|
+
-
๋ถ๋งํฌ ์ ์ฅ
ํนํ1์ฌ์ฌ๊ฑด
ํนํ๋ฒ์ 2003. 10. 29. ์ ๊ณ 2002ํ5234 ํ๊ฒฐ
[๊ฑฐ์ ๊ฒฐ์ (ํน)] ํ์ [๊ฐ๊ณต2003.12.10.(4),753]
ใํ์์ฌํญใ
[1] ๊ฑฐ์ ๊ฒฐ์ ์์ ๋ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๊ธฐ์ฌ๋ ์ข
๋์ ๊ธฐ์ ์ด ์ฃผ์ง๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ ์ด๊ณ ์ด๋ฅผ ๊ทผ๊ฑฐ๋ก ๋ถ๋ณต์ฌํ์ฒญ๊ตฌ๋ฅผ ๊ธฐ๊ฐํ๋ ์ฌ๊ฒฐ์ ํจ์ ์์ด์ ์ถ์์ธ(์ฌํ์ฒญ๊ตฌ์ธ)์๊ฒ ํนํ๋ฒ ์ 63์กฐ์ ์ํ ์๊ฒฌ์ ์ถ๊ธฐํ ๋ฐ ๊ฐ์ ๋ฒ ์ 47์กฐ์ ์ํ ๋ณด์ ์ ๊ธฐํ๋ฅผ ์ฃผ์ด์ผ ํ๋์ง ์ฌ๋ถ(์๊ทน)
[2] ๋ช
์นญ์ด ์ ์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์๋
์ฅ์น์ธ ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๊ณผ์ฐํ์์ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ด๊ท ์์คํ
์ด๋ผ๋ ๋ช
์นญ์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๋นํ์ฌ ์ง๋ณด์ฑ์ด ์๋ค๊ณ ํ ์ฌ๋ก
ใํ๊ฒฐ์์งใ
[1] ์ฌ๊ฒฐ์ ๋ด์ฉ์ด 'ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ์์ฅ์น๋ก ์ ๋๊ฒฐํฉํ ์ฅ์น ์ด์ธ์ ์ฉ๋๊ฒฐํฉํ ์ฅ์น๊ฐ ์๋ค๋ ๊ฒ์ ๋นํด ๋ถ์ผ์์ ๋๋ฆฌ ์๋ ค์ง ์ฃผ์ง๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ '์์ ์ธ์ ํ๋ฉด์ '์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๋ช
์ธ์์ ๊ธฐ์ฌ๋ ์ ํ๊ธฐ์ ์ ๋ชจ๋ ์ฉ๋๊ฒฐํฉํ ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ์์ฅ์น'์์ ์ค์ํ๊ณ ์๋ค๋ฉด ๊ทธ ์ฌ๊ฒฐ์์์ '์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๋ช
์ธ์์ ๊ธฐ์ฌ๋ ์ ํ๊ธฐ์ '์ ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ถ์ ๋น์ ํด๋น ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ํต์์ ์ง์์ ๊ฐ์ง ์์๊ฒ ์ฃผ์งยท๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ ์ด ๋ฌด์์ธ์ง๋ฅผ ์ธ์ ํจ์ ์์ด์ ๊ทธ ์์๋ก ๋ ํ๋์ ์๋ฃ์ ๋ถ๊ณผํ์ฌ ๊ฑฐ์ ๊ฒฐ์ ์์ ๋ค์ง ์๋ํ ์ ์๋ฃ๋ฅผ ์ฌ๊ฒฐ์ด ๊ฑฐ์ํ์๋ค๊ณ ํ๋๋ผ๋ ์ฌ๊ฒฐ์ด ๊ฑฐ์ ๊ฒฐ์ ๊ณผ ๋ค๋ฅธ ๋ณ๊ฐ์ ๊ฑฐ์ ์ด์ ๋ฅผ ๋ด์ธ์ด ๊ฒ์ด๋ผ๊ณ ๋ ํ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก, ํนํ์ฌํ์์ด ์ถ์์ธ์๊ฒ ์๋ก์ด ํนํ๋ฒ ์ 63์กฐ์ ์ํ ์๊ฒฌ์ ์ถ๊ธฐํ ๋ฐ ๊ฐ์ ๋ฒ ์ 47์กฐ์ ์ํ ๋ณด์ ์ ๊ธฐํ๋ฅผ ์ฃผ์ง ์์๋ค๊ณ ํ๋๋ผ๋ ์๋ฒํ๋ค๊ณ ํ ์ ์๋ค.
[2] ๋ช
์นญ์ด ์ ์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์๋
์ฅ์น์ธ ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๊ณผ์ฐํ์์ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ด๊ท ์์คํ
์ด๋ผ๋ ๋ช
์นญ์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๋นํ์ฌ ์ง๋ณด์ฑ์ด ์๋ค๊ณ ํ ์ฌ๋ก.
ใ์ฐธ์กฐ์กฐ๋ฌธใ
[1] ํนํ๋ฒ ์ 29์กฐ ์ 2ํญ, ์ 47์กฐ, ์ 63์กฐ/ [2] ํนํ๋ฒ ์ 29์กฐ ์ 2ํญ
ใ์ฐธ์กฐํ๋กใ
[1] ๋๋ฒ์ 1986. 10. 14. ์ ๊ณ 83ํ74 ํ๊ฒฐ(๊ณต1986, 3036)
ใ์ ๋ฌธใ
ใ์ ๊ณ ใ ์ฃผ์ํ์ฌ ํด๋จผ๋ฉ๋ํ
(์์ก๋๋ฆฌ์ธ ๋ณ๋ฆฌ์ฌ ๋ฐ์ฐ๊ทผ)
ใํผ ๊ณ ใ ํนํ์ฒญ์ฅ
ใ๋ณ๋ก ์ข
๊ฒฐใ 2003. 8. 29.
ใ์ฃผ ๋ฌธใ
1. ์๊ณ ์ ์ฒญ๊ตฌ๋ฅผ ๊ธฐ๊ฐํ๋ค.
2. ์์ก๋น์ฉ์ ์๊ณ ์ ๋ถ๋ด์ผ๋ก ํ๋ค.
ใ์ฒญ๊ตฌ์ทจ์งใ ํนํ์ฌํ์์ด 2002. 7. 2. 2001์855ํธ ์ฌ๊ฑด์ ๊ดํ์ฌ ํ ์ฌ๊ฒฐ์ ์ทจ์ํ๋ค.
ใ์ด ์ ใ
1. ๊ธฐ์ด์ฌ์ค
๊ฐ. ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
๊ณผ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
(1) ์๊ณ ๋ ๋ช
์นญ์ด ์ ์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์๋
์ฅ์น์ด๊ณ , ๋ณ์ง 2. ๋๋ฉด ๊ธฐ์ฌ์ ๊ฐ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
[(์ถ์๋ฒํธ ์๋ต), ์ถ์์ผ 1998. 7. 13.]์ ์ถ์์ธ์ด๋ค.
(2) ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๋ฌผ๊ฑด์ ์๋
์ฒ๋ฆฌํ ๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ด์์ ๊ณผ์ฐํ์์์ ๊ณต๊ธฐ๊ฐ ๋ถํด๋๋ฉด์ ๋ฐ์ํ๋ ๋ถ์ฐ๋ฌผ์ด ์๋
๋ ๋ฌผ์ฒด์ ํ๋ฉด์ ๋
์ฑ์ ์์กด๋ฌผ์ ๋จ๊ธฐ์ง ์๋ ์ ์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์๋
์ฅ์น์ ๊ดํ ๊ฒ์ผ๋ก์, ํนํ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์(๋ณด์ ๋ ๊ฒ)๋ ์๋์ ๊ฐ๋ค.
1. ํฌ์ฅ์ฌ๋ฃ(10)์ ์์ธ ๋ฌผ์ฒด(9)๋ฅผ ๋๊ณ ์๋ถ์ ์ ๋
ธ์ฐ๋(2)๊ฐ, ํ๋ถ์ ์บ์์ฐ๋(3)๊ฐ ๊ฐ๊ฐ ์ค์น๋๋ ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ(1)์, ์ ์ ๋
ธ์ฐ๋(2)์ ์ ๋์กฐ์ ๊ธฐ(4)๋ฅผ ํตํด ์ฃผ์
๊ฐ์ด๊ธฐ(5)๊ฐ, ์ ์บ์์ฐ๋(3)์ ์ํผ๋์ค ๋งค์นญํ๋ก(6)์ ์ํผ๋์ค ๋งค์นญ์กฐ์ ๊ธฐ(7)๋ฅผ ํตํด ๊ณ ์ฃผํ๋ฐ์๊ธฐ์ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ ๋ ฅ์(8)์ด, ์ ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ(1) ํ๋ถ์ ์ง๊ณตํํ(11)๊ฐ ๊ฐ๊ฐ ์ค์น๋์ด, ๊ณผ์ฐํ์์์ฉ์ก(12)์ ์ฃผ์
๊ฐ์ด๊ธฐ(5)๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ์ผ์ฐจ์ ์ผ๋ก ๊ธฐ์ฒด์ํ๋ก ๋ง๋ ํ, ๊ณต๊ธฐ์ ํผํฉํ์ฌ ์ ๋์กฐ์ ๊ธฐ(4)๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ์ํ๋ ์๋ ฅ์ผ๋ก ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ(1)๋ด์ ์๋ ฅ์ ์กฐ์ , ์ฃผ์
ํ์ฌ ์ํ๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ ๋ ฅ์(8)์ ์ธ๊ฐํ์ฌ ์ ์จ์ ๊ฐ๋ ์๋
์ ํํ ๊ฒ์ ํน์ง์ผ๋ก ํ๋ ์ ์จํ๋ผ์ฆ๋ง ์๋
์ฅ์น(์ดํ '์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
'์ด๋ผ ํ๋ค).
