|
+
-
๋ถ๋งํฌ ์ ์ฅ
ํนํ์๊ณ ์ฌ๊ฑด
๋๋ฒ์ 2009. 9. 10. ์ ๊ณ 2007ํ3356 ํ๊ฒฐ
[๊ถ๋ฆฌ๋ฒ์ํ์ธ(ํน)][๊ณต2009ํ,1690]
ใํ์์ฌํญใ
[1] ๊ฐ์ ์นจํด์ ๊ดํ์ฌ ๊ท์ ํ๊ณ ์๋ ํนํ๋ฒ ์ 127์กฐ ์ 1ํธ์์ ์ ํ โ์์ฐโ์ ์๋ฏธ์ ๋ฒ์ ๋ฐ โํนํ ๋ฌผ๊ฑด์ ์์ฐ์๋ง ์ฌ์ฉํ๋ ๋ฌผ๊ฑดโ์ ํด๋นํ๊ธฐ ์ํ ์๊ฑด
[2] ๋ช
์นญ์ด โCMP์ฉ ์ฐ๋ง ํจ๋โ์ธ ํ์ธ๋์๋ฐ๋ช
์ ๋ฌผ๊ฑด์ ์
์ผ๋ก์ ์์ฐยทํ๋งคํ ํ์๋ ๊ถ๋ฆฌ๋ฒ์ํ์ธ์ฌํ์ ์ฌ๊ฒฐ์๋ฅผ ๊ธฐ์ค์ผ๋ก ๋ช
์นญ์ด โ๊ฐ์ ๋ ์ฐ๋ง ํจ๋โ์ธ ํนํ์ ๊ถ๋ฆฌ์ ๋ํ ๊ฐ์ ์นจํด์ ํด๋นํ๋ค๊ณ ํ ์ฌ๋ก
[3] ํนํ๊ถ์ ๊ถ๋ฆฌ๋ฒ์ํ์ธ์ฌํ์ ์ฒญ๊ตฌํ๊ธฐ ์ํ ์๊ฑด์ผ๋ก์ ์ฌํ์ฒญ๊ตฌ์ ๋์์ด ๋๋ ํ์ธ๋์๋ฐ๋ช
์ ํน์ ์ ๋
ใํ๊ฒฐ์์งใ
[1] ๊ฐ์ ์นจํด์ ๊ดํ์ฌ ๊ท์ ํ๊ณ ์๋ ํนํ๋ฒ ์ 127์กฐ ์ 1ํธ ๊ท์ ์ ๋ฐ๋ช
์ ๋ชจ๋ ๊ตฌ์ฑ์์๋ฅผ ๊ฐ์ง ๋ฌผ๊ฑด์ ์ค์ํ ๊ฒ์ด ์๋๊ณ ๊ทธ ์ ๋จ๊ณ์ ์๋ ํ์๋ฅผ ํ์๋๋ผ๋ ๋ฐ๋ช
์ ๋ชจ๋ ๊ตฌ์ฑ์์๋ฅผ ๊ฐ์ง ๋ฌผ๊ฑด์ ์ค์ํ๊ฒ ๋ ๊ฐ์ฐ์ฑ์ด ํฐ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ์ฅ๋์ ํนํ๊ถ ์นจํด์ ๋ํ ๊ถ๋ฆฌ ๊ตฌ์ ์ ์คํจ์ฑ์ ๋์ด๊ธฐ ์ํ์ฌ ์ผ์ ํ ์๊ฑด ์๋ ์ด๋ฅผ ํนํ๊ถ์ ์นจํด๋ก ๊ฐ์ฃผํ๋๋ผ๋ ํนํ๊ถ์ด ๋ถ๋นํ๊ฒ ํ์ฅ๋์ง ์๋๋ค๊ณ ๋ณธ ๊ฒ์ด๋ผ๊ณ ์ดํด๋๋ค. ์ ์กฐํญ์ ๋ฌธ์ธ๊ณผ ๊ทธ ์ทจ์ง์ ๋น์ถ์ด ๋ณผ ๋, ์ฌ๊ธฐ์ ๋งํ๋ โ์์ฐโ์ด๋ ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ์์ ์ผ๋ถ๋ฅผ ๊ฒฐ์ฌํ ๋ฌผ๊ฑด์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๋ฐ๋ช
์ ๋ชจ๋ ๊ตฌ์ฑ์์๋ฅผ ๊ฐ์ง ๋ฌผ๊ฑด์ ์๋ก ๋ง๋ค์ด๋ด๋ ๋ชจ๋ ํ์๋ฅผ ์๋ฏธํ๋ฏ๋ก, ๊ณต์
