๋กœ๊ทธ์ธ


+ -   ๋ถ๋งˆํฌ ์ €์žฅ ํŠนํ—ˆ์ƒ๊ณ ์‚ฌ๊ฑด

๋Œ€๋ฒ•์› 2009. 9. 10. ์„ ๊ณ  2007ํ›„3356 ํŒ๊ฒฐ

[๊ถŒ๋ฆฌ๋ฒ”์œ„ํ™•์ธ(ํŠน)][๊ณต2009ํ•˜,1690] ใ€ํŒ์‹œ์‚ฌํ•ญใ€‘ [1] ๊ฐ„์ ‘์นจํ•ด์— ๊ด€ํ•˜์—ฌ ๊ทœ์ •ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋Š” ํŠนํ—ˆ๋ฒ• ์ œ127์กฐ ์ œ1ํ˜ธ์—์„œ ์ •ํ•œ โ€˜์ƒ์‚ฐโ€™์˜ ์˜๋ฏธ์™€ ๋ฒ”์œ„ ๋ฐ โ€˜ํŠนํ—ˆ ๋ฌผ๊ฑด์˜ ์ƒ์‚ฐ์—๋งŒ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ๋ฌผ๊ฑดโ€™์— ํ•ด๋‹นํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•œ ์š”๊ฑด [2] ๋ช…์นญ์ด โ€œCMP์šฉ ์—ฐ๋งˆ ํŒจ๋“œโ€์ธ ํ™•์ธ๋Œ€์ƒ๋ฐœ๋ช…์˜ ๋ฌผ๊ฑด์„ ์—…์œผ๋กœ์„œ ์ƒ์‚ฐยทํŒ๋งคํ•œ ํ–‰์œ„๋Š” ๊ถŒ๋ฆฌ๋ฒ”์œ„ํ™•์ธ์‹ฌํŒ์˜ ์‹ฌ๊ฒฐ์‹œ๋ฅผ ๊ธฐ์ค€์œผ๋กœ ๋ช…์นญ์ด โ€œ๊ฐœ์„ ๋œ ์—ฐ๋งˆ ํŒจ๋“œโ€์ธ ํŠนํ—ˆ์˜ ๊ถŒ๋ฆฌ์— ๋Œ€ํ•œ ๊ฐ„์ ‘์นจํ•ด์— ํ•ด๋‹นํ•œ๋‹ค๊ณ  ํ•œ ์‚ฌ๋ก€ [3] ํŠนํ—ˆ๊ถŒ์˜ ๊ถŒ๋ฆฌ๋ฒ”์œ„ํ™•์ธ์‹ฌํŒ์„ ์ฒญ๊ตฌํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•œ ์š”๊ฑด์œผ๋กœ์„œ ์‹ฌํŒ์ฒญ๊ตฌ์˜ ๋Œ€์ƒ์ด ๋˜๋Š” ํ™•์ธ๋Œ€์ƒ๋ฐœ๋ช…์˜ ํŠน์ • ์ •๋„ ใ€ํŒ๊ฒฐ์š”์ง€ใ€‘
[1] ๊ฐ„์ ‘์นจํ•ด์— ๊ด€ํ•˜์—ฌ ๊ทœ์ •ํ•˜๊ณ  ์žˆ๋Š” ํŠนํ—ˆ๋ฒ• ์ œ127์กฐ ์ œ1ํ˜ธ ๊ทœ์ •์€ ๋ฐœ๋ช…์˜ ๋ชจ๋“  ๊ตฌ์„ฑ์š”์†Œ๋ฅผ ๊ฐ€์ง„ ๋ฌผ๊ฑด์„ ์‹ค์‹œํ•œ ๊ฒƒ์ด ์•„๋‹ˆ๊ณ  ๊ทธ ์ „ ๋‹จ๊ณ„์— ์žˆ๋Š” ํ–‰์œ„๋ฅผ ํ•˜์˜€๋”๋ผ๋„ ๋ฐœ๋ช…์˜ ๋ชจ๋“  ๊ตฌ์„ฑ์š”์†Œ๋ฅผ ๊ฐ€์ง„ ๋ฌผ๊ฑด์„ ์‹ค์‹œํ•˜๊ฒŒ ๋  ๊ฐœ์—ฐ์„ฑ์ด ํฐ ๊ฒฝ์šฐ์—๋Š” ์žฅ๋ž˜์˜ ํŠนํ—ˆ๊ถŒ ์นจํ•ด์— ๋Œ€ํ•œ ๊ถŒ๋ฆฌ ๊ตฌ์ œ์˜ ์‹คํšจ์„ฑ์„ ๋†’์ด๊ธฐ ์œ„ํ•˜์—ฌ ์ผ์ •ํ•œ ์š”๊ฑด ์•„๋ž˜ ์ด๋ฅผ ํŠนํ—ˆ๊ถŒ์˜ ์นจํ•ด๋กœ ๊ฐ„์ฃผํ•˜๋”๋ผ๋„ ํŠนํ—ˆ๊ถŒ์ด ๋ถ€๋‹นํ•˜๊ฒŒ ํ™•์žฅ๋˜์ง€ ์•Š๋Š”๋‹ค๊ณ  ๋ณธ ๊ฒƒ์ด๋ผ๊ณ  ์ดํ•ด๋œ๋‹ค. ์œ„ ์กฐํ•ญ์˜ ๋ฌธ์–ธ๊ณผ ๊ทธ ์ทจ์ง€์— ๋น„์ถ”์–ด ๋ณผ ๋•Œ, ์—ฌ๊ธฐ์„œ ๋งํ•˜๋Š” โ€˜์ƒ์‚ฐโ€™์ด๋ž€ ๋ฐœ๋ช…์˜ ๊ตฌ์„ฑ์š”์†Œ ์ผ๋ถ€๋ฅผ ๊ฒฐ์—ฌํ•œ ๋ฌผ๊ฑด์„ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ๋ฐœ๋ช…์˜ ๋ชจ๋“  ๊ตฌ์„ฑ์š”์†Œ๋ฅผ ๊ฐ€์ง„ ๋ฌผ๊ฑด์„ ์ƒˆ๋กœ ๋งŒ๋“ค์–ด๋‚ด๋Š” ๋ชจ๋“  ํ–‰์œ„๋ฅผ ์˜๋ฏธํ•˜๋ฏ€๋กœ, ๊ณต์—…์  ์ƒ์‚ฐ์— ํ•œํ•˜์ง€ ์•Š๊ณ  ๊ฐ€๊ณต, ์กฐ๋ฆฝ ๋“ฑ์˜ ํ–‰์œ„๋„ ํฌํ•จ๋œ๋‹ค. ๋‚˜์•„๊ฐ€ โ€˜ํŠนํ—ˆ ๋ฌผ๊ฑด์˜ ์ƒ์‚ฐ์—๋งŒ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ๋ฌผ๊ฑดโ€™์— ํ•ด๋‹นํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•˜์—ฌ๋Š” ์‚ฌํšŒํ†ต๋…์ƒ ํ†ต์šฉ๋˜๊ณ  ์Šน์ธ๋  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๊ฒฝ์ œ์ , ์ƒ์—…์  ๋‚ด์ง€ ์‹ค์šฉ์ ์ธ ๋‹ค๋ฅธ ์šฉ๋„๊ฐ€ ์—†์–ด์•ผ ํ•˜๊ณ , ์ด์™€ ๋‹ฌ๋ฆฌ ๋‹จ์ˆœํžˆ ํŠนํ—ˆ ๋ฌผ๊ฑด ์ด์™ธ์˜ ๋ฌผ๊ฑด์— ์‚ฌ์šฉ๋  ์ด๋ก ์ , ์‹คํ—˜์  ๋˜๋Š” ์ผ์‹œ์ ์ธ ์‚ฌ์šฉ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์ด ์žˆ๋Š” ์ •๋„์— ๋ถˆ๊ณผํ•œ ๊ฒฝ์šฐ์—๋Š” ๊ฐ„์ ‘์นจํ•ด์˜ ์„ฑ๋ฆฝ์„ ๋ถ€์ •ํ•  ๋งŒํ•œ ๋‹ค๋ฅธ ์šฉ๋„๊ฐ€ ์žˆ๋‹ค๊ณ  ํ•  ์ˆ˜ ์—†๋‹ค. [2] ๋ช…์นญ์ด โ€œCMP์šฉ ์—ฐ๋งˆ ํŒจ๋“œโ€์ธ ํ™•์ธ๋Œ€์ƒ๋ฐœ๋ช…์˜ ๋ฌผ๊ฑด์€ ๋ช…์นญ์ด โ€œ๊ฐœ์„ ๋œ ์—ฐ๋งˆํŒจ๋“œ ๋ฐ ์ด์˜ ์‚ฌ์šฉ๋ฐฉ๋ฒ•โ€์ธ ํŠนํ—ˆ ๋ฌผ๊ฑด์˜ ์ƒ์‚ฐ์—๋งŒ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ๊ฒƒ์ด๋ฏ€๋กœ, ์—…์œผ๋กœ์„œ ํ™•์ธ๋Œ€์ƒ๋ฐœ๋ช…์˜ ๋ฌผ๊ฑด์„ ์ƒ์‚ฐยทํŒ๋งคํ•œ ํ–‰์œ„๋Š” ๊ถŒ๋ฆฌ๋ฒ”์œ„ํ™•์ธ์‹ฌํŒ์˜ ์‹ฌ๊ฒฐ์‹œ๋ฅผ ๊ธฐ์ค€์œผ๋กœ ์œ„ ํŠนํ—ˆ๊ถŒ์— ๋Œ€ํ•œ ๊ฐ„์ ‘์นจํ•ด์— ํ•ด๋‹นํ•œ๋‹ค๊ณ  ํ•œ ์‚ฌ๋ก€. [3] ํŠนํ—ˆ๊ถŒ์˜ ๊ถŒ๋ฆฌ๋ฒ”์œ„ํ™•์ธ์‹ฌํŒ์„ ์ฒญ๊ตฌํ•จ์— ์žˆ์–ด์„œ ์‹ฌํŒ์ฒญ๊ตฌ์˜ ๋Œ€์ƒ์ด ๋˜๋Š” ํ™•์ธ๋Œ€์ƒ๋ฐœ๋ช…์€ ๋‹นํ•ด ํŠนํ—ˆ๋ฐœ๋ช…๊ณผ ์„œ๋กœ ๋Œ€๋น„ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์„ ๋งŒํผ ๊ตฌ์ฒด์ ์œผ๋กœ ํŠน์ •๋˜์–ด์•ผ ํ•œ๋‹ค. ๊ทธ ํŠน์ •์„ ์œ„ํ•˜์—ฌ ๋Œ€์ƒ๋ฌผ์˜ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ๊ตฌ์„ฑ์„ ์ „๋ถ€ ๊ธฐ์žฌํ•  ํ•„์š”๋Š” ์—†์ง€๋งŒ, ์ ์–ด๋„ ํŠนํ—ˆ๋ฐœ๋ช…์˜ ๊ตฌ์„ฑ์š”๊ฑด๊ณผ ๋Œ€๋น„ํ•˜์—ฌ ๊ทธ ์ฐจ์ด์ ์„ ํŒ๋‹จํ•จ์— ํ•„์š”ํ•  ์ •๋„๋กœ ํŠนํ—ˆ๋ฐœ๋ช…์˜ ๊ตฌ์„ฑ์š”๊ฑด์— ๋Œ€์‘ํ•˜๋Š” ๋ถ€๋ถ„์˜ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ๊ตฌ์„ฑ์„ ๊ธฐ์žฌํ•˜์—ฌ์•ผ ํ•œ๋‹ค. ใ€์ฐธ์กฐ์กฐ๋ฌธใ€‘ [1] ํŠนํ—ˆ๋ฒ• ์ œ127์กฐ ์ œ1ํ˜ธ / [2] ํŠนํ—ˆ๋ฒ• ์ œ127์กฐ ์ œ1ํ˜ธ / [3] ํŠนํ—ˆ๋ฒ• ์ œ135์กฐ ใ€์ฐธ์กฐํŒ๋ก€ใ€‘ [1] ๋Œ€๋ฒ•์› 1996. 11. 27.์ž 96๋งˆ365 ๊ฒฐ์ •(๊ณต1997์ƒ, 72), ๋Œ€๋ฒ•์› 2001. 1. 30. ์„ ๊ณ  98ํ›„2580 ํŒ๊ฒฐ(๊ณต2001์ƒ, 574), ๋Œ€๋ฒ•์› 2002. 11. 8. ์„ ๊ณ  2000๋‹ค27602 ํŒ๊ฒฐ(๊ณต2003์ƒ, 12) / [3] ๋Œ€๋ฒ•์› 2005. 9. 29. ์„ ๊ณ  2004ํ›„486 ํŒ๊ฒฐ(๊ณต2005ํ•˜, 1720) ใ€์ „ ๋ฌธใ€‘ ใ€์›๊ณ , ์ƒ๊ณ ์ธใ€‘ ์›๊ณ  ์ฃผ์‹ํšŒ์‚ฌ (์†Œ์†ก๋Œ€๋ฆฌ์ธ 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