|
+
-
๋ถ๋งํฌ ์ ์ฅ
ํนํ1์ฌ์ฌ๊ฑด
ํนํ๋ฒ์ 1999. 8. 26. ์ ๊ณ 99ํ55 ํ๊ฒฐ : ํ์
[๊ฑฐ์ ์ฌ์ (ํน)][ํ์ง1999-2, 809]
ใํ์์ฌํญใ
[1] ๊ฑฐ์ ์ฌ์ ์ ๋ํ ์ฌ๊ฒฐ์ทจ์์์ก์์ ์๋ก์ด ๊ฑฐ์ ์ด์ ์ ์ฃผ์ฅ ๋๋ ์๋ก์ด ๊ณต์ง๊ธฐ์ ์ ๊ดํ ์ฆ๊ฑฐ์ ์ถ์ ํ๋ถ(์๊ทน)
[2] ๊ฑฐ์ ์ฌ์ ์ ๋ํ ์ฌ๊ฒฐ์ทจ์์์ก์์ ์ฃผ์งยท๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ ๊ณผ ๋์ผํ๋ค๋ ์ฃผ์ฅ ๋ฐ ๊ทธ ์์์๋ฃ์ ์ ์ถ์ด ์๋ก์ด ๊ฑฐ์ ์ด์ ์ ์ฃผ์ฅ ๋๋ ์๋ก์ด ๊ณต์ง๊ธฐ์ ์ ๊ดํ ์ฆ๊ฑฐ์ ์ถ์ด๋ผ๊ณ ๋ณผ ์ ์๋ค๊ณ ํ ์ฌ๋ก
ใํ๊ฒฐ์์งใ
[1] ๊ฑฐ์ ์ฌ์ ์ ๋ํ ์ฌ๊ฒฐ์ทจ์์์ก์์๋ ์์น์ ์ผ๋ก ๊ฑฐ์ ์ฌ์ ์์ ๋ค๊ณ ์์ง ์์ ์๋ก์ด ๊ฑฐ์ ์ด์ ๋ฅผ ์ฃผ์ฅํ๊ฑฐ๋ ์๋ก์ด ๊ณต์ง๊ธฐ์ ์ ๊ดํ ์ฆ๊ฑฐ๋ฅผ ์ ์ถํ๋ ๊ฒ์ ํ์ฉ๋์ง ์๋๋ค.
[2] ๊ฑฐ์ ์ฌ์ ์ ๋ํ ์ฌ๊ฒฐ์ทจ์์์ก์์ ์ฃผ์งยท๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ ๊ณผ ๋์ผํ๋ค๋ ์ฃผ์ฅ ๋ฐ ๊ทธ ์์์๋ฃ์ ์ ์ถ์ด ์๋ก์ด ๊ฑฐ์ ์ด์ ์ ์ฃผ์ฅ ๋๋ ์๋ก์ด ๊ณต์ง๊ธฐ์ ์ ๊ดํ ์ฆ๊ฑฐ์ ์ถ์ด๋ผ๊ณ ๋ณผ ์ ์๋ค๊ณ ํ ์ฌ๋ก
ใ์ฐธ์กฐ์กฐ๋ฌธใ
[1] ํนํ๋ฒ ์ 62์กฐ, ์ 63์กฐ [2] ํนํ๋ฒ ์ 62์กฐ, ์ 63์กฐ
ใ์ฐธ์กฐํ๋กใ
[1][2] ๋๋ฒ์ 1986. 10. 14. ์ ๊ณ 83ํ74 ํ๊ฒฐ(๊ณต1986, 3036)
ใ์ ๋ฌธใ
ใ์ ๊ณ (ํํด)ใ ์ผ๋งํ๋ฃจ ์์ดํค์น
ใ์น๊ณ์ฐธ๊ฐ์ธใ ์๋ถ์ผ์ฝ๊ต ๊ฐ๋ถ์ํค๊ฐ์ด์ค(์์ก๋๋ฆฌ์ธ ๋ณ๋ฆฌ์ฌ ๊น๋ช
์ ์ธ 3์ธ)
ใํผ ๊ณ ใ ํนํ์ฒญ์ฅ
ใ๋ณ๋ก ์ข
๊ฒฐใ 1999. 8. 12.
ใ์ฃผ ๋ฌธใ
1. ์น๊ณ์ฐธ๊ฐ์ธ์ ์ฒญ๊ตฌ๋ฅผ ๊ธฐ๊ฐํ๋ค.
2. ์์ก๋น์ฉ์ ์น๊ณ์ฐธ๊ฐ์ธ์ ๋ถ๋ด์ผ๋ก ํ๋ค.
ใ์ฒญ๊ตฌ์ทจ์งใ ํนํ์ฌํ์์ด 1998. 11. 28. 98์756ํธ ์ฌ๊ฑด์ ๊ดํ์ฌ ํ ์ฌ๊ฒฐ์ ์ทจ์ํ๋ค๋ ํ๊ฒฐ์ ๊ตฌํ๋ค.
ใ์ด ์ ใ
1. ๊ธฐ์ด ์ฌ์ค
๋ค์์ ์ฌ์ค๋ค์ ๊ดํ์ฌ๋ ๋น์ฌ์ ์ฌ์ด์ ๋คํผ์ด ์๊ฑฐ๋, ๊ฐ ์ฑ๋ฆฝ์ ๋คํผ์ด ์๋ ์ ์ 12ํธ์ฆ์ 1, 2, ์ ์ 13ํธ์ฆ์ 1, 2, ์ ์ 14ํธ์ฆ์ ๊ฐ ๊ธฐ์ฌ์ ๋ณ๋ก ์ ์ ์ทจ์ง๋ฅผ ์ข
ํฉํ๋ฉด ์ด๋ฅผ ์ธ์ ํ ์ ์๋ค.
๊ฐ. ํนํ์ฒญ์์์ ์ ์ฐจ์ ๊ฒฝ์
(1) ์๊ณ (ํํด)๋ 1994. 3. 22. โ์ ์๋ถํ ์ ์กฐ ํ๋ ์ ์ ์ฒ๋ฆฌ์ฉ ๋ฐฉ๋ฒ ๋ฐ ์ฅ์นโ์ ๊ดํ ๋ฐ๋ช
์ ๊ดํ์ฌ ์ถ์๋ฒํธ 94-5807ํธ๋ก ํนํ์ถ์์ ํ์๋ค๊ฐ 1997. 11. 14. ํนํ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์๋ฅผ ๋ณด์ ํ์๋๋ฐ(์ด์ ๊ฐ์ด ๋ณด์ ๋ ๋ฐ๋ช
์ โ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
โ์ด๋ผ ํ๋ค), ํนํ์ฒญ ์ฌ์ฌ๊ด์ 1997. 12. 24. ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์์ ์ฃผ์ฅํ๋ ์ ์๋ถํ์ ์ ์กฐ๊ณต์ ์ ์ ํ๋ ์์ ํ๋ฉด์ ์๋น์ฒ๋ฆฌํ๋ ๊ตฌ์ฑ์, ์ ๋ฝ์์ 1991. 8. 14. ๊ณต๊ฐ๋ ์ ๋ฝ ํนํ๊ณต๊ฐ๊ณต๋ณด(0 441 300)์ ๊ธฐ์ฌ๋ ๋ฐ๋ช
(์ดํ โ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1โ์ด๋ผ ํ๋ค)์์ ์ ์กฐ๊ณต์ ์ค์ ํ๋ ์์ ํ๋ฉด์ ์ฐ๋ง์ ๋ฅผ ๋ถ์ฌํ์ฌ ํ๋ฉด์ฒ๋ฆฌํ๋ ๊ตฌ์ฑ๊ณผ ์ ์ฌํ๊ณ , ๋ฏธํฉ์ค๊ตญ์์ 1987. 6. 23. ๊ณต๊ฐ๋ ๋ฏธํฉ์ค๊ตญ ํนํ๊ณต๋ณด 4,674,238์ ๊ธฐ์ฌ๋ ๋ฐ๋ช
(์ดํ โ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
2โ๋ผ ํ๋ค)์์ ๋ฆฌ๋ํ๋ ์์ ํ๋ฉด์ ๋ถ์ฌํด์ ํ๋ ์์ ๋ฐ์กํ๋ ๊ตฌ์ฑ๊ณผ ์ ์ฌํ๋ฉฐ, ๋ค๋ง ์์๊ฐ์ ํ๋ ์์ ํ๋ฉด์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ๊ณต์ ์ ์ ํ๋๋ ์ ์กฐ๊ณต์ ์ค์ ํ๋๋์ ์ฐจ์ด๋ ์์ผ๋, ์ด ์ ๋์ ์ฐจ์ด๋ ์ ์ถ์๋ฐ๋ช
์ด ์ํ๋ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ํต์์ ์ง์์ ๊ฐ์ง ์(์ดํ โ๋น์
์โ๋ผ ํ๋ค)๊ฐ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ๊ณต์ ์ ๋ฐ๋ณต์คํ์ ํตํ์ฌ ์ถฉ๋ถํ ์์ธก ๊ฐ๋ฅํจ์ ๋ฌผ๋ก ์ด๊ณ , ์ด๋ก ์ธํ ์์ฉํจ๊ณผ๋ ํน์ดํ ์ ์ ๋ฐ๊ฒฌํ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก, ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1, 2๋ก๋ถํฐ ์ฉ์ดํ๊ฒ ๋ฐ๋ช
ํ ์ ์๋ค๋ ์ด์ ๋ก ๊ฑฐ์ ์ฌ์ ์ ํ์๋ค.
(2) ์๊ณ (ํํด)๋ ์ด์ ๋ถ๋ถํ์ฌ ์ ๊ฑฐ์ ์ฌ์ ์ ์ทจ์ ๋ฐ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ํนํ๋ฅผ ๊ตฌํ๋ ์ฌํ์ฒญ๊ตฌ๋ฅผ ํ์๋๋ฐ, ํนํ์ฌํ์์ ์ ์ฌํ์ฒญ๊ตฌ๋ฅผ 98์756ํธ ์ฌ๊ฑด์ผ๋ก ์ฌ๋ฆฌํ์ฌ 1998. 11. 28. ๋ค์์ ๋ผ.ํญ๊ณผ ๊ฐ์ ์ด์ ๋ก ์๊ณ (ํํด)์ ์ฌํ์ฒญ๊ตฌ๋ฅผ ๊ธฐ๊ฐํ๋ ์ฌ๊ฒฐ(์ดํ โ์ด ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐโ์ด๋ผ ํ๋ค)์ ํ์๋ค.
(3) ๊ทธ ํ ์๊ณ (ํํด)๋ 1999. 4. 9. ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๊ดํ์ฌ ํนํ๋ฅผ ๋ฐ์ ์ ์๋ ๊ถ๋ฆฌ๋ฅผ ์น๊ณ์ฐธ๊ฐ์ธ์๊ฒ ์๋ํ๊ณ 1999. 5. 3. ์ถ์์ธ ๋ช
์๋ณ๊ฒฝ์ ๊ณ ๋ฅผ ํ์๋ค.
๋. ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์์ง
์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๋ฆฌ๋ํ๋ ์๊ณผ ๊ฐ์ ์ ์๋ถํ ์ ์กฐ ํ๋ ์์ ์ ์ฒ๋ฆฌ(pretreating)ํ๊ธฐ ์ํ ๋ฐฉ๋ฒ ๋ฐ ์ฅ์น์ ๊ดํ ๊ฒ์ผ๋ก ๊ทธ ํนํ์ฒญ๊ตฌ์ ๋ฒ์ ์ 1ํญ(์ดํ โ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญโ์ด๋ผ ํ๋ค)์ โํ์นญ์ ์ํด ์ค๋น๋๋ ์ ์๋ถํ ์ ์กฐ์ฉ ํ๋ ์์ ์ ์ฒ๋ฆฌํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์์ด์, ์ ์ ๋ถํ ์ ์กฐ๋ฅผ ์ํด ํ๋ ์์ ์ฌ์ฉํ๊ธฐ ์ ์ ์๊ธฐ ํ๋ ์์ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ์ ๊ฑฐํ๊ธฐ ์ํด ์ํ๋๊ณ , ๊ณ ์์ ๊ธฐ๋ฅ์ ๋ถ์ ๋ 200ใ ์ดํ์ ํ๊ท ์ง๊ฒฝ์ ๊ฐ๋ ์ฐ๋ง์ ์
์๋ฅผ ์๊ธฐ ํ๋ ์์ ํฅํด ๋ถ์ฌํ๋ ๋จ๊ณ๋ฅผ ํฌํจํ์ฌ ๊ตฌ์ฑ๋๋ ๊ฒ์ ํน์ง์ผ๋ก ํ๋ ๋ฐฉ๋ฒโ์ด๊ณ , ๊ทธ ํนํ์ฒญ๊ตฌ์ ๋ฒ์ ์ 2ํญ ๋ด์ง ์ 6ํญ์ ์ 1ํญ์ ์ข
์ํญ์ด๋ฉฐ ์ 7ํญ์ ๊ด๋ จ ์ฅ์น์ ๊ดํ ๋ฐ๋ช
์ด๊ณ ์ 8ํญ ๋ด์ง ์ 12ํญ์ ์ 7ํญ์ ์ข
์ํญ์ด๋ค.
๋ค. ์ ๊ฑฐ์ ์ฌ์ ์์ ๊ณต์ง๊ธฐ์ ๋ก ๋ค๊ณ ์๋ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ์์ง
์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ์ ๋ฝ์์ 1991. 8. 14. ๊ณต๊ฐ๋ ์ ๋ฝ ํนํ๊ณต๊ฐ๊ณต๋ณด(0 441 300)์ ๊ธฐ์ฌ๋ ๋ฐ๋ช
์ธ๋ฐ, ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐํ๋ฉด์ ํ๋ฉด์ฒ๋ฆฌ๊ณต์ ์ ๊ดํ ๊ฒ์ผ๋ก์ ๊ทธ ๊ตฌ์ฑ์ ํ๊ท ์
์ํฌ๊ธฐ๊ฐ 0.01๏ฝ3.0ใ์ ๋ฏธ์ธ์
์๋ฅผ ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐํ๋ฉด์ ๊ณ ์์ผ๋ก ๋ถ์ฌํ์ฌ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์ฆ์ฐฉ(deposition)ํ๊ฑฐ๋ ์๊ฐ(etching)์ ํ๋ ๊ฒ์ด๋ค.