2. ์ 1ํญ์ ์์ด์, ์ ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ๋ ฅ์(8)์ด ๋จ์์ ์ผ๋ก ์ธ๊ฐํ๋ ๊ณ ์ฃผํ ์ ๋ ฅ์ธ๊ฐ๋ฐฉ์์ผ๋ก ๊ณ ์ฃผํ(RF 13.56MHz) ์ฉ๋๊ฒฐํฉํ์ ์ฌ์ฉํ ๊ฒ์ ํน์ง์ผ๋ก ํ๋ ์ ์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์๋
์ฅ์น.
3., 4. (์ญ์ )
5. ์ 1ํญ์ ์์ด์, ์ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ๋ฐ์์ํค๋ ๋ฐ ํ์ํ ๊ณ ์ฃผํ์ ๋ ฅ์ธ ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ๋ ฅ์(8)์ ๋ฐ์๊ฐ์ค์ ์๋
๋ ๋ฌผ์ฒด(9)์ ๊ณผ์ด์ ๋ฐฉ์งํ๊ธฐ ์ํด 13.56MHz์ ๊ณ ์ฃผํ์ ์์ 1KHz์ ์ฃผ๊ธฐ๋ก ์ ์์ ์ธ๊ฐํ ๊ฒ์ ํน์ง์ผ๋ก ํ๋ ์ ์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์๋
์ฅ์น.
(3) ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ์์ง
์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
(๋ณ์ง 2. ๋๋ฉด)์ 1998. 7. 12. ํนํ๋ ๋ฏธ๊ตญํนํ๊ณต๋ณด ์ 4,756,882ํธ(์ 1ํธ์ฆ)์ ๊ฐ์๋ ๊ณผ์ฐํ์์ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ด๊ท ์์คํ
์ด๋ผ๋ ๋ช
์นญ์ ๋ฐ๋ช
์ผ๋ก์, ๋ฐ๋ช
์ ๋ชฉ์ ์ ๋ฌผ์ฒด์ ํ๋ฉด์ด๋ ์๋ฃ๊ธฐ๊ตฌ์ ๊ฐ์ ์ ํ์ ๋ฏธ์๋ฌผ์ ์ด๊ท ์ํค๊ธฐ ์ํ ํ์ฑ์ข
(ํ์ฑ์ข
, active species)์ ์ ๊ตฌ์ฒด(์ ๊ตฌ์ฒด, precursor)๋ก์ ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ์ฑํํ ์ ์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ด๊ท ์์คํ
์ ์ ๊ณตํ๋ ๊ฒ์ด๊ณ , ๊ทธ ๊ตฌ์ฑ์ ์ด๊ท ์ํฌ ์ ํ์ ๊ณผ์ฐํ์์ ์ฉ์ก๊ณผ ์ ์ด์ํค๋ ๋จ๊ณ, ์๋ฅ ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ๋ณด์ ํ๊ณ ์๋ ์ ํ์ ์ด๊ท ์ฑ๋ฒ(chamber) ์์ผ๋ก ๋์
์ํค๋ ๋จ๊ณ, ์ด๊ท ์ฑ๋ฒ ์์์ ์ด๊ท ์ํฌ ์ ํ ์ฃผ์์ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ๋ฐ์์์ผ ์๋ฅ ๊ณผ์ฐํ์์๋ก๋ถํฐ ํ์ฑ์ข
์ ์์ฑ์ํค๋ ๋จ๊ณ ๋ฐ ์ด๊ท ์ํฌ ์ ํ์ ์๋ฅ ๊ณผ์ฐํ์์์ ํ์ฑ์ข
์ ์ํ์ฌ ์ด๊ท ์์ฉ์ ์ํํ๋๋ก 5 ๋ด์ง 50๋ถ ๋์ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์์์ ์ ์ง์ํค๋ ๋จ๊ณ๋ฅผ ํฌํจํ๋ ๊ฒ์ด๋ฉฐ, ๊ทธ ํจ๊ณผ๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ๊ณผ์ฐํ์์ ๋ถํด์ฐ๋ฌผ์ ๋ฌผ, ์ฐ์ ๋ฐ ์์๋ฅผ ํฌํจํ๋ฏ๋ก ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฒ๋ฆฌ ํ ์ด๊ท ๋ ์ ํ์๋ ๋
์ฑ์ด ์๋ ์๋ฅ๋ฌผ์ด ๋จ์ง ์๋ ๊ฒ์ด๋ค.
๋. ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ ๊ฒฝ์
(1) ํนํ์ฒญ์ 2001. 2. 27. ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ผ๋ก๋ถํฐ ์ด ๋ฐ๋ช
์ด ์ํ๋ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ํต์์ ์ง์์ ๊ฐ์ง ์๊ฐ ์ฉ์ดํ๊ฒ ๋ฐ๋ช
ํ ์ ์๋ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก ํนํ๋ฒ ์ 29์กฐ ์ 2ํญ์ ๊ท์ ์ ํด๋น๋์ด ํนํ๋ฐ์ ์ ์๋ค๋ ์ด์ ๋ก ๊ฑฐ์ ๊ฒฐ์ ์ ํ์๋ค.
(2) ์ด์ ์๊ณ ๋ 2001. 3. 30. ํนํ์ฌํ์์ ์ ๊ฑฐ์ ๊ฒฐ์ ์ ์ทจ์๋ฅผ ๊ตฌํ๋ ์ฌํ์ ์ฒญ๊ตฌํ์๊ณ , ํนํ์ฌํ์์ ์ ์ฌํ์ฒญ๊ตฌ ์ฌ๊ฑด์ 2001์855ํธ๋ก ์ฌ๋ฆฌํ์ฌ 2002. 7. 2. ์๋์ ๋ค.ํญ๊ณผ ๊ฐ์ ์ด์ ๋ก ์๊ณ ์ ์ฌํ์ฒญ๊ตฌ๋ฅผ ๊ธฐ๊ฐํ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ ํ์๋ค.
๋ค. ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ ์ด์ ์ ์์ง
(1) ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
๊ณผ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๋ชจ๋ ๊ณผ์ฐํ์์ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์๋ฃ๊ธฐ๊ตฌ์ ๊ฐ์ ๋ฌผ์ฒด ํ๋ฉด์ ๋ฏธ์๋ฌผ ๋ฑ์ ์ด๊ท ์ํค๋ ๊ฒ์ด์ด์ ๊ทธ ๋ชฉ์ ์ด ๋์ผํ๋ค.
(2) ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ์์ฅ์น๋ก์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ฉ๋๊ฒฐํฉํ ๋ฐ์์ฅ์น๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๊ณ , ๊ณผ์ฐํ์์ ์ฉ์ก์ ํ๋ผ์ฆ๋งํ์ ์์ ๊ธฐ์ฒด์ํ๋ก ๋ง๋ค๊ธฐ ์ํ ์ฃผ์
๊ฐ์ด๊ธฐ ๋ฑ์ ๊ฐ์ง๋ ๋ฐ ๋นํ์ฌ, ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ์ ๋๊ฒฐํฉํ ๋ฐ์์ฅ์น๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ฉฐ ๊ทธ ๋ช
์ธ์์ ์๋
ํ ๋ฌผํ์ ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ ๋ด์ ์์น์ํจ ํ ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ๋ฅผ ๋ซ๊ณ ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ ๋ด์ ๊ณต๊ธฐ๋ฅผ ๋ฐฐ๊ธฐ์์ผ ์ง๊ณต์ผ๋ก ํ๊ณ , ๊ณผ์ฐํ์์ ์ฉ์ก์ ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ ๋ด์ ๋ถ์ฌํ์ฌ ์ฝ 0.1 ๋ด์ง 10 Torr์ ์๋ ฅ์ด ๋๋๋ก ํ๋ค.๋ผ๋ ๊ธฐ์ฌ๊ฐ ์์ด ์ ๋ฐ๋ช
๊ฐ์๋ ์ฌ์ฉํ๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ์์ฅ์น์ ์ข
๋ฅ ๋ฐ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๊ณผ์ฐํ์์ ์ฉ์ก์ ํ๋ผ์ฆ๋งํ์ ์์ ๊ธฐ์ฒดํํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ์ฃผ์
๊ฐ์ด๊ธฐ๋ฅผ ๊ฐ๋ ์ ์์ ์ฐจ์ด๊ฐ ์์ผ๋, ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ์์ฅ์น๋ก ์ ๋๊ฒฐํฉํ ์ฅ์น ์ด์ธ์ ์ฉ๋๊ฒฐํฉํ ์ฅ์น๊ฐ ์๋ค๋ ๊ฒ์ ๋นํด ๋ถ์ผ์์ ๋๋ฆฌ ์๋ ค์ง ์ฃผ์ง๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ ์ผ ๋ฟ ์๋๋ผ, ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๋ช
์ธ์์ ๊ธฐ์ฌ๋ ์ ํ๊ธฐ์ ์ ๋ชจ๋ ์ฉ๋๊ฒฐํฉํ ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ์์ฅ์น์ ๊ดํ ๊ฒ์ด์ด์ ์ ๋ฐ๋ช
๊ฐ์ ์ฐจ์ด๋ ํน๋ณํ ์ ๋ ์ธ์ ๋์ง ์๋ํ๋ค.