์ ์์ฐ์ ํํ์ง ์๊ณ ๊ฐ๊ณต, ์กฐ๋ฆฝ ๋ฑ์ ํ์๋ ํฌํจ๋๋ค. ๋์๊ฐ โํนํ ๋ฌผ๊ฑด์ ์์ฐ์๋ง ์ฌ์ฉํ๋ ๋ฌผ๊ฑดโ์ ํด๋นํ๊ธฐ ์ํ์ฌ๋ ์ฌํํต๋
์ ํต์ฉ๋๊ณ ์น์ธ๋ ์ ์๋ ๊ฒฝ์ ์ , ์์
์ ๋ด์ง ์ค์ฉ์ ์ธ ๋ค๋ฅธ ์ฉ๋๊ฐ ์์ด์ผ ํ๊ณ , ์ด์ ๋ฌ๋ฆฌ ๋จ์ํ ํนํ ๋ฌผ๊ฑด ์ด์ธ์ ๋ฌผ๊ฑด์ ์ฌ์ฉ๋ ์ด๋ก ์ , ์คํ์ ๋๋ ์ผ์์ ์ธ ์ฌ์ฉ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ์๋ ์ ๋์ ๋ถ๊ณผํ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๊ฐ์ ์นจํด์ ์ฑ๋ฆฝ์ ๋ถ์ ํ ๋งํ ๋ค๋ฅธ ์ฉ๋๊ฐ ์๋ค๊ณ ํ ์ ์๋ค.
[2] ๋ช
์นญ์ด โCMP์ฉ ์ฐ๋ง ํจ๋โ์ธ ํ์ธ๋์๋ฐ๋ช
์ ๋ฌผ๊ฑด์ ๋ช
์นญ์ด โ๊ฐ์ ๋ ์ฐ๋งํจ๋ ๋ฐ ์ด์ ์ฌ์ฉ๋ฐฉ๋ฒโ์ธ ํนํ ๋ฌผ๊ฑด์ ์์ฐ์๋ง ์ฌ์ฉ๋๋ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก, ์
์ผ๋ก์ ํ์ธ๋์๋ฐ๋ช
์ ๋ฌผ๊ฑด์ ์์ฐยทํ๋งคํ ํ์๋ ๊ถ๋ฆฌ๋ฒ์ํ์ธ์ฌํ์ ์ฌ๊ฒฐ์๋ฅผ ๊ธฐ์ค์ผ๋ก ์ ํนํ๊ถ์ ๋ํ ๊ฐ์ ์นจํด์ ํด๋นํ๋ค๊ณ ํ ์ฌ๋ก.
[3] ํนํ๊ถ์ ๊ถ๋ฆฌ๋ฒ์ํ์ธ์ฌํ์ ์ฒญ๊ตฌํจ์ ์์ด์ ์ฌํ์ฒญ๊ตฌ์ ๋์์ด ๋๋ ํ์ธ๋์๋ฐ๋ช
์ ๋นํด ํนํ๋ฐ๋ช
๊ณผ ์๋ก ๋๋นํ ์ ์์ ๋งํผ ๊ตฌ์ฒด์ ์ผ๋ก ํน์ ๋์ด์ผ ํ๋ค. ๊ทธ ํน์ ์ ์ํ์ฌ ๋์๋ฌผ์ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ๊ตฌ์ฑ์ ์ ๋ถ ๊ธฐ์ฌํ ํ์๋ ์์ง๋ง, ์ ์ด๋ ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ์๊ฑด๊ณผ ๋๋นํ์ฌ ๊ทธ ์ฐจ์ด์ ์ ํ๋จํจ์ ํ์ํ ์ ๋๋ก ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ์๊ฑด์ ๋์ํ๋ ๋ถ๋ถ์ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ๊ตฌ์ฑ์ ๊ธฐ์ฌํ์ฌ์ผ ํ๋ค.