๋ผ. ์ด ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ ์ด์ ์ ์์ง
(1) ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ๊ณผ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ๋ชฉ์ ์ ์ฐจ์ด๊ฐ ์์ด ๋ณด์ด๋, ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ 1ํญ์ ๋ถ์ฌ๋
ธ์ฆ์ ์ด์ฉํ์ฌ ์ฐ๋ง์ ์
์๋ฅผ ๋ฆฌ๋ํ๋ ์์ ๋ถ์ฌ์ํค๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๊ดํ ๊ฒ์ด๊ณ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ๋ถ์ฌ๋
ธ์ฆ๋ก ์
์๋ฅผ ๋ถ์ฌํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ ๋ฐ ์ฅ์น์ ๊ดํ ๊ฒ์ผ๋ก์ ์ฐ์
์ ์ด์ฉ๋ถ์ผ๊ฐ ๋์ผยท์ ์ฌ ๋ฒ์ฃผ์ด๋ค.
์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ๊ณผ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ๊ตฌ์ฑ์ ๋๋นํ์ฌ ๋ณด๋ฉด, ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ์์ ์ฌ์ฉ๋๋ ์ฐ๋ง์ ์
์์ ํฌ๊ธฐ๊ฐ 200ใ ์ดํ๋ก์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์์ ์ฌ์ฉ๋๋ 0.01๏ฝ3.0ใ ํฌ๊ธฐ์ ๋ฏธ์ธ์
์์ ํฌ๊ธฐ๊ฐ ๋์ผ ๋ฒ์ฃผ์ ์ํ๋ฉฐ, ์ ์
์๋ฅผ ๊ณ ์ ๊ธฐ๋ฅ๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ๋ถ์ฌ์ํค๋ ์์ฉ์ด ๋์ผยท์ ์ฌ ๋ฒ์ฃผ์ธ ๊ฒ์ผ๋ก ์ธ์ ๋๋, ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ์ ์ฐ๋ง์ ๋ฅผ ๊ณ ์ ๋ถ์ฌ์์ผ ํ๋ ์ ์ ์์ ํ๋ ์์ ๋ด๋ถ์ ๋ฐ์๋ ์๋ ฅ์ ์ํ์ํค๋ ์์ฉ์ ํจ์ ๋ํ์ฌ, ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ๊ตฌ์ฑ์๋ ์ด๋ฌํ ์์ฉ์ด ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์์ง ์์ ์ ์์ ์ฐจ์ด๊ฐ ์๋ค.
์ ์ฐจ์ด์ ๋ํ์ฌ ์ดํด๋ณด๋ฉด, ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ์ ๋ฆฌ๋ํ๋ ์์ ๋ด์ฌ๋ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ๊ตญ๋ถ์ ์ธ ์ธ๋ถ์์์ ์ถฉ๊ฒฉ ๋ฑ์ ์ํด ๋ฌผ์ง์ ๋ด๋ถ์ ๋ด์ฌ๋ ์คํธ๋ ์ค๋ผ ํ ๊ฒ์ด๊ณ ์ด๋ฌํ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ์ ๋ฆฌ๋ํ๋ ์์ ์ํ์ง ์๋ ๋ณํ์ ๋ฐ์์ํค๋ ์์ธ์ด ๋ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก, ์ด๋ฅผ ์ ๊ฑฐํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ์ ๋ฆฌ๋ํ๋ ์์ ํ๋ฉด์ ๋ฏธ์ธ์
์๋ฅผ ์ถฉ๋์์ผ ์ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ์ํ์ํฌ ์ ์๋ค๋ ๊ฒ์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ๊ตฌ์ฒด์ ์ผ๋ก ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์์ง๋ ์์ผ๋ ๋ฏธ์ธ์
์๋ฅผ ์จ์ดํผ์ ์ถฉ๋์์ผ ์ป์ด์ง๋ ํจ๊ณผ ์ค์ ํ๋์ด๋ฉฐ, ๋ํ ์ด์ ๊ฐ์ ๊ธฐ์ ์ด ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ 1ํญ์ ํน์ง์ ์ธ ๊ตฌ์ฑ์์๋ผ ํ ์ ์์ด์, ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ์ ํต์ฌ ๊ตฌ์ฑ์ ๊ณ ์ ๊ธฐ๋ฅ๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ์ฐ๋ง์ ์
์๋ฅผ ๋ถ์ฌ์ํค๋ ๊ฒ์ด๋ผ ํ๊ฒ ๋๋ฐ, ์ด๋ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ๊ธฐ์ฌ๋ ๋ถ์ฌ๋
ธ์ฆ์ ๊ตฌ์ฑ๊ณผ ๋์ผยท์ ์ฌํ๊ณ ๊ทธ์ ๋ฐ๋ฅธ ์์ฉํจ๊ณผ๋ ๋น์
์๋ผ๋ฉด ๋๊ตฌ๋ ์์ธกํ ์ ์๋ ์ ๋์ ๊ฒ์ผ๋ก ํ๋จ๋๋ค.
๋ฐ๋ผ์ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ์ ๋น์
์๊ฐ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ์ํ์ฌ ์ฉ์ดํ๊ฒ ์์ถํด ๋ผ ์ ์๋ ๊ฒ์ด๊ณ , ๊ทธ์ ๋ฐ๋ฅธ ์์ฉํจ๊ณผ๋ ๋น์
์๊ฐ ์ฉ์ดํ๊ฒ ์์ธก ๊ฐ๋ฅํ ๊ฒ์ผ๋ก ์ธ์ ๋๋ค.
(2) ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ๊ณผ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
2๋ฅผ ๋๋นํ์ฌ ๋ณด๋ฉด, ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
2๋ ๋ฆฌ๋ํ๋ ์ ์ฒ๋ฆฌ์ฅ์น๋ก์ ๊ฐ๊ฐ์ ์ฐ์์ ์ธ ๋ฆฌ๋ํ๋ ์์ ์ ์ก ์ฒ๋ฆฌ ๋จ๊ณ์ ์ ๋นํ๋๋ก ๊ฐ์ ๋ ๊ฐ์ด๋ ๊ณต๊ธ์ฅ์น์ ๊ดํ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
๊ณผ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
2๋ ์ฐ์
์ ์ด์ฉ๋ถ์ผ๋ ์ ์ฌํ๋ ๋ชฉ์ ์ด ์์ดํ๊ณ , ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
2์๋ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ์ ๊ตฌ์ฑ๊ณผ ๋๋น๋๋ ๊ตฌ์ฑ์ด ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์์ง ์์์, ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
2์ ๊ธฐ์ ์ ๊ตฌ์ฑ์ด ์์ดํ ๊ฒ์ผ๋ก ์ธ์ ๋๋ฏ๋ก ๊ทธ ๋๋น๋ฅผ ์๋ตํ๊ธฐ๋ก ํ๋ค.
(3) ๊ฒฐ๊ตญ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ 1ํญ์ ๋น์
์๊ฐ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ์ํ์ฌ ์ฉ์ดํ๊ฒ ๋ฐ๋ช
ํ ์ ์๋ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก, ํนํ๋ฒ ์ 29์กฐ ์ 2ํญ์ ๊ท์ ์ ๋ค์ด ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ํนํ์ถ์์ ๊ฑฐ์ ํ ์์ฌ์ ์ ์ ๋นํ๋ค.
2. ๋น์ฌ์์ ์ฃผ์ฅ
๊ฐ. ์น๊ณ์ฐธ๊ฐ์ธ ์ฃผ์ฅ์ ์ฌ๊ฒฐ ์ทจ์ ์ฌ์
์น๊ณ์ฐธ๊ฐ์ธ์, ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ ์ด์ ๋ก ์ง๋ณด์ฑ์ด ์ธ์ ๋จ์๋ ๋ถ๊ตฌํ๊ณ ์ด ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ์ํ์ฌ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ง๋ณด์ฑ์ ๋ถ์ ํ์์ผ๋ฏ๋ก ์๋ฒํ์ฌ ์ทจ์๋์ด์ผ ํ๋ค๊ณ ์ฃผ์ฅํ๋ค.
