋ฉด(์„๋‚˜ ์ œ66ํ˜ธ์ฆ ์ฐธ์กฐ), 5๋ผ์ธ ํ‰ํƒ„ํ™” ๊ณต์ •์—์„œ ๋ถˆ์‚ฐ์ด 0.0018ppm, ์ˆ˜์‚ฐํ™”์นผ๋ฅจ์ด ํ”์ ์œผ๋กœ ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ๊ณ , 5๋ผ์ธ ์ „์ฒด์—์„œ๋Š” IPA, ํ™ฉ์‚ฐ, ์—ผ์‚ฐ, ์งˆ์‚ฐ, ์ธ์‚ฐ, ํฌ์Šคํ•€, ์•„๋ฅด์‹ , ๋ธŒ๋กฌํ™”์ˆ˜์†Œ, ์—ํ‹ธ๋ Œ๊ธ€๋ฆฌ์ฝœ ๋“ฑ ์ด ๊ฒ€์ถœ๋˜์ง€ ์•Š๊ฑฐ๋‚˜ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์— ๋ฏธ์น˜์ง€ ์•Š๋Š” ์ˆ˜์ค€์œผ๋กœ ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ๋‹ค}. โ‘ข ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋…ธ์ถœ ํ‰๊ฐ€ ๊ฒฐ๊ณผ โ—‹โ—‹โ—‹์€ 5๋ผ์ธ ํ‰ํƒ„ํ™” ๊ณต์ •์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋ฐœ์ƒ์„ค๋น„๊ฐ€ ์—†์–ด ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋…ธ์ถœ ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์ด ์ ๋‹ค๊ณ  ํŒ๋‹จํ•˜์—ฌ ํ‰๊ฐ€๋ฅผ ์‹ค์‹œํ•˜์ง€ ์•Š์•˜๊ณ , 1๋ผ์ธ ๋ฐฑ๋žฉ ๊ณต์ •์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์ด๋ฏธ ์—†์–ด์ ธ ๋ง์ธ์ด ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋˜ ๋‹น์‹œ์˜ ๋ฐฉ์‚ฌ์„  ๋ฐœ์ƒ์„ค๋น„์˜ ์œ ๋ฌด๋‚˜ ๋…ธ์ถœ์ˆ˜์ค€ ๋“ฑ์€ ํ™•์ธํ•˜์ง€ ๋ชปํ•˜์˜€๋‹ค. โ‘ฃ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ํ‰๊ฐ€์œ„์›์˜ ์˜๊ฒฌ โ—‹ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ํ‰๊ฐ€์œ„์› 13๋ช… ์ค‘ 3๋ช…์€ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค๋Š” ์˜๊ฒฌ์„, 1๋ช…์€ ์—…๋ฌด ๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค๋Š” ์ฆ๊ฑฐ๋„ ์—†์œผ๋‚˜ ๋ช…๋ฐฑํ•œ ๋ฐ˜์ฆ๋„ ์—†๋‹ค๋Š” ์˜๊ฒฌ์„, 9๋ช…์€ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ๋‚ฎ๋‹ค๋Š” ์˜๊ฒฌ์„ ์ œ์‹œํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ์ด์™€ ๋ณ„๋„๋กœ ์œ ๊ฐ€์กฑ์ด ์ถ”์ฒœํ•œ ์ „๋ฌธ๊ฐ€ 2๋ช…์€ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค๋Š” ์˜๊ฒฌ์„ ์ œ์‹œํ•˜์˜€๋‹ค. [์ธ์ •๊ทผ๊ฑฐ] ๋‹คํˆผ ์—†๋Š” ์‚ฌ์‹ค, ๊ฐ‘ ์ œ6, 17, 18ํ˜ธ์ฆ์˜ ๊ฐ 3, ๊ฐ‘ ์ œ38ํ˜ธ์ฆ์˜ 5 ๋‚ด์ง€ 11, ์„๋‚˜ ์ œ12ํ˜ธ์ฆ์˜ 1, 2, 4, 5, 6, ์„๋‚˜ ์ œ57, 66ํ˜ธ์ฆ์˜ ๊ฐ ๊ธฐ์žฌ, ๋ณ€๋ก  ์ „์ฒด์˜ ์ทจ์ง€ (3) ํŒ๋‹จ ใˆŽ ์•ž์„œ ์ธ์ •ํ•œ ์‚ฌ์‹ค๊ด€๊ณ„ ๋“ฑ์— ์˜ํ•˜๋ฉด, ๋ง์ธ์ด โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ์˜ ํ™˜๊ธฐ์‹œ์Šคํ…œ์ƒ ์ธ๊ทผ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•œ ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ(์˜ˆ์ปจ๋Œ€ โ—‹โ—‹โ—‹์˜ 2012๋…„๋„ ๋ณด๊ณ ์„œ ๋‚ด์šฉ๊ณผ ๊ฐ™์ด ๊ฐ๊ด‘ ๊ณต์ •์—์„œ ๊ฐ๊ด‘์•ก์˜ ์—ด๋ถ„ํ•ด์‚ฐ๋ฌผ๋กœ ๋ฐœ์ƒ ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ๋ฒค์   ๋“ฑ)์— ์ผ๋ถ€ ๋…ธ์ถœ๋˜์—ˆ์„ ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ๋„ ์žˆ๊ณ , 3๊ต๋Œ€์ œ๋กœ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋ฉด์„œ ์ง€์†์ ์ธ ์•ผ๊ฐ„๊ทผ๋ฌด๋‚˜ ์ดˆ๊ณผ๊ทผ๋ฌด ๋“ฑ์œผ๋กœ ๊ณผ๋กœํ•˜๊ณ  ์ด๋กœ ์ธํ•˜์—ฌ ์ŠคํŠธ๋ ˆ์Šค๋ฅผ ๋ฐ›์•˜์„ ๊ฒƒ์œผ๋กœ๋Š” ๋ณด์ธ๋‹ค. ใˆ ๊ทธ๋Ÿฌ๋‚˜ ์•ž์„œ ์ธ์ •ํ•œ ์‚ฌ์‹ค๊ด€๊ณ„ ๋ฐ ์•ž์„œ ๋“  ์ฆ๊ฑฐ์— ์˜ํ•˜์—ฌ ์•Œ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๋‹ค์Œ๊ณผ ๊ฐ™์€ ์‚ฌ์ •์„ ์ข…ํ•ฉํ•˜๋ฉด, ๋ง์ธ์˜ ์—…๋ฌด์ˆ˜ํ–‰๊ณผ ์‚ฌ๋ง ์‚ฌ์ด์— ์ƒ๋‹น์ธ๊ณผ๊ด€๊ณ„๊ฐ€ ์žˆ๋‹ค๊ณ  ๋ณด๊ธฐ ์–ด๋ ต๊ณ  ๋‹ฌ๋ฆฌ ์ด๋ฅผ ์ธ์ •ํ•  ์ฆ๊ฑฐ๊ฐ€ ์—†์œผ๋ฏ€๋กœ, 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์ž๊ธฐ์žฅ)์— ๋…ธ์ถœ๋จ ใˆ‘ ์›๊ณ ๋Š” ์ƒ์ฒด๋ฆฌ๋“ฌ์„ ๊นจ๋œจ๋ฆฌ๋Š” ์•ผ๊ฐ„ ๊ต๋Œ€์ œ ๊ทผ๋ฌด๋ฅผ ํ•˜๋ฉด์„œ ๊ณผ๋กœํ•˜์˜€๊ณ  ์—…๋ฌด์ƒ ์ŠคํŠธ๋ ˆ์Šค๋ฅผ ๋ฐ›์•˜๋‹ค. (2) ์ธ์ •์‚ฌ์‹ค ใˆŽ ์›๊ณ ์˜ ์ž…์‚ฌ, ๊ทผ๋ฌด ๋ฐ ๋ฐœ๋ณ‘ ๊ฒฝ์œ„ โ—‹ 1991. 1. 14. โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ์ž…์‚ฌ โ—‹ 1991. 1. ~ 1992. 2. โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ ์ ˆ๋‹จ ์ ˆ๊ณก ๊ณต์ •์—์„œ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ๋กœ ๊ทผ๋ฌด โ—‹ 1992. 3. ~ 1996. 1. โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ(์ดํ•˜ ์›๊ณ  ์›๊ณ 4, ์›๊ณ 6์˜ ์ฒญ๊ตฌ์— ๋Œ€ํ•œ ํŒ๋‹จ ๋ถ€๋ถ„์—์„œ๋Š” ํŠน๋ณ„ํžˆ ํ•„์š”ํ•œ ๊ฒฝ์šฐ๋ฅผ ์ œ์™ธํ•˜๊ณ ๋Š” 'โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ'์ด๋ผ๋Š” ํ‘œ์‹œ๋Š” ํ•˜์ง€ ์•Š๋Š”๋‹ค). ๋‹ค) 1, 2๋ผ์ธ ์ ˆ๋‹จ ยท ์ ˆ๊ณก ๊ณต์ •์—์„œ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ๋กœ ๊ทผ๋ฌด(์›๊ณ ๋Š” ์ฒ˜์Œ์—๋Š” 1๋ผ์ธ์—์„œ ๊ทผ๋ฌด ํ•˜๋‹ค๊ฐ€ 2๋ผ์ธ F๋™์œผ๋กœ ์ „ํ™˜ ๋ฐฐ์น˜๋˜์—ˆ๋Š”๋ฐ, 1๋ผ์ธ ๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ„๊ณผ ๊ด€๋ จํ•˜์—ฌ ์›๊ณ ๋Š” 1๋…„ ์ •๋„๋ผ๊ณ  ์ฃผ์žฅํ•˜๋‚˜ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ„์„ ํ™•์ธํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์ž๋ฃŒ๋Š” ์—†์Œ) โ—‹ 1996. 1. 31. ํ‡ด์‚ฌ, ์ดํ›„ ์ „์—…์ฃผ๋ถ€๋กœ ์ƒํ™œ โ—‹ 2005. 2. 23. ๊ธ‰์„ฑ ๊ณจ์ˆ˜์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘ ์ง„๋‹จ ใˆ ์›๊ณ ์˜ ์—…๋ฌด ๋ฐ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ๋“ฑ โ‘  โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ๊ณผ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ 1, 2๋ผ์ธ์˜ ํ˜•ํƒœ ๋“ฑ โ—‹ 1๋ผ์ธ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๋ชฐ๋“œ, ์ธ์‡„, ๋„๊ธˆ, ์ ˆ๋‹จ ยท ์ ˆ๊ณก ๊ณต์ •์ด ๋ชจ๋‘ ๊ฐ™์€ ๊ฑด๋ฌผ์— ์žˆ์—ˆ์œผ๋‚˜, 2๋ผ์ธ์€ ์ ˆ๋‹จ ยท ์ ˆ๊ณก ๊ณต์ •์ด ์ธ์‡„, ๋„๊ธˆ ๊ณต์ •๊ณผ ํ•จ๊ป˜ F๋™์ด๋ผ๊ณ  ๋ถˆ๋ฆฌ๋Š” ๋ณ„๋„์˜ ๊ฑด๋ฌผ์— ์žˆ์—ˆ๋‹ค. ํ•œํŽธ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ์—์„œ๋„ ์ ˆ๋‹จยท์ ˆ๊ณก, ์ธ์‡„, ๋„๊ธˆ ๊ณต์ •์€ ๋ชฐ๋“œ ๊ณต์ •๊ณผ๋Š” ๋‹ค๋ฅธ ๊ฑด๋ฌผ์— ์žˆ์—ˆ๋˜ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋ณด์ธ๋‹ค. โ—‹ 1992๋…„ ๋˜๋Š” 1993๋…„๊ฒฝ ์‹ ์ถ•๋œ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ 2๋ผ์ธ F๋™์€ 