ใ์ฐธ์กฐ์กฐ๋ฌธใ
[1] ํนํ๋ฒ ์ 127์กฐ ์ 1ํธ / [2] ํนํ๋ฒ ์ 127์กฐ ์ 1ํธ / [3] ํนํ๋ฒ ์ 135์กฐ
ใ์ฐธ์กฐํ๋กใ
[1] ๋๋ฒ์ 1996. 11. 27.์ 96๋ง365 ๊ฒฐ์ (๊ณต1997์, 72), ๋๋ฒ์ 2001. 1. 30. ์ ๊ณ 98ํ2580 ํ๊ฒฐ(๊ณต2001์, 574), ๋๋ฒ์ 2002. 11. 8. ์ ๊ณ 2000๋ค27602 ํ๊ฒฐ(๊ณต2003์, 12) / [3] ๋๋ฒ์ 2005. 9. 29. ์ ๊ณ 2004ํ486 ํ๊ฒฐ(๊ณต2005ํ, 1720)
ใ์ ๋ฌธใ
ใ์๊ณ , ์๊ณ ์ธใ ์๊ณ ์ฃผ์ํ์ฌ (์์ก๋๋ฆฌ์ธ ๋ฒ๋ฌด๋ฒ์ธ ํ์ฐ์ธ 1์ธ)
ใํผ๊ณ , ํผ์๊ณ ์ธใ ํผ๊ณ ์ฃผ์ํ์ฌ (์์ก๋๋ฆฌ์ธ ๋ณํธ์ฌ ์์ง์ด์ธ 9์ธ)
ใ์์ฌํ๊ฒฐใ ํนํ๋ฒ์ 2007. 7. 13. ์ ๊ณ 2006ํ3496 ํ๊ฒฐ
ใ์ฃผ ๋ฌธใ
์๊ณ ๋ฅผ ๊ธฐ๊ฐํ๋ค. ์๊ณ ๋น์ฉ์ ์๊ณ ๊ฐ ๋ถ๋ดํ๋ค.
ใ์ด ์ ใ
์๊ณ ์ด์ (์๊ณ ์ด์ ์ ์ ์ถ๊ธฐ๊ฐ์ด ๊ฒฝ๊ณผ ํ์ ์ ์ถ๋ ๊ฐ ์๊ณ ๋ณด์ถฉ์ด์ ์์ ๊ธฐ์ฌ๋ ์๊ณ ์ด์ ๋ฅผ ๋ณด์ถฉํ๋ ๋ฒ์ ์์์)๋ฅผ ๋ณธ๋ค.
1. ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ์ ๊ท์ฑ ์ ๋ฌด์ ๋ํ์ฌ
์์ฌ์ ๋ช
์นญ์ โ๊ฐ์ ๋ ์ฐ๋งํจ๋ ๋ฐ ์ด์ ์ฌ์ฉ๋ฐฉ๋ฒโ์ผ๋ก ํ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
(ํนํ๋ฒํธ ์ 195831ํธ)์ ํนํ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์ ์ 1, 2, 4, 6, 11, 16, 18ํญ์ ํน์ง์ ๊ตฌ์ฑ์ธ โ์ฌ๋ฌ๋ฆฌ ์
์๋ฅผ ํก์ฐฉํ๊ฑฐ๋ ์ด๋์ํค๋ ๊ณ ์ ํ ์ฑ๋ฅ์ด ์๋ ๊ท ์ผํ ๊ณ ์ฒด ์คํฉ์ฒด ์ํธโ๊ฐ ์์ฌ ํ์ ๋น๊ต๋์๋ฐ๋ช
์ ๊ณต์ง๋์ด ์์ง ์๊ณ ์ฃผ์ง๊ด์ฉ๊ธฐ์ ์ด๋ผ๊ณ ๋ณผ ์๋ ์๋ค๋ ๋ฑ์ ์ด์ ๋ก ์ด๋ค ์ฒญ๊ตฌํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ ๊ท์ฑ์ด ์๋ค๊ณ ํ๋ฉด์ ๊ทธ ๊ถ๋ฆฌ๋ฒ์๋ฅผ ์ธ์ ํ์๋ค.
