서울행정법원 2010.12.31 2010구합1149

【사건명】 유족급여및장의비부지급처분취소 【원 고】 원고 1. 원고1 (생략) 속초시 이하생략 2. 원고2 (생략) 화성시 이하생략 3. 원고3 (생략) 시흥시 이하생략 4. 원고4(개명 전 이름 원고4,생략) 아산시 이하생략 5. 원고5 (생략) 천안시 이하생략 원고들 소송대리인 법무법인 법무법인A 담당변호사 변호사1 원고들 소송대리인 변호사 변호사2 【피 고】 근로복지공단 【변론종결】 2011. 05. 23 【판결선고】 2011. 06. 23 【주문】 1. 피고가 2009. 5. 15. 원고 원고1, 원고2에 대하여 한 각 유족급여 및 장의비 부지급처분을 취소한다. 2. 원고 원고3, 원고4, 원고5의 각 청구를 기각한다. 3. 소송비용 중 보조참가로 인한 부분을 제외하고 원고 원고1, 원고2과 피고 사이에 생긴 부분은 피고가, 원고 원고3, 원고4, 원고5와 피고 사이에 생긴 부분은 위 원고들이 각 부담하고, 보조참가로 인한 소송비용 중 원고 원고1, 원고2과 피고 보조참가인 사이에 생긴 부분은 피고 보조참가인이, 원고 원고3, 원고4, 원고5와 피고 보조참가인 사이에 생긴 부분은 위 원고들이 각 부담한다. 【청구취지】 주문 제1항 및 피고가 2009. 5. 15. 원고 원고3에 대하여 한 유족급여 및 장의비 부지급처분, 2009. 5. 15. 원고 원고4에 대하여 한 요양불승인처분, 2009. 9. 7. 원고 원고5에 대하여 한 요양불승인처분을 모두 취소한다. 【이유】 1. 처분의 경위 가. 재해의 경위 (1) 망 소외1(생략생)는 아래와 같은 경위로 사망하였고, 원고 원고1는 망 소외1의 아버지이다. 2003. 10. 6. 피고 보조참가인(이하 '참가인'이라고 한다) 회사에 입사 2004. 1. ~ 2004. 11. ○○○○○ 3라인에서 확산(Diffusion) 공정 업무 담당 2004. 12. ~ 2005. 6. ○○○○○ 3라인에서 습식식각(Wet Etching) 공정 업무 담당 2005. 6. 10. 급성 골수구성 백혈병 진단 2007. 3. 6. 급성 골수구성 백혈병으로 사망 (2) 망 소외2(생략생)은 아래와 같은 경위로 사망하였고, 원고 원고2은 망 소외2의 남편이다. 1995. 1.경 참가인 회사에 입사 1995. 1. ~ 2001. 6. ○○○○○ 3라인에서 금속배선 공정(구체적으로는 스퍼트 공정1)) 업무 담당 2001. 7. ~ 2004. 6. ○○○○○ 3라인에서 화학증착 공정 업무 담당 2004. 7. ~ 2005. 3. ○○○○○ 3라인에서 수주 업무(라벨 부착 업무) 담당 2005. 4. ~ 2005. 8. ○○○○○ 3라인에서 습식식각 공정 업무 담당 2005. 9. ~ 2006. 3. ○○○○○ 3라인에서 확산 공정 업무 담당 2006. 4. ~ 2006. 6. 출산휴가 2006. 7. ~ ○○○○○ 3라인에서 습식식각 공정 업무 담당 2006. 7. 13. 급성 골수구성 백혈병 진단 2006. 8. 17. 급성 골수구성 백혈병으로 사망 (3) 망 소외3(생략생)은 아래와 같은 경위로 사망하였고, 원고 원고3은 망 소외3의 아내이다. 1997. 11.경 참가인 회사에 입사 1997. 11. ~ 2002. 8. ○○○○○ 5라인의 평탄화(Chemical Mechanical Polishing) 공정에서 설비 유지, 보수 업무 담당 2002. 9. ~ ○○○○○ 1라인의 백랩(Back-lap) 공정에서 신규 라인 설치 (set-up) 업무, 설치 이후 설비 유지, 보수 업무 담당 2004. 10. 27. 급성 림프구성 백혈병 진단 2005. 7. 23. 급성 림프구성 백혈병으로 사망 (4) 원고 원고4은 아래와 같은 경위로 급성 골수구성 백혈병 진단을 받았다. 1991. 1. 14. 참가인 회사에 입사 1991. 1. 14. ~ 1992. 2. ○○사업장에서 절단 - 절곡(Trim ＆ Form) 공정 업무 담당 1992. 3. ~ 1996. 1. ○○사업장에서 절단·절곡 공정 업무 담당 1996. 1. 31. 퇴사, 이후 전업주부로 생활 2005. 2. 23. 급성 골수구성 백혈병 진단 (5) 원고 원고5는 아래와 같은 경위로 비호지킨 림프종 진단을 받았다. 1993. 5. 24. 참가인 회사에 입사 1993. 5. 24. ~ 1998. 12. 30. ○○사업장 도금 공정에서 도금 설비와 도금 약품을 다루는 업무 담당 1998. 12. 30. 퇴사 1999. 1. ~ 2002. 12. STS 반도체통신 주식희사에서 인쇄(Marking) 공정 업무 담당 2008. 10. 2. 비호지킨 림프종 진단 나. 처분의 경위 원고 원고1, 원고2, 원고3의 각 유족보상 및 장의비 지급신청과 원고 원고4, 원고5의 각 요양급여신청에 대하여 피고는 '망 소외1, 망 소외2, 망 소외3, 원고 원고4, 원고5에게 발병한 백혈병과 업무와의 인과관계가 없다'는 이유로 2009. 5. 15. 원고 원고1, 원고2, 원고3에게 각 유족보상 및 장의비 부지급처분을, 같은 날 원고 원고4에게 요양불승인처분을, 2009. 9. 7. 원고 원고5에게 요양불승인처분을 하였다 (이하 '이 사건 각 처분'이라고 한다). 다. 참가인의 반도체 생산 과정 참가인의 반도체 사업장은 크게 ○○○○○과 ○○사업장으로 나뉘는데, 기흥사 업장에서는 웨이퍼2)의 제조, 회로설계, 가공 공정이, ○○사업장에서는 웨이퍼를 칩으로 절단하는 공정 및 조립, 검사 공정이 이루어진다. 반도체는 웨이퍼 표면에 실리콘 산화막을 형성하는 과정(Oxidation), 웨이퍼 표면에 회로를 만드는 광학현상 과정(Photolithography), 산화막과 광학 과정에서 만들어진 감광막을 제거하는 식각 과정(Etching), 도판트(Dopant)3) 주입 과정(Doping), 웨이퍼 표면에 전도성 막을 형성하는 증착 과정(Deposition), 웨이퍼 표면에 형성된 각 회로를 연결시키는 금속배선 과정(Metallization)을 통해 가공된다. 이렇게 가공된 반도체는 조립공장으로 옮겨져 연마, 절단, 칩 접착, 금선 연결(Wire Bond)4), 성형(Mold)5), 인쇄, 도금, 절단·절곡(Trim ＆ Form), 검사 과정을 거쳐 제품(DRAM, SRAM, S-LSI, MODULE 등)으로 완성된다. [인정근거] 다툼 없는 사실, 갑 1호증의 1, 2, 3, 5, 6, 갑 2호증의 1, 2, 3, 갑 3호증의 1, 2, 3, 5, 6, 갑 4호증의 1, 2, 3, 갑 9호증의 1, 2, 3, 5, 6의 각 기재, 변론 전체의 취지 2. 이 사건 각 처분의 적법 여부 가. 원고 원고1에 대한 처분의 적법 여부 (1) 원고 원고1의 주장 망 소외1는 참가인 회사의 ○○○○○ 3라인에서 근무하였는데 ① 확산 공정, 습식식각 공정에서 근무하는 동안 벤젠, 포스핀(PH3), 신너, 2-메톡시에탄올 등 에틸렌 글리콜류 화합물, 산화에틸렌 등에 노출되었고, ② 또한 더미 웨이퍼6)에 대한 디캡 (Decap) 작업을 하면서 벤젠, 산화에틸렌 등에 노출되었고, ③ 다른 공정에서 발생한 유해물질, 특히 광학현상 공정에서 사용된 벤젠, 임폴란트 공정에서 사용된 아르신, 아르신이 화학반응을 일으켜 발생한 삼산화비소 등이 건물 외부로 잘 배출되지 않아 위 화학물질에도 노출되었고, ④ 임플란트 공정을 하는 베이7)에 설치된 방사선을 발생시키는 가속이온주입기 앞을 지나다니면서 방사선에도 노출되었고, ⑤ 나아가 3교대 근무를 하면서 수시로 생체리듬을 깨는 야간근무, 초과근무 등을 하여 업무상 과로와 스트레스를 받았는바, 위와 같은 작업환경 및 과로로 인하여 급성 골수구성 백혈병이 발병하여 사망에 이르렀으므로 망 소외1의 사망은 업무상 재해에 해당한다. (2) 인정사실 (가) ○○○○○의 현황 ○○사업장은 ○○단지(1984년 설립되었고 9개의 웨이퍼 가공라인이 있다)와 ○○단지(2002년 설립되었고 6개의 웨이퍼 가공라인이 있다)로 나누어져 있는데, 2008. 2. 기준으로 ○○○○○의 근로자는 총 24,000여 명이고 그 중 남자가 14, 000여 명(생산직 10, 000여 명, 사무직 4, 000여 명), 여자가 10,000여 명(생산직 9,000여 명, 사무직 1,000여 명)이다. (나) 망 소외1의 업무내역 등 ① 망 소외1는 2003. 10. 6. 참가인 회사에 입사한 후 ○○○○○ 3라인에 배치 되어 3라인 1, 22, 24베이(확산 공정)와 3라인 3베이(습식식각 공정)에서 근무하였다. ② 확산 공정은 도판트 주입 과정 중 세부공정의 하나로 대부분 자동설비가 갖추어져 있어서 근로자들의 일반적인 작업은 웨이퍼가 담긴 캐리어(carrier)8)를 로더(Loader)에 올려놓고(loading) 캐리어가 자동으로 설비 안으로 들어가 확산 공정9)을 거친 후 나오면 이를 로더에서 들어낸 후 다음 순서의 공정으로 보내고, 그 과정에서 캐리어 표면에 공정의 진행 상태를 알려주는 스티커를 부착하고 전산시스템에 입력하는 형태로 이루어진다. 확산 공정의 설비는 밀폐되어 있고 외부 공급장치에서 배관을 통해 화학물질이 공급되며 확산 작업에 사용된 후 설비 내부의 국소배기장치를 통하여 외부로 배출된다. 그리고 근로자가 근무하는 라인 내부에는 톱다운(Top-down) 방식10)의 환기시스템이 설치되어 있다. 망 소외1는 3라인 1, 22, 24베이(확산 공정)에서 웨이퍼가 담긴 캐리어를 로더에 올려놓고 캐리어가 자동으로 밀폐된 설비 안으로 들어가 웨이퍼에 산화막을 형성하거나 도판트를 확산시키고 나오면 이를 로더에서 들어낸 후 다음 순서의 공정으로 보내고, 그 과정에서 캐리어 표면에 공정의 진행 상태를 알려주는 스티커를 부착하고 전산 시스템에 입력하는 업무를 하였다. 그리고 망 소외1는 확산 공정에 사용된 더미 웨이퍼의 표면에 증착된 불순물을 제거하는 디캡(Decap) 작업을 병행하기도 하였다. ③ 식각 공정은 웨이퍼에 그려진 회로 부분의 박막만을 남겨 놓고 나머지 박막 부분을 제거하는 공정으로서 그 중 습식식각 공정은 화학용액을 사용하여 식각하는 공정인데, 웨이퍼에 형성된 회로의 패턴대로 필요한 부분을 선택적으로 제거하는 에쳐 (Etcher), 식각 공정이 끝난 후 남아 있는 감광액을 제거해주는 스트리퍼(Stripper), 식각 공정뿐만 아니라 매 공정 후 웨이퍼를 세척하는 스테이션(Station) 등의 설비가 이용된다. 3라인 3베이는 습식식각 공정 중 세척작업을 하는 곳으로 1988년경 설치되었고 현재는 모두 자동화되었으나 망 소외1가 근무할 당시에는 자동설비와 수동설비가 혼재해 있었다. 자동설비가 갖춰진 경우 근로자는 웨이퍼가 담긴 캐리어를 로더에 올려 놓고 캐리어가 자동으로 밀폐된 설비 안으로 들어가 세척작업을 거친 후 나오면 이를 들어내는 일을 하였는데, 수동설비의 경우 근로자가 직접 웨이퍼가 담긴 캐리어를 정해진 시간 동안 과산화수소, BOE 용액11) 등이 담긴 수조(bath)에 담갔다가 꺼내는 작업을 반복적으로 되풀이하는 방법으로 세척작업을 한 후 라벨을 붙이고 전산시스템에 입력한 다음 캐리어를 다음 순서의 공정으로 보내는 작업을 하였다. 이 때 수조에 공급되는 세정액은 외부 공급장치에서 배관을 통해 유입되고 사용 후 수조 양 옆에 설치된 배수시설로 빠져 나갔다. 그리고 수조 윗부분 양 옆으로 국소배기장치가 설치되어 있어 세정액의 증발로 인한 기체를 외부로 배출시켰다. 망 소외1는 2004. 12.경부터 2005. 6. 10·까지 ○○○○○ 3라인 3베이(습식식각 공정)에서 근무하였는데, 2005. 3. 20.경까지는 수동설비에서의 세척작업을 하였으며, 그 이후로는 수동설비 또는 자동설비에서의 세척작업을 하였다. ④ ○○○○○ 3라인에 안전보호구가 갖추어져 있었지만 근로자들은 업무효율을 높이기 위하여 방진 작업복과 토시, 면 마스크만 착용한 채 근무하는 경우가 많았고, 망 소외1도 마찬가지였다. 근로자들은 2인 1조로 세척작업을 하였는데 망 소외1는 처음에는 소외4과, 소외4이 퇴사한 후에는 망 소외2과 한 조를 이루어 작업을 하였다. ⑤ 망 소외1는 4조 3교대로 1일 8시간씩(오전 근무 06:00 ~ 14:00, 오후 근무 14:00 ~ 22:00, 야간 근무 22:00 ~ 다음날 06:00) 근무하였는데 연장근무를 하는 경우가 적지 않았고 6일 근무 후 2일 휴무하였으며 8일 간격으로 근무시간대가 바뀌었다. (다) 화학물질의 사용 등 ① 참가인은 1996. 1.경 환경수첩을 만들어 이를 반도체 사업장 엔지니어들에게 나누어 주었는데 그 중 공정별로 사용하는 가스와 화학물질에 관한 부분은 별지 ’환경 수첩’의 기재 내용과 같다. ② 참가인은 2009. 6. 현재 벤젠, 포름알데히드, 산화에틸렌, 비소 등 총 1,572종을 반도체 제조 전체 공정에서 사용금지물질로 지정하였다. ③ 도판트 주입 공정 중 임플란트 공정은 가속이온주입기를 이용하여 이온을 고속으로 가속하여 웨이퍼 내로 주입하는 공정으로서 이온을 가속하는 과정에서 방사선이 발생한다. 가속이온주입기는 자체에 방사선 차폐시설이 설치되어 있고, 3라인 경우 망 소외1가 근무하던 3베이에서 약 80m 가량 떨어진 곳에 설치되어 있었다. ④ 3라인의 각 베이는 출입문이 없이 개방된 형태였고, 또한 라인 내의 공기순환 시스템상 일부 공정에서 가스가 누출되는 경우 다른 베이에도 확산되었다. ⑤ 참가인은 반도체 가공 라인 내에 가스 누출에 대한 검사시스템만 갖추고 있다가 2006. 6.경 유기화합물에 대하여도 별도의 감지시스템을 구축하였다. ⑥ 참가인은 납품업체로부터 받은 성분표에 근거하여 화학물질들의 성분을 파악하고 있는바, 납품업체들이 제공한 성분표에 따르면 위 화학물질들에 벤젠 등 발암성 물질이 포함되어 있지 않다. 그러나 뒤에서 보는 바와 같이 ○○대학교 산학협력단의 시료 분석 결과는 다소 다르게 나왔다. (라) 망 소외1의 건강상태 망 소외1는 참가인 회사에 입사할 당시 받은 건강검진에서 B형 간염 예방접종이 필요하다는 소견 이외에 적합판정을 받았고, 2004년도 건강검진에서 총 콜레스테롤이 기준치를 초과된 이외에는 정상 판정을 받았으며 가족 중에 백혈병이 발병한 사람은 없었다. 망 소외1는 2005. 5.경부터 구토, 피로, 어지럼증 등의 증상을 보이다가 같은 해 6. 10. ○○대학교병원에서 급성 골수구성 백혈병 진단을 받았고 같은 해 12.경 골수이식수술을 받았다. 그러나 2006. 11.경 위 백혈병이 재발하여 외래진료를 받던 중 2007. 3. 6. 사망하였다. (마) 참가인의 사업장에 대한 역학조사 결과 ○○○○○○○○공단 산하의 ○○○○○○연구원(이하 '○○○○○○연구원'이라고 한다)은 피고의 역학조사 의뢰에 따라 ○○○○○에 대하여 2007. 5. 22·과 같은 해 6. 20. 예비조사, 같은 해 9. 17.부터 같은 해 9. 21.까지 망 소외1의 근무부서 등에 대한 작업환경 측정, 2009. 2. 25. 역학조사평가위원회의 심의 등을 거쳐 보고서를 작성한 후 같은 해 3. 13. 이를 피고에게 제출하였는데, 그 주요 내용은 아래와 같다. ① 작업환경 측정 결과 산업안전보건연구원은 2007. 9. 17.부터 같은 해 9. 21.까지 사이에 ○○○○○ 3라인에서 취급하는 화학물질에 대하여 9개 베이에서 지역시료를 채취하여 1일 6시간 이상 측정하였고, 잔여시간도 측정시간의 노출농도와 같다는 전제하에 측정시간 동안의 농도를 8시간 시간가중평균 노출기준과 비교하였다. 다만 유기용제 측정이 시행되는 베이의 경우 지역시료 채취와 함께 작업자가 수동식 시료채취기를 착용하고 시료를 채취하여 지역시료 측정 결과와 비교하였다. 3베이 습식식각 공정은 수작업 실시되는 작업시간 동안 단기간 노출농도(STEL) 측정을 병행하였다. 그 중 3라인 3베이 습식식각 공정의 세척작업에서는, 지역시료를 검토한 결과 불산은 0.0011~0.00480mg/m³(노출기준 2.5mg/m³)이, 염산은 검출되지 않거나 최대 0.00091mg/m³(노출기준 1.5mg/m³)이, 황산은 검출되지 않거나 최대 0.00255mg/m³노출기준 0.2mg/m³)이, 이소프로필알코올(IPA)은 0.122~0.265ppm(노출기준 200ppm)이 측정 되었다. 단시간 노출농도를 측정한 결과 불산은 0.0676~0.0840mg/m³이, 염산은 검출되지 않거나 최대 0.00048mg/m³이, 황산은 0.0018~0.0476mg/m³이 측정되었고, 이소프로 필알코올은 측정되지 않았다. 불화물(Fluoride, 노출기준 2.5mg/m³)이나 벤젠(노출기준 lppm)은 지역시료뿐만 아니라 단기간 노출농도 측정에서도 측정되지 않았다. 전체적으로 3라인 9개 베이의 물질별 측정 결과를 보면 벤젠, 톨루엔, 크실텐, n-부틸이 세테이트, 2-에톡시에 틸 아세테이트, 2-메톡시 에탄올, 2-헵타논, 에틸렌글리콜, 인산은 전체 시료에서 모두 측정되지 않았고, 아르신은 모든 시료에서 검출되지 않거나 픈적(trace)12)만 있는 것으로 즉정되었으며 불화물은 최고 노출농도가 노출기준의 약 0.17%, 불산은 0.2%, 염산은 0.06%, 황산은 1.7%, 질산은 0.05%, 이소프로필알코올은 0.4%, 포스핀은 2%, 프로필렌글리콜 모노에틸 에테르 아세테이트(PGMEA)는 0.1% 미만으로 측정되었다. 단기간 노출농도 측정 결과의 경우 유기용제류는 모든 시료에서 검출되지 않았고, 불산은 평균 0.092ppm으로서 지역시료의 산술평균 0.0041ppm과 비교하여 약 20배 높은 농도를 나타냈으며 불화물은 모든 시료에서 검출되지 않았다. 전체적으로 9개 베이에서 측정·평가가 이루어진 화학물질 수준은 매우 낮은 편 이었고 발암성 물질로 알려진 벤젠과 아르신은 검출되지 않았다. ② 과거의 작업환경 측정 결과 참가인은 매년 작업환경 측정을 하고 있는데, 2001년부터 2006년까지의 작업환경 측정자료 검토 결과 모든 유기화합물이 측정되지 않거나 노출기준 미만으로 측정되었다. 그 중 2006년도 ○○○○○ 3라인에 대한 작업환경 측정 결과를 보면, 과산화수소가 0.0033ppm(노출기준 lppm), 이소프로필알콜(IPA)이 0.35ppm(노출기준 200ppm), 포스핀이 0.0082ppm(노출기준 lppm), 아르신이 0.000079ppm(노출기준 0.05ppm), 염산이 0.0029ppm(노출기준 2ppm) 측정되었다. ③ 방사선 노출 평가 방사선 노출 평가는 산업안전보건연구원의 의뢰를 받은 ○○○○○ 주식회사가 2007. 12.경 수행하였는데, 가속이온주입기가 설치된 장소 및 작업자의 동선을 따라 5개 지점을 선택하여 방사선 측정장비를 설치한 후 근로자가 1일 8시간 동안 피폭될 수 있는 최대 피폭선량을 산출하였다. 그 결과 5개 지점 중 4개 지점에서는 자연방사선에 의한 피폭선량 미만의 값을 보였고, 1개 지점은 시간당 2.4밀리시버트(uSv/hr)로 1년에 주당 40시간씩 50주간 근무한다고 가정했을 때 연간 4.8마이크로시버트(mSv)의 선량 (원자력법에서 제시된 방사선종사자의 선량한도는 초과하지 않지만 일반인의 선량한도 lmSv/yr는 초과하는 수준)이 감지되었다. 방사선 노출 평가에 근거하여 가장 높은 선량을 보인 지점을 기준으로 하루 8시간 피폭되었다고 보았을 때 방사선 노출에 의한 암 발생의 인과확률이 99 백분위수13)가 0.53%로 나왔고 하루 30분 피폭을 가정하면 0.03%로 나타났다. 하루 8시간 피폭되었을 때 50 백분위수는 0.18%로 나타났다. ④ 역학조사 평가위원의 의견 역학조사 평가위원 13명 중 3명이 망 소외1의 사망에 업무관련성이 있다는 의견을, 1명이 업무관련성이 있다는 증거도 없으나 명백한 반증도 없다는 의견을, 9명이 업무관련성이 낮다는 의견을 제시하였다. 이와 별도로 유가족이 추천한 전문가 2명은 업무관련성이 있다는 의견을 제시하였다. (바) 전체 반도체 사업장 근로자에 역학조사 결과 ① 산업안전보건연구원은 2008. 1. 1.부터 같은 해 12. 31.까지 사이에 국내 반도체 제조사 6개사 및 그 협력업체에서 근무하였던 전·현직 근로자들을 대상으로 림프 조혈계 암 발병위험이 일반 국민보다 높은지 여부에 관한 역학조사를 실시하였는데 그 종합 결과는 아래와 같으며 구체적인 내역은 별지 표 38. 고용보험 코호트의 표준화 사망비와 표준화 암등록비 요약 기재 내지 표 59. 백혈병 (C91-C95)의 표준화 암등록비 분석결과의 기재와 같다14).