(3) ์ ๋ฐ๋ช
์ ๋ชจ๋ ์๋
๋ ๋ฌผ์ฒด ํ๋ฉด์ ๋
์ฑ์ ์์กด๋ฌผ์ ๋จ๊ธฐ์ง ์๋ ํจ๊ณผ๋ฅผ ๊ฐ๊ณ ์ ํ๋ ๊ฒ์์ ๊ณ ๋ คํ ๋, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ฃผ์
๊ฐ์ด๊ธฐ ์ฌ์ฉ์ ๋ฐ๋ฅธ ์๋
ํจ๊ณผ๋ ๋ณ๋ค๋ฅธ ์ฐจ์ด๊ฐ ์ธ์ ๋์ง ์๋ํ๋ฉฐ, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๋ช
์ธ์๋ฅผ ๋ณด๋ฉด ๊ณ ๋๋์ ๊ณผ์ฐํ์์ ์ฌ์ฉ์ ๋ฐ๋ผ ์๋
์๊ฐ๊ณผ ์ ๋ ฅ์ ๊ฐ์์ํฌ ์ ์๋ค๋ ๊ธฐ์ฌ๊ฐ ์์ผ๋, ๋๋๋ฅผ ๋์์ผ๋ก์จ ์๋
ํจ์จ์ ๋์ด๋ ๊ฒ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์ ๋ฐ๋ช
์ด ์ํ๋ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ํต์์ ์ง์์ ๊ฐ์ง ์๋ผ๋ฉด ํน๋ณํ ์ด๋ ค์ ์์ด ์ฉ์ดํ๊ฒ ์๊ฐํด๋ผ ์ ์๋ ์ ๋์ ๊ฒ์ด๋ค.
(4) ๋ฐ๋ผ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
๊ณผ ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ์์ฅ์น ๋ฑ์์ ์ฝ๊ฐ์ ์ฐจ์ด๋ ์์ง๋ง, ๊ทธ ์ฐจ์ด๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์ ๋ฐ๋ช
์ด ์ํ๋ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ํต์์ ์ง์์ ๊ฐ์ง ์๋ผ๋ฉด ์๋ฌด๋ฐ ์ด๋ ค์ ์์ด ์๊ฐํด๋ผ ์ ์๋ ์ ๋์ ๋ถ๊ณผํ์ฌ ๊ทธ๋ก๋ถํฐ ์ฉ์ดํ๊ฒ ๋ฐ๋ช
ํ ์ ์๋ ๊ฒ์ด๋ค.
(5) ํนํ์ถ์๋ ์ฒญ๊ตฌํญ ์ค ์ด๋ ํ๋๋ผ๋ ๊ฑฐ์ ์ด์ ๊ฐ ์์ ๋์๋ ๊ทธ ํนํ์ถ์์ ๊ฑฐ์ ๊ฒฐ์ ๋์ด์ผ ํ๋ฏ๋ก ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๋๋จธ์ง ์ฒญ๊ตฌํญ์ ๋ํ์ฌ ์ดํ ํ์ ์์ด ํนํ๋ฅผ ๋ฐ์ ์ ์๋ค.
2. ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ ์ ๋ฒ ์ฌ๋ถ์ ๋ํ ๋น์ฌ์๋ค์ ์ฃผ์ฅ
๊ฐ. ์๊ณ ์ฃผ์ฅ์ ์ฌ๊ฒฐ ์ทจ์ ์ฌ์
(1) ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๋ํ ์ง๋ณด์ฑ ๋ถ์ ์ ์ฆ๊ฑฐ๋ก ๊ฑฐ์ ๊ฒฐ์ ์์ ์ ์ํ์ง ์์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ์ข
๋๊ธฐ์ ์ ์ถ๊ฐํ์ฌ ์ง๊ถ์ผ๋ก ์ฌ๋ฆฌํ์๋๋ฐ, ์ด๋ ๊ฑฐ์ ๊ฒฐ์ ์ด์ ๊ฐ ์ฃผ์ง์ ์์ด์ ๋ถํฉ๋์ง ์๋ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก ํนํ๋ฒ ์ 159์กฐ ์ 1ํญ ํ๋จ์ ๊ท์ ์ ์๊ฑฐ ์๊ณ ์๊ฒ ์๊ฒฌ์ง์ ์ ๊ธฐํ๋ฅผ ๋ถ์ฌํ์์ด์ผ ํจ์๋ ์ด๋ฌํ ์ ์ฐจ๋ฅผ ์ทจํ์ง ์๋ํ ์ ์ฐจ์ ์๋ฒ์ด ์๋ค.
(2) ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๋ชฉ์ ์ ์ ์จ์์ ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ๋ฏธ์๋ฌผ ๋ฑ์ ์ด๊ท ํ๋ ์ฅ์น์ธ ๋ฐ ๋นํ์ฌ, ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ์ ์จ์์ ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๋ฏธ์๋ฌผ ๋ฑ์ ์ด๊ท ํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ ๊ดํ ๊ฒ์ผ๋ก ์ ๋ฐ๋ช
์ ๋ฐ๋ช
์ ๋ฒ์ฃผ(๋ฒ์ฃผ, category)๊ฐ ์์ดํ๊ณ , ์๋์ ๊ฐ์ด ๋ฐ๋ช
์ ๋ชฉ์ ์ ๋ฌ์ฑํ๊ธฐ ์ํ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ๊ธฐ์ ์๋จ์ด ์์ดํ ๋ฐ๋ช
์ผ๋ก์ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ๋ชฉ์ ์ ์ฐจ์ด๊ฐ ์๋ค.
(3) ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ์ ์์ด์, โ ์ ์จ์์ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ๋ฐ์์ํค๊ธฐ ์ํ ์ ์์ ๊ฒฐํฉ๋ฐฉ์์ ์์ด์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ฉ๋๊ฒฐํฉํ(capacitively coupled RF discharges)์ ์ฑ์ฉํ๊ณ 13.56MHz์ ๊ณ ์ฃผํ ์ ์์ ์ฌ์ฉํ ๋ฐ๋ฉด, ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ์ ๋๊ฒฐํฉํ(inductively coupled RF discharges)์ ์ฑ์ฉํ๊ณ 2.49MHz, 3.89MHz๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก์ ์ด๋ฌํ ์ฐจ์ด์ ๋ฐ๋ผ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ ๋
ธ์ฐ๋(2)์ ์บ์์ฐ๋(3)๊ฐ ๋ง์ฃผ ๋ณด๊ณ ์๋ ํํ์์ ๋ฐํ์ฌ, ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ์ฝ์ผ ํํ์ ์ ๊ทน์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๊ณ ์ฃผํ๋ฅผ ๋ฐ์์ํค๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์์ดํ๊ณ , โก ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์๋
ํ๊ณ ์ ํ๋ ๋ฌผ์ฒด๋ฅผ ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ์ ๋ฃ์ ํ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ๋ฐ์์์ผ ์๋
ํ๋ ๊ฒ์ธ ๋ฐ ๋นํ์ฌ, ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๋ฐ๋์ ์๋
ํ ๋ฌผ์ฒด๋ฅผ 1 ๋ด์ง 10 ์ค๋%์ ๊ณผ์ฐํ์์ ์์ฉ์ก๊ณผ ๋จผ์ ์ ์ด์ํค๋ ์ ์ฒ๋ฆฌ ๋จ๊ณ๋ฅผ ๊ฑฐ์น๊ณ , ์๋ฅ ๊ณผ์ฐํ์์๋ก๋ถํฐ ์์ฑ๋ ํ์ฑ์ข
์ ์ํ์ฌ ์ด๊ท ์์ฉ์ ์ํํ๋๋ก ํ๋ผ์ฆ๋ง ์์์ ์ ์ง์ํค๋ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก ์๋
๋ฐฉ๋ฒ์์ ์ฐจ์ด๊ฐ ์๊ณ , โข ๋ํ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ์์ฅ์น๋ ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ(1) ๋ด๋ถ ์๋ถ์ ์ ๋
ธ์ฐ๋(2)์ ๊ณผ์ฐํ์์ ์ฉ์ก์ ๊ธฐ์ฒดํํ ํ ์ํ๋ ์๋ ฅ์ผ๋ก ์กฐ์ , ์ฃผ์
ํ์ฌ ์ ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํํ๋ ์ฃผ์
๊ฐ์ด๊ธฐ(5) ๋ฐ ์ ๋์กฐ์ ๊ธฐ(4)๊ฐ ์ค์น๋์ด ์์ด, ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
๊ณผ ๊ฐ์ด ๋จ์ํ ์ฉ๊ธฐ ์ธ๋ถ์ ์ฝ์ผ์ด ๊ฐ๊ฒจ์ ธ ์๋ ์ฅ์น์ ์์ดํ๋ค.