(1) ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ํ์นญ์ ์ํด ์์ฑ๋ ์ ์๋ถํ ์ ์กฐ์ฉ ํ๋ ์์ ๋ํ์ฌ ์ ์๋ถํ์ ์ ์กฐ์ ์ด์ฉํ๊ธฐ ์ ์ ์ฐ๋ง์ ์
์๋ฅผ ๋ถ์ฌํ์ฌ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ์ ๊ฑฐํ๋ ๊ฒ์ด๊ณ , ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ๋ฏธ์ธ์
์๋ฅผ ์ ๋ฆฌ๊ธฐํ๊ณผ ๋ฐ๋์ฒด๊ธฐํ(์ค๋ฆฌ์ฝ์จ์ดํผ) ๋ฑ์ ํผ๊ฐ๊ณต๋ฌผ ํ๋ฉด์ ๋ถ์ฌํ์ฌ ๊ธ์๋ถ์ฐฉ๊ณผ ์์นญ์ ํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก์, ๊ทธ ๋ชฉ์ ๊ณผ ๊ตฌ์ฑ์ด ๋ค๋ฅด๋ค. ์ฆ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
๊ณผ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ์ฉ๋(๋ด๋ถ ์๋ ฅ ์ ๊ฑฐ/๊ธ์๋ถ์ฐฉ ๋๋ ์์นญ)์ ์ฒ๋ฆฌ๋์๋ฌผ(์ ์๋ถํ ์ ์กฐ์ฉ ๋ฆฌ๋ํ๋ ์/๋ฐ๋์ฒด๊ธฐํ) ๋ฐ ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ์ค์ํ๋ ์๊ธฐ(๋ฆฌ๋ํ๋ ์์ ์ ์๋ถํ์ ์ ์กฐ์ ์ด์ฉํ๊ธฐ ์ /์ ์๋ถํ ์์ฒด๋ฅผ ์ ์กฐํ๋ ๊ณต์ ์ค)์์ ์ฐจ์ด๊ฐ ์๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ๊ต์๋ด์ฉ์์ ๋ฒ์ด๋ ์๊ณ ๋น์
์๊ฐ ์ฉ์ดํ๊ฒ ์ถ๊ณ ํ ์ ์๋ค.
(2) ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์์ ๊ณต์ง๋ ์
์ ๋ถ์ฌ๋ฅผ, ํ๋ ์์ ์ ์ฒ๋ฆฌ๊ณผ์ ์์ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ์ ๊ฑฐํ๋ ๋ฏธ์ง์ ์ฉ๋(๋น์
์๊ฐ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ๋ณด๊ณ ๋ฏธ์ธ์
์๋ฅผ ๋ฆฌ๋ํ๋ ์์ ๋ถ๋ชํ๊ฒ ํจ์ผ๋ก์จ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ์ ๊ฑฐํ ์ ์๋ค๋ ๊ฒ์ ์๋ ๊ฒ์ ๋ถ๊ฐ๋ฅํ๋ค)์ ์ด์ฉํ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก, ์ฉ๋๋ฐ๋ช
์ผ๋ก์ ํนํ๋ฅผ ๋ฐ์ ์ ์๋ค.
(3) ํผ๊ณ ๋ ์์ฌ๊ฒฐ์ ๋ฒ์ ๋ด์์ ์ฌ์ค๊ด๊ณ๋ฅผ ์ฃผ์ฅํ๊ณ ์ฆ๊ฑฐ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ ์ถํ์ฌ์ผ ํ๋๋ฐ, ํผ๊ณ ๊ฐ ์ ์ถํ ์ ์ 1 ๋ด์ง 10ํธ์ฆ์ ์ด ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์์์ ํ๋จ๋ฒ์๋ฅผ ๋ฒ์ด๋๋ ์๋ก์ด ์ฆ๊ฑฐ๋ฐฉ๋ฒ์ด๋ฏ๋ก ์ด ์ฌ๊ฑด ์์ก์ ์ฌ๋ฆฌ๊ณผ์ ์์ ์ฆ๊ฑฐ๋ก ์ฌ์ฉํ ์ ์๊ณ , ์ค์ฌ ์ด ์ฌ๊ฑด ์์ก์์ ์ ์ 1 ๋ด์ง 10ํธ์ฆ์ ์ฆ๊ฑฐ๋ก ์ฌ์ฉํ ์ ์๋ค ํ๋๋ผ๋ ๊ทธ ๊ธฐ์ฌ๋ด์ฉ์ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
๊ณผ ๊ธฐ์ ๊ตฌ์ฑ์ด ๋ฌ๋ผ์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1๊ณผ ์กฐํฉํ์ฌ๋ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ์ ๋์ถํ ์๋ ์๋ค(์ทํผ๋ ์์ฒด๋ ์ฃผ์ง๊ธฐ์ ์ด์ง๋ง ์ด๋ค ์ฉ๋๋ก ์ด์ฉํ ๊ฒ์ธ๊ฐ๋ ์ฃผ์ง๊ธฐ์ ์ด๋ผ๊ณ ํ ์ ์๋ค).
๋. ํผ๊ณ ์ ์ฃผ์ฅ
ํผ๊ณ ๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ ์ด์ ๋ก ์ด ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ ์ ๋นํ๋ค๊ณ ์ฃผ์ฅํ๋ค.
(1) ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
๊ณผ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ์
์๋ถ์ฌ(shot peening) ๊ตฌ์ฑ์ ์์ด์๋ ๋์ผํ๋ฐ, ์
์๋ถ์ฌ ์ฒ๋ฆฌ ๋์๋ฌผ์ด๋ ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ์ค์ํ๋ ์๊ธฐ๋ ์ฉ๋์ ์ํ์ฌ ํ์ ๋ ์ ๋ฐ์ ์์ผ๋ฏ๋ก ์ฒ๋ฆฌ ๋์๋ฌผ์ด๋ ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ์ค์ํ๋ ์๊ธฐ๊ฐ ๋ค๋ฅด๋ค๊ณ ํ์ฌ ๋ฐ๋ก ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๋ํ์ฌ ์ง๋ณด์ฑ์ ์ธ์ ํ ์๋ ์๊ณ , ๊ฒฐ๊ตญ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ฉ๋์ ํนํ๋ฅผ ๋ถ์ฌํ ๋งํผ์ ์ฐฝ์์ ์์๊ฐ ์๋์ง์ ์ํ์ฌ ๊ทธ ์ง๋ณด์ฑ ์ ๋ฌด๊ฐ ๊ฒฐ์ ๋๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ์
์๋ถ์ฌ๊ฐ ์๋ ฅ ์ ๊ฑฐ์ ํจ์จ์ ์ด๋ผ๋ ๊ฒ์ ์ฃผ์ง์ ์ฌ์ค์ด๋ฏ๋ก ์
์๋ถ์ฌ๋ฅผ ํ๋ ์์ ์ ์ฒ๋ฆฌ์์ ๋ด๋ถ์๋ ฅ์ ์ ๊ฑฐํ๋ ์ฉ๋๋ก ์ด์ฉํ๋ ๊ฒ์ ๋จ์ํ ์ฃผ์ง์ ๊ธฐ์ ์ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ ์ฉํ๋ ์ ๋์ ๋ถ๊ณผํ๊ณ ๊ทธ ์ ์ฉ์ ๊ฐ๋ณํ ๊ณค๋์ฑ์ด ์๋ค๊ณ ๋ณผ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก, ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ฉ๋๊ฐ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ์ฉ๋์ ๋ค๋ฅด๋๋ผ๋ ์ด์ ์ฐฝ์์ ์์๊ฐ ์๋ค๊ณ ํ ์ ์์ด์ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ง๋ณด์ฑ์ด ์ธ์ ๋์ง ์๋ํ๋ค.