질환	성별	분석 코호트	표준화 사망비 (95% 신뢰구간)	표준화 암등록비 (95% 신뢰구간)
전체 사망	남	고용보험	0.53(0.49-0.57)
전체 사망	여	고용보험	0.66(0.58-0.75)
악성 신생물	남	고용보험	0.74(0.63-0.86)	0.86(0.77-0.95)
악성 신생물	여	고용보험	0.73(0.57-0.93)	0.97(0.87-1.09)
림프 조혈계 암 전체	남	고용보험	0.48(0.23-0.88)
	남	인사자료	0.41(0.11-1.06)
	여	고용보험	0.92(0.47-1.60)
	여	인사자료	1.56(0.68-3.08)
백혈병	남	고용보험	0.51(0.19-1.12)	0.86(0.48-1.42)
	남	인사자료	0.36(0.04-1.29)	0.87(0.38-1.72)
	여	고용보험	0.89(0.41-1.70)	1.04(0.58-1.71)
	여	인사자료	1.48(0.54-3.22)	1.31(0.57-2.59)
비호지킨 림프종	남	고용보험	0.57(0.16-1.47)	0.84(0.45-1.44)
	남	인사자료	0.62(0.08-2.24)	0.77(0.28-1.69)
	여	고용보험	1.05(0.22-3.07)	1.61(0.90-2.66)
	여	인사자료	2.05(0.25-7.42)	2.67(1.22-5.07)

② 산업안전보건연구원은 당시 참가인의 반도체 사업장에서 근무하였던 전·현직 근로자 중에는 백혈병 10명, 비호지킨 림프종 8, 호지킨병 1명 등 총 19명이 림프 조혈계 암으로 진단받았고 그 중 7명이 사망하였으며 그 이외 림프 조혈계 질환의 일종인 무형성빈혈로 1명이 사망한 것으로 조사하였다. (사) ○○대학교 산학협력단의 자문 결과 참가인 등 국내 반도체 제조업체들은 2009. 6.경 ○○대학교 산학협력단(이하 '산학협력단'이라고 한다)에 반도체 사업장의 위험성 평가에 관한 자문을 의뢰하였고, 이 에 산학협력단은 2009. 6.경부터 약 5개월 동안 반도체 사업장의 위험성을 조사하였다. 그 중 참가인의 사업장에 대하여는 ○○○○○의 5라인과 ○○사업장의 1라인을 평가 대상 작업장으로 선정한 후 참가인이 과거 실시한 작업환경 측정 결과를 토대로 위 라인에 대한 위험성을 평가하였다. 자문의견서의 주요 내용은 아래와 같다. ① ○○○○○ 5라인 ㉮ 총 99종15)의 화학제품이 사용되고 있는데 이 중 단일물질은 70종이고 나머지 29종은 여러 물질이 혼합된 제품이다. 참가인은 납품업체로부터 받은 성분표에 근거하여 화학물질들의 성분을 파악하고 있는바, 납품업체들이 제공한 성분표에 따르면 위 화학물질들에 발암성 물질이 포함되어 있지 않다. ㉯ 병의 형태로 사용되는 제품이 65종, 라인을 이용한 중앙공급방식으로 사용되는 제품이 32종, 드럼 형태로 사용되는 제품이 2종인데, 중앙공급방식은 배관 연결부 위에서 가스가 누출되는 경우, 병이나 캔 등을 이용한 내부공급방식은 용기의 개폐, 소량으로 나누는 과정과 이들 제품의 일부를 공장 내부에 보관하는 과정에서 적절히 관리되지 않는 경우에 화학물질이 작업장 내로 유입될 가능성이 높다. ㉰ 위 99종의 화학제품의 성분을 실제 확인한 결과 단일 화학물질은 총 83종으로 확인되는데 그 중 성분이 미확인된 물질은 10종이며, 이 10종의 물질들은 모두 영업비밀로 되어 있는 물질이다. 또한 위 83종 중 24종만이 작업환경 측정을 통하여 모니터링 되고 있었는데, 측정을 통해 관리되지 않는 물질들이 모두 안전한 물질은 아니고 세척 공정에서 사용되고 있는 카테콜(Catechol), 수산화암모늄(NH₄OH) 등은 근로자 건강보호를 위해 측정할 필요성이 있는 물질로 판단된다. ㉱ 라인 내 근로자와 엔지니어에 대한 전체 측정 농도의 분포를 노출기준 대비 노출농도의 비율(노출지수=노출농도/노출기준)로 환산하여 공정별 측정 물질의 노출지 수 최대값의 분포를 분석한 결과는 별지 [표 10] 공정별 최대 노출지수 분포(2007) 기재와 같다. 장비의 세정작업은 외주를 주어 협력업체에서 실시하고 있는데 정비작업에 대한 공정별 측정 물질의 노출지수 최대값의 분포를 분석한 결과는 별지 [표 11] 정비 작업에 대한 공정별 최대 노출지수 분포(2007) 기재와 같다. ㉲ 반도체 사업장에서는 작업장 내의 다양한 장비를 현장 내에서 개방하고 점검 및 정비하는 작업이 규칙적 흑은 불규칙적으로 실시되므로 이러한 작업시 장비 내 오염물질이 공정 내로 유입될 가능성이 있어 작업자의 노출에 큰 영향을 줄 수 있는데, 현재 측정방식은 상·하반기 일정한 측정시기를 정하여 해당 기간 동안 각 공정, 단위 작업장소별 1회 측정하는 방법을 활용하고 있으므로 작업환경 측정 결과에는 한계가 있다. ㉳ 5라인의 확산 공정 등 6개 공정에는 라인 장비에 323개, 장비 외부(작업장)에 28개의 가스검지기가 설치되어 있는데, 2009. 2. ~ 2009. 7.까지 가스검지기 경보가 총 46회 울렸다. 그 경보발생 현황은 별지 [표 13] 최근 6개월간 5라인의 검지기 경보발생현황(물질명별) 기재와 같고, 이 중에서 2009. 7. 20. 브롬화수소(HBr)가 누출되었음을 이유로 발령된 경보의 경우 위 가스가 고농도로 5, 729초간 실제 누출되어 매우 위험한 상황이었음에도 현장 근로자의 대피 등의 적절한 조치가 없었다. ㉴ 5라인의 감광 공정에서 사용하고 있는 40 ~ 50여 종의 감광제 벌크(액체용액) 중 6개를 임의로 선정해서 벤젠 등 일부 화학물질의 함유량을 분석한 결과는 아래 표와 같다. 그러나 그 함유량은 극히 미량이고 감광 공정 챔버에 밀폐형 국소배기장치가 설치되어 있어서 정상적으로 운영되는 동안에 챔버 밖 공기 중 농도는 검출한계 미만 일 가능성이 높다.

PR 벌크에서 분석한 물질	PR 벌크 시료
PR 벌크에서 분석한 물질	SPSL 402	SL 4100A	SEPR 402	SPUV-5604	SMDT-750	JSAL-2726
벤젠*, %(ppm)	0.000891 (8.91)	0.000218 (2.18)	0.000234 (2.34)	0.000785 (7.85)	0.000015 (0.15)	0.000008 (0.08)
톨루엔, %(ppm)	0.015184 (151.84)	0.00041 (4.1)	0.000448 (4.48)	0.000053 (0.53)	0.000012 (0.12)	0.000019 (0.19)
2 -methoxyethanol, %(ppm)	0.002185 (21.85)	0.001079 (10.79)	0.006392 (62.92)	0.000590 (5.90)	검출 되지 않음	검출 되지 않음

㉵ 이온 주입과정에서 노출되는 유해인자인 도판트(Dopants; 아르신, 보론, 포스핀 등)는 발암성, 폭발성, 가연성이 있는 위험물질이고, 또한 아르신 가스 사용으로 인한 반응 부산물인 비소화합물은 방광암, 피부암, 백혈병의 원인인자이다. ㉶ 직무별 노출수준은 노출강도와 노출빈도를 조합하여 평가하는 것이 필요한데, 라인 내 근로자의 경우 유해인자 발생설비, 장치, 기계 등이 밀폐되어 있고 근로자와 격리되어 있으며 공정 내에서 이루어지는 장비, 기계 등의 수리, 세척, 정비에는 관여 하지 않기 때문에 정상운전에서는 높은 노출이 일어나지 않고, 또한 이들을 대상으로 측정한 일부 유해인자의 노출수준도 대부분 노출기준 이하이므로 직무와 관련된 전반 적인 유해인자 노출강도는 '낮음'으로 평가하고, 엔지니어의 경우 챔버 안 혹은 별도의 세정실에서 기계 정비, 세척, 화학물질 용기 교체 등 화학물질이나 유해인자가 발생하는 업무를 직접 담당하고 있고 문헌에서도 단시간에 높은 수준에 노출될 위험이 있는 업무로 알려져 있으므로 노출강도를 '높음'으로 평가한 후 위 노출강도와 노출빈도를 조합하여 노출수준을 평가하는 것이 필요하다. ② 온양사업장 ㉮ 총 33종16)의 화학제품이 사용되고 있는데, 이 중 단일물질은 2종이고 나머지 31종은 여러 물질이 혼합된 제품이다. 참가인은 납품업체로부터 받은 성분표에 근거하여서만 실제 사용하고 있는 화학물질들의 성분을 파악하고 있고 위 화학물질들에 발암성 물질이 포함되어 있는지 여부 등을 직접 분석하고 있지는 않다. ㉯ 병이나 캔과 같이 소량이 들어있는 형태로 사용하는 것이 가장 많았는데 이러한 내부공급방식은 용기의 개폐, 소량으로 나누는 등의 과정과 이들 제품의 일부를 공장 내부에 보관하는 과정에서 적절히 관리되지 않는 경우가 있다. ㉰ 위 33종의 화학제품의 성분을 실제 확인한 결과 총 63종의 단일 화학물질이 확인되었는데 그 중 성분이 미확인된 물질은 3종이며, 이 3종의 물질들은 모두 영업비밀로 되어 있는 물질이다. 또한 위 63종의 단일 화학물질 중 14종만이 작업환경 측정을 통하여 모니터링 되고 있었다. 사용되고 있는 화학제품 중 그 구성성분으로 가장 자주 사용되는 물질은 에폭시수지와 페놀수지이고 이들 물질이 사용되면서 열분해 산물로 포름알데히드가 발생될 수 있는데, 아직까지 이들 물질을 직접 모니터링 할 수 있는 작업환경 측정방법이 알려져 있지 않은 상태이다. ㉱ 전체 측정 농도의 분포를 노출기준 대비 노출농도의 비율(노출지수=노출농도/노출기준)로 환산하여 공정별 측정 물질의 노출지수 최대값의 분포를 분석한 결과는 별지 [표 7] 공정에 따른 최대 노출지수 분포(2007상) 기재와 같다. ㉲ 직무별 노출수준은 노출강도와 노출빈도를 조합하여 평가하는 것이 필요한데, 라인 내 근로자의 경우는 ○○○○○의 경우와 같이 유해인자 노출강도는 '낮음'으로 평가하고, 엔지니어의 경우 설비나 공정에 문제가 발생하였을 때 원인을 찾아내고 이를 해결하여 설비가 정상 가동 되도록 조치하는 업무를 하고 또한 약품을 투입, 교체하고 설비를 정비하며 부품을 교체하기도 하므로 이들 직무에 대한 전반적인 노출강도는 중간 혹은 높음으로 평가한 후 위 노출강도와 노출빈도를 조합하여 노출수준을 평가하는 것이 필요하다. ㉳ 도금 공정에서 사용되는 화학물질의 종류가 가장 많은데 엔지니어는 도금조에 약품을 투입하고 도금조를 세척하거나 도금조의 도금액을 순환시키는 펌프의 필터를 교환하는 것을 주된 업무로 하므로 작업시 노출되는 유해물질의 노출 정도는 높을 수 있다고 판단된다. 그러나 약품투입에 소요되는 작업시간 등을 고려하면, 엔지니어의 전반적인 유해인자에 대한 노출수준은 낮음 혹은 중간으로 평가된다. 도금 공정에서 근로자에게 건강상 위험을 줄 수 있는 유해인자는 황산, 질산, 염산 등 산류와 주석, 납 이다. ③ 환기 부분 ㉮ 웨이퍼 가공 공정의 경우 외부 공기가 10 ~ 20%의 비율로 유입되어 재순환 공기와 함께 작업공간으로 공급되는데 일반적으로 조립 공정의 외부 공기 유입률이 가공 공정의 외부 공기 유입률보다 높은 것으로 판단된다. ㉯ 생산설비를 정비하면서 오염물질이 유출되면 외부 공기 유입률이 10 ~ 20% 정도밖에 되지 않으므로 오염물질이 웨이퍼 가공 공정이 진행되는 라인 내부의 공간과 플레넘(Plenum)17)을 순환하면서 근로자나 검지기가 감지하지 못한 사이에 만성적인 저 농도 오염을 일으켜 건강에 악영향을 줄 수 있다. (아) 조혈계(造血系) 암에 대한 의학적 견해 등 림프 조혈계 암은 혈액 및 림프 조직의 다양한 세포계열의 분화 과정에서의 이상으로 발생하는 혈액암으로서 골수구성 백혈병, 림프구성 백혈병, 호지킨병, 비호지킨 림프종 등이 있다. 급성 골수구성 백혈병의 발병원인으로는 유전, 전리방사선, 벤젠, 1, 3-부타디엔, 산화에틸렌, 약물(항암제) 등이 알려져 있고, 흡연, 석유화학물질, 도료, 시신방부제, 제 초제, 살충제 등도 발생위험도를 증가시킨다는 보고가 있다. 비전리방사선, 석면, 트리클로로에틸렌(Trichloroethylene, 이하 'TCE'라고 한다)18)을 비롯한 기타 유기용제 등은 림프조혈계 암 발병을 유발하는 의심인자로 보고되고 있기는 하나 아직까지 명확한 발암인자로 보고되지는 않았고 최근에는 포름알데히드(Formaldehyde)도 의심물질로 파악되고 있다. 급성 림프구성 백혈병의 발병원인으로는 전리방사선과 벤젠이 알려져 있고 그 이외에는 확실하지 않으나 농약을 포함한 유해화학물질 노출과 흡연 등의 환경적인 요인이 성인에게 발병률을 증가시킨다고 보고되고 있다. 급성 림프구성 백혈병은 2 ~ 9세에 최고 발생률을 보이고 주로 20대 이전에 발생한다. 비호지킨 림프종은 농업 종사자, 목재 취급자, 합성고무산업 종사자, 육류 및 금속산업 종사자, 수의사% 석면노출 근로자에게 발생위험도가 높다고 알려져 있고 제초제 및 살충제로 사용되는 다이옥신 등이 위험도가 높다고 알려져 있다. 벤젠의 경우도 연관성이 있다는 보고가 있다. 전리방사선은 조혈계에 작용하여 재생 불량성 빈혈, 백혈병 등을 일으키는데, 일본의 원폭 피해 생존자들을 대상으로 한 연구 결과 전리방사선에 노출된 지 5 ~ 7년 후에 골수구성 백혈병의 발생률이 증가하는 것으로 밝혀졌다. 벤젠의 경우 미국산업안전보건청은 1987년경 공기 중 벤젠의 허용농도를 l0ppm 에서 lppm으로 낮추었고 산업위생사협의회는 허용농도를 0.lppm으로 낮추도록 권장 하고 있다. 우리나라에서는 1986년경 작업장 안의 벤젠의 농도를 l0ppm 이하로 규제 하였고 2003. 7·경부터 lppm 이하로 규제하고 있다. [인정근거] 다툼 없는 사실, 갑 4, 5, 6의 각 1, 갑 15호증, 갑 17, 18호증의 각 1, 갑 19호증, 갑 23호증의 1 내지 3, 갑 25호증, 갑 27호증의 5, 6, 7, 갑 30호증의 1, 2, 갑 35호증, 갑 44호증의 1, 2, 갑 50 내지 53호증, 을나 2, 5, 6호증, 을나 7호증의 1 내지 5, 을나 22, 24호증의 각 기재, 증인 소외5의 일부 증언(뒤에서 믿지 아니하는 부분 제외), ○○대학교 보건대학원 산학협력단에 대한 사실조회 결과, 변론 전체의 취지 [배척증거] 증인 소외5의 일부 증언 (3) 판단 (가) 산업재해보상보험법에서 말하는 '업무상 재해'라 함은 근로자가 업무 수행 중 그 업무에 기인하여 발생한 재해를 말하는 것이므로, 업무와 재해발생 사이에 상당 인과관계가 있어야 하고 이 경우 근로자의 업무와 질병 또는 위 질병에 따른 사망 간의 인과관계에 관하여는 이를 주장하는 즉에서 입증하여야 하는 것이 원칙이며, 이 경우 업무와 재해 사이의 상당인과관계의 유무는 보통 평균인이 아니라 당해 근로자의 건강과 신체조건을 기준으로 판단하여야 할 것이다(2004. 4. 9. 선고 2003두12530 판결 등 참조). 그런데 인과관계의 입증의 정도에 관하여 보면, 그 인과관계는 반드시 의학적, 자연과학적으로 명백히 입증하여야만 하는 것은 아니고, 근로자의 취업 당시 건강상태, 질병의 원인, 작업장에 발병원인물질이 있었는지 여부, 발병원인물질이 있는 작업장에서의 근무기간 등 제반 사정을 고려할 때 업무와 질병 또는 그에 따른 사망 사이에 상당인과관계가 있다고 추단되는 경우에도 입증이 있다고 보아야 할 것이다(2005. 11. 10. 선고 2005두8009 판결, 대법원 2008. 5. 15. 선고 2008두3821 등 참조). (나) 위 인정사실에 의하여 알 수 있는 다음과 같은 사정에 비추어 보면, 비록 망 소외1에게 발병한 급성 골수구성 백혈병의 발병 경로가 의학적으로 명백히 밝혀지지 않았다고 하더라도 망 소외1가 ○○○○○ 3라인에서 근무하는 동안 각종 유해화학물 질에 지속적으로 노출되어 급성 골수구성 백혈병이 발병하였거나 적어도 그 발병이 촉진되었다고 추단할 수 있으므로 망 소외1에게 발병한 급성 골수구성 백혈병과 그 업무와의 사이에 상당인과관계가 있다고 봄이 상당하다. 따라서 원고 원고1의 주장은 이유 있고, 이와 반대되는 전제에 선 피고의 이 사건 처분은 위법하다. ① 현대의학상 백혈병의 위험인자가 명확하게 규명되지는 않았으나 벤젠, 1, 3-부 타디엔, 산화에틸렌 등 일부 화학물질과 전리방사선이 백혈병을 발병시키는 원인으로 알려져 있고 TCE, 포름알데히드 등도 백혈병을 발병시키는 의심인자로 보고되고 있으며, 또한 인체에 유해한 화학물질에 노출되는 경우 비록 그 화학물질이 백혈병을 발병 시킬 수 있다는 점에 대하여 의학적으로 증명된 바가 없다고 하더라도 이는 그에 대한 원인이 제대로 규명되지 않은 사정에 기인할 수도 있어 의학적, 과학적으로 입증되지 않는다고 하여 백혈병의 발병 가능성을 배제할 수는 없다. ② 참가인은 환경수첩을 제작하여 엔지니어들에게 나누어줄 무렵인 1996년경부터 ○○○○○ 3라인에서 수십 종에 이르는 화학물질을 사용하고 있고, 그 중 확산 공정에서 HC1(염화수소), P0C13(옥시염화인) 등을, 습식식각 공정 중 세척작업에서 (CH)2 CO(아세톤), IPA(이소프로필알콜), ACT-CMI(디메틸아세트아미드, 2-메틸에탄올아민 혼합물), CH3CI(염화메틸), TCE(트리클로로에틸렌), 각종 THINNER(신나), H202(과산화수소), H2S04(황산), HN03(질산), HF(불산), HCI(염화수소), H3PCU(인산), CH3COOH(아세트산) 등을 사용하고 있는 것으로 보이는데, 이들은 모두 눈, 피부, 호흡기 등에 자극성이 있는 물질들이다. 위 물질들 중 ACT-CMI, TCE, H2S04 등은 발암성 물질로 지정 되었고, TCE는 림프조혈계 암 발병을 유발하는 의심인자로 보고되고 있다. ③ 참가인은 ○○○○○ 3라인과 작업환경이 유사한 같은 사업장 5라인에서 99 종에 이르는 화학물질을 사용하고 있고 그 중 확산 공정에 13종, 세척작업에 10종을 사용하고 있다. 확산 공정에서 HCI(염화수소), HF(불산), HN03(질산), IPA(이소프로필 알콜), NaOH(수산화나트륨), NH3(암모니아), PH3(포스핀), AsHs(아르신), H2S04(황산), HsPCU(인산) 등이, 세척작업에서 HCI(염화수소), HF(불산), HN03(질산), IPA(이소프로 필알콜), 암모니아(NH3), 초산, 아세톤, H202(과산화수소), H2S04(황산), H3P04(인산) 등이 미량이나마 측정되었다. 이들은 모두 눈, 피부, 호흡기 등에 자극성이 있는 물질들로서 그 중 아르신, 황산은 국제암연구소가 발암성 물질로 지정한 것들이고, 포스핀은 백혈구감소증이나 빈혈을 일으키는 물질이다. 또한 확산 공정이나 습식식각 공정의 전 단계인 감광 공정에서 사용하는 감광제에서 백혈병 위험인자로 잘 알려진 벤젠이 검출되었고, 골수에 악영향을 미치는 2-메톡시에탄올이 검출되기도 하였다. 그리고 망 소외1는 확산 공정에서 사용된 더미 웨이퍼에 대하여 디캡 작업도 한 것으로 보이는데 디캡 작업시 성분이 밝혀지지 아니한 화학물질을 사용하였다. ④ 비록 ○○○○○ 3라인 내에 전체 환기시스템이 가동되고 있고 각 설비가 밀폐되어 있으며 그 설비 내에 국소배기장치가 설치되어 있었다고 하더라도 역학조사 결과 위와 같이 화학물질이 검출된 점에 비추어 보면 각 공정에서 사용된 유해화학물질이 모두 정상적으로 배출되었다고 보기 어렵고, 특히 망 소외1가 수동설비에서 습식 식각 공정 중 세척작업을 한 관계로 위와 같은 유해화학물질에 더욱 많이 노출되었을 것으로 보이며(국소배기장치나 톱다운 방식의 환기 시스템만으로는 유해화학물질을 모두 외부로 배출하기는 어려웠을 것으로 보인다), 3라인의 각 베이는 출입문이 없이 개방된 형태였고 또한 라인 내의 공기순환 시스템상 일부 공정에서 가스 누출이 발생하는 경우 다른 베이에도 확산되는 관계로 다른 공정에서 배출된 유해화학물질에도 노출 되었을 가능성도 높다. ⑤ 위 유해화학물질들은 인체에 유해하므로 비록 노출기준에 못 미치는 양만 노출되었다고 하더라도 망 소외1가 동일한 근무환경 속에서 장시간 작업을 함으로써 지속적으로 유해화학물질에 노출된 것을 보이는 점, 참가인이 2006. 6.