(4) ๋์๊ฐ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ด๊ท ๊ณผ์ ์ด ๊ฐ๋จํ ๋ฟ ์๋๋ผ, ๊ธฐํ๋ ๊ธฐ์ฒด์ ๊ณผ์ฐํ์์์ ์๋
์ํฌ ๋ฌผ์ฒด๊ฐ ์ถฉ๋ถํ ์ ์ดํ๊ฒ ๋์ด ์๋ฒฝํ ์ด๊ท ํจ๊ณผ๋ฅผ ์ป์ ์ ์๋ ์ ์์ ๋จ์ง ํฌํธ(14)์ ๊ณผ์ฐํ์์ ์์ฉ์ก์ ์ฃผ์
ํ๋ฉด์ ๋ค์ชฝ์์ ๊ธฐ์ฒด๋ฅผ ๋ถ์ด๋ฃ์ด ์์ฉ์ก์ด ๋ถ๋ฌด๋์ด ์์ด๋ก์กธ(Aerosol) ์ํ๋ก ํ์ฐ๋จ์ ๋ถ๊ณผํ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
๊ณผ ์์ดํ ํจ๊ณผ๋ฅผ ๊ฐ์ง๋ฏ๋ก ๊ฒฐ๊ตญ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์ ๋ฐ๋ช
์ด ์ํ๋ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ํต์์ ์ง์์ ๊ฐ์ง ์๊ฐ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ผ๋ก๋ถํฐ ์ฉ์ดํ๊ฒ ๋ฐ๋ช
ํ ์ ์๋ ๊ฒ์ด๋ค.
๋. ํผ๊ณ ์ ์ฃผ์ฅ
(1) ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ ์ด์ ๋ ๊ฑฐ์ ๊ฒฐ์ ์ ์ด์ ์ ์ฃผ์ง์ ์์ด์ ๋ถํฉํ๋ฏ๋ก ์๊ฒฌ์ ์ถ๊ธฐํ๋ฅผ ์ค ๊ฒ๊ณผ ๊ฐ์ผ๋ฉฐ, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ด ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ์ ํ๊ธฐ์ ์ ์ธ๊ธํ ๊ฒ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ด ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ผ๋ก๋ถํฐ ์ฉ์ดํ๊ฒ ๋ฐ๋ช
ํ ์ ์๋ค๋ ์ค๋ช
์ ์์๋ก์ ๊ฑฐ์ํ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๋ํ์ฌ๋ ๋ณ๋๋ก ์๊ฒฌ์ ์ถ๊ธฐํ๋ฅผ ์ค ํ์๊ฐ ์๋ค. ํนํ, ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๊ธฐ์ ์ ๊ตฌ์ฑ์ ํด์ํจ์ ์์ด์๋ ๋จ์ํ ๋ฌธ์ธ์ ํด์์ด ์๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์ ๋ฐ๋ช
์ด ์ํ๋ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ํต์์ ์ง์์ ๊ฐ์ง ์๋ฅผ ๊ธฐ์ค์ผ๋ก ํ์ฌ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๋ด์ฌ๋์ด ์๋ ๊ธฐ์ ์ ์ฌํญ์ ํ์
ํ์ฌ ๋ด์ฌ์ ๊ธฐ์ ์ฌํญ๋ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๊ธฐ์ ๊ตฌ์ฑ์ ์ผ๋ถ๋ก์ ํ์
ํด์ผ ํ๋ค.
(2) ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๋ฐ์ํ์ฑ์ข
์ ์ ๊ตฌ์ฒด๋ก์ ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ๋ฐ์์ํจ ํ ์ด๋ฅผ ๋ฌผ์ฒด ํ๋ฉด์ ์ ์ด์์ผ ์๋
์ฒ๋ฆฌํ๋ ์ ์์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
๊ณผ ๋ชฉ์ ์ด ๋์ผํ๋ค.
(3) ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ์ ์์ด์, โ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ฉ๋๊ฒฐํฉํ ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ์ ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ฑ์ฉ, ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ๋ฐ์ํ์ฑ์ข
์ผ๋ก ์ฌ์ฉ ๋ฐ ์ ์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ๋ฐ์์์ผ ์ด๊ท ํ๋ ์๋
์ฅ์น๋ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ๊ณผ ๋์ผยท์ ์ฌํ๊ฑฐ๋ ์ฃผ์ง๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ ์ ๊ฒฐํฉ์ ๋ถ๊ณผํ์ฌ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๊ธฐ์ ์ ๋ฒ์๋ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๊ธฐ์ ์ ๋ฒ์์ ํฌํจ๋๋ ๊ฒ์ด๊ณ , โก ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๊ณผ์ฐํ์์ ์ ์ฒ๋ฆฌ ๋จ๊ณ๋ ๋จ์ง ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฑ๋ฒ ๋ด์ ์ฃผ์
ํ ํ ์ผ์ ์๊ฐ๋ง์ ์ ์งํด์ฃผ๋ ๊ฒ์ ๋ถ๊ณผํ๋ฏ๋ก ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
๊ณผ ์ฐจ์ด๊ฐ ์์ผ๋ฉฐ, โข ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์์ ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ํ๋ผ์ฆ๋งํํ๊ธฐ ์ ์ ๊ธฐ์ฒดํํ๊ธฐ ์ํ ์ฃผ์
๊ฐ์ด๊ธฐ๋ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฑ๋ฒ๊ฐ ์ง๊ณต์ํ์์ ์ด์ฉ๋๋ฏ๋ก ์ฃผ์
๊ฐ์ด๊ธฐ์ ์ญํ ์ด ์ค์ํ ๊ธฐ์ ์ ํน์ง์ ๊ฐ๋๋ค๊ณ ํ ์ ์๊ณ , โฃ ํฌ์
๋๋ ๋ฌผ์ง์ ๊ธฐํ๋ฅผ ์ฉ์ดํ๊ฒ ํ๊ฑฐ๋ ๋ฐ์ํ์ฑ์ ๋์ด๊ธฐ ์ํ์ฌ ๊ฐ์ด์กฐ๊ฑด์ ์ฑ์ฉํ๋ ๊ฒ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์ ๋ฐ๋ช
์ด ์ํ๋ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ํต์์ ์ง์์ ๊ฐ์ง ์๋ผ๋ฉด ์ฉ์ดํ๊ฒ ์ ์ฉํ ์ ๋๋ก์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑํ๋ ๋ฐ ๊ณค๋์ฑ์ด ์๋ค.
(4) ์ ๋ฐ๋ช
์์ ์ฌ์ฉ๋๋ ์ฅ์น๋ ๊ฒฐ๊ตญ ๋์ผํ ๋ฒ์์ ๊ตฌ์ฑ์ ๊ฐ์ง๋ฏ๋ก ๊ทธ ํจ๊ณผ๋ ๋์ผํ ๋ฒ์ ๋ด์ง ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ด ์ํ๋ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ํต์์ ์ง์์ ๊ฐ์ง ์๋ผ๋ฉด ์ฉ์ดํ๊ฒ ์์ธกํ ์ ์๋ ๋ฒ์์ ๋ถ๊ณผํ์ฌ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ผ๋ก๋ถํฐ ์ฉ์ดํ๊ฒ ๋ฐ๋ช
ํ ์ ์๋ ๊ฒ์ด๋ค.
3. ํ๋จ
๊ฐ. ์ ์ฐจ์ ์๋ฒ ์ฃผ์ฅ์ ๋ํ ํ๋จ
๋จผ์ , ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ด ์๋ก์ด ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ์ง๊ถ์ผ๋ก ์ถ๊ฐํ์ฌ ์ฌ๋ฆฌํ๋ฉด์๋ ์๊ณ ์๊ฒ ์๊ฒฌ์ง์ ์ ๊ธฐํ๋ฅผ ์ฃผ์ง ์๋ํ์ฌ ์๋ฒํ๋ค๋ ์๊ณ ์ ์ฃผ์ฅ์ ๋ํ์ฌ ๋ณด๊ฑด๋, ์์ ๋ณธ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ 'ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ์์ฅ์น๋ก ์ ๋๊ฒฐํฉํ ์ฅ์น ์ด์ธ์ ์ฉ๋๊ฒฐํฉํ ์ฅ์น๊ฐ ์๋ค๋ ๊ฒ์ ๋นํด ๋ถ์ผ์์ ๋๋ฆฌ ์๋ ค์ง ์ฃผ์ง๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ '์์ ์ธ์ ํ ํ '์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๋ช
์ธ์์ ๊ธฐ์ฌ๋ ์ ํ๊ธฐ์ ์ ๋ชจ๋ ์ฉ๋๊ฒฐํฉํ ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ์์ฅ์น'์์ ์ค์ํ๊ณ ์๋๋ฐ, ๊ทธ๋ ๋ค๋ฉด ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ด ๋ '์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๋ช
์ธ์์ ๊ธฐ์ฌ๋ ์ ํ๊ธฐ์ '์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ถ์ ๋น์ ํด๋น ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ํต์์ ์ง์์ ๊ฐ์ง ์์๊ฒ ์ฃผ์งยท๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ ์ด ๋ฌด์์ธ์ง๋ฅผ ์ธ์ ํจ์ ์์ด์ ๊ทธ ์์๋ก ๋ ํ๋์ ์๋ฃ์ ๋ถ๊ณผํ์ฌ ๊ฑฐ์ ๊ฒฐ์ ์์ ๋ค์ง ์๋ํ ์ ์๋ฃ๋ฅผ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ด ๊ฑฐ์ํ์๋ค๊ณ ํ๋๋ผ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ด ๊ฑฐ์ ๊ฒฐ์ ๊ณผ ๋ค๋ฅธ ๋ณ๊ฐ์ ๊ฑฐ์ ์ด์ ๋ฅผ ๋ด์ธ์ด ๊ฒ์ด๋ผ๊ณ ๋ ํ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก( ๋๋ฒ์ 1986. 10. 14. ์ ๊ณ 83ํ74 ํ๊ฒฐ ์ฐธ์กฐ), ์ค๋ น ํนํ์ฌํ์์ด ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ ํจ์ ์์ด์ ์๊ณ ์๊ฒ ์๋ก์ด ํนํ๋ฒ ์ 63์กฐ์ ์ํ ์๊ฒฌ์ ์ถ๊ธฐํ ๋ฐ ๊ฐ์ ๋ฒ ์ 47์กฐ์ ์ํ ๋ณด์ ์ ๊ธฐํ๋ฅผ ์ฃผ์ง ์์๋ค๊ณ ํ๋๋ผ๋ ์๋ฒํ๋ค๊ณ ํ ์ ์๊ณ , ๋ฐ๋ผ์ ์๊ณ ์ ์ ์ฃผ์ฅ์ ์ด์ ์๋ค.