(2) ํผ๊ณ ๊ฐ ์ด ์ฌ๊ฑด ์์ก์์ ํ ์ ์ฃผ์ฅ์ด๋ ์ ์ถํ ์ฆ๊ฑฐ๋ค์ ๋ชจ๋ ์์ฌ๊ฒฐ์ ์ด์ ๋ฅผ ๋ณด์ถฉํ๊ฑฐ๋ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ถ์ ๋น์์ ๊ธฐ์ ์์ค์ ๋ํ๋ด๋ ๊ฒ๋ค์ด๋ฏ๋ก ์ด ์ฌ๊ฑด ์์ก์์ ๋ฐฐ์ฒ๋์ด์๋ ์ ๋๋ค.
3. ํ๋จ
๊ฐ. ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ๊ณผ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ๋๋นํ์ฌ ๋ณธ๋ค.
(1) ๋จผ์ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ์ ํนํ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์ ์ค โ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ์ ๊ฑฐํ๊ธฐ ์ํด ์ํ๋๊ณ โ์ ์๋ฏธ๋ฅผ ์ดํด๋ณด๊ฑด๋, ์ ๊ฐ ์ 12ํธ์ฆ์ 2์ ๊ธฐ์ฌ์ ์ํ๋ฉด, ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๋ช
์ธ์ ์ค ์์ธํ ์ค๋ช
์ ์ง์ ์ ์ผ๋ก โ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ์ ๊ฑฐํ๋คโ๋ ํํ์ ์์ผ๋, ์ 8 ๋ด์ง 9๋ฉด์ โ๋น๊ต์ ํฌ๊ธฐ๊ฐ ์์ ์ฐ๋ง์ ์
์๋ฅผ ๊ณ ์์ผ๋ก ๋ถ์ฌํ๋ ๊ฒ์ ์๊ธฐ ๋ด๋ถ์ ์๋ ฅ์ ํ๋ ์์ ์ ์ฒด์์ญ์ผ๋ก ๋ถ์ฐ์์ผ์ ๋ด๋ถ์ถฉ๊ฒฉ์ ์์ฉ์ ๋ฐฉ์งํ๊ฑฐ๋ ๊ฐ์์ํค๋๋ฐ ์๊ตฌ๋๋ ๋งํผ ์๊ธฐ ํ๋ ์์ ํ๋ฉด์ ๋จ๋จํ๊ฒ ํ๊ฒ ํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ํผ๋ํจ๊ณผ๋ฅผ ์ ๊ณตํ๋๋ฐ ํจ๊ณผ์ ์ผ ๊ฒ์ผ๋ก ์ฌ๊ฒจ์ง๋คโ๊ณ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์๊ณ , ๋ํ ์ 24๋ฉด์ โํฌ๊ธฐ์ ๋น์ค๋์ด ์๋์ ์ผ๋ก ์์ ์ ๋ฆฌ์
์๋ฅผ ๊ณ ์์ผ๋ก ๋ถ์ฌ์ํค๋ ๊ฒ์ ๋ฆฌ๋ํ๋ ์(F)์ ์ ์ฒด๋ถ๋ถ์ ๋ด๋ถ์ถฉ๊ฒฉ์ ๋ถ์ฐ์ํค๊ณ ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๋ด๋ถ์ถฉ๊ฒฉ์ ์ ๋ฆฌ๋ฅผ ๋ฐฉ์ง ๋๋ ๊ฐ์์ํค๊ธฐ ์ํด ์๊ตฌ๋๋ ๋ฆฌ๋ํ๋ ์(F)์ ํ๋ฉด์ ๊ฐํ์ํค๊ธฐ ์ํ ํผ๋ํจ๊ณผ(peening effect)๋ฅผ ์ ๊ณตํ๋๋ฐ ์ ์ฉํ ๊ฒ์ผ๋ก ๊ณ ๋ ค๋๋คโ๊ณ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์๋ ์ฌ์ค์ ์ธ์ ํ ์ ์๋๋ฐ, ์ด์ ์ํ๋ฉด ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ์ โ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ์ ๊ฑฐํ๊ธฐ ์ํด ์ํ๋๊ณ โ๋ ๋ฆฌ๋ํ๋ ์์ ํ๋ฉด์ ๊ฐํ์ํค๋ ํผ๋ํจ๊ณผ์ ์ํ์ฌ ํ์นญ์ ์ํด ๋ฐ์๋ ๋ฆฌ๋ํ๋ ์์ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ๋ถ์ฐ์์ผ์ ๋ด๋ถ์ถฉ๊ฒฉ์ ๋ฐฉ์งํ๊ฑฐ๋ ๊ฐ์์ํจ๋ค๋ ์๋ฏธ๋ผ ํ ๊ฒ์ด๋ค.
(2) ์ด์ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ๊ณผ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ๋ฅผ ์ดํด๋ณด๋ฉด, ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ์ ์ ์์ ํ ์ ์กฐ์ฉ ํ๋ ์(์ ๊ฐ ์ 12ํธ์ฆ์ 2์ ์์ธํ ์ค๋ช
์ ์ํ๋ฉด ์ ์์์๋ IC ๋๋ LSI์ ๊ฐ์ ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ์น์ ๋ฆฌ๋ํ๋ ์์ ์๋ฏธํจ์ ์ ์ ์๋ค)์ ์ ์ฒ๋ฆฌํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก์ ํ๋ ์์ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ์ ๊ฑฐํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ๊ณ ์์ ๊ธฐ๋ฅ์ ๋ถ์ ๋ ์
์๋ฅผ ์ ํ๋ ์์ ๋ถ์ฌํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๊ดํ ๊ฒ์ด๊ณ , ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐํ๋ฉด์ ํ๋ฉด์ฒ๋ฆฌ๊ณต์ ์ ๊ดํ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ฏธ์ธ์
์๋ฅผ ๊ณ ์์ผ๋ก ๋ถ์ฌํ์ฌ ์ฆ์ฐฉ(deposition)์ ํ๊ฑฐ๋ ์๊ฐ(etching)์ ํ๋ ๊ณต์ ์ ๊ดํ ๊ฒ์ด์ด์, ์ ๋ฐ๋ช
์ ๋ชฉ์ ์์ ๋ค์ ์ฐจ์ด๊ฐ ์์ง๋ง, ๋ชจ๋ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ๊ณต์ ์ ํ ๋ถ๋ถ์ธ ์ ๊ณผ ์ฒ๋ฆฌ ๋์๋ฌผ์ ํ๋ฉด์ ๋ถ์ฌ๋
ธ์ฆ์ ํตํ์ฌ ๋ฏธ์ธ์
์๋ฅผ ๋ถ์ฌ์ํค๋ ์ ์์ ๋์ผํ๋ฏ๋ก ๊ทธ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ๊ฐ ๋์ผยท์ ์ฌ์ ๋ฒ์ฃผ์ ์ํ๋ค.