경 유기화합물에 대하여 뒤늦게 감지시스템을 구축한 점, ○○○○○ 3라인의 시설이 가장 노후되어 있 었던 것으로 보이는 점 등에 비추어 보면, 망 소외1가 참가인이 측정한 작업환경 측정 결과보다 많은 양의 유해화학물질에 노출된 것으로 보인다(따라서 참가인의 작업환경 측정 결과 그리고 이를 토대로 한 산업안전보건연구원의 과거의 작업환경에 관한 역학조사 결과, 산학협력단의 자문의견서 중 결론 부분은 일정한 시점에 유해화학물질의 노출 정도를 정태적으로 분석한 것으로서 위와 같이 추단하는데 방해가 되지 아니 한다). ⑥ 전리방사선에 과다하게 노출된 경우 5 〜 6년 정도 지나야 백혈병의 발병이 관찰된다는 연구 결과가 있기는 하나, 전리방사선에 대한 감수성에 개인차가 있을 수 있고 망 소외1가 약 1년 8개월간의 앞서 본 바와 같은 각종 유해화학물질에 함께 노출 된 점이 전리방사선에의 노출과 상호작용을 일으킬 수 있다. 따라서 망 소외1가 근무 기간이 짧았고 유해화학물질에의 노출량이 허용기준 미만이었다고 하더라도 개인의 면역력 차이에 따라 백혈병이 발병할 수도 있는 것으로 보인다. ⑦ 한편, 전체 반도체 사업장 근로자에 대한 역학조사에서 일반 국민에 비하여 반도체 사업장 근로자 전체 남성, 여성 각각의 표준화 사망비가 낮다는 통계적으로 의미있는 결과가 나온 점에 비추어 반도체 사업장 근로자들이 일반 국민보다 건강하다고 추정할 수 있다. 이런 사정을 고려하면 비록 반도체 사업장 여성 근로자의 백혈병 관련 표준화 사망비나 표준화 암등록비의 각 신뢰구간의 폭이 넓어19) 그 결과가 통계적 으로 유의하지 않다고 하더라도 일반 국민보다 표준화 사망비나 표준화 암등록비가 높다는 점은 망 소외1의 백혈병 발병에 작업환경이 영향을 미쳤으리라는 추정을 뒷받침 한다. ⑧ 참가인이 납품업체로부터 공급받는 화학물질에 벤젠 등 발암성 물질이 포함되어 있지 않다는 취지의 성분 분석표를 제공받고는 있는 것으로 보이나 산업재해보상보험법상의 업무상 재해에는 사용자의 고의, 과실을 요건으로 하지 아니하므로 위와 같은 사정은 업무상 재해의 인정에 장애가 되지 아니한다(다만, 3교대 근무로 인한 야간 근무가 인체의 생체리듬을 깨뜨리고, 연장근무가 과로의 원인이 된다고 하더라도 일정 한 시기가 지나면 생체리듬이 야간근무에 적응하고 과로가 백혈병 등의 암을 유발하지는 않는다고 보는 것이 의학계의 일반적인 견해이므로 위와 같은 사정이 이 사건 산재의 원인이라고 보기는 어렵다). 나. 원고 원고2에 대한 처분의 적법 여부 (1) 원고 원고2의 주장 망 소외2은 참가인 회사의 ○○○○○ 3라인에서 근무하였는데 ① 화학증착 공정에서 근무하는 동안 TCE 등에 노출되었고, ② 습식식각 공정, 확산 공정에서 근무하면서 벤젠, 포스핀, 2-메톡시에탄올 등 에틸렌글리콜류 화합물, 산화에틸렌 등에 노출 되었고, ③ 다른 공정에서 사용된 벤젠, 아르신, 아르신, 삼산화비소 등 비소화합물 등 이 라인 외부로 잘 배출되지 않아 위 화학물질에도 노출되었고, ④ 가속이온주입기에서 발생되는 방사선에도 노출되었고, ⑤ 나아가 3교대 근무를 하면서 수시로 생체리듬을 깨는 야간근무, 조과근무 등을 하여 업무상 과로와 스트레스를 받았는바, 위와 같은 작업환경 및 과로로 인하여 급성 골수구성 백혈병이 발병하여 사망에 이르렀으므로 망 소외2의 사망은 업무상 재해에 해당한다. (2) 인정사실 (가) ○○○○○의 현황 위 2.의 가. 중 (2)의 (가) 기재와 같다. (나) 망 소외2의 업무내역 등 ① 망 소외2은 1995. 1. 17. 참가인 회사에 입사한 후 ○○○○○ 3라인에서 근 무하였는데, 입사 후 2001. 6.경까지는 3라인 6, 9베이(금속배선 공정)에서, 그 이후 2004. 6.경까지는 3라인 11, 14베이(화학증착 공정)에서 각 근무하였고, 2005. 4.경부터 2005. 8.경까지는 3라인 3베이(습식식각 공정)에서, 그 이후 2006. 3·경까지는 3라인 22베이(확산 공정)에서 각 근무하였으며, 그 이후 2006. 6.경까지 출산휴가를 다녀온 뒤 2006. 7.부터 다시 3라인 3베이(습식식각 공정)에서 근무하였다. ② 금속배선 공정은 금속막 증착장치(Sputter)로 알루미늄 원자를 웨이퍼 표면에 부착하여 웨이퍼 표면에 형성된 각 회로를 연결하는 배선을 만드는 공정으로서 알루미늄을 증착시키기 위하여 아르곤 입자를 이온화하여 금속에 충돌시키는 방식을 사용한다. 망 소외2은 3라인 6, 9베이(금속배선 공정)에서 2001. 6.경까지 웨이퍼가 들어있는 캐리어를 로더에 올리고 캐리어가 자동으로 밀폐된 설비 안으로 들어가 스퍼트 공정을 거친 후 나오면 이를 로더에서 들어내어 다음 공정으로 보내고, 그 진행상태를 전산시스템에 입력하는 작업을 하였다. ③ 화학증착 공정은 열 및 플라즈마 원료가 되는 가스 사이의 화학반응을 일으켜 형성된 입자들을 웨이퍼 표면에 증착시키는 공정이다. 망 소외2은 3라인 11, 14베이(화학증착 공정)에서 웨이퍼가 담긴 캐리어를 로더에 올리고 캐리어가 자동으로 챔버(Chamber)라는 밀폐된 설비 안으로 들어가 증착과정을 거친 후 나오면 이를 로더에서 들어내어 다음 공정으로 보내고, 그 진행상태를 전산시스템에 입력하는 작업을 하였다. 이 때 챔버 내로 공급되는 화학물질(실텐, 텅스텐핵사플루오르 화합물, 아르곤, 질소, 옥타플루오르프로판 등)은 외부에 설치되어 있는 공급장치에서 배관을 통해 공급되고 챔버 내의 국소배기장치를 통하여 배출되었다. ④ 3라인 3베이(습식식각 공정)에서의 세척작업 및 3라인 22베이(확산 공정)에서의 작업은 망 소외1의 경우와 같다(다만, 망 소외2은 2004. 7·경부터 2005. 3.경까지는 습식식각 공정에서 주문자의 주문서대로 라벨을 출력하고 기존에 중간 공정까지 진 행된 웨이퍼 캐리어들 중에서 해당 주문 사양에 맞는 웨이퍼를 찾아 라벨을 부착하는 수주작업을 담당하였다). ⑤ 망 소외2은 4조 3교대로 1일 8시간씩(오전 근무 06:00 ~ 14:00, 오후 근무 14:00 ~ 22:00, 야간 근무 22:00 ~ 다음날 06:00) 근무하였는데 연장근무를 하는 경우 가 적지 않았고 6일 근무 후 2일 휴무하였으며 8일 간격으로 근무시간대가 바뀌었다. (다) 화학물질의 사용 등 위 2.의 가. 중 (2)의 (다) 기재와 같다. (라) 망 소외2의 건강상태 망 소외2은 임신 및 출산 당시 시행한 검진 결과 모두 정상이었고 2003년경부터 2005년까지의 건강검진 결과에서도 B형 간염 예방접종이 필요하다는 소견 이외에 특별한 이상이 없었고, 가족 중에 백혈병이 발병한 사람도 없었다. 한편, 망 소외2은 1998년경 이후로 거의 매년 만성 위염, 만성 비염, 만성 질염, 접촉피부염, 급성 기관 지염 등 염증성 질환으로 치료를 받았다. 망 소외2은 2006. 4.경 정상적으로 출산한 후 2006. 6. 중순경까지 출산휴가를 다녀왔는데, 업무에 복귀한지 며칠 후부터 다리에 멍이 들고 잇몸에서 피가 나오는 증 상을 보이다가 같은 해 2006. 7. 13. ○○대학교병원에서 급성 골수구성 백혈병 진단을 받았다. 이후 항암치료를 받았으나 회복되지 못하고 2006. 8. 17. 사망하였다. (마) 역학조사 결과 등 산업안전보건연구원은 피고의 역학조사 의뢰에 따라 ○○○○○에 대하여 2008. 7. 11. 예비조사, 같은 해 8. 8. 망 소외2의 근무부서 등에 대한 작업환경 측정, 2009. 2. 25. 역학조사평가위원회의 심의 등을 거쳐 보고서를 작성한 후 같은 해 3. 13. 이를 피고에게 제출하였는데, 그 주요 내용은 위 2·의 가. 중 (2)의 (마) 기재와 같다(다만 3 라인 2층의 방사선 노출에 관하여 2008. 8.경 측정한 결과가 추가되었는데, 그 결과 자연방사선량 수준의 방사선만 측정되었다). 역학조사 평가위원 13명 중 3명이 망 소외2의 사망에 업무관련성이 있다는 의견 을, 1명이 업무관련성이 있다는 증거도 없으나 명백한 반증도 없다는 의견을, 9명이 업 무관련성이 낮다는 의견을 제시하였다. 이와 별도로 유가족이 추천한 전문가 2명은 업 무관련성이 있다는 의견을 제시하였다. 나머지 전체 반도체 사업장 근로자에 대한 역학조사 결과와 산학협력단의 자문 결과는 위 2.의 가. 중 (2)의 (바), (사) 기재와 같다. [인정근거] 다툼 없는 사실, 갑 4, 5, 6호증의 각 2, 갑 15호증, 갑 17, 18호증의 각 2, 갑 25호증, 갑 27호증의 5, 6, 7, 갑 30호증의 1, 2, 을나 2, 5, 6호증, 을나 7호증의 1 내지 5, 을나 22호증의 각 기재, 증인 소외5의 일부 증언(뒤에서 믿지 아니하는 부분 제외), ○○대학교 보건대학원 산학협력단에 대한 사실조회 결과, 변론 전체의 취지 [배척증게 증인 소외5의 일부 증언 (3) 판단 (가) 업무와 재해 발생 사이의 인과관계 유무 및 인과관계의 입증의 정도는 위 2. 의 가. 중 (3)의 (가)에서 살펴본 바와 같다. (나) 위 인정사실에 의하여 알 수 있는 다음과 같은 사정에 비추어 보면, 비록 망 소외2에게 발병한 급성 골수구성 백혈병의 발병 경로가 의학적으로 명백히 밝혀지지 않았다고 하더라도 망 소외2이 ○○○○○ 3라인에서 근무하는 동안 각종 유해화학물질에 지속적으로 노출되어 급성 골수구성 백혈병이 발병하였거나 적어도 그 발병이 촉진되었다고 추단할 수 있으므로 망 소외2에게 발병한 급성 골수구성 백혈병과 그 업무와의 사이에 상당인과관계가 있다고 봄이 상당하다. 