๋. ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
๊ณผ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๋๋น
(1) ๋ฐ๋ช
์ ๋ชฉ์
์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๊ณผ์ฐํ์์ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ก ์๋
์ํฌ ๋ฌผ์ฒด ํ๋ฉด์ ์ ์ด์์ผ ์๋
์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํํ ํ ์๋
๋ ๋ฌผ์ฒด ํ๋ฉด์ ๋
์ฑ์ ์์กด๋ฌผ์ ๋จ๊ธฐ์ง ์๋ ์ ์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์๋
์ฅ์น์ ์ ๊ณต์ ๋ชฉ์ ์ผ๋ก ํ๊ณ ์๊ณ , ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๋ฌผ์ฒด ํ๋ฉด์ด๋ ์๋ฃ๊ธฐ๊ตฌ์ ๊ฐ์ ์ ํ์ ๋ฏธ์๋ฌผ์ ์ด๊ท ์ํค๊ธฐ ์ํ ํ์ฑ์ข
์ ์ ๊ตฌ์ฒด๋ก์ ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ์ฑํํ ์ ์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ด๊ท ์์คํ
์ ์ ๊ณต์ ๋ชฉ์ ์ผ๋ก ํ๋ ๊ฒ์ธ๋ฐ, ์ ๋ฐ๋ช
์ ๋ชจ๋ ๊ณผ์ฐํ์์๋ก์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ๋ฐ์์ํค๊ณ ์ด๋ฅผ ์ด๊ท ํ ๋ฌผ์ฒด ํ๋ฉด์ ์ ์ด์์ผ ์ด๊ท ์ํค๋ ์๋
์ฅ์น ๋ด์ง ์ด๊ท ์์คํ
์ ์ ๊ณตํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์ฐ์
์ ์ด์ฉ๋ถ์ผ๊ฐ ๋์ผํ์ฌ ๋ชฉ์ ์ด ๊ณตํต๋๋ค.
(2) ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ
(๊ฐ) ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
๊ณผ ๋๋นํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ๊ตฌ์ฑ์์๋ฅผ ๋๋์ด ๋ณด๋ฉด, โ ํฌ์ฅ์ฌ๋ฃ(10)์ ์์ธ ๋ฌผ์ฒด(9)๋ฅผ ๋๊ณ ์๋ถ์ ์ ๋
ธ์ฐ๋(2)๊ฐ, ํ๋ถ์ ์บ์์ฐ๋(3)๊ฐ ๊ฐ๊ฐ ์ค์น๋๋ ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ(1)์, ์ ์ ๋
ธ์ฐ๋(2)์ ์ ๋์กฐ์ ๊ธฐ(4)๋ฅผ ํตํด ์ฃผ์
๊ฐ์ด๊ธฐ(5), ์ ์บ์์ฐ๋(3)์ ์ํผ๋์ค ๋งค์นญํ๋ก(6)์ ์ํผ๋์ค ๋งค์นญ์กฐ์ ๊ธฐ(7)๋ฅผ ํตํด ๊ณ ์ฃผํ๋ฐ์๊ธฐ์ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ ๋ ฅ์(8)์ด(์ดํ '์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1๊ตฌ์ฑ'์ด๋ผ ํ๋ค), โก ์ ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ(1) ํ๋ถ์ ์ง๊ณตํํ(11)๊ฐ ์ค์น๋์ด, ๊ณผ์ฐํ์์์ฉ์ก(12)์ ์ฃผ์
๊ฐ์ด๊ธฐ(5)๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ์ผ์ฐจ์ ์ผ๋ก ๊ธฐ์ฒด์ํ๋ก ๋ง๋ ํ, ๊ณต๊ธฐ์ ํผํฉํ์ฌ ์ ๋์กฐ์ ๊ธฐ(4)๋ฅผ ์ด์ฉํ์ฌ ์ํ๋ ์๋ ฅ์ผ๋ก ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ(1) ๋ด์ ์๋ ฅ์ ์กฐ์ , ์ฃผ์
ํ์ฌ(์ดํ '์ด ์ฌ๊ฑด ์ 2๊ตฌ์ฑ'์ด๋ผ ํ๋ค), โข ์ํ๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ ๋ ฅ์(8)์ ์ธ๊ฐํ์ฌ ์ ์จ์ ๊ฐ๋ ์๋
์ ํํ ๊ฒ(์ดํ '์ด ์ฌ๊ฑด ์ 3๊ตฌ์ฑ'์ด๋ผ ํ๋ค)์ผ๋ก ๊ตฌ๋ถํ ์ ์๋ค.
(๋) โ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1๊ตฌ์ฑ์ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ๋ฐ์์ํค๋ ์ฅ์น์ ์ข
๋ฅ๋ก์ ์ฉ๋๊ฒฐํฉํ ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ์์ฅ์น๋ฅผ ์ฑ์ฉํ ๊ฒ์ธ๋ฐ, ์ด์ ๋์ํ๋ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ์์ฅ์น๋ ์ 1ํธ์ฆ์ ๋งค์นญ ํ๋ก๋ง(matching network)์ ์ถ๋ ฅ์ผ๋ก๋ถํฐ ๋ฌด์ ์ฃผํ์ ์ ๋ ฅ์ ๋ฐฉ์ ์ ๊ฒฐํฉ์ํค๋ ๊ฒ์ ์ฝ์ผ์ด๋ ํ ์์ ์ถ์ ๊ธฐ ํ ์ค ํ๋์ ์ํ์ฌ ์ฑ์ทจ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๋ ๊ฐ์ง ๊ฒฐํฉํํ๋ ์ ๋๊ฒฐํฉํ ๋ฐ ์ฉ๋๊ฒฐํฉํ์ด๋ผ ํ๋ค(4์นผ๋ผ 34์ค ๋ด์ง 38์ค).๋ผ๋ ๊ธฐ์ฌ ๋ฐ ๋ณธ ๋ฐ๋ช
์ ๋ฐฉ๋ฒ์์ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ ์์ ๋ณธ ์ ํ๊ธฐ์ ์ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ด๊ท ์์คํ
๊ณผ ๋์ผํ ๋ฐฉ์์ผ๋ก ๋ฐ์์ํจ๋ค(4์นผ๋ผ 47์ค ๋ด์ง 49์ค).๋ผ๋ ๊ธฐ์ฌ์ ์ํ๋ฉด ์ฉ๋๊ฒฐํฉํ๊ณผ ์ ๋๊ฒฐํฉํ ์ค ์์์ ํ๋๋ฅผ ์ฑํํ ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ์์ฅ์น๋ผ๊ณ ํ ๊ฒ์ด๋ค.
๋ํ, ์ 1ํธ์ฆ์๋ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ์ ํ๊ธฐ์ ๋ก์ ๋ฏธ๊ตญ (ํนํ๋ฒํธ 1 ์๋ต), ๋ฏธ๊ตญ (ํนํ๋ฒํธ 2 ์๋ต) ๋ฐ ์ผ๋ณธ ๊ณต๊ฐํนํ๊ณต๋ณด ์58-103460ํธ๊ฐ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์๊ณ ์ ๋ฐ๋ช
๋ค์๋ ๋ชจ๋ ์ฉ๋๊ฒฐํฉํ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ด๊ท ์์คํ
์ ๊ฐ์ํ๊ณ ์๋๋ฐ, ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ์์ฅ์น๋ก์ ์ ๋๊ฒฐํฉํ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฅ์น์ ํจ๊ป ์ฉ๋๊ฒฐํฉํ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฅ์น๋ ๋ชจ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ด ์ํ๋ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์๋ ์ฃผ์งยท๊ด์ฉ์ ๊ธฐ์ ์ด๋ผ๊ณ ๋ณผ ๊ฒ์ด๋ค.