๊ธฐ๋ก์ ๋น์ถ์ด ์ดํด๋ณด๋ฉด, ์์ฌ์ ์์ ๊ฐ์ ํ๋จ์ ์ ๋นํ๋ค. ์์ฌํ๊ฒฐ์๋ ์๊ณ ์ด์ ์ ์ฃผ์ฅ๊ณผ ๊ฐ์ ์ฑ์ฆ๋ฒ์น ์๋ฐ์ด๋ ๋ฐ๋ช
์ ์ ๊ท์ฑ ํ๋จ์ ๊ดํ ๋ฒ๋ฆฌ ์คํด ๋ฑ์ ์๋ฒ์ด ์๋ค.
2. ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๊ถ์ ๋ํ ๊ฐ์ ์นจํด์ ํด๋น ์ฌ๋ถ์ ๋ํ์ฌ
ํนํ๋ฒ ์ 127์กฐ ์ 1ํธ๋ ์ด๋ฅธ๋ฐ ๊ฐ์ ์นจํด์ ๊ดํ์ฌ โํนํ๊ฐ ๋ฌผ๊ฑด์ ๋ฐ๋ช
์ธ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๊ทธ ๋ฌผ๊ฑด์ ์์ฐ์๋ง ์ฌ์ฉํ๋ ๋ฌผ๊ฑด์ ์์ฐยท์๋ยท๋์ฌ ๋๋ ์์
ํ๊ฑฐ๋ ๊ทธ ๋ฌผ๊ฑด์ ์๋ ๋๋ ๋์ฌ์ ์ฒญ์ฝ์ ํ๋ ํ์๋ฅผ ์
์ผ๋ก์ ํ๋ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ํนํ๊ถ ๋๋ ์ ์ฉ์ค์๊ถ(์ดํ โํนํ๊ถโ์ด๋ผ๊ณ ํ๋ค)์ ์นจํดํ๋ ํ์๋ก ๋ณธ๋คโ๊ณ ๊ท์ ํ๊ณ ์๋ค. ์ด๋ ๋ฐ๋ช
์ ๋ชจ๋ ๊ตฌ์ฑ์์๋ฅผ ๊ฐ์ง ๋ฌผ๊ฑด์ ์ค์ํ ๊ฒ์ด ์๋๊ณ ๊ทธ ์ ๋จ๊ณ์ ์๋ ํ์๋ฅผ ํ์๋๋ผ๋ ๋ฐ๋ช
์ ๋ชจ๋ ๊ตฌ์ฑ์์๋ฅผ ๊ฐ์ง ๋ฌผ๊ฑด์ ์ค์ํ๊ฒ ๋ ๊ฐ์ฐ์ฑ์ด ํฐ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ์ฅ๋์ ํนํ๊ถ ์นจํด์ ๋ํ ๊ถ๋ฆฌ ๊ตฌ์ ์ ์คํจ์ฑ์ ๋์ด๊ธฐ ์ํ์ฌ ์ผ์ ํ ์๊ฑด ์๋ ์ด๋ฅผ ํนํ๊ถ์ ์นจํด๋ก ๊ฐ์ฃผํ๋๋ผ๋ ํนํ๊ถ์ด ๋ถ๋นํ๊ฒ ํ์ฅ๋์ง ์๋๋ค๊ณ ๋ณธ ๊ฒ์ด๋ผ๊ณ ์ดํด๋๋ค. ์ ์กฐํญ์ ๋ฌธ์ธ๊ณผ ๊ทธ ์ทจ์ง์ ๋น์ถ์ด ๋ณผ ๋, ์ฌ๊ธฐ์ ๋งํ๋ โ์์ฐโ์ด๋ ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ์์ ์ผ๋ถ๋ฅผ ๊ฒฐ์ฌํ ๋ฌผ๊ฑด์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๋ฐ๋ช
์ ๋ชจ๋ ๊ตฌ์ฑ์์๋ฅผ ๊ฐ์ง ๋ฌผ๊ฑด์ ์๋ก ๋ง๋ค์ด๋ด๋ ๋ชจ๋ ํ์๋ฅผ ์๋ฏธํ๋ฏ๋ก, ๊ณต์
์ ์์ฐ์ ํํ์ง ์๊ณ ๊ฐ๊ณต, ์กฐ๋ฆฝ ๋ฑ์ ํ์๋ ํฌํจ๋๋ค๊ณ ํ ๊ฒ์ด๋ค( ๋๋ฒ์ 2002. 11. 8. ์ ๊ณ 2000๋ค27602 ํ๊ฒฐ ๋ฑ ์ฐธ์กฐ). ๋์๊ฐ ํนํ ๋ฌผ๊ฑด์ ์์ฐโ์๋งโ ์ฌ์ฉํ๋ ๋ฌผ๊ฑด์ ํด๋น๋๊ธฐ ์ํ์ฌ๋ ์ฌํํต๋