따라서 원고 원고2의 주장은 이유 있고, 이와 반대되는 전제에선 피고의 이 사건 처분은 위법하다. ① 현대의학상 백혈병의 위험인자가 명확하게 규명되지는 않았으나 벤젠, 1, 3-부 타디엔, 산화에틸렌 등 일부 화학물질이 백혈병을 발병시키는 원인으로 알려져 있고 TCE, 포름알데히드 등도 백혈병을 발병시키는 의심인자로 보고되고 있으며, 인체에 유해한 화학물질에 노출되는 경우 비록 그 화학물질이 백혈병을 발병시킬 수 있다는 점에 대하여 의학적으로 증명된 바가 없다고 하더라도 이는 그에 대한 원인이 제대로 규명되지 않은 사정에 기인할 수도 있어 의학적, 과학적으로 입증되지 않는다고 하여 백혈병의 발병 가능성을 배제할 수는 없다. ② 참가인은 환경수첩을 제작하여 근로자들에게 나누어줄 무렵인 1996년경부터 웨이퍼를 가공하는 기동사업장 3라인에서 수십 종에 이르는 화학물질을 사용하고 있 고, 그 중 금속배선 공정에서 Ar(아르곤), 화학증착 공정에서 SiH4(실란), B₂H₆(디보란), PH₃(포스핀), SiH2cl₂(디클로로실텐) 등을, 확산 공정에서 HC1(염화수소), P0C1₃(옥시염 화인) 등을, 습식식각 공정 중 세척작업에서 (CH)₂CO(아세톤), IPA(이소프로필알콜), ACT-CMK디메틸아세트아미드, 2-메틸에탄올아민 혼합물), CH₃CI(염화메틸), TCE(트리 클로로에틸렌), 각종 THINNER, H₂O₂(과산화수소), H₂SO₄(황산), HNO₃(질산), HF(불산), HCI(염화수소), H3P0₄(인산), CH₃COOH(아세트산) 등을 사용하고 있는 것으로 보 이는데, 이들은 모두 눈, 피부, 호흡기 등에 자극성이 있는 물질들이다. 위 물질들 중 ACT-CMI, TCE, H₂SO₄ 등은 발암성 물질로 지정되었고, TCE는 림프조혈계 암 발병을 유발하는 의심인자로 보고되고 있다. ③ 참가인은 ○○○○○ 3라인과 작업환경이 유사한 5라인에서 99종에 이르는 화학물질을 사용하고 있고 그 중 금속배선 공정에서 HCI(염화수소), HF(불산), HNO₃ (질산), IPA(이소프로필알콜), KOH(수산화칼륨), NH₃(암모니아), A1(알루미늄), C1₂(염소), H₂SO₄(황산), H₃PO₄(인산) 등이, 화학증착 공정에서 HNO₃(질산), IPA(이소프로필알콜), Methanol(메탄올), NH₃(암모니아), PH₃( 포스핀), H₂O₂(과산화수소), H₂SO₄( 황산), H₃PO₄(인산) 등이, 확산 공정에서 HCI(염화수소), HF(불산), HN03(질산), IPA(이소프로 필알콜), NaOH(수산화나트륨), NH₃(암모니아), PH₃(포스핀), AsH₃(아르신), H2S04(황산), H3PCM인산) 등이, 세척작업에서 HCI(염화수소), HF(불산), HNO₃(질산), IPA(이소프로필알콜), NH₃(암모니아), 초산, 아세톤, H₂O₂(과산화수소), H₂SO₄(황산), HsPO₄(인산) 등이 미량이나마 측정되었다. 이들은 모두 눈, 피부, 호흡기 등에 자극성이 있는 물질들로서 그 중 아르신, 황산은 국제암연구소가 발암성 물질로 지정한 것들이고, 포스핀은 백혈구감소증이나 빈혈을 일으키는 물질이다. 또한 확산 공정이나 습식식각 공정의 전 단계인 감광 공정에서 사용하는 감광제에서 백혈병 위험인자로 잘 알려진 벤젠이 검출되었고, 골수에 악영향을 미치는 2-메톡시에탄올이 검출되기도 하였다. 그리고 망 소외2은 확산 공정에서 사용된 더미 웨이퍼에 대하여 디캡 작업도 한 것으로 보이는데 디캡 작업시 성분이 밝혀지지 아니한 화학물질을 사용하였다. ④ 비록 ○○○○○ 3라인 내에 전체 환기시스템이 가동되고 있고 각 설비가 밀폐되어 있으며 그 설비 내에 국소배기장치가 설치되어 있었다고 하더라도 역학조사 결과 위와 같이 화학물질이 검출된 점에 비추어 보면 각 공정에서 사용된 유해화학물질이 모두 정상적으로 배출되었다고 보기 어렵고, 특히 망 소외2이 수동설비에서 습식 식각 공정 중 세척작업을 한 관계로 위와 같은 유해화학물질에 더욱 많이 노출되었을 것으로 보이며(국소배기장치나 톱다운 방식의 환기 시스템만으로는 유해화학물질을 모두 외부로 배출하기는 어려웠을 것으로 보인다), 3라인의 각 베이는 출입문이 없이 개방된 형태였고 또한 라인 내의 공기순환 시스템상 일부 공정에서 가스 누출이 발생하는 경우 다른 베이에도 확산되는 관계로 다른 공정에서 배출된 유해화학물질에도 노출 되었을 가능성도 높다. ⑤ 위 유해화학물질들은 인체에 유해하므로 비록 노출기준에 못 미치는 양만 노출되었다고 하더라도 망 소외2이 동일한 근무환경 속에서 장시간 작업을 함으로써 지속적으로 유해화학물질에 노출된 것을 보이는 점, 참가인이 2006. 6.경 유기화합물에 대하여 뒤늦게 감지시스템을 구축한 점, ○○○○○ 3라인의 시설이 가장 노후되어 있었던 것으로 보이는 점 등에 비추어 보면, 망 소외2이 참가인이 측정한 작업환경 측정 결과보다 많은 양의 유해화학물질에 노출된 것으로 보인다(따라서 참가인의 작업환 경 측정 결과 그리고 이를 토대로 한 산업안전보건연구원의 과거의 작업환경에 관한 역학조사 결과, 산학협력단의 자문의견서 중 결론 부분은 일정한 시점에 유해화학물질의 노출 정도를 정태적으로 분석한 것으로서 위와 같이 추단하는 데 방해가 되지 아니 한다). ⑥ 전리방사선에 과다하게 노출된 경우 5 ~ 6년 정도 지나면 백혈병의 발병이 관찰된다는 연구 결과가 있는데, 망 소외2의 전리방사선에의 노출 정도가 심하지 않다고 하더라도 망 소외2이 1995년경부터 10여 년간 앞서 본 바와 같은 각종 유해화학 물질에 함께 노출되었고 매년 피부 관련 질환으로 치료를 받은 점 등이 전리방사선에 의 노출과 상호작용을 일으킬 수 있는 것으로 보인다. ⑦ 한편, 전체 반도체 사업장 근로자에 대한 역학조사에서 일반 국민에 비하여 반도체 사업장 근로자 전체 남성, 여성 각각의 표준화 사망비가 낮다는 통계적으로 의미있는 결과가 나온 점에 비추어 반도체 사업장 근로자들이 일반 국민보다 건강하다고 추정할 수 있다. 이런 사정을 고려하면 비록 반도체 사업장 여성 근로자의 백혈병 관련 표준화 사망비나 표준화 암등록비의 각 신뢰구간의 폭이 넓어 그 결과가 통계적으로 유의하지 않다고 하더라도 일반 국민보다 표준화 사망비나 표준화 암등록비가 높다는 점은 망 소외2의 백혈병 발병에 작업환경이 영향을 미쳤으리라는 추정을 뒷받침한다. ⑧ 참가인이 납품업체로부터 공급받는 화학물질에 벤젠 등 발암성 물질이 포함되어 있지 않다는 취지의 성분 분석표를 제공받고는 있는 것으로 보이나 산업재해보상보 장법상의 업무상 재해에는 사용자의 고의, 과실을 요건으로 하지 아니하므로 위와 같은 사정은 업무상 재해의 인정에 장애가 되지 아니한다(다만, 3교대 근무로 인한 야간 근무가 인체의 생체리듬을 깨뜨리고, 연장근무가 과로의 원인이 된다고 하더라도 일정 한 시기가 지나면 생체리듬이 야간근무에 적응하고 과로가 백혈병 등의 암을 유발하지는 않는다고 보는 것이 의학계의 일반적인 견해이므로 위와 같은 사정이 이 사건 산재의 원인이라고 보기는 어렵다). 다. 원고 원고3에 대한 처분의 적법 여부 (1) 원고 원고3의 주장 망 소외3은 참가인 회사의 ○○○○○에서 근무하였는데 ① 5라인의 평탄화 공정, 1라인의 백랩 공정에서 엔지니어로 근무하는 동안 지하에서 작업을 할 때 모든 공 정에서 발생하는 유해화학물질에 노출되었고, ② 설비 세정작업을 하면서 설비 내에 남아 있던 각종 유해화학물질에 노출되었으며, ③ 슬러리(Slurry) 교체작업을 하면서 실리카, 황산 등에 노출되었고, ④ 또한 2002. 8.경 백랩 공정 설치작업을 하면서 다량의 방사선, 벤젠, 포스핀, 산화에틸렌, 황산, 아르신, 비소화합물 등에 노출되었고, ⑤ 나아가 3교대 근무를 하면서 수시로 생체리듬을 깨는 야간근무, 초과근무 등을 하여 업무상 과로와 스트레스를 받았는바, 위와 같은 작업환경 및 과로로 인하여 급성 림프구성 백혈병이 발병하여 사망에 이르렀으므로 망 소외3의 사망은 업무상 재해에 해당한다. (2) 인정사실 (가) ○○○○○의 현황 위 2.의 가. 중 (2)의 (가) 기재와 같다. (나) 망 소외3의 업무내용 등 ① 망 소외3은 1997. 11·경 참가인 회사에 입사하여 2002. 8.경까지 ○○○○○ 5라인(평탄화 공정)에서, 그 이후 2004. 10.경까지 1라인(백랩 공정)에서 엔지니어로 근무하다가 2004. 10. 27. 급성 림프구성 백혈병 진단을 받고 휴직하여 치료받던 중 2005. 7. 23. 사망하였다. ② 5라인의 평탄화 공정은 웨이퍼의 앞면을 연마하여 다음 작업을 용이하게 하는 공정이고, 1라인의 백랩 공정은 웨이퍼의 뒷면을 연마하여 웨이퍼의 두께를 얇게 하는 공정이다. ③ 위 각 공정에서 엔지니어들은 설비를 보수·관리하고 각종 지표(각 설비의 고장률, 고장원인 등)를 데이터화하는 일을 담당하였고, 그 중 설비의 보수·관리업무는 주로 설비 세정업무와 소모품 교체 업무로 나누어진다. ④ 망 소외7은 보통 사무실에서 2시간 정도 각각의 설비가 정상적으로 작동하는지 여부를 점검하거나 현장에서 6시간 정도 설비의 예비점검 또는 보수·관리업무를 수행하였다. 망 소외3은 위 각 공정에서 웨이퍼 연마제로 사용되는 슬러리 통을 교체 하는 작업을 하였다. 슬러리는 비결정질 실리카 또는 비결정질 증기 실리카20), 암모니아수 등의 성분으로 이루어져 있고, 실리카는 눈, 피부, 호흡기 등에 자극성이 있으나 발암물질로 지정되어 있지는 아니하다. 한편, 참가인은 1995년경부터 주기적인 설비 세정작업을 외주업체에 맡겼다. ⑤ 망 소외3은 2002. 8.경 1라인 백랩 공정의 설비 보수·관리업무를 담당하면 서 그 무렵 약 1달 정도 백랩 공정 설치작업에 참여하였다. 설치작업은 설비공급업체의 직원들이 주로 담당하였고 참가인의 엔지니어들은 주로 설치작업 과정을 지켜보거나 개별 작업이 종료된 후 그 결과를 점검하는 업무를 담당하였다. ⑥ 망 소외3은 3조 3교대로 1일 8시간씩(오전 근무 06:00 ~ 14:00, 오후 근무 14:00 ~ 22:00, 야간 근무 22:00 ~ 다음날 06:00) 근무하였는데, 연장근무를 하는 경우 가 적지 않았다. (다) 화학물질의 사용 등 위 2.의 가. 중 (2)의 (다)의 ①, ②, ⑤, ⑥ 기재와 같다. (라) 망 소외3의 건강상태 망 소외3은 20이년부터 2004년까지의 건강검진 결과 경도의 고혈압, 과체중, B 형 간염 예방접종 필요 소견 이외에 별다른 이상이 없었고, 가족 중에 백혈병이 발병 한 사람도 없었다. 망 소외3은 2004. 9.경부터 감기몸살의 증상을 보이다가 같은 해 10. 