2๋ผ์ธ์˜ ๋ถ€์†๊ฑด๋ฌผ๋กœ, ์‹ ์ถ• ์ดˆ๊ธฐ์—๋Š” ๊ณต์ •๋ณ„ ์ž‘์—…์žฅ์ด ์ฐจ๋‹จ๋ฒฝ ๋“ฑ์œผ๋กœ ๋ช…ํ™•ํžˆ ๊ตฌ๋ถ„๋˜์–ด ์žˆ์ง€๋Š” ์•Š์•˜๋‹ค. โ—‹ ํ•œํŽธ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์กฐ๋ฆฝ ๊ณต์ •์ด ์ด๋ฃจ์–ด์ง„ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ์€ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ๊ณผ๋Š” ๋‹ฌ๋ฆฌ ๋Œ€๋ถ€๋ถ„ ๊ณต์ •์—์„œ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜์ง€ ์•Š์•˜๊ณ  ๋„๊ธˆ ๊ณต์ • ๋“ฑ ์ผ๋ถ€ ๊ณต์ •์—์„œ๋งŒ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์„ ์‚ฌ์šฉ ํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ํ•ด๋‹น ์„ค๋น„ ๋‚ด์—๋Š” ๊ตญ์†Œ๋ฐฐ๊ธฐ์žฅ์น˜๊ฐ€ ์„ค์น˜๋˜์–ด ์žˆ์—ˆ๊ณ  ๋ผ์ธ ๋‚ด๋ถ€์—๋Š” ํ†ฑ๋‹ค์šด ๋ฐฉ์‹ ๋˜๋Š” ์ฒœ์žฅ๊ธ‰๋ฐฐ๊ธฐ ๋ฐฉ์‹(์ฒœ์žฅ์„ ํ†ตํ•ด ๊ณต๊ธ‰๋œ ๊ณต๊ธฐ๊ฐ€ ๋‹ค์‹œ ์ฒœ์žฅ์„ ํ†ตํ•ด ๋ฐฐ์ถœ๋˜๋Š” ๋ฐฉ์‹)์˜ ์ „์ฒด ํ™˜๊ธฐ์‹œ์Šคํ…œ์ด ์„ค์น˜๋˜์–ด ์žˆ์—ˆ๋‹ค. โ‘ก ์ ˆ๋‹จยท์ ˆ๊ณก ๊ณต์ •์—์„œ ์›๊ณ ์˜ ์—…๋ฌด ๋ฐ ์‚ฌ์šฉ๋œ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ โ—‹ ์ ˆ๋‹จ ์ ˆ๊ณก ๊ณต์ •์—์„œ ์›๊ณ ๋Š” ์„ค๋น„์— ๋ฐ˜๋„์ฒด ์นฉ์„ ํˆฌ์ž…ํ•˜์—ฌ ๋ฆฌ๋“œ์™€ ๋ฆฌ๋“œ ์‚ฌ์ด์— ์žˆ๋Š” ๋ถˆํ•„์š”ํ•œ ๋ถ€๋ถ„์„ ์ ˆ๋‹จํ•˜๊ณ , ๋ฆฌ๋“œ๋ฅผ ๊ฐˆ๋งค๊ธฐ ๋ชจ์–‘์œผ๋กœ ๊ตฌ๋ถ€๋ฆฌ๋Š”(์ ˆ๊ณก) ์ž‘์—…์„ ํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ๊ทธ ๊ณผ์ •์—์„œ ์›๊ณ ๋Š” ์—์–ด๊ฑด์œผ๋กœ ๊ธˆํ˜•์„ ์ฒญ์†Œํ•˜๊ณ , ๋ฐ˜๋„์ฒด ์นฉ์— ์ด๋ฌผ์งˆ์ด ๋ฌป์–ด ์žˆ๋Š” ๊ฒฝ์šฐ์—๋Š” ๋ฉด๋ด‰์— TCE ๋“ฑ์„ ๋ฌปํ˜€ ๋‹ฆ์•„ ๋‚ด๋ฉฐ, ๋ฆฌ๋“œ๊ฐ€ ์ž˜๋ชป ๊ตฌ๋ถ€๋Ÿฌ์ ธ ์žˆ๋Š” ๊ฒฝ์šฐ ์—๋Š” ํ•€์…‹์ฒ˜๋Ÿผ ์ƒ๊ธด ํŠธ์œ„์ €๋กœ ํŽด๊ธฐ๋„ ํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋Š” ๋ฐ˜๋„์ฒด ์นฉ์— ๋ฌป์€ ์ด๋ฌผ์งˆ ์ œ๊ฑฐ์šฉ์œผ๋กœ TCE๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋‹ค๊ฐ€ 1995. 4. 30.๊ฒฝ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ์—์„œ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋˜ TCE๋ฅผ ์ „๋Ÿ‰ ํ๊ธฐํ•˜์˜€๋‹ค. ๊ทธ ์ดํ›„ 1,1,1-TCE๊ฐ€ ๊ฐ™์€ ์šฉ๋„๋กœ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋‹ค๊ฐ€ ์ตœ๊ทผ์—๋Š” HCFC-141b๊ฐ€ ์‚ฌ์šฉ๋˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. โ‘ข ๊ต๋Œ€์ œ ๊ทผ๋ฌด ๋ฐ ์—ฐ์žฅ ๊ทผ๋ฌด ์›๊ณ ๋Š” 3์กฐ 3๊ต๋Œ€๋กœ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋‹ค๊ฐ€ ํ‡ด์‚ฌ ๋ฌด๋ ต์—๋Š” 4์กฐ 3๊ต๋Œ€๋กœ 1์ผ 8์‹œ๊ฐ„์”ฉ(์˜ค์ „ 06:00 ~ 14:00, ์˜คํ›„ 14:00 ~ 22:00, ์•ผ๊ฐ„ 22:00 ~ ๋‹ค์Œ๋‚  06:00) ๊ทผ๋ฌดํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ์—ฐ์žฅ๊ทผ๋ฌด๋ฅผ ํ•˜๋Š” ๊ฒฝ์šฐ๊ฐ€ ์ ์ง€ ์•Š์•˜๊ณ  ํ•œ ๋‹ฌ์— 2 ~ 3์ผ ์ •๋„ ํœด๋ฌดํ•˜์˜€๋‹ค. ใˆ ์›๊ณ ์˜ ๊ฑด๊ฐ•์ƒํƒœ ๋“ฑ โ—‹ ์›๊ณ ๋Š” 1997๋…„๊ณผ 2001๋…„ ์ œ์™•์ ˆ๊ฐœ ์ˆ˜์ˆ ์„ ํ•  ๋‹น์‹œ ์‹œํ–‰ํ•œ ๊ฒ€์‚ฌ์—์„œ ํŠน๋ณ„ํ•œ ์ด์ƒ์ด ์—†์—ˆ๊ณ , ๊ฐ€์กฑ ์ค‘์— ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์ด ๋ฐœ๋ณ‘ํ•œ ์‚ฌ๋žŒ๋„ ์—†์—ˆ๋‹ค. โ—‹ ์›๊ณ ๋Š” 2005. 