์ ํต์ฉ๋๊ณ ์น์ธ๋ ์ ์๋ ๊ฒฝ์ ์ , ์์
์ ๋ด์ง ์ค์ฉ์ ์ธ ๋ค๋ฅธ ์ฉ๋๊ฐ ์์ด์ผ ํ ๊ฒ์ด๊ณ , ์ด์ ๋ฌ๋ฆฌ ๋จ์ํ ํนํ ๋ฌผ๊ฑด ์ด์ธ์ ๋ฌผ๊ฑด์ ์ฌ์ฉ๋ ์ด๋ก ์ , ์คํ์ ๋๋ ์ผ์์ ์ธ ์ฌ์ฉ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ์๋ ์ ๋์ ๋ถ๊ณผํ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๊ฐ์ ์นจํด์ ์ฑ๋ฆฝ์ ๋ถ์ ํ ๋งํ ๋ค๋ฅธ ์ฉ๋๊ฐ ์๋ค๊ณ ํ ์ ์๋ค( ๋๋ฒ์ 2001. 1. 30. ์ ๊ณ 98ํ2580 ํ๊ฒฐ ์ฐธ์กฐ).
์์ฌ์ ๊ทธ ์ฑํ์ฆ๊ฑฐ๋ฅผ ์ข
ํฉํ์ฌ ํ์์ ๊ฐ์ ์ฌ์ค์ ์ธ์ ํ ํ์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ด ํ๋จํ์๋ค. ์ฆ ์๊ณ ๊ฐ ์๊ทน์ ๊ถ๋ฆฌ๋ฒ์ํ์ธ์ ๊ตฌํ๋ ํ์ธ๋์๋ฐ๋ช
์ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ํนํ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์ ์ 1, 2, 4, 6, 11, 16, 18, 19ํญ(์ดํ โ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํโ๋ผ ํ๋ค)๊ณผ ๋๋นํ์ฌ ๋ณผ ๋, ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ์ ๊ตฌ์ฑ ์ค ๋ํ์ ๋์ฑ๋ ๋ฐ ๊ท ์ผํ ๊ณ ์ฒด ์คํฉ์ฒด ์ํธ์ ๋์ผํ ๊ตฌ์ฑ์ ๊ฐ์ง๋ฉด์ ์ํ์ ๋์ฑ๋์ด ๊ฒฐ์ฌ๋์ด ์๊ณ ๋ง์ดํฌ๋ก ํ์ด ๋ถ๊ฐ๋์ด ์๋ ์ ์์ ์ฐจ์ด๊ฐ ์๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ํ์ธ๋์๋ฐ๋ช
์ ๋ฌผ๊ฑด์ ๊ณต๊ธ๋ฐ์ ์ฌ๋์ด ์ฐ๋งํจ๋๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ํํ์ ๊ธฐ๊ณ์ ํํํ(chemical mechanical planarization. ํต์ โCMPโ๋ก ์ฝ์นญ๋๋ค) ๊ณต์ ์ ์ํํ๋ ๋์๋ ๋ค์์ ๋ค์ด์๋ชฌ๋์
์๊ฐ ๋ถ์ฐฉ๋ ์ปจ๋์
๋๋ก ์ฐ๋งํจ๋์ ํ๋ฉด์ ์์ฐฉํ์ฌ ๋ฌธ์ง๋ฅด๋ ๋ธ๋ ์ดํฌ ์ธ(break-in) ๋ฐ ์ปจ๋์
๋(conditioning) ๊ณต์ (์ดํ โ์ปจ๋์
๋ ๊ณต์ โ์ด๋ผ ์ฝ์นญํ๋ค)์ด ํ์์ ์ผ๋ก ๋ถ๊ฐ๋๊ณ , ์ด๋ฌํ ์ปจ๋์
๋ ๊ณต์ ์ ์ํํ๋ ๊ฒฝ์ฐ์ ํ์ธ๋์๋ฐ๋ช