27. ○○대학교병원에서 급성 림프구성 백혈병 진단을 받았다. 이후 항암치료를 받고 어느 정도 회복되었으나 다시 재발하여 2005. 7. 23. 사망하였다. (마) 참가인 사업장에 대한 역학조사 결과 산업안전보건연구원은 피고의 역학조사 의뢰에 따라 ○○○○○에 대하여 2008. 7. 11. 예비조사, 같은 해 8. 8. 망 소외3의 근무부서 등에 대한 작업환경 측정, 2009. 2. 25. 역학조사평가위원회의 심의 등을 거쳐 같은 해 3. 13. 이를 피고에게 제출하였 는데, 그 주요 내용은 아래와 같다. ① 화학물질 누출사고에 대한 관련자의 진술 당시 조사과정에서 3라인에 근무한 적이 있던 근로자들은 '작업을 최대한 빨리 처리하여야 하므로 가스 등을 감지하는 설비를 해제하고 작업하는 경우가 많았고, 1, 2, 3라인에 설치된 설비나 배관은 오래 되어 가스나 화학물질이 누출되는 사고가 잦았으며, 장비를 셋업하는 작업은 지상과 지하에서 이루어지는 작업인데 지하에서 하는 작업은 유해물질에 대비하는 보호장구를 착용한 채 작업하여야 하나 지상과 지하를 오가며 작업해야 하는 업무특성상 보호장구를 착용하지 않고 작업하는 경우가 많았다. 엔지니어가 설비 세정업무도 하였다'는 취지로 진술하였다. ② 작업환경 측정 결과 산업안전보건연구원은 2008. 8. 8. 5라인의 평탄화 공정과 2라인의 백랩 공정(조사 당시 1라인 백랩 공정이 ○○사업장으로 이관되어 ○○○○○에는 없어졌다)에서 백혈병 유발인자 또는 혈액학적 영향물질로 알려진 벤젠, 셀로솔브, 아르신 등의 잔류 여부에 대하여 조사한 결과 2라인 백랩 공정에서만 아르신이 흔적(trace)으로 측정되었고 그 이외의 물질은 검출되지 않았다. ③ 과거의 작업환경 측정 결과 2002년부터 2004년까지 참가인의 작업환경 측정 횟수조정이 승인되어 5라인 평탄화 공정과 1라인 백랩 공정에 대한 작업환경 측정 결과가 없으며, 2005년도의 경우 백랩 공정은 작업환경 측정 대상 공정이 아니었다. ④ 방사선 노출 평가 산업안전보건연구원은 5라인 평탄화 공정의 경우 해당 공정에 방사선 발생장치가 없어 방사선 노출가능성이 극히 적다고 판단하여 평가를 실시하지 않았고, 1라인의 백랩 공정의 경우 이미 없어져 망 소외3의 근무 당시의 방사선 발생설비의 유무, 노출 정도 등을 확인할 수 없었다. ⑤ 역학조사 평가위원의 의견 역학조사 평가위원 13명 중 3명이 망 소외3의 사망에 업무관련성이 있다는 의견을, 1명이 업무관련성이 있다는 증거도 없으나 명백한 반증도 없다는 의견을, 9명이 업무관련성이 낮다는 의견을 제시하였다. 이와 별도로 유가족이 추천한 전문가 2명은 업무관련성이 있다는 의견을 제시하였다. (바) 전체 반도체 사업장에 대한 역학조사 결과 등 전체 반도체 사업장에 대한 역학조사 결과와 산학협력단의 자문 결과는 위 2. 의 가. 중 (2)의 (바), (사) 기재와 같다. [인정근거] 다툼 없는 사실, 갑 4, 5, 6의 각 3, 갑 15호증, 갑 17, 18호증의 각 3, 갑 25호증, 갑 27호증의 5, 6, 7, 갑 30호증의 1, 2, 갑 54호증, 을나 2, 5, 6호증, 을나 7 호증의 1 내지 5, 을나 12호증의 1 내지 6의 각 기재, 증인 소외6의 증언, 증인 김기 영의 일부 증언(뒤에서 믿지 아니하는 부분 제외), ○○대학교 보건대학원 산학협력단에 사실조회 결과, 변론 전체의 취지 [배척증게 증인 소외5의 일부 증언 (3) 판단 (가) 앞서 본 바와 같이 산업재해보상보험법에서 말하는 '업무상 재해'라 함은 근로자가 업무 수행 중 그 업무에 기인하여 발생한 재해를 말하는 것이므로, 업무와 재해발생 사이에 상당인과관계가 있어야 하고 이 경우 근로자의 업무와 질병 또는 위 질병에 따른 사망 간의 인과관계에 관하여는 이를 주장하는 측에서 입증하여야 하는 것이 원칙이며, 그 인과관계는 반드시 의학적, 자연과학적으로 명백히 입증하여야만 하는 것은 아니지만 근로자의 취업 당시 건강상태, 질병의 원인, 작업장에 발병원인물질이 있었는지 여부, 발병원인물질이 있는 작업장에서의 근무기간 등 제반 사정을 고려할 때 업무와 질병 또는 그에 따른 사망 사이에 상당인과관계가 있다고 추단될 수 있어야 한다. (나) 위 인정사실에 의하여 알 수 있는 다음과 같은 사정 즉, ① 망 소외3이 유해화학물질에 노출되었을 가능성은 인정되지만 1995년 이후 하청업체가 주기적인 설비 세정업무를 담당한 것으로 보이는 점, 백랩 공정 셋업 시에도 공급업체가 주요 설치업무를 담당한 것으로 보이는 점에 비추어 지속적으로 노출되었다고 보기 어려운 점, ② 망 소외3이 급성 림프구성 백혈병의 유발인자라고 볼 수 있는 유해화학물질이 나 전리방사선 등에 직접적으로 노출되었다고 볼 만한 자료가 부족한 점, ③ 전체 반도체 사업장 근로자들에 대한 역학조사 결과에 의하면 반도체 사업장의 남성 근로자의 경우 일반 국민과 비교하여 백혈병이나 림프 조혈계 암 전체의 표준화 사망비 또는 표 준화 암등록비의 비교치가 통계적으로 유의하지 않은데다가 그 구체적인 비율도 일반 국민과 차이가 없거나 오히려 낮은 점, ④ 교대 근무로 인한 야간근무가 인체의 생체 리듬을 깨뜨리는 근무이기는 하지만 일정한 시기가 지나면 인체가 적응하고 야간근무나 과로가 백혈병의 유발요인이라고 보지 않는 것이 의학계의 일반적인 견해인 점 등에 비추어 보면, 망 소외3의 사망이 업무상 재해에 해당한다고 보기 어렵고 달리 이를 인정할 만한 증거가 없으므로 원고 원고3의 주장은 이유 없다. 따라서 피고의 원고 원고3에 대한 이 사건 처분은 적법하다. 라. 원고 원고4에 대한 처분의 적법 여부 (1) 원고 원고4의 주장 참가인 회사의 ○○사업장의 절단·절곡 공정에서 근무하면서 ① 반도체 칩을 공기분사기로 청소하는 과정에서 칩에 묻은 유해화학물질을 흡입하였고, ② TCE로 반도체 칩에 묻은 이물질을 제거하면서도 위 용액을 흡입하였고, ③ 반도체 칩을 직접 손으로 절단하면서 칩에 묻은 유해화학물질이 피부를 통해 흡수되었고, ④ ○○사업장의 성형, 도금, 인쇄 공정 등 모든 공정이 구분 없이 트인 공간에서 이루어지고 건물 자체에 하자가 많았던 관계로 각 공정에서 사용되는 유기용제나 가스 등에도 노출되었고, ⑤ 나아가 3교대 근무를 하면서 수시로 생체리듬을 깨는 야간근무, 초과근무 등을 하여 업무상 과로와 스트레스를 받았는바, 위와 같은 작업환경 및 과로로 인하여 급성 골수구성 백혈병이 발병하였으므로 위 질병은 업무상 재해에 해당한다. (2) 인정사실 (가) ○○사업장의 현황 ○○사업장은 1991. 11.경 준공되었고 ○○○○○에서 가공된 웨이퍼를 절단한 후 조립하고 검사함으로써 반도체 완성품을 제조하는 작업이 이루어지는 곳인데, 2008. 2. 기준으로 ○○사업장의 근로자는 약 6, 200여 명이며 그 중 생산직이 5,000여 명, 사무직이 1,200여 명 정도이다. (나) 원고 원고4의 업무내역 등 ① 원고 원고4은 1991. 1. 14. 참가인 회사에 입사하여 1992. 2·경까지 부천사업 장에서, 1992. 3. 1·부터 1996. 1. 31.까지 ○○사업장에서 근무하다가 퇴사하였는데, 2 라인 F동21)의 절단⦁절곡 공정에서 근무하였다. ○○사업장의 2라인 F동은 2라인의 부속건물로서 신축 초기에는 그곳에서 이루어지는 공정별 작업장이 칸막이 등으로 구분되어 있지 않아서 절단·절곡 공정이 인쇄, 도금 공정과 함께 트인 곳에서 진행되었다. ② 원고 원고4은 인쇄나 도금 공정을 거친 반도체 칩이 전달되면 거울로 금형을 확인하고 에어건으로 금형을 청소한 후 반도체 칩을 장착한 다음 설비를 가동하여 절단하고22), 절단 공정을 마친 반도체 칩의 리드를 갈매기 모양으로 구부리는 절곡 공정 작업을 하였다. 이 때 반도체 칩에 이물질이 묻어 있으면 TCE를 면봉에 묻혀 반도체 칩을 닦아 내기도 하고, 리드가 잘못 굽혀져 있는 등의 비정상적인 반도체 칩이 발견 되면 핀셋처럼 생긴 트위저로 반듯이 펴는 작업을 하였다. ③ 원고 원고4은 3조 3교대로 근무하다가 퇴사 무렵에는 4조 3교대로 1일 8시 간씩(오전 근무 06:00 ~ 14:00, 오후 근무 14:00 ~ 22:00, 야간 근무 22:00 〜 다음날 06:00) 근무하였는데, 연장근무를 하는 경우가 적지 않았으며 한 달에 2 ~ 3일 정도 휴무하였다. (다) 화학물질의 사용 등 ① 참가인은 1995. 4. 30.경 ○○사업장 내의 TCE를 전량 폐기하고 그 이후 1, 1, 1-TCE(1, 1, 1-트리클로로에탄)를 유기용제로 사용하다가 1996년 초경부터는 HCFC-141b를 사용하고 있다23). ② ○○사업장에는 X-Ray 장치를 이용하여 칩을 검사하는 품질특성 검사실에만 방사선이 발생하는 설비가 있는데, 설비 자체에 방사선 차폐시설이 되어 있으며 나머지 공정에는 방사선이 발생되는 설비가 없다. 원고 원고4의 업무는 품질특성 검사실 과 무관하다. ③ ○○사업장에서는 웨이퍼를 가공하는 ○○○○○과 달리 대부분 공정에서 화학물질을 사용하지 않고 도금 공정 등 일부 공정에서만 화학물질을 사용하나 그 경우에도 외부에 설치된 공급장치에서 해당 설비 내로 화학물질이 공급되고 밀폐된 설비 내에는 국소배기장치가 설치되어 있으며 라인 내부에는 톱다운 방식 또는 천장 급배기 방식24)의 전체 환기시스템이 설치되어 있다. (라) 원고 원고4의 건강상태 원고 원고4은 2005. 1. 30.경 고열과 인후통으로 병원에 내원한 결과 범혈구감소 증세를 보여 ○○○○○병원에서 골수검사를 받았고 그 결과 2005. 2. 23.경 급성 골수 구성 백혈병 진단을 받았다. 원고 원고4이 1997년과 2001년에 제왕절개 수술을 할 당시 시행한 검사에서 특별한 이상이 없었고 가족 중에 같은 질병으로 치료받은 사람은 없었다. (마) 참가인의 사업장에 대한 역학조사 결과 산업안전보건연구원은 피고의 2008. 5. 2.자 역학조사 의뢰에 따라 ○○사업장에 대하여 같은 해 6. 