(3) ๋ค์์ผ๋ก ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ๊ณผ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ๊ตฌ์ฑ์ ๋๋นํ์ฌ ๋ณด๋ฉด, ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ์ ํต์ฌ ๊ตฌ์ฑ์์๋ ๊ณ ์์ ๊ธฐ๋ฅ์ ๋ถ์ ๋ 200ใ ์ดํ์ ํ๊ท ์ง๊ฒฝ์ ๊ฐ๋ ์ฐ๋ง์ ์
์๋ฅผ ํ๋ ์์ ํฅํด ๋ถ์ฌํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ด๊ณ , ์ด์ ๋์๋๋ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ๊ตฌ์ฑ์ ๊ณ ์์ผ๋ก 0.01๏ฝ3.0ใ์ ๋ฏธ์ธ์
์๋ฅผ ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐํ๋ฉด์ ๊ณ ์์ผ๋ก ๋ถ์ฌํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ธ๋ฐ, ๋ถ์ฌ ์
์์ ํฌ๊ธฐ์ ์์ด์ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ 1ํญ์์์ 200ใ ์ดํ๋ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ 0.01 - 3.0ใ๋ฅผ ํฌํจํ๊ณ ์๊ณ , ๋ถ์ฌ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์์ด์๋ ์ฐจ์ด๊ฐ ์์ผ๋ฏ๋ก ์ด ์ ์์๋ ๊ตฌ์ฑ์ด ๋์ผํ์ง๋ง, โ ์ฒ๋ฆฌ ๋์๋ฌผ์ด ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์์๋ ์ ์์ ํ ์ ์กฐ์ฉ ํ๋ ์์ธ๋ฐ ๋นํ์ฌ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์์๋ ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐํ์ด๊ณ , โก ์ฒ๋ฆฌ ์๊ธฐ๊ฐ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์์๋ ์ ์กฐ๊ณต์ ์ ์ด๊ณ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์์๋ ์ ์กฐ๊ณต์ ์ค์ด๋ผ๋ ์ฐจ์ด๊ฐ ์๋ค.
๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ๊ณผ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ์์ฉํจ๊ณผ๋ฅผ ๋๋นํ์ฌ ๋ณด๋ฉด, โข ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ์ ์์ฉํจ๊ณผ๋ ๋ด๋ถ์ ๋ฐ์๋ ์๋ ฅ์ ์ ๊ฑฐ์ํค๋ ๊ฒ์์ ๋ํ์ฌ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์์๋ ๊ทธ๋ฌํ ์์ฉํจ๊ณผ๋ฅผ ์ฐพ์๋ณผ ์ ์๋ ์ฐจ์ด๊ฐ ์๋ค.
๋. ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ๊ณผ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ์์ด์ ์ โ ๋ด์ง โข ์ฐจ์ด์ ์ ์๋ฏธ์ ๊ดํ์ฌ ์ดํด๋ณธ๋ค
(1) ์ฐ์ ํผ๊ณ ์ ์ฃผ์ฅ๊ณผ ๊ฐ์ด ๋ฏธ์ธ์
์๋ฅผ ๋ถ์ฌํ์ฌ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ์ ๊ฑฐํ๋ ๊ธฐ์ ์ด ์ฃผ์งยท๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ ์ธ์ง์ ๊ดํ์ฌ ๋ณธ๋ค.
๊ฐ ์ฑ๋ฆฝ์ ๋คํผ์ด ์๋ ๊ฐ ์ 7ํธ์ฆ, ์ ์ 18ํธ์ฆ์ 1, 2, ์ ์ 19ํธ์ฆ์ 1, 2, ๊ฐ ์ 20ํธ์ฆ์ 1, 2์ ๊ฐ ๊ธฐ์ฌ์ ๋ณ๋ก ์ ์ ์ทจ์ง๋ฅผ ์ข
ํฉํ๋ฉด, 1982๋
์ ๋๊ด์๋ฆผ์ด ๋ฐํํ ์ต๊ตฌ์ฐ ์ธ 4์ธ ๊ณต์ญ(๊ณต์ญ) โ์ ๋ฐ๊ณต์๋ฒโ(์ ์ 18ํธ์ฆ์ 1, 2)์ ๋จธ๋ฆฌ๋ง์ ์ ์ฑ
์ด โ์ผ๋ฐ ๊ธฐ๊ณ๊ณต์ฅ ๊ธฐ์ ์๋ ๋ฌผ๋ก ๊ธฐ๊ณํ์ ์ ๊ณตํ๋ ๋ํ์์ด๋ ๊ธฐ๋ฅ๊ณต์ ์ง๋งํ๋ ์ดํ์์๊ฒ๋ ๋ง์ ๋์์ด ๋ ๊ฒ์ ์์ฌ์น ์๋๋คโ๊ณ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์๊ณ , 467 ๋ด์ง 473๋ฉด์ โ๊ฒฝํ๋ ์ฒ ์ ์์ ๊ตฌ๋ฅผ ๊ณต์๋ฌผ์ ํ๋ฉด์ ๋ถ์ฌํ์ฌ ๊ทธ ํ๋ฉด์ ๋ฏธ๋ํ๊ฒ ํ๋ ๋์์ ํ๋ฉด์ ๊ฐ๊ณตํ๊ณ ํผ๋ก๊ฐ๋๋ ๊ธฐํ ๊ธฐ๊ณ์ ์ฑ์ง์ ํฅ์์ํค๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ด ์ผํธํผ์ด๋(shot-peening)์ด๋ค. (์ค๋ต) ์ผํธํผ์ด๋์ 1930๋
๊ฒฝ๋ถํฐ ์คํ๋ง์ฌ๋ฃ์ ์์ฉ๋๊ธฐ ์์ํ์ฌ ๊ทธ ํผ๋ก๊ฐ๋๋ฅผ ๋์ด๋๋ฐ ์ฌ์ฉ๋์๋ค(467๋ฉด). (์ค๋ต) ์ผํธํผ์ด๋์ ํ ๊ธ์์ ํ๋ฉด์ ๊ทธ ๊ฒฐ์ ๋ฆฝ์ด ๋ณํํ๊ณ ๋ฏธ์ธํํ์ฌ ๊ฐ๊ณต๊ฒฝํ๋ฅผ ์ผ์ผํค๋ ๋์์ ํ๋ฉด์๋ ์์ถ์๋ฅ์๋ ฅ์ด ์๊ธฐ๊ณ ํผ๋ก๊ฐ๋๊ฐ ์ฆ๊ฐํ์ฌ ๊ธฐ๊ณ๋ถํ์ผ๋ก์์ ์๋ช