์ ์ฐ๋งํจ๋์๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ์ ์ํ์ ๋์ฑ๋์ ์์น๋ฒ์ ๋ด์ ์๋ ํญ๊ณผ ๊ธธ์ด ๋ฐ ๋ฐ๋๋ฅผ ๊ฐ์ง๊ณ ์ ์ฐ๋ง์ฌ๋ฌ๋ฆฌ๋ฅผ ์ด๋์ํค๋ ํต๋ก๋ก ์์ฉํจ์ผ๋ก์จ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ์ ์ํ์ ๋์ฑ๋๊ณผ ๋์ผํ ๊ตฌ์กฐ์ ๊ธฐ๋ฅ์ ํ๋ ์์ฌ ํ์ ์ค๋ฌด๋ฌ ํ์ด ๋ฐ๋์ ํ์ฑ๋๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ฏ๋ก ํ์ธ๋์๋ฐ๋ช
์ ๋ฌผ๊ฑด์ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ ๋ฌผ๊ฑด์ ์์ฐ์๋ง ์ฌ์ฉ๋๋ ๊ฒ์ด์ด์ ์๊ณ ๊ฐ ์
์ผ๋ก์ ํ์ธ๋์๋ฐ๋ช
์ ๋ฌผ๊ฑด์ ์์ฐยทํ๋งคํ ํ์๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ๊ถ๋ฆฌ๋ฒ์ํ์ธ์ฌํ์ ์ฌ๊ฒฐ์๋ฅผ ๊ธฐ์ค์ผ๋ก ํ์ฌ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๊ถ์ ๋ํ ๊ฐ์ ์นจํด์ ํด๋น๋๋ค๊ณ ํ ๊ฒ์ด๋ค. ๊ทธ ์ธ์ ์ปจ๋์
๋์ด ์ฐ๋งํจ๋์ ํ๋ฉด์ ๋ฏธ์น๋ ์ํฅ ๋ด์ง ๋ณํ์ ์ ๋ฌด์ ์ ๋๋ ์ปจ๋์
๋์ ์ข
๋ฅ, ์ฐ๋งํจ๋์ ๊ฒฝ๋, ์ฌ์ฉํ๋ ์ฌ๋ฌ๋ฆฌ์ ์ข
๋ฅ ๋ฐ ์ฌ๋ฌ๋ฆฌ์ ํฌํจ๋ ์ฐ๋ง์
์์ ์ข
๋ฅ, ์ปจ๋์
๋์ ์ํ์ฌ ์ฐ๋งํจ๋์ ๊ฐํ์ฌ์ง๋ ์๋ ฅ์ ์ ๋ ๋ฑ ์ฌ๋ฌ ๊ฐ์ง ์์์ ๋ฐ๋ผ ๋ฌ๋ผ์ง ์ ์๋ค๋ ์ , ํ์ธ๋์๋ฐ๋ช
์ด ๋ง์ดํฌ๋ก ํ์ด๋ผ๋ ๊ธฐ์ ์๋จ์ ์ํ์ฌ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
๋ณด๋ค ๋ ์ฐ์ํ ์์ฉํจ๊ณผ๋ฅผ ๊ธฐ๋ํ ์ ์์ด ์ง๋ณด๋ ๋ฐ๋ช
์ผ ์ ์๋ค๋ ์ ๋ฑ์ ์ฌ์ ์ ๊ทธ๋ฌํ ๊ฒฐ๋ก ์ ์ํฅ์ด ์๋ค๋ ๊ฒ์ด๋ค.
์ด๋ฌํ ์์ฌ์ ์ฌ์ค์ธ์ ๋ฐ ํ๋จ์ ์์ ๋ณธ ๋ฒ๋ฆฌ ๋ฐ ๊ธฐ๋ก์ ๋น์ถ์ด ๋ณด๋ฉด ์ ๋นํ๋ค. ์์ฌํ๊ฒฐ์๋ ์๊ณ ์ด์ ๊ฐ ์ฃผ์ฅํ๋ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด ํนํ๊ถ์ ๊ฐ์ ์นจํด ํ๋จ ๋ฐ ํนํ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์ ํด์์ ๊ดํ ๋ฒ๋ฆฌ ์คํด, ์ฑ์ฆ๋ฒ์น ์๋ฐ, ์ฌ๋ฆฌ๋ฏธ์ง ๋ฑ์ ์๋ฒ์ด ์๋ค.