โก ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 2๊ตฌ์ฑ์ ๊ณผ์ฐํ์์ ์ฉ์ก(12)์ ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ์์ ์์ด ๋ฐ์ํ์ฑ์ข
์ผ๋ก ์ฌ์ฉ๋๋ ๊ฒ์ด๊ณ , ์ ์ 1ํธ์ฆ์๋ ์ด์ ๊ด๋ จํ์ฌ ์ ์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ด๊ท ์์คํ
์์ ํ์ฑ์ข
์ ์ ๊ตฌ๋ฌผ์ง๋ก์ ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ์ฌ์ฉํ ๊ฒ์ด๋ค(2์นผ๋ผ ์๋๋ก๋ถํฐ 2์ค ๋ด์ง 3์นผ๋ผ ์ฒซ์งธ ์ค).๋ผ๊ณ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์์ผ๋ฏ๋ก ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 2๊ตฌ์ฑ์์ ๊ณผ์ฐํ์์์ฉ์ก์ ํ์ฑ์ข
์ผ๋ก ์ฌ์ฉํ ์ ์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
๊ณผ ๋์ผํ๋ค.
๋ํ, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 2๊ตฌ์ฑ๊ณผ ๊ด๋ จํ ์ 1ํธ์ฆ์ ๊ธฐ์ฌ๋ด์ฉ์ ๋ณด๋ฉด ๋ณธ ๋ฐ๋ช
์ ๋ฐฉ๋ฒ์์ ์ด๊ท ์ํฌ ์ ํ์ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฑ๋ฒ์ ๋ฃ์ด ๋ฐํ์ํจ ํ ์ฑ๋ฒ ๋ด์ ๊ธฐ์ฒด๋ฅผ ์ ๊ฑฐ์์ผ ์ง๊ณต์ผ๋ก ํ๋ค. ๊ทธ ํ ๊ณผ์ฐํ์์ ์ฉ์ก์ ์ฑ๋ฒ ๋ด ์ฆ๊ธฐ์์ด ์ฝ 0.1 ๋ด์ง 10Torr์ ์์ค์ผ๋ก ์์นํ๋๋ก ์ฑ๋ฒ ๋ด๋ก ์ฃผ์
ํ๋ค(3์นผ๋ผ 31์ค ๋ด์ง 37์ค).๋ผ๋ ๊ธฐ์ฌ, ์ฑ๋ฒ๋ ๋ํ ๊ธฐ์ฒด๋ฅผ ์ฑ๋ฒ ๋ด๋ก ์ฃผ์
ํ๊ธฐ ์ํ ์ ์
๋ผ์ธ(11) ๋ฐ ์ฑ๋ฒ๋ฅผ ์ง๊ณต์ผ๋ก ๋ง๋ค ์ ์๋ ์ง๊ณตํํ์ ์ฐ๊ฒฐ๋ ๋ผ์ธ(12)์ ํฌํจํ๋ค. ๊ธฐ์ฒด ์ ์
๋ผ์ธ(11)์ ์์นํ ์ฐฝ๊ตฌ(14)๋ ๊ณผ์ฐํ์์ ์ฉ์ก์ ์ฑ๋ฒ(20) ๋ด๋ก ๋์
์ํค๊ธฐ ์ํ ๊ฒ์ด๋ค(4์นผ๋ผ 25์ค ๋ด์ง 30์ค).๋ผ๋ ๊ธฐ์ฌ ๋ฐ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์์ ์ด๊ท ์์คํ
์ ํ ์๋ก์ ๊ฐ์๋ ๊ทธ๋ฆผ 1์๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 2๊ตฌ์ฑ์ ์ ๋์กฐ์ ๊ธฐ ์ญํ ์ ํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ๋ณด์ด๋ '์ ๋์กฐ์ ๋ฐธ๋ธ'๊ฐ ์ค์น๋ ์ค์์๊ฐ ๊ฐ์๋์ด ์๋ค.
์ ๊ธฐ์ฌ๋ฅผ ์ข
ํฉํ๋ฉด, ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ์ฑ๋ฒ ๋ด์ ๊ณต๊ธฐ๋ฅผ ์ ๊ฑฐ์์ผ ์ง๊ณต์ผ๋ก ํ ํ ์ ์
๋ผ์ธ(11)์ ํตํ์ฌ ์ ๋์กฐ์ ๋ฐธ๋ธ๋ก์จ ๊ณต๊ธฐ์ ๊ณผ์ฐํ์์ ์ฉ์ก์ ํผํฉํ๋ฉด์ ์ฑ๋ฒ ๋ด์ ์ฃผ์
์์ผ ์ฑ๋ฒ ๋ด์ ์๋ ฅ์ ์กฐ์ ํ๋ ๊ตฌ์ฑ์ผ๋ก์, ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ ๋ฐ์ ์ฃผ์
๊ฐ์ด๊ธฐ๋ฅผ ์ค์นํ์ฌ ๊ณผ์ฐํ์์ ์ฉ์ก์ ๊ธฐ์ฒด์ํ๋ก ๋ง๋ ํ ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ ๋ด๋ก ์ฃผ์
ํ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 2๊ตฌ์ฑ๊ณผ๋ ์ฐจ์ด๊ฐ ์๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ์ 1ํธ์ฆ์๋ '์ 2์ ์ฃผ์ ์ฐจ์ด์ ์ ์ด๊ท ์ ์ํํ๋ ๋ฐ ํ์ํ ์์ค์ ์ ๋ ฅ์ ๊ณต๊ธํ๊ธฐ ์ ์ ์ด๊ท ์ํฌ ์ ํ์ ๊ณผ์ฐํ์์ ์ฆ๊ธฐ์ ์ ์ด์ํค๋ ์๋น์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํ๋ ๊ฒ์ด๋ค(3์นผ๋ผ 26์ค ๋ด์ง 31์ค).' ๋ฐ 'ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฑ๋ฒ ๋ฐ์์ ์๋น์ฒ๋ฆฌ ๋จ๊ณ๋ฅผ ํ๋ ๊ฒ๋ ๊ฐ๋ฅํ๋ค(3์นผ๋ผ 48์ค ๋ด์ง 50์ค).'๋ผ๊ณ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์์ด, ๊ณผ์ฐํ์์ ์ฉ์ก์ ํ์์ ๋ฐ๋ผ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฑ๋ฒ์ ์ธ๋ถ์์๋ ๊ธฐํ๋์ด ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ ๋ด๋ก ์ฃผ์
๋ ์ ์๋ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก ์์ ๊ฐ์ ์ฐจ์ด๋ ๋ฐ๋ช
์ ์ค์์๊ฐ ์ผ๋ง๋ ์ง ์ ํํ ์ ์๋ ์ฌํญ์ ๋ถ๊ณผํ๊ณ , ๊ฒฐ๊ตญ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 2๊ตฌ์ฑ๋ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ์ค์ง์ ์ผ๋ก ๋ชจ๋ ๊ฐ์๋์ด ์๋ ๊ฒ์ด๋ค.
โข ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 3๊ตฌ์ฑ์ ๋ํ์ฌ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๋ณด์ ๋ช
์ธ์(๊ฐ 4ํธ์ฆ)์๋ '๋ณธ ๋ฐ๋ช
์ ์ ์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์๋
์ฅ์น์์๋ 100โ ์ดํ์ ์ ์จ์ ๊ฐ๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ๋ฐ์์ํค๊ฒ ๋๋๋ฐ, ์ด๋ ๋ฐ์๊ฐ์ค์ธ ๊ธฐ์ฒด์์ ๊ณผ์ฐํ์์์ ์๋ ฅ์ 1.5Torr๋ก ์ค์ ํ์ฌ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ๋ฐ์์ํค๊ฒ ๋๊ณ (8์ชฝ ์๋๋ก๋ถํฐ 5์ค ๋ด์ง 3์ค)'๋ผ๊ณ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์๊ณ , ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
(์ 1ํธ์ฆ)์๋ '๋ณธ ๋ฐ๋ช
์ ์ ์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ ๋ฐ๋์งํ๊ฒ๋ 10Torr ๋ฏธ๋ง์ ์๋ ฅ์์ ๋ฐ์๋๊ณ 100โ ๋ฏธ๋ง์ ์จ๋๋ฅผ ์๋ฐํ๋ค(4์นผ๋ผ 10์ค ๋ด์ง 13์ค).'๋ผ๊ณ ๊ธฐ์ฌ๋์ด ์์ด, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 3๊ตฌ์ฑ์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๊ฐ์๋ ๋ด์ฉ๊ณผ ์ค์ง์ ์ผ๋ก ๋์ผํ ๊ฒ์ด๋ค.
โฃ ๋ฐ๋ผ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ด ์ํ๋ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ํต์์ ์ง์์ ๊ฐ์ง ์๊ฐ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ผ๋ก๋ถํฐ ๊ตฌ์ฑํ๋ ๋ฐ ๊ณค๋์ฑ์ด ์๋ค๊ณ ํ ์ ์๋ค.