์ ํ์ ํ๊ฒ ์ฆ๊ฐ์ํจ๋ค(471๋ฉด). (์ค๋ต) ์์ปจ๋ฐ ์ผํธํผ์ด๋์ ์ํด์๋ ๊ณต์๋ฌผ์ ํ๋ฉด์ธต์ด ๊ฐ๊ณต๊ฒฝํํ๋ฏ๋ก ๊ธฐ๊ณ๋ถํ์ผ๋ก์ ํ๋ฉด์ ์ต๋์๋ ฅ์ด ์์ฉํ๋ ๋ถ๋ถ ์ฆ ๊ตฝํ์ด๋ ๋นํ์ ์๋ ฅ์ ๋ฐ๋ ๋ถ๋ถ์ ์ฌ์ฉํ๋ฉด ํจ๊ณผ๊ฐ ์๊ณ (473๋ฉด) (ํ๋ต)โ๋ผ๊ณ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์๋ ์ฌ์ค, 1989๋
์ฒญ๋ฌธ๊ฐ์ด ๋ฐํํ ๊น๋์ ์ โ๊ธฐ๊ณ๊ณต์๋ฒ(๊ฐ์ ์ฆ๋ณดํ)โ(์ ์ 19ํธ์ฆ์ 1, 2) 542๋ฉด์ โ์ผํธํผ์ด๋์ผ๋ก ํ๋ฉด๋ง์ ์ด์ฒ๋ฆฌ์ ์ํ์ง ์๊ณ ๊ฒฝ(๊ฒฝ)ํ๊ฒ ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ ์์ถ์๋ ฅ์ ์๋ฅ์๋ ฅ์ด ๊ณต์๋ฌผ๋ด๋ถ์ ๋ฐ์ํ์ฌ ์๋ ฅ์ ํํ์ํ๊ฐ ๋๋คโ๊ณ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์๋ ์ฌ์ค, 1981๋
๋ฌธ์ด๋น์ด ๋ฐํํ ๊ฐ๋ช
์ ์ธ 1์ธ ์ โ์ต์ ๊ธฐ๊ณ๊ณต์๋ฒโ(์ ์ 20ํธ์ฆ์ 1, 2) 614๋ฉด์ โ์ผํธํผ์ด๋์ ....... ๊ฒฝํํ ์์ฒ ๊ตฌ(์์ฒ ๊ตฌ)๋ฅผ ๊ณต์๋ฌผ ํ๋ฉด์ ๋ถ์ฌํ์ฌ ํ๋ฉด์ ๋งค๋ํ๊ฒ ํ๋ ๋์์ ๊ฐ๊ณตํ๊ณ ํผ๋ก๊ฐ๋์ ๊ทธ๋ฐ์ ๊ธฐ๊ณ์ ์ฑ์ง์ ํฅ์์ํค๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ด๋คโ๋ผ๊ณ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์๋ ์ฌ์ค, ์ผ๋ณธ๊ตญ์์ 1982๋
์ ๋ฐํ๋ ํ๋ณธ ์ค์ธ 10์ธ ์ , โ๊ธฐ๊ณ๊ณตํ์ ์ 2โ(๊ฐ ์ 7ํธ์ฆ) 246 ๋ด์ง 248๋ฉด์ โ์ทํผ๋์ ํ๊ท ์ง๊ฒฝ 1ใ ์ ํ์ ๊ฐ์ฒ ๊ตฌ๋ฅผ ๊ณ ์๋๋ก ๋ถ์ฌ์ ํ๋ฉด์ ๋ถ๋ช์ณ์ ํ์ธต๋ถ์ ๋ฐ์ํ๋ ์์ถ์๋ฅ์๋ ฅ๊ณผ ๊ฐ๊ณต๊ฒฝํ์ ์ํด ๋ถ์ฌ์ ํผ๋ก๊ฐ๋๋ฅผ ์์น์ํค๋ ํ๋ฉด๊ฐ๊ณต์ฒ๋ฆฌ์ด๋ค. (์ค๋ต) ํํ๋ถ๋ณด๋ค๋ ์ ๊ฐ๋ถ์ ๋ํด ๋ํ ๋ํ์ ๋ถ์ฌ๋ณด๋ค๋ ์์ ๋ถํ์ ๋ํด ๊ทธ ํจ๊ณผ๊ฐ ๊ธฐ๋๋๋ค. (์ค๋ต) ๊ทธ ํ์ค๋ฐฉํฅ์ผ๋ก ๋ฏธ๋ฆฌ ์ผ์ ํ ์๋ ฅ ๋๋ ๋คํ๋ฆผ์ ๊ฐํ๋ ์ํ์์ ์ทํผ๋์ ์ค์ํ๋ฉด ๋งค์ฐ ์ ํจํ๋คโ๊ณ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์๋ ์ฌ์ค์ ์ธ์ ํ ์ ์๊ณ ๋ฌ๋ฆฌ ๋ฐ์ฆ์ด ์๋๋ฐ, ์ ์ธ์ ์ฌ์ค์ ์ํ๋ฉด, ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
๊ณผ๋ ๋ถ์ฌํ๋ ์
์์ ํฌ๊ธฐ์๋ ์ฐจ์ด๊ฐ ์์ง๋ง ๋ฏธ์ธ์
์๊ฐ ํ๋ฉด์ ์ต๋์๋ ฅ์ด ์์ฉํ๋ ๋ถ๋ถ ์ฆ ๊ตฝํ์ด๋ ๋นํ๋ฆผ์ ์ํ์ฌ ์๋ ฅ์ ๋ฐ๋ ๋ถ๋ถ์ ๋ถ์ฌ๋๋ฉด ์์ถ์๋ฅ์๋ ฅ์ด ์๊ธฐ๊ณ ํผ๋ก๊ฐ๋๊ฐ ์ฆ๊ฐํ์ฌ ๊ธฐ๊ณ๋ถํ์ผ๋ก์์ ์๋ช
์ ํ์ ํ ์ฆ๊ฐ์ํค๋ ํจ๊ณผ๊ฐ ์๋ค๋ ๊ฒ์ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ด ํนํ์ถ์ ๋๊ธฐ ํจ์ฌ ์ ๋ถํฐ ๊ธฐ๊ณ๋ถ์ผ์ ์ดํ์๋ฅผ ๋์์ผ๋ก ํ๋ ์์ ์ ๋น๋กฏํ์ฌ ์ผ๋ฐ์ ์ธ ๊ธฐ์ ์์ ์ ๋๋ฆฌ ์๊ฐ๋์ด ์์์ ์ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก, ๋ฏธ์ธ์
์๋ฅผ ๋ถ์ฌํ์ฌ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ์ ๊ฑฐํ๋ ๊ธฐ์ ์ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ํนํ์ถ์ ๋น์ ๊ทธ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ์ฃผ์งยท๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ ์ด๋ผ ํ ๊ฒ์ด๋ค.
(2) ์ด๋ฅผ ํ ๋๋ก ํ์ฌ ๋ณด๋ฉด, ์ ์์ ํ ์ ์กฐ์ฉ ๋ฆฌ๋ํ๋ ์๊ณผ ๊ฐ์ด ์์ ๋ถํ์ ๋ํ์ฌ ๋ฏธ์ธ์
์๋ฅผ ๊ณ ์์ผ๋ก ๋ถ์ฌํ์ฌ ํ์นญ์ ์ํ์ฌ ๋ฐ์ํ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ์ ๊ฑฐํ๋ค๋ ๊ฒ์ ๋น์
์๊ฐ ์ ์ฃผ์งยท๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ ๋ก๋ถํฐ ๋งค์ฐ ์ฉ์ดํ๊ฒ ์๊ฐํด ๋ผ ์ ์๊ณ ๊ทธ ์์ฉํจ๊ณผ๋ ์ ์ฃผ์งยท๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ ์ ๋ฒ์ฃผ๋ฅผ ๋ฒ์ด๋์ง ์์์ ์ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ ์๋ถํ ์ ์กฐ์ฉ ํ๋ ์์ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ์ ๊ฑฐํ๋ ค๋ฉด ๊ทธ ์ ์กฐ๊ณต์ ์ ์ ํ๋ ์์ ๋ํ์ฌ ๋ฏธ์ธ์
์๋ฅผ ๋ถ์ฌํ์ฌ์ผ ํจ์ ๋น์ฐํ ๊ฒ์ด๋ผ ํ ๊ฒ์ด๋ค.
๊ทธ๋ฌ๋ฏ๋ก ์ ์ฐจ์ด์ โ ๋ด์ง โข์ผ๋ก ์ธํ์ฌ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ์ด ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์ ๋ํ์ฌ ์ง๋ณด์ฑ์ด ์ธ์ ๋๋ค๊ณ ํ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก, ์น๊ณ์ฐธ๊ฐ์ธ์ (1) ์ฃผ์ฅ ๋ฐ (3) ์ฃผ์ฅ ์ค ํ๋จ๋ถ๋ ์ด์ ์๋ค.
๋ค. ๋ํ ์น๊ณ์ฐธ๊ฐ์ธ์ ์ฃผ์ฅ์ฒ๋ผ ๊ฑฐ์ ์ฌ์ ์ ๋ํ ์ฌ๊ฒฐ์ทจ์์์ก์์๋ ์์น์ ์ผ๋ก ๊ฑฐ์ ์ฌ์ ์์ ๋ค๊ณ ์์ง ์์ ์๋ก์ด ๊ฑฐ์ ์ด์ ๋ฅผ ์ฃผ์ฅํ๊ฑฐ๋ ์๋ก์ด ๊ณต์ง๊ธฐ์ ์ ๊ดํ ์ฆ๊ฑฐ๋ฅผ ์ ์ถํ๋ ๊ฒ์ ํ์ฉ๋์ง ์๋ํ์ง๋ง, ์์์ ์ธ์ ํ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๋ํ ๊ฑฐ์ ์ฌ์ ์์๋ โ์์ฉํจ๊ณผ์ ํน์ดํ ์ ์ ๋ฐ๊ฒฌํ ์ ์๋คโ๊ณ ํ์์ผ๋ฏ๋ก(์ด ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์์๋ โ๋ฆฌ๋ํ๋ ์์ ํ๋ฉด์ ๋ฏธ์ธ์
์๋ฅผ ์ถฉ๋์์ผ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ์ํ์ํฌ ์ ์๋ค๋ ๊ฒ์ ๋ฏธ์ธ์
์๋ฅผ ์จ์ดํผ์ ์ถฉ๋์์ผ ์ป์ด์ง๋ ํจ๊ณผ ์ค์ ํ๋โ๋ผ๊ณ ํ์๋ค) ์ด ์ฌ๊ฑด ์์ก์์ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ 1ํญ์ ์์ฉํจ๊ณผ๊ฐ ๊ทธ ํนํ์ถ์ ๋น์ ํด๋น ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ๋๋ฆฌ ์๋ ค์ง ๊ธฐ์ ์ฆ ์ฃผ์งยท๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ ๊ณผ ๊ฐ๋ค๊ณ ์ฃผ์ฅํ๋ ๊ฒ์ ๊ฑฐ์ ์ฌ์ ์์ ๋ค๊ณ ์์ง ์์ ์๋ก์ด ๊ฑฐ์ ์ด์ ๋ฅผ ์ฃผ์ฅํ๋ ๊ฒ์ด๋ผ๊ณ ํ ์ ์๊ณ , ๋ํ ์ ์ฃผ์งยท๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ ์ ์ธ์ ํจ์ ์์ด์ ์์๋ก ๋ ์๋ฃ์ธ ์ ๊ฐ ์ 7ํธ์ฆ, ์ ์ 18ํธ์ฆ์ 1, 2, ์ ์ 19ํธ์ฆ์ 1, 2, ๊ฐ ์ 20ํธ์ฆ์ 1, 2๋ฅผ ๊ฐ๋ฆฌ์ผ ๊ฑฐ์ ์ฌ์ ์์ ๋ค์ง ์๋ํ ์๋ก์ด ์ฆ๊ฑฐ๋ผ๊ณ ๋ ํ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก( ๋๋ฒ์ 1986. 10. 14. ์ ๊ณ 83ํ74 ํ๊ฒฐ ์ฐธ์กฐ), ์น๊ณ์ฐธ๊ฐ์ธ์ (3) ์ฃผ์ฅ ์ค ์ ๋จ๋ถ๋ ์ด์ ์๋ค.
๋ผ. ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๋ฏธ์ธ์
์๋ฅผ ๋ถ์ฌํ์ฌ ๋ด๋ถ ์๋ ฅ์ ์ ๊ฑฐํ๋ ๊ธฐ์ ์ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ํนํ์ถ์ ๋น์ ์ฃผ์งยท๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ ์ธ ์ด์ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ์ด ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1์์ ๊ณต์ง๋ ๊ธฐ์ ์ ๋ฏธ์ง์ ์ฉ๋์ ์ด์ฉํ ๊ฒ์ด๋ผ๊ณ ํ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก, ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ์ด ์ฉ๋๋ฐ๋ช
์ผ๋ก ํนํ๋ฅผ ๋ฐ์ ์ ์๋ค๊ณ ๋ ํ ์ ์๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์น๊ณ์ฐธ๊ฐ์ธ์ (2) ์ฃผ์ฅ๋ ์ด์ ์๋ค.
๋ง. ๊ฒฐ๊ตญ ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ 1ํญ์ ๋น์
์๊ฐ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
1๊ณผ ์ ์ฃผ์งยท๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ ์ ์ํ์ฌ ์ฉ์ดํ๊ฒ ๋ฐ๋ช
ํ ์ ์๋ค ํ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก ํนํ๋ฒ ์ 29์กฐ ์ 2ํญ์ ์ํ์ฌ ํนํ๋ฅผ ๋ฐ์ ์ ์๊ณ , ํนํ์ถ์์ ์์ด์ ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์๊ฐ 2 ์ด์์ ํญ์ธ ๊ฒฝ์ฐ์ ํ๋์ ํญ์ด๋ผ๋
๊ฑฐ์ ์ด์ ๊ฐ ์๋ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๊ทธ ์ถ์์ ์ ๋ถ ๊ฑฐ์ ๋์ด์ผ ํ๋ฏ๋ก, ์ด ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๋ํ ๊ฑฐ์ ์ฌ์ ์ด ์ ๋นํ๋ค๊ณ ํ ์ด ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ ์ ๋ฒํ๋ค.
4. ๊ฒฐ๋ก
๊ทธ๋ ๋ค๋ฉด ์น๊ณ์ฐธ๊ฐ์ธ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฒญ๊ตฌ๋ ์ด์ ์์ผ๋ฏ๋ก ์ด๋ฅผ ๊ธฐ๊ฐํ๊ณ ์์ก๋น์ฉ์ ํจ์์์ธ ์น๊ณ์ฐธ๊ฐ์ธ์ ๋ถ๋ด์ผ๋ก ํ์ฌ ์ฃผ๋ฌธ๊ณผ ๊ฐ์ด ํ๊ฒฐํ๋ค.
ํ์ฌ ์ด์๊ฒฝ(์ฌํ์ฅ) ์ต์ฑ์ค ๊ฐ๋์ธ
|
|
๋๊ธ 0๊ฐ
๋ก๊ทธ์ธ ํ์๋ฉด, ํ๋ก ๋๊ธ์ ๋ฑ๋กํ์ค ์ ์์ต๋๋ค.
๋ค์ด๋ฒ ๊ฒ์
๋ธ๋ก๊ทธ
์นดํ
๋ด์ค
์น์ฌ์ดํธ
|
|
[ ์ฐธ์กฐํ๋ก ์ฒด๊ณ๋ ]
-
[ ๋ฒ๊ด/๋๋ฒ๊ด ํ๊ทธ]
|