3. ํ์ธ๋์๋ฐ๋ช
์ ํน์ ์ฌ๋ถ์ ๋ํ์ฌ
ํนํ๊ถ์ ๊ถ๋ฆฌ๋ฒ์ํ์ธ์ฌํ์ ์ฒญ๊ตฌํจ์ ์์ด์ ์ฌํ์ฒญ๊ตฌ์ ๋์์ด ๋๋ ํ์ธ๋์๋ฐ๋ช
์ ๋นํด ํนํ๋ฐ๋ช
๊ณผ ์๋ก ๋๋นํ ์ ์์ ๋งํผ ๊ตฌ์ฒด์ ์ผ๋ก ํน์ ๋์ด์ผ ํ๋ค. ๊ทธ ํน์ ์ ์ํ์ฌ ๋์๋ฌผ์ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ๊ตฌ์ฑ์ ์ ๋ถ ๊ธฐ์ฌํ ํ์๋ ์์ง๋ง, ์ ์ด๋ ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ์๊ฑด๊ณผ ๋๋นํ์ฌ ๊ทธ ์ฐจ์ด์ ์ ํ๋จํจ์ ํ์ํ ์ ๋๋ก ํนํ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ์๊ฑด์ ๋์ํ๋ ๋ถ๋ถ์ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ๊ตฌ์ฑ์ ๊ธฐ์ฌํ์ฌ์ผ ํ๋ค( ๋๋ฒ์ 2005. 9. 29. ์ ๊ณ 2004ํ486 ํ๊ฒฐ ์ฐธ์กฐ).
์ ๋ฒ๋ฆฌ์ ๊ธฐ๋ก์ ๋น์ถ์ด ์ดํด๋ณด๋ฉด, ์์ฌ์ด ํ์ธ๋์๋ฐ๋ช
์ ์ด ์ฌ๊ฑด ํนํ๋ฐ๋ช
์ ํนํ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์ ์ 20ํญ ๋ด์ง ์ 28ํญ์ ๊ตฌ์ฑ๊ณผ ๋์ํ๋ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ๊ตฌ์ฑ์ ๊ธฐ์ฌ๊ฐ ์์ผ๋ฏ๋ก, ์ด๋ค ์ฒญ๊ตฌํญ ๋ฐ๋ช
๊ณผ ๋๋นํ ์ ์์ ์ ๋๋ก ํน์ ๋์ง ์์๋ค๊ณ ๋ณธ ๊ฒ์ ์ ๋นํ๋ค. ์์ฌํ๊ฒฐ์๋ ์๊ณ ์ด์ ์ ์ฃผ์ฅ๊ณผ ๊ฐ์ ํ์ธ๋์๋ฐ๋ช
์ ํน์ ์ ๊ดํ ๋ฒ๋ฆฌ ์คํด์ ์๋ฒ์ด ์๋ค.
4. ๊ฒฐ๋ก
๊ทธ๋ฌ๋ฏ๋ก ์๊ณ ๋ฅผ ๊ธฐ๊ฐํ๊ณ ์๊ณ ๋น์ฉ์ ํจ์์๊ฐ ๋ถ๋ดํ๊ธฐ๋ก ํ์ฌ, ๊ด์ฌ ๋๋ฒ๊ด์ ์ผ์น๋ ์๊ฒฌ์ผ๋ก ์ฃผ๋ฌธ๊ณผ ๊ฐ์ด ํ๊ฒฐํ๋ค.
๋๋ฒ๊ด ๊น์งํ(์ฌํ์ฅ) ์์นํ ์ ์์ ์์ฐฝ์(์ฃผ์ฌ)
|
|
๋๊ธ 0๊ฐ
๋ก๊ทธ์ธ ํ์๋ฉด, ํ๋ก ๋๊ธ์ ๋ฑ๋กํ์ค ์ ์์ต๋๋ค.
๋ค์ด๋ฒ ๊ฒ์
๋ธ๋ก๊ทธ
์นดํ
๋ด์ค
์น์ฌ์ดํธ
|
|
[ ์ฐธ์กฐํ๋ก ์ฒด๊ณ๋ ]
-
[ ๋ฒ๊ด/๋๋ฒ๊ด ํ๊ทธ]
|