(3) ๋ฐ๋ช
์ ํจ๊ณผ
(๊ฐ) ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ํจ๊ณผ์ ๋ํ์ฌ ๊ฐ 4ํธ์ฆ์ 'โ ๋ณธ ๋ฐ๋ช
์ ์ํด ์๋ฃ์ฉ ๋๊ตฌ๋ ์์ ์ฉ ๋๊ตฌ์ธ ๋ฌผ์ฒด(9)๋ฅผ ์๋
ํ๊ฒ ๋๋ฉด, ์ข
๋ ๊ฐ์ค ์ด๊ท ๋ฐฉ์์ธ ์ํธ๋ ์ฅ์ฌ์ด๋ ๋ฐฉ์๊ณผ ๋ฌ๋ฆฌ ๊ณผ์ฐํ์์๊ฐ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋์ด๋ ์์ฑ๋๋ ๋ถ์ฐ๋ฌผ์ด ๋ฌด๋
์ฑ์ ๋ฌผ์ง๋ก ๋ถํด๋๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์๋
๋ ๋ฌผ์ฒด(9)๋ ํฌ์ฅ์ฌ๋ฃ(10)์ ์์กดํ๋ ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ์ ๊ฑฐํ๋ ๋ถ๊ฐ์ ์ธ ๊ณต์ ์ด ํ์ ์๊ฒ ๋๋ค(10์ชฝ ์๋๋ก๋ถํฐ 7์ค ๋ด์ง 3์ค). โฆ โก ๋ณธ ๋ฐ๋ช
์ ์ํ๋ฉด, ๋ฐ์ํ์ฑ์ข
์ ์ ์กฐ๋ก ์ฃผ์
๊ฐ์ด๊ธฐ์ ์ํด ์ผ์ฐจ์ ์ผ๋ก ๊ธฐ์ฒด์ํ๋ก ๋ ๊ณผ์ฐํ์์์ ๊ณต๊ธฐ๋ฅผ ํผํฉ ์ฌ์ฉํ๊ณ , ๊ณ ๋๋์ ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ ๊ฒ์ด ์ ์จํ๋ผ์ฆ๋ง๋ก ์๋
์ํค๋ ์ ์ฒด ์๊ฐ๊ณผ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ ๋ ฅ์ ๊ฐ์์ํฌ ์ ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ด๋ฉฐ, ๋ํ ์์ ๊ฐ์ ์ฃผ์
๊ฐ์ด๊ธฐ์ ์ํด ์ํ๋ ์๋ ฅ์ผ๋ก ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ ๋ด์ ์๋ ฅ์ด ์ค์ ๋๊ณ ๋๋ฉด ๊ณ ์ฃผํ ์ ๋ ฅ์ ์ธ๊ฐํ์ฌ ๋ฐ์๋ ๊ณผ์ฐํ์์์ ๊ณต๊ธฐ์ ํผํฉ๊ธฐ์ฒด์ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ก ์ต์ข
์ ์ธ ์๋
์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํํ ๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ด์์ ๊ณผ์ฐํ์์์ ๊ณต๊ธฐ๊ฐ ๋ถํด๋๋ฉด์ ๋ฐ์์ํค๋ ๋ถ์ฐ๋ฌผ, ์ฆ ๋ฌผ, ์ฐ์ ๋ฐ ์์์ด๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํํ ํ ์๋
๋ ๋ฌผ์ฒดํ๋ฉด์ ๋
์ฑ์ ์์กด๋ฌผ์ ๋จ๊ธฐ์ง ์๋ ์ ์จํ๋ผ์ฆ๋ง ์๋
์ฅ์น๋ฅผ ์ ๊ณตํ ์ ์๋ค. ๋ณธ ๋ฐ๋ช
์ ์ ์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์๋
์ฅ์น๋ ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ ๋ด์ ์์ ๋์ ์๋ถ์ด ์กด์ฌํด๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฅ์น์ ๊ฐ๋ ๊ฐ๋ฅํ๊ณ , ๊ณผ์ฐํ์์ ๊ณต๊ธ์ ๋ถ๊ฐ์ ์ธ ์นด์ธํธ๋ฐฉ์์ ์ด์ฉํ์ง ์๊ณ ์ฉ์ก๋ณ์ ์ง์ ์ด์ฉํ๋ฉฐ, ๋ํ ํํ์ ์ธ ๊ฒ์ฆํ
์ดํ์ ์ํ ์๋
์ ์ธ์ฆํ ์ ์๋ค(13์ชฝ ์๋๋ก๋ถํฐ 2์ค ๋ด์ง 14์ชฝ ๋๊น์ง).'๋ผ๊ณ ๊ธฐ์ฌํ๊ณ ์์ผ๋ฏ๋ก, ์ด์ ๊ฐ์ ํจ๊ณผ๊ฐ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๋นํ์ฌ ํ์ ํ ๊ฒ์ธ์ง์ ๊ดํ์ฌ ๋ณธ๋ค.
(๋) ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๊ทธ ํจ๊ณผ์ ๋ํ์ฌ 'ใ ๊ณผ์ฐํ์์๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฒ๋ฆฌ ์ค ๋น๋
์ฑ ๋ฌผ์ง๋ก ๋ถํด๋๋ฏ๋ก, ์ด๊ท ๋ ์ ํ ๋๋ ์ด์ ํฌ์ฅ๋ฌผ๋ก๋ถํฐ ์๋ฅ ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ์ ๊ฑฐํ๊ธฐ ์ํ ์ถ๊ฐ ๋จ๊ณ๊ฐ ํ์ ์๋ค(6์นผ๋ผ 12์ค ๋ด์ง 16์ค). โฆ ใก ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ๊ณผ์ฐํ์์ ๋ถํด์ฐ๋ฌผ์ ๋ฌผ, ์ฐ์ ๋ฐ ์์๋ฅผ ํฌํจํ๋ฉฐ, ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฒ๋ฆฌ ํ ์ด๊ท ๋ ์ ํ์๋ ๋
์ฑ์ ์๋ฅ๋ฌผ์ด ๋จ์ง ์๋๋ค(12์นผ๋ผ ์ฒซ์งธ ์ค ๋ด์ง 4์ค).'๊ณ ๊ฐ์ํ๊ณ ์๋ค.
(๋ค) ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ํจ๊ณผ ์ค โ '๋ณธ ๋ฐ๋ช
์ ์ํด ์๋ฃ์ฉ ๋๊ตฌ๋ ์์ ์ฉ ๋๊ตฌ์ธ ๋ฌผ์ฒด(9)๋ฅผ ์๋
ํ๊ฒ ๋๋ฉด, ์ข
๋ ๊ฐ์ค ์ด๊ท ๋ฐฉ์์ธ ์ํธ๋ ์ฅ์ฌ์ด๋๋ฐฉ์๊ณผ ๋ฌ๋ฆฌ ๊ณผ์ฐํ์์๊ฐ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋์ด๋ ์์ฑ๋๋ ๋ถ์ฐ๋ฌผ์ด ๋ฌด๋
์ฑ์ ๋ฌผ์ง๋ก ๋ถํด๋๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ์๋
๋ ๋ฌผ์ฒด(9)๋ ํฌ์ฅ์ฌ๋ฃ(10)์ ์์กดํ๋ ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ์ ๊ฑฐํ๋ ๋ถ๊ฐ์ ์ธ ๊ณต์ ์ด ํ์ ์๊ฒ ๋๋ค.'๋ ์ ์, ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๊ธฐ์ฌ๋ '๊ณผ์ฐํ์์๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฒ๋ฆฌ ์ค ๋น๋
์ฑ ๋ฌผ์ง๋ก ๋ถํด๋๋ฏ๋ก, ์ด๊ท ๋ ์ ํ ๋๋ ์ด์ ํฌ์ฅ๋ฌผ๋ก๋ถํฐ ์๋ฅ ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ์ ๊ฑฐํ๊ธฐ ์ํ ์ถ๊ฐ ๋จ๊ณ๊ฐ ํ์ ์๋ค.'๋ ์ ๊ณผ ๋์ผํ ํจ๊ณผ๋ผ๊ณ ํ ๊ฒ์ด๋ฉฐ, โก '๋ณธ ๋ฐ๋ช
์ ์ ์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์๋
์ฅ์น๋ ๋ฐ์์ฉ๊ธฐ ๋ด์ ์์ ๋์ ์๋ถ์ด ์กด์ฌํด๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฅ์น์ ๊ฐ๋์ด ๊ฐ๋ฅํ ์ ๋ฐ ํํ์ ์ธ ๊ฒ์ฆํ
์ดํ์ ์ํ ์๋
์ ์ธ์ฆํ ์ ์๋ค๋ ์ '์ ๊ดํ์ฌ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๋ช