1. 30.๊ฒฝ ๊ณ ์—ด๊ณผ ์ธํ›„ํ†ต์œผ๋กœ ๋ณ‘์›์— ๊ฐ”๋‹ค๊ฐ€ ๋ฒ”ํ˜ˆ๊ตฌ ๊ฐ์†Œ์ฆ์„ธ๋ฅผ ๋ณด์—ฌ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋Œ€๋ณ‘์›์—์„œ ๊ณจ์ˆ˜๊ฒ€์‚ฌ๋ฅผ ๋ฐ›๊ณ  2005. 2. 23.๊ฒฝ ๊ธ‰์„ฑ ๊ณจ์ˆ˜์„ฑ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘์œผ๋กœ ์ง„๋‹จ๋ฐ›์•˜๋‹ค. ใˆ‘ ์›๊ณ ์˜ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ๋“ฑ์— ๋Œ€ํ•œ โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๊ฐœ๋ณ„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ๊ฒฐ๊ณผ ์œ„ ์ œ2์˜ ๋‚˜ (1)ํ•ญ๊ณผ ๊ฐ™์€ ๊ฒฝ์œ„๋กœ ์ง„ํ–‰๋œ โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๊ฐœ๋ณ„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ๊ฒฐ๊ณผ์˜ ์ฃผ์š” ๋‚ด์šฉ์€ ์•„๋ž˜์™€ ๊ฐ™๋‹ค. โ‘  ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ 1๋ผ์ธ ์ ˆ๋‹จ ยท ์ ˆ๊ณก ๊ณต์ •(2008. 6. ์กฐ์‚ฌ ๋‹น์‹œ 2๋ผ์ธ F๋™์€ ๋ชจ๋“ˆ ๋ผ์ธ์œผ๋กœ ๋ณ€๊ฒฝ๋˜์–ด ์ข…์ „์˜ 2๋ผ์ธ๊ณผ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ์ด ์œ ์‚ฌํ•œ 1๋ผ์ธ ์ ˆ๋‹จ ยท ์ ˆ๊ณก ๊ณต์ •์—์„œ ์กฐ์‚ฌํ•จ)์—์„œ ๋ฐฑํ˜ˆ๋ณ‘ ์œ ๋ฐœ์ธ์ž ๋˜๋Š” ํ˜ˆ์•กํ•™์  ์˜ํ–ฅ๋ฌผ์งˆ๋กœ ์•Œ๋ ค์ง„ ๋ฒค์  , ์…€๋กœ์†”๋ธŒ, ์—ํ‹ธ๋ Œ๊ธ€๋ฆฌ์ฝœ, ์•„๋ฅด์‹ ์— ๋Œ€ํ•˜์—ฌ ์ธก์ •ํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ ์•„๋ฅด์‹ ๋งŒ ํ”์ (trace)์œผ๋กœ ๊ฒ€์ถœ๋˜๊ณ  ๋‹ค๋ฅธ ๋ฌผ์งˆ์€ ๊ฒ€์ถœ๋˜์ง€ ์•Š์•˜๋‹ค. โ‘ก โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๊ณผ๊ฑฐ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ ์›๊ณ ๊ฐ€ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋˜ ๋‹น์‹œ์˜ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ๋Š” ์กฐ์‚ฌ ๋‹น์‹œ ๋‚จ์•„ ์žˆ์ง€ ์•Š์•˜๋‹ค. โ‘ข ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ํ‰๊ฐ€์œ„์›์˜ ์˜๊ฒฌ โ—‹ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ํ‰๊ฐ€์œ„์› 13๋ช… ์ค‘ 2๋ช…์€ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค๋Š” ์˜๊ฒฌ์„, 1๋ช…์€ ํŒ๋‹จ์„ ๋ณด๋ฅ˜ํ•œ๋‹ค๋Š” ์˜๊ฒฌ์„, 10๋ช…์€ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ๋‚ฎ๋‹ค๋Š” ์˜๊ฒฌ์„ ์ œ์‹œํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ์ด์™€ ๋ณ„๋„๋กœ ์›๊ณ ๊ฐ€ ์ถ”์ฒœํ•œ ์ „๋ฌธ๊ฐ€ 2๋ช…์€ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค๋Š” ์˜๊ฒฌ์„ ์ œ์‹œํ•˜์˜€๋‹ค. 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(2) ์ธ์ •์‚ฌ์‹ค ใˆŽ ์›๊ณ ์˜ ์ž…์‚ฌ, ๊ทผ๋ฌด ๋ฐ ๋ฐœ๋ณ‘ ๊ฒฝ์œ„ โ—‹ 1993. 5. 24. โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ์ž…์‚ฌ โ—‹ 1993. 5. ~ 1998. 12. 2๋ผ์ธ ๋„๊ธˆ ๊ณต์ •์—์„œ ์„ค๋น„์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋กœ ๊ทผ๋ฌด โ—‹ 1998. 12. 30. ํ‡ด์‚ฌ โ—‹ 1999. 1. ~ 2002. 12. โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ใˆœ ์ธ์‡„ ๊ณต์ •์—์„œ ์„ค๋น„์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋กœ ๊ทผ๋ฌด โ—‹ 2008. 10. 2. ์•…์„ฑ ๋ฆผํ”„์ข…(๋น„ํ˜ธ์ง€ํ‚จ ๋ฆผํ”„์ข…) ์ง„๋‹จ ใˆ ์›๊ณ ์˜ ์—…๋ฌด ๋ฐ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ๋“ฑ โ‘  2๋ผ์ธ F๋™ ๋ฐ ์›๊ณ ์˜ ๊ทผ๋ฌด ํ˜•ํƒœ ๋“ฑ โ—‹ 1992๋…„ ๋˜๋Š” 1993๋…„๊ฒฝ ์‹ ์ถ•๋œ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ 2๋ผ์ธ F๋™์€ 2๋ผ์ธ์˜ ๋ถ€์†๊ฑด๋ฌผ๋กœ ์‹ ์ถ• ์ดˆ๊ธฐ์—๋Š” ๊ณต์ •๋ณ„ ์ž‘์—…์žฅ์ด ์ฐจ๋‹จ๋ฒฝ ๋“ฑ์œผ๋กœ ๋ช…ํ™•ํžˆ ๊ตฌ๋ถ„๋˜์–ด ์žˆ์ง€ ์•Š์•˜๋Š”๋ฐ, F๋™์—๋Š” ์ธ์‡„, ๋„๊ธˆ ๋ฐ ์ ˆ๋‹จยท์ ˆ๊ณก ๊ณต์ • ์ž‘์—…์žฅ์ด ์žˆ์—ˆ๋‹ค. โ—‹ ์›๊ณ ๋Š” โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ์ž…์‚ฌ ํ›„ ํ‡ด์‚ฌํ•  ๋•Œ๊นŒ์ง€ 2๋ผ์ธ F๋™ ๋„๊ธˆ ๊ณต์ •์—์„œ ์„ค๋น„์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๋กœ ๊ทผ๋ฌดํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, 1996๋…„ ๋˜๋Š” 1997๋…„๊ฒฝ 2๋ผ์ธ ํ”ผ๋‹ˆ์‰ฌ(์ธ์‡„, ๋„๊ธˆ ๋ฐ ์ ˆ๋‹จยท์ ˆ๊ณก) ๊ณต์ •์˜ ๋ณด์ „๋ถ€์„œ๊ฐ€ ํ†ตํ•ฉ๋˜๋ฉด์„œ ๊ทธ ์ดํ›„์—๋Š” ์ฃผ๋กœ ๋„๊ธˆ ๊ณต์ •์—์„œ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋ฉด์„œ๋„ ์ผ์‹œ์ ์œผ๋กœ ์ธ์‡„๋‚˜ ์ ˆ๋‹จ ยท์ ˆ๊ณก ๊ณต์ • ๊ด€๋ จ ์—…๋ฌด๋„ ์ˆ˜ํ–‰ํ•˜์˜€๋‹ค. โ—‹ ํ•œํŽธ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์กฐ๋ฆฝ ๊ณต์ •์ด ์ด๋ฃจ์–ด์ง„ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ์€ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ๊ณผ๋Š” ๋‹ฌ๋ฆฌ ๋Œ€๋ถ€๋ถ„ ๊ณต์ •์—์„œ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜์ง€ ์•Š์•˜๊ณ  ์›๊ณ ๊ฐ€ ๊ทผ๋ฌดํ•œ ๋„๊ธˆ ๊ณต์ • ๋“ฑ ์ผ๋ถ€ ๊ณต์ •์—์„œ๋งŒ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ํ•ด๋‹น ์„ค๋น„ ๋‚ด์—๋Š” ๊ตญ์†Œ๋ฐฐ๊ธฐ์žฅ์น˜๊ฐ€ ์„ค์น˜๋˜์–ด ์žˆ์—ˆ๊ณ  ๋ผ์ธ ๋‚ด๋ถ€์—๋Š” ํ†ฑ๋‹ค์šด ๋ฐฉ์‹ ๋˜๋Š” ์ฒœ์žฅ๊ธ‰๋ฐฐ๊ธฐ ๋ฐฉ์‹์˜ ์ „์ฒด ํ™˜๊ธฐ์‹œ์Šคํ…œ์ด ์„ค์น˜๋˜์–ด ์žˆ์—ˆ๋‹ค. โ‘ก ๋„๊ธˆ ๊ณต์ •์—์„œ ์›๊ณ ์˜ ์—…๋ฌด ๋ฐ ์‚ฌ์šฉ๋œ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ โ—‹ ๋„๊ธˆ ๊ณต์ •์—์„œ ์›๊ณ ๋Š” ๋„๊ธˆ ์„ค๋น„์˜ ์œ ์ง€ ยท ๋ณด์ˆ˜ ๋ฐ ๋ถ€ํ’ˆ ๊ต์ฒด ๋“ฑ์˜ ์ž‘์—…์„ ํ•˜์˜€๋‹ค. ๊ทธ ๊ณผ์ •์—์„œ ๋ฉ”์ดํฌ์—…(Make-up)์ด๋ผ๊ณ  ๋ถˆ๋ฆฌ๋Š” ์ฒญ์†Œ ๋ฐ ์ค€๋น„์ž‘์—…๋„ ํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ๊ตฌ์ฒด์ ์œผ๋กœ๋Š” ๋„๊ธˆ ์„ค๋น„์˜ ํƒฑํฌ ๋‚ด๋ถ€๋ฅผ ๋ฌผ ๋“ฑ์œผ๋กœ ์ฒญ์†Œํ•˜๊ณ  ๊ฐ ํƒฑํฌ์— ๋„๊ธˆ์•ฝํ’ˆ์„ ๋ณด์ถฉ ํ•ด์ฃผ๋Š” ๊ฒƒ์ด๋‹ค. โ—‹ ๋„๊ธˆ์•ฝํ’ˆ ๊ต์ฒด๋Š” ์›๊ณ ๊ฐ€ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋˜ ์ดˆ๊ธฐ์—๋Š” ์›๊ณ ์™€ ๊ฐ™์€ ์„ค๋น„์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๊ฐ€ ์ง์ ‘ ์„ค๋น„์— ๋„๊ธˆ์•ฝํ’ˆ์„ ์ฑ„์šฐ๋Š” ๋ฐฉ์‹์œผ๋กœ ์ด๋ฃจ์–ด์ง€๋‹ค๊ฐ€ 1996๋…„๊ฒฝ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ ์ž๋™๊ณต๊ธ‰์‹œ์Šคํ…œ์ด ๋„์ž…๋œ ์ดํ›„์—๋Š” ์™ธ๋ถ€์—์„œ ๋ฐฐ๊ด€์„ ํ†ตํ•ด ์„ค๋น„์— ๊ณต๊ธ‰ํ•˜๋Š” ๋ฐฉ์‹์œผ๋กœ ์ด๋ฃจ์–ด์กŒ๋‹ค. โ—‹ ๋„๊ธˆ ๊ณต์ •์—์„œ๋Š” ์ฃผ์„๊ณผ ๋‚ฉ์˜ ํ•ฉ๊ธˆ ๋ง‰๋Œ€(solder bar), ํ™ฉ์‚ฐ, ์งˆ์‚ฐ ๋“ฑ์ด ์‚ฌ์šฉ๋˜์—ˆ๋‹ค. โ‘ข ๊ต๋Œ€์ œ ๊ทผ๋ฌด ๋ฐ ์—ฐ์žฅ ๊ทผ๋ฌด ์›๊ณ ๋Š” 3์กฐ 3๊ต๋Œ€๋กœ 1์ผ 8์‹œ๊ฐ„์”ฉ(์˜ค์ „ 06:00 ~ 14:00, ์˜คํ›„ 14:00 ~ 22:00, ์•ผ๊ฐ„ 22:00 ~ ๋‹ค์Œ๋‚  06:00) ๊ทผ๋ฌดํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ์—ฐ์žฅ๊ทผ๋ฌด๋ฅผ ํ•˜๋Š” ๊ฒฝ์šฐ๊ฐ€ ์ ์ง€ ์•Š์•˜๊ณ  ์›” 2 ~ 3ํšŒ ํœด๋ฌดํ•˜์˜€๋‹ค. ใˆ ์›๊ณ ์˜ ๊ฑด๊ฐ•์ƒํƒœ ๋“ฑ โ—‹ ์›๊ณ ๋Š” ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์งˆ๋ณ‘์ด ๋ฐœ๋ณ‘ํ•˜๊ธฐ ์ „๊นŒ์ง€๋Š” ๊ฑด๊ฐ•์— ๋ณ„๋‹ค๋ฅธ ์ด์ƒ์ด ์—†์—ˆ๊ณ , ๊ฐ€์กฑ ์ค‘์— ์•…์„ฑ ๋ฆผํ”„์ข… ๋“ฑ์ด ๋ฐœ๋ณ‘ํ•œ ์‚ฌ๋žŒ๋„ ์—†์—ˆ๋‹ค. โ—‹ ์›๊ณ ๋Š” 2008. 9.๊ฒฝ ํŽธ๋„์„ ์ด ๋ถ“๋Š” ์ฆ์ƒ์„ ๋ณด์ด๋‹ค๊ฐ€ 2008. 10. 2. โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋ณ‘์›์—์„œ ์•…์„ฑ ๋ฆผํ”„์ข…(๋น„ํ˜ธ์ง€ํ‚จ ๋ฆผํ”„์ข…)์œผ๋กœ ์ง„๋‹จ๋ฐ›์•˜๋‹ค. ใˆ‘ ์›๊ณ ์˜ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ๋“ฑ์— ๋Œ€ํ•œ โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๊ฐœ๋ณ„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ๊ฒฐ๊ณผ ์œ„ ์ œ2์˜ ๋‚˜ (1)ํ•ญ๊ณผ ๊ฐ™์€ ๊ฒฝ์œ„๋กœ ์ง„ํ–‰๋œ โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๊ฐœ๋ณ„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ๊ฒฐ๊ณผ์˜ ์ฃผ์š” ๋‚ด์šฉ์€ ์•„๋ž˜์™€ ๊ฐ™๋‹ค. โ‘  ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ 1๋ผ์ธ ๋„๊ธˆ ๊ณต์ •(2009. 3. ์กฐ์‚ฌ ๋‹น์‹œ 2๋ผ์ธ F๋™์€ ๋ชจ๋“ˆ ๋ผ์ธ์œผ๋กœ ๋ณ€๊ฒฝ๋˜์–ด ์ข…์ „์˜ 2๋ผ์ธ๊ณผ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ์ด ์œ ์‚ฌํ•œ 1๋ผ์ธ ๋„๊ธˆ ๊ณต์ •์—์„œ ์กฐ์‚ฌํ•จ)์—์„œ ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ ๋“ฑ์— ๋Œ€ํ•˜์—ฌ ์ธก์ •ํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ TCE, ๋ฒค์  , ์‚ฐํ™”์—ํ‹ธ๋ Œ, ์ค‘๊ธˆ์†(๋‚ฉ, ์ฃผ์„, ๋น„์Šค๋ฌด์Šค) ๋“ฑ์€ ๋ชจ๋‘ ๊ฒ€์ถœ๋˜์ง€ ์•Š์•˜๋‹ค. โ‘ก โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๊ณผ๊ฑฐ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ ์›๊ณ ๊ฐ€ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋˜ ๋‹น์‹œ์˜ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ๋Š” ์กฐ์‚ฌ ๋‹น์‹œ ๋‚จ์•„ ์žˆ์ง€ ์•Š์•˜๊ณ , 2003๋…„๋ถ€ํ„ฐ 2008๋…„๊นŒ์ง€ ๋ฉ”์ดํฌ์—… ๊ณต์ •์— ๋Œ€ํ•œ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ •์—์„œ๋Š” ๋‚ฉ, ์ฃผ์„, ๋น„์Šค๋ฌด์Šค๊ฐ€ ๊ฒ€์ถœ๋˜์ง€ ์•Š๊ฑฐ๋‚˜ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์น˜ ์ดํ•˜๋กœ๋งŒ ๊ฒ€์ถœ๋˜์—ˆ๋‹ค(TCE์™€ ๋ฒค์  ์€ ๋„๊ธˆ ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ๋ฌผ์งˆ์ด ์•„๋‹ˆ๋ผ๋Š” ์ด์œ ๋กœ ์ธก์ •ํ•˜์ง€ ์•Š์•˜์Œ). โ‘ข ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ํ‰๊ฐ€์œ„์›์˜ ์˜๊ฒฌ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ ํ‰๊ฐ€์œ„์› 10๋ช… ์ค‘ 2๋ช…์€ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ๋†’๋‹ค๋Š” ์˜๊ฒฌ์„, 8๋ช…์€ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ๋‚ฎ๋‹ค๋Š” ์˜๊ฒฌ์„ ์ œ์‹œํ•˜์˜€๋‹ค. [์ธ์ •๊ทผ๊ฑฐ] ๋‹คํˆผ ์—†๋Š” ์‚ฌ์‹ค, ๊ฐ‘ ์ œ6, 17ํ˜ธ์ฆ์˜ ๊ฐ 6, ๊ฐ‘ ์ œ38ํ˜ธ์ฆ์˜ 12 ๋‚ด์ง€ 23, ์„๋‚˜ ์ œ53ํ˜ธ์ฆ์˜ ๊ฐ ๊ธฐ์žฌ, ๋ณ€๋ก  ์ „์ฒด์˜ ์ทจ์ง€ (3) ํŒ๋‹จ ใˆŽ ์•ž์„œ ์ธ์ •ํ•œ ์‚ฌ์‹ค๊ณ„ ๋“ฑ์— ์˜ํ•˜๋ฉด, ์›๊ณ ๋Š” โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ์˜ ํ™˜๊ธฐ์‹œ์Šคํ…œ์ƒ ์ธ๊ทผ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•œ ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ{์˜ˆ์ปจ๋Œ€ ๋ ˆ์ด์ €๋ฅผ ์ด์šฉํ•œ ์ธ์‡„ ๊ณต์ •์—์„œ ์—ด๊ฒฝํ™” ์„ฑ์ˆ˜์ง€์˜ ์—ด๋ถ„ํ•ด์‚ฐ๋ฌผ๋กœ ๋ฐœ์ƒ ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ๋ฒค์  ์ด๋‚˜ ํฌ๋ฆ„์•Œ๋ฐํžˆ๋“œ(๊ฐ‘ ์ œ86ํ˜ธ์ฆ ์ฐธ์กฐ) ๋“ฑ}์— ์ผ๋ถ€ ๋…ธ์ถœ๋˜์—ˆ์„ ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ๋„ ์žˆ๊ณ , 3๊ต๋Œ€์ œ๋กœ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋ฉด์„œ ์ง€์†์ ์ธ ์•ผ๊ฐ„๊ทผ๋ฌด๋‚˜ ์ดˆ๊ณผ๊ทผ๋ฌด ๋“ฑ์œผ๋กœ ๊ณผ๋กœํ•˜๊ณ  ์ด๋กœ ์ธํ•˜์—ฌ ์ŠคํŠธ๋ ˆ์Šค๋ฅผ ๋ฐ›์•˜์„ ๊ฒƒ์œผ๋กœ๋Š” ๋ณด์ธ๋‹ค. ใˆ ๊ทธ๋Ÿฌ๋‚˜ ์•ž์„œ ์ธ์ •ํ•œ ์‚ฌ์‹ค๊ด€๊ณ„ ๋ฐ ์•ž์„œ ๋“  ์ฆ๊ฑฐ์— ์˜ํ•˜์—ฌ ์•Œ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๋‹ค์Œ๊ณผ ๊ฐ™์€ ์‚ฌ์ •์„ ์ข…ํ•ฉํ•˜๋ฉด, ์›๊ณ ์˜ ์—…๋ฌด์ˆ˜ํ–‰๊ณผ ์•…์„ฑ ๋ฆผํ”„์ข…์˜ ๋ฐœ๋ณ‘ ์‚ฌ์ด์— ์ƒ๋‹น์ธ๊ณผ๊ด€๊ณ„๊ฐ€ ์žˆ๋‹ค๊ณ  ๋ณด๊ธฐ ์–ด๋ ต๊ณ  ๋‹ฌ๋ฆฌ ์ด๋ฅผ ์ธ์ •ํ•  ์ฆ๊ฑฐ๊ฐ€ ์—†์œผ๋ฏ€๋กœ, ์›๊ณ ์˜ ์ฃผ์žฅ์€ ์ด์œ  ์—†๋‹ค. โ‘  ์›๊ณ ๊ฐ€ ๋„๊ธˆ ๊ณต์ •์—์„œ ์ง์ ‘ ์ทจ๊ธ‰ํ•œ ๋ฌผ์งˆ์€ ๋‚ฉ, ์ฃผ์„, ํ™ฉ์‚ฐ ๋“ฑ์ด๋‹ค. ๊ทธ ์ค‘ ํ™ฉ์‚ฐ์€ ๊ตญ์ œ์•”์—ฐ๊ตฌ์†Œ๊ฐ€ ์ธ๊ฐ„์—๊ฒŒ ์•”์„ ์ผ์œผํ‚จ๋‹ค๋Š” ์ฆ๊ฑฐ๊ฐ€ ์ถฉ๋ถ„ํ•œ ๋ฌผ์งˆ(๊ทธ๋ฃน1)๋กœ ๋ถ„๋ฅ˜ํ•˜๊ณ  ์žˆ๊ณ , ๋‚ฉ์€ ์ธ๊ฐ„์—๊ฒŒ ์•”์„ ์ผ์œผํ‚จ๋‹ค๋Š” ์ฆ๊ฑฐ๊ฐ€ ์ œํ•œ์ ์ด๊ณ  ๋™๋ฌผ์—๊ฒŒ ์•”์„ ์ผ์œผํ‚จ๋‹ค๋Š” ์ฆ๊ฑฐ๋„ ์ถฉ๋ถ„ํ•˜์ง€ ์•Š์€ ๋ฌผ์งˆ(๊ทธ๋ฃน2B)๋กœ ๋ถ„๋ฅ˜ํ•˜๊ณ  ์žˆ์œผ๋‚˜, ์œ„ ๋ฌผ์งˆ๋“ค์ด ์›๊ณ ์—๊ฒŒ ๋ฐœ๋ณ‘ํ•œ ์•…์„ฑ๋ฆผํ”„์ข…๊ณผ ๊ด€๋ จ์ด ์žˆ๋‹ค๋Š” ๊ทผ๊ฑฐ๋Š” ์—†๊ณ , ์ฃผ์„์€ ๋ฐœ์•”์„ฑ์— ๊ด€ํ•œ ๋ณ„๋‹ค๋ฅธ ์ž๋ฃŒ๊ฐ€ ์—†๋‹ค. ๋”ฐ๋ผ์„œ ์›๊ณ ๊ฐ€ ์ž‘์—… ๊ณผ์ •์—์„œ ๋‚ฉ, ์ฃผ์„, ํ™ฉ์‚ฐ ๋“ฑ์— ๋…ธ์ถœ๋˜์—ˆ๋‹ค๊ณ  ํ•˜๋”๋ผ๋„, ๊ทธ๋Ÿฌํ•œ ๋…ธ์ถœ์ด ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์งˆ๋ณ‘์„ ์œ ๋ฐœํ•˜์˜€๋‹ค๊ฑฐ๋‚˜ ๊ทธ ์ง„ํ–‰์„ ์ด‰์ง„ํ•˜์˜€๋‹ค๊ณ  ๋ณด๊ธฐ๋Š” ์–ด๋ ต๋‹ค. โ‘ก ์›๊ณ ๊ฐ€ ๋…ธ์ถœ์„ ์ฃผ์žฅํ•˜๋Š” TCE์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๋„๊ธˆ ๊ณต์ •์—์„œ TCE๊ฐ€ ์‚ฌ์šฉ๋˜์—ˆ๋‹ค๊ณ  ๋ณผ ์ฆ๊ฑฐ๋Š” ์—†์ง€๋งŒ, ์•ž์„œ ๋ณธ ๋ฐ”์™€ ๊ฐ™์ด 1996๋…„ ๋˜๋Š” 1997๋…„๊ฒฝ ํ”ผ๋‹ˆ์‰ฌ ๊ณต์ •์˜ ๋ณด์ „๋ถ€์„œ๊ฐ€ ํ†ตํ•ฉ๋œ ์ดํ›„์—๋Š” ์›๊ณ ๊ฐ€ ์ธ์‡„๋‚˜ ์ ˆ๋‹จ ยท ์ ˆ๊ณก ๊ณต์ • ๊ด€๋ จ ์—…๋ฌด๋ฅผ ํ•˜๋ฉด์„œ ์ด๋ฌผ์งˆ ์ œ๊ฑฐ ๋“ฑ์„ ์œ„ํ•ด TCE๋ฅผ ์ผ๋ถ€ ์‚ฌ์šฉํ•˜์˜€์„ ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์€ ์žˆ๋‹ค. ๊ทธ๋Ÿฌ๋‚˜ ๊ทธ ๋…ธ์ถœ์˜ ์ •๋„๊ฐ€ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์งˆ๋ณ‘์„ ์œ ๋ฐœํ•˜๊ฑฐ๋‚˜ ๊ทธ ์ง„ํ–‰์„ ์ด‰์ง„ํ•  ์ •๋„์— ์ด๋ฅด๋ €๋‹ค๊ณ  ๋ณผ๋งŒํ•œ ๊ทผ๊ฑฐ๋Š” ์—†๋‹ค. โ‘ข ํ•œํŽธ ๋ ˆ์ด์ €๋ฅผ ์ด์šฉํ•œ ์ธ์‡„ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒ ๊ฐ€๋Šฅํ•œ ๋ฒค์   ๋“ฑ์„ ํฌํ•จํ•˜์—ฌ ์›๊ณ ๊ฐ€ ์•ž์„œ ๋ณธ ๋ฐ”์™€ ๊ฐ™์€ ๊ฒฝ์œ„๋กœ ๋‹ค๋ฅธ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•œ ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ์— ์ผ๋ถ€ ๋…ธ์ถœ๋˜์—ˆ์„ ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์ด ์žˆ๊ณ  ์•ผ๊ฐ„๊ทผ๋ฌด ๋“ฑ์œผ๋กœ ๊ณผ๋กœํ•˜๊ฑฐ๋‚˜ ์ŠคํŠธ๋ ˆ์Šค๋ฅผ ๋ฐ›์•˜๋‹ค๊ณ  ํ•˜๋”๋ผ๋„, ๊ทธ ๋…ธ์ถœ ๋˜๋Š” ๊ณผ๋กœ ๋“ฑ์˜ ์ •๋„๊ฐ€ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์งˆ๋ณ‘์„ ์œ ๋ฐœํ•˜๊ฑฐ๋‚˜ ๊ทธ ์ง„ํ–‰์„ ์ด‰์ง„ํ•  ์ •๋„์— ์ด๋ฅด๋ €๋‹ค๊ณ  ๋ณผ๋งŒ ํ•œ ๊ทผ๊ฑฐ๋„ ์—†๋‹ค. โ‘ฃ ๊ทธ ๋ฐ–์— ์›๊ณ ๊ฐ€ ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ฒฝ๋กœ๋กœ ์—ฌ๋Ÿฌ ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ ๋“ฑ์— ๋…ธ์ถœ๋˜์—ˆ๋‹ค๋Š” ์ฃผ์žฅ ์ค‘ ์•ž์„œ ์ธ์ •ํ•œ ๊ฒฝ๋กœ ๋ฐ ๋ฌผ์งˆ์„ ์ œ์™ธํ•œ ๋‚˜๋จธ์ง€ ๋ถ€๋ถ„์€ ์ด๋ฅผ ๋’ท๋ฐ›์นจํ• ๋งŒํ•œ ์ฆ๊ฑฐ๊ฐ€ ์—†๋‹ค. โ‘ค ํ•œํŽธ โ—‹โ—‹โ—‹์˜ 2008๋…„๋„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌ์—์„œ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์—ฌ์„ฑ ๊ทผ๋กœ์ž์˜ ์•…์„ฑ ๋ฆผํ”„์ข… ํ‘œ์ค€ํ™” ์•”๋“ฑ๋ก๋น„๊ฐ€ ์ผ๋ฐ˜ ๊ตญ๋ฏผ๋ณด๋‹ค ๋†’๋‹ค๋Š” ํ†ต๊ณ„์ ์œผ๋กœ ์œ ์˜ํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ๊ฐ€ ์žˆ์—ˆ์ง€๋งŒ, ์›๊ณ ์™€ ๊ฐ™์€ ๋‚จ์„ฑ ๊ทผ๋กœ์ž์˜ ๊ฒฝ์šฐ์—๋Š” ๊ทธ๋Ÿฌํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ๊ฐ€ ์—†์—ˆ๋‹ค. 4. ๊ฒฐ๋ก  ๊ทธ๋ ‡๋‹ค๋ฉด ์›๊ณ  ์›๊ณ 1, ์›๊ณ 2์˜ ์ฒญ๊ตฌ๋Š” ์ด์œ  ์žˆ์–ด ๋ชจ๋‘ ์ธ์šฉํ•˜๊ณ , ์›๊ณ  ์›๊ณ 3, ์›๊ณ 4, ์›๊ณ 6์˜ ์ฒญ๊ตฌ๋Š” ์ด์œ  ์—†์–ด ๋ชจ๋‘ ๊ธฐ๊ฐํ•  ๊ฒƒ์ธ๋ฐ”, ์ œ1์‹ฌ ํŒ๊ฒฐ์€ ์ด์™€ ๊ฒฐ๋ก ์„ ๊ฐ™์ด ํ•˜์—ฌ ์ •๋‹นํ•˜๋ฏ€๋กœ ์›๊ณ  ์›๊ณ 3, ์›๊ณ 4, ์›๊ณ 6 ๋ฐ ํ”ผ๊ณ ์˜ ํ•ญ์†Œ๋ฅผ ๋ชจ๋‘ ๊ธฐ๊ฐํ•˜๊ธฐ๋กœ ํ•˜์—ฌ, ์ฃผ๋ฌธ๊ณผ ๊ฐ™์ด ํŒ๊ฒฐํ•œ๋‹ค. ์žฌํŒ์žฅ ํŒ์‚ฌ ์žฌํŒ์žฅ ํŒ์‚ฌ1 ํŒ์‚ฌ ํŒ์‚ฌ1 ํŒ์‚ฌ ํŒ์‚ฌ2 ใ€์ฐธ์กฐ์กฐ๋ฌธใ€‘ ์‚ฐ์—…์žฌํ•ด๋ณด์ƒ๋ณดํ—˜๋ฒ• ์›์ž๋ ฅ์•ˆ์ „๋ฒ• ์‹œํ–‰๋ น ใ€์ฐธ์กฐํŒ๋ก€ใ€‘ ๋Œ€๋ฒ•์› 2004. 4. 9. ์„ ๊ณ  2003๋‘12530 ํŒ๊ฒฐ ๋Œ€๋ฒ•์› 2005. 11. 10. ์„ ๊ณ  2005๋‘8009 ํŒ๊ฒฐ ๋Œ€๋ฒ•์› 2008. 5. 15. ์„ ๊ณ  2008๋‘3821 ํŒ๊ฒฐ

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