์ธ์์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๊ตฌ์ฑ์ ๋ฐ๋ผ ๊ทธ๋ฌํ ํจ๊ณผ๋ฅผ ๋ํ๋ด๋์ง๋ฅผ ์ ์ ์๋ ๊ตฌ์ฒด์ ์ธ ๊ธฐ์ฌ๋ฅผ ์ฐพ์ ์ ์์ ๋ฟ ์๋๋ผ ๋ฌ๋ฆฌ ์ด๋ค์ ์ธ์ ํ ์๋ฃ๊ฐ ์๋ ๊ฒ์ด๊ณ , โข '๊ณผ์ฐํ์์ ๊ณต๊ธ์ ๋ถ๊ฐ์ ์ธ ์นด์ธํธ๋ฐฉ์์ ์ด์ฉํ์ง ์๊ณ ์ฉ์ก๋ณ์ ์ง์ ์ด์ฉํ๋ ์ '์ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์๋
์ฅ์น์ ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ๊ณต๊ธํจ์ ์์ด์ ๊ณต๊ธ๋ฐฉ์์ ์นด์ธํธ๋ฐฉ์์์ ์ฉ์ก๋ณ์ ์ง์ ์ด์ฉํ๋ ๋ฐฉ์์ผ๋ก ๋จ์ํ ๋ณ๊ฒฝํ ๊ฒ์ ๋ถ๊ณผํ์ฌ ํ์ ํ๋ค๊ณ ํ ์ ์๋ ๊ฒ์ด๋ฉฐ, โฃ ๋์ฑ์ด ํ๋ผ์ฆ๋ง ์๋
์ฅ์น์์ ์๋
์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ํํ ๊ตฌ์ฒด์ ์คํ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ณด๋ฉด, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ๋ณด์ ๋ช
์ธ์์ธ ๊ฐ 4ํธ์ฆ์ ๊ธฐ์ฌ๋ ํ 1(์ฐ์/๊ณผ์ฐํ์์ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฅ์น์์ ์๋
์ฒ๋ฆฌ ๊ฒฐ๊ณผ), ํ 2(์๋
์ฒ๋ฆฌ ํจ์จ์ ๋ํ ๊ณผ์ฐํ์์์ ๋ฐ์์๋ ฅ์ ์ํฅ), ํ 3(์๋
์ฒ๋ฆฌ ํจ์จ์ ๋ํ ๊ณ ์ฃผํ์ ๋ ฅ์ ์ํฅ)์ ๋ํ๋ ์คํ๊ฒฐ๊ณผ๋ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๊ธฐ์ฌ๋ ํ โ
(๊ณผ์ฐํ์์/ํ๋ผ์ฆ๋ง ์์คํ
๊ณผ ๋ค๋ฅธ ๊ธฐ์ฒด/ํ๋ผ์ฆ๋ง ์์คํ
์ ํฌ์ ๋ฐ๋ฉธ ํ์ฑ ๋น๊ต), ํ โ
ข(์๋ ฅ์ด ๊ณผ์ฐํ์์ ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ํฌ์ ๋ฐ๋ฉธ ํ์ฑ์ ๋ฏธ์น๋ ์ํฅ), ํ โ
ฃ(๋ฌด์ ์ฃผํ์ ์ ๋ ฅ์์ค์ด ๊ณต๊ธฐ ํ๋ผ์ฆ๋ง ๋ฐ ๊ณผ์ฐํ์์+ํ๋ผ์ฆ๋ง์ ํฌ์ ๋ฐ๋ฉธ ํ์ฑ์ ๋ฏธ์น๋ ์ํฅ)์ ๋ํ๋ ์คํ๊ฒฐ๊ณผ์ ๊ฐ ์ผ์นํ๊ณ ์๋๋ฐ, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
๊ณผ ๋น๊ตํ์ฌ ๋ณผ ๋ ํจ๊ณผ์์ ์ฐจ์ด๊ฐ ์๋ค๊ณ ํ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก, ๊ฒฐ๊ตญ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ํจ๊ณผ๋ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๋นํ์ฌ ํ์ ํ๋ค๊ณ ํ ์ ์๋ค.
(4) ๋ฐ๋ผ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1๋ฐ๋ช
์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๋นํ์ฌ ๋ฐ๋ช
์ ๋ชฉ์ ์ด ๊ณตํต๋๊ณ , ๊ตฌ์ฑ์ ๊ณค๋์ฑ์ด ์์ ๋ฟ ์๋๋ผ, ํจ๊ณผ๋ ํ์ ํ๋ค๊ณ ๋ณผ ์ ์์ด, ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ด ์ํ๋ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ํต์์ ์ง์์ ๊ฐ์ง ์๊ฐ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ผ๋ก๋ถํฐ ์ฉ์ดํ๊ฒ ๋ฐ๋ช
ํ ์ ์๋ ๊ฒ์ด๋ค.
๋ค. ์๊ณ ์ ๊ธฐํ ์ฃผ์ฅ์ ๋ํ ํ๋จ
์๊ณ ๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๊ณผ์ฐํ์์ ์ฉ์ก์ ๊ธฐ์ฒด์์ผ๋ก ๋ง๋ ํ ๊ณต๊ธฐ์ ํผํฉํ์ฌ ๊ธฐ์ฒด์ ๊ณผ์ฐํ์์์ ๊ณต๊ธฐ๋ก์จ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ๋ฐ์์์ผ ์ด๊ท ํ๋ ๊ฒ์ธ ๋ฐ ๋นํ์ฌ, ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
์ ๊ณผ์ฐํ์์ ์ฉ์ก์ ์ด๊ท ์ํฌ ์ ํ๊ณผ ๋จผ์ ์ ์ด์ํจ ํ ์๋ฅ ๊ณผ์ฐํ์์๋ฅผ ๋ณด์ ํ๊ณ ์๋ ์ ํ์ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ๋ฐ์์์ผ ์ด๊ท ์ ํ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ๊ณผ์ฐํ์์๋ก์จ ์ ์ฒ๋ฆฌ(์ ์ฒ๋ฆฌ)ํ๋ ๊ณผ์ ์ด ๊ฒฐ์ฌ๋ ์ ์์ ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
๊ณผ ์ฐจ์ด๊ฐ ์๋ค๊ณ ์ฃผ์ฅํ๋ฏ๋ก ๋ณด๊ฑด๋, ์์ 3.์ ๋. (2) (๋) โกํญ์์ ๋ณธ ๋ฐ์ ๊ฐ์ด ์ธ์ฉ๋ฐ๋ช
๋ ๊ณผ์ฐํ์์ ์ฉ์ก์ ํ์์ ๋ฐ๋ผ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฑ๋ฒ ๋ฐ์์ ๊ธฐ์ฒด๋ก ํ ํ ํ๋ผ์ฆ๋ง ์ฑ๋ฒ ์์ผ๋ก ์ฃผ์
ํ๊ณ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ๋ฐ์์์ผ ์ด๊ท ํ ์ ์๋ ๊ฒ์ด๊ณ ์ด์ ๊ฐ์ด ์ค์ํ๋ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
๊ณผ ์ฐจ์ด๊ฐ ์๋ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก ์๊ณ ์ ์ ์ฃผ์ฅ๋ ์ด์ ์๋ค.
๋ผ. ์๊ฒฐ๋ก
๋ฐ๋ผ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ 1ํญ ๋ฐ๋ช
์ ์ง๋ณด์ฑ์ด ์์ด ํนํ๋ฒ ์ 62์กฐ ์ 4ํธ, ์ 29์กฐ ์ 2ํญ์ ๊ท์ ์ ์ํ์ฌ ํนํ๋ก ๋ฑ๋ก๋ ์ ์๋ค๊ณ ํ ๊ฒ์ด๊ณ , ํนํ์ฒญ๊ตฌ๋ฒ์๊ฐ ์ฌ๋ฌ ํญ์ผ๋ก ๋์ด ์๋ ์ถ์๋ฐ๋ช
์์ ํ๋์ ํญ์ด๋ผ๋ ๊ฑฐ์ ์ด์ ๊ฐ ์๋ ๊ฒฝ์ฐ์๋ ๊ทธ ์ถ์ ์ ์ฒด๊ฐ ๊ฑฐ์ ๋์ด์ผ ํ ๊ฒ์ด๋ฏ๋ก( ๋๋ฒ์ 1997. 4. 25. ์ ๊ณ 96ํ603 ํ๊ฒฐ ์ฐธ์กฐ) ์ด ์ฌ๊ฑด ์ถ์๋ฐ๋ช
์ ์ฒด๊ฐ ๊ฑฐ์ ๋์ด์ผ ํ ๊ฒ์ด๋ค.
4. ๊ฒฐ๋ก
๊ทธ๋ ๋ค๋ฉด ์ด์ ๊ฒฐ๋ก ์ ๊ฐ์ด ํ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฌ๊ฒฐ์ ์ ๋นํ๊ณ ์๊ณ ์ ์ด ์ฌ๊ฑด ์ฒญ๊ตฌ๋ ์ด์ ์๋ค.
ํ์ฌ ์กฐ์ฉํธ ๋ฐ์ฑ์ ๊น์ฒ ํ
|
|
๋๊ธ 0๊ฐ
๋ก๊ทธ์ธ ํ์๋ฉด, ํ๋ก ๋๊ธ์ ๋ฑ๋กํ์ค ์ ์์ต๋๋ค.
๋ค์ด๋ฒ ๊ฒ์
๋ธ๋ก๊ทธ
์นดํ
๋ด์ค
์น์ฌ์ดํธ
|
|
[ ์ฐธ์กฐํ๋ก ์ฒด๊ณ๋ ]
-
[ ๋ฒ๊ด/๋๋ฒ๊ด ํ๊ทธ]
|