12. 예비조사, 같은 해 6. 18. 원고 원고4의 근무부서 등에 대한 작 업환경 측정, 2009. 2. 25. 역학조사평가위원회의 심의 등을 거쳐 보고서를 작성한 후 같은 해 3. 13. 이를 피고에게 제출하였는데, 그 주요 내용은 아래와 같다. ① 작업환경 측정 결과 원고 원고4이 근무하였던 절단⦁절곡 공정에서 백혈병을 유발하거나 혈액학적으로 영향을 미치는 벤젠, 셀로솔브, 에틸렌글리콜, 아르신의 유무에 대하여 측정한 결과 아르신만 흔적(trace)으로 측정되었고 다른 물질은 검출되지 않았다(다만 보고서는 측정이 2008. 6. 18. 현재의 작업장에서 이루어졌으므로 10년 이상 과거의 작업환경을 추정하기는 어렵다고 밝히고 있다). ② 역학조사 평가위원의 의견 역학조사 평가위원 13명 중 2명이 원고 원고4의 질병에 업무관련성이 있다는 의 견을, 1명이 판단을 보류한다는 의견을, 10명이 업무관련성이 낮다는 의견을 제시하였 다. 이와 별도로 원고 원고4이 추천한 전문가 2명은 업무관련성이 있다는 의견을 제 시하였다. (바) 전체 반도체 사업장에 대한 역학조사 결과 등 전체 반도체 사업장에 대한 역학조사 결과와 산학협력단의 자문 결과는 위 2·의 가. 중 (2)의 (바), (사) 기재와 같다. [인정근게 다툼 없는 사실, 갑 5, 6, 17호증의 각 5, 갑 25호증, 갑 30호증의 1, 2, 을 나 4, 5, 6, 11호증의 각 기재, ○○대학교 보건대학원 산학협력단에 대한 사실조회 결과, 변론 전체의 취지 [배척증게 갑 28호증의 1의 일부 기재 (3) 판단 (가) 앞서 본 바와 같이 산업재해보상보험법에서 말하는 ’업무상 재해''라 함은 근 로자가 업무 수행 중 그 업무에 기인하여 발생한 재해를 말하는 것이므로, 업무와 재해발생 사이에 상당인과관계가 있어야 하고 이 경우 근로자의 업무와 질병 또는 위 질 병에 따른 사망 간의 인과관계에 관하여는 이를 주장하는 측에서 입증하여야 하는 것 이 원칙이며, 그 인과관계는 반드시 의학적, 자연과학적으로 명백히 입증하여야만 하는 것은 아니지만 근로자의 취업 당시 건강상태, 질병의 원인, 작업장에 발병원인물질이 있었는지 여부, 발병원인물질이 있는 작업장에서의 근무기간 등 제반 사정을 고려할 때 업무와 질병 또는 그에 따른 사망 사이에 상당인과관계가 있다고 추단될 수 있어야 한다. (나) 위 인정사실에 의하여 알 수 있는 다음과 같은 사정, 즉 ① 원고 원고4이 근무하였던 절단·도금 공정에서는 유기용제로 TCE 이외에 다른 유해화학물질이 사용 된 것으로 보이지 않는 점, ② 참가인의 ○○사업장에서 TCE는 1995. 4.경까지만 사용 되고 그 이후에는 다른 유기용제가 사용된 것으로 보이는 점, ③ 원고 원고4의 주요 업무는 반도체 칩을 해당 설비에 올려놓거나 공정이 끝난 반도체 칩을 꺼내어 다음 공 정으로 옮기는 것이었고 그 과정에서 부수적으로 세정작업이나 리드를 펴는 작업을 수 행했던 것으로 보이는 점, ④ 참가인의 ○○사업장의 가동 초기에 절단·절곡 공정 작 업장이 인쇄, 도금 공정 작업장과 칸막이 등으로 구분되어 있지 않아서 다른 공정에서 사용된 유해화학물질이 어느 정도 영향을 미쳤을 가능성이 있다고 하더라도 그 피해가 지속적이었다고 보기 어려운 점, ⑤ 원고 원고4이 퇴사 후 약 9년이 지난 다음 급성 골수구성 백혈병의 진단을 받았고, 교대 근무로 인한 야간근무가 인체의 생체리듬을 깨뜨리는 근무이기는 하지만 일정한 시기가 지나면 인체가 적응하고 야간근무나 과로 가 백혈병의 유발요인이라고 보지 않는 것이 의학계의 일반적인 견해인 점 등에 비추 어 보면, 원고 원고4이 그 주장과 같이 유해화학물질에 지속적으로 노출되어 급성 골 수구성 백혈병이 발병하였다고 볼 수 없고 달리 이를 인정할 만한 증거가 없으므로 원 고 원고4의 주장은 이유 없다. 따라서 피고의 원고 원고4에 대한 이 사건 처분은 적 법하다. 마. 원고 원고5에 대한 처분의 적법 여부 (1) 원고 원고5의 주장 참가인 회사의 ○○사업장의 도금 공정에서 근무하면서 ① 도금약품을 교체하거나 끓이는 과정에서 납, TCE 등 각종 유해화학물질에 노출되었고, ② 다른 공정에서 사용하고 있는 유해화학물질에도 노출되었으며, ③ 3교대 근무를 하면서 수시로 생체 리듬을 깨는 야간근무, 연장근무 등을 함으로써 업무상 과로와 스트레스를 받았는바, 위와 같은 작업환경 및 과로로 인하여 비호지킨 림프종이 발병하였으므로 위 질병은 업무상 재해에 해당한다. (2) 인정사실 (가) ○○사업장의 현황 위 2.의 라. 중 (2)의 (가) 기재와 같다. (나) 원고 원고5의 업무내용 등 ① 원고 원고5는 1993. 5. 24.부터 1998. 12. 30. 퇴사할 때까지 ○○사업장의 2 라인 도금 공정에서 엔지니어로 근무하였다. ② 도금 공정에서는 성형 처리(molding)된 반도체 칩을 전기를 이용하여 주석과 납의 합금 막대(Solder bar), 질산 둥으로 도금하는 작업을 하는데 이는 리드(Lead)를 습기, 열 등 외부환경으로부터 보호하기 위한 것이다. 원고 원고5는 도금 공정에서 도금 설비의 예방 점검, 유지, 보수, 부품교체 등의 작업을 하였다. 또한 메이크업(Make-up)이라고 불리는 청소 및 준비작업도 하였는데 이는 도금 설비의 탱크 내부를 물걸레 등으로 청소하고 각 탱크에 도금 약품을 보충해 주는 작업이다. ③ 원고 원고5는 3조 3교대로 1일 8시간씩(오전 근무 06:00 ~ 14:00, 오후 근무 14:00 ~ 22:00, 야간 근무 22:00 ~ 다음날 06:00) 근무하였는데 연장근무를 하는 경우 가 적지 않았고 월 2 ~ 3회 휴무하였다. 2011-0018920238-025NG·····.* ^ 문서검증 및 복사방지마크가 인쇄되지 않은 문서임(천공필요> ④ 원고 원고5는 1998. 12. 30. 퇴사한 후 STS 반도체통신 주식회사에서 2002. 12.경까지 근무하면서 인쇄(Marking) 공정에서 근무하였다. (다) 화학물질의 사용 등 ○○사업장에서는 웨이퍼를 가공하는 ○○○○○과 달리 대부분 공정에서 화학물 질을 사용하지 않고 도금 공정 등 일부 공정에서만 염산, 질산 등 유해화학물질을 사 용하나 그 경우에도 외부에 설치된 공급장치에서 해당 설비 내로 유해화학물질이 공급 되고 밀폐된 설비 내에는 국소배기장치가 설치되어 있으며 라인 내부에는 톱다운 방식 등의 전체 환기시스템이 설치되어 있다. 그리고 ○○사업장 도금 공정에서 사용되는 주석과 납의 경우, 국제암연구소는 납을 그룹II B(인간에게 암을 일으키는 증거가 제한 적이고 동물에게 암을 일으킨다는 증거도 충분하지 않은 물질)에 해당하는 물질로 분류하고 있고, 주석을 발암물질이 아닌 것으로 분류하고 있다. (라) 원고 원고5의 건강상태 원고 원고5는 2008. 9. 경 편도가 붓는 증상을 보이다가 같은 해 10. 2. ○○○○ 병원에서 비호지킨 림프종 진단을 받고 항암치료를 받았는데, 그 이전에는 건강에 별 다른 이상은 없었고, 가족 중에 같은 질병으로 치료받은 사람은 없었다· (마) 참가인의 사업장에 대한 역학조사 결과 산업안전보건연구원은 피고의 2008. 12. 21.자 역학조사 의뢰에 따라 ○○사업장 에 대하여 2009. 2. 13. 예비조사, 같은 해 3. 27. 원고 원고5의 근무부서 등에 대한 작업환경 측정, 같은 해 7. 28. 역학조사평가위원회의 심의 등을 거쳐 같은 해 8. 18. 이를 피고에게 제출하였는데, 그 주요 내용은 아래와 같다. ① 작업환경 측정 결과 산업안전보건연구원이 2009. 3. 27. 원고 송 창호의 작업환경을 측정하였는데, 원 고 원고5가 근무하던 ○○사업장의 2라인 도금 공정은 변경되고 없어 작업환경이 유 사한 ○○사업장 1라인 도금 공정의 작업환경을 측정의 대상으로 삼았다. 측정 결과 TCE, 벤젠, 에틸렌옥사이드, 중금속(납, 주석, 비스무스) 등이 검출되지 않았다. ② 과거 작업환경 측정 결과 참가인의 2003년부터 2008년까지의 작업환경 측정 결과에 따르면 납, 주석, 비스 무스는 검출되지 않았거나 노출기준치 이하로 측정되었고, TCE과 벤젠은 도금 공정에 서 사용되는 물질이 아니라는 이유로 측정하지 않았다. ③ 역학조사 평가위원의 의견 역학조사 평가위원 10명 중 2명이 원고 원고5의 질병에 업무관련성이 있다는 의 견을, 8명이 업무관련성이 낮다는 의견을 제시하였다. (바) 전체 반도체 사업장에 대한 역학조사 결과 등 전체 반도체 사업장에 대한 역학조사 결과와 산학협력단의 자문 결과는 위 2■의 가. 중 (2)의 (바), (사) 기재와 같다. [인정근게 다툼 없는 사실, 갑 5, 6, 17호증의 각 6, 갑 25호증, 갑 30호증의 1, 2, 을 나 4, 5, 6, 17, 18, 53, 54호증의 각 기재, 서울대학교 보건대학원 산학협력단에 대한 사실조회 결과, 변론 전체의 취지 (3) 판단 (가) 앞서 본 바와 같이 산업재해보상보험법에서 말하는 ''업무상 재해''라 함은 근 로자가 업무 수행 중 그 업무에 기인하여 발생한 재해를 말하는 것이므로, 업무와 재 해발생 사이에 상당인과관계가 있어야 하고 이 경우 근로자의 업무와 질병 또는 위 질병에 따른 사망 간의 인과관계에 관하여는 이를 주장하는 측에서 입증하여야 하는 것 이 원칙이며, 그 인과관계는 반드시 의학적, 자연과학적으로 명백히 입증하여야만 하는 것은 아니지만 근로자의 취업 당시 건강상태, 질병의 원인, 작업장에 발병원인물질이 있었는지 여부, 발병원인물질이 있는 작업장에서의 근무기간 등 제반 사정을 고려할 때 업무와 질병 또는 그에 따른 사망 사이에 상당인과관계가 있다고 추단될 수 있어야 한다. (나) 위 인정사실에 의하여 알 수 있는 다음과 같은 사정, 즉 ① ○○사업장 도금 공정에서 염산, 질산, 납, 주석 등이 사용되었고, 원고 원고5가 도금약품 교체작업 등 을 하면서 위와 같은 유해물질에 노출된 것으로 보이기는 하나 위 물질 중 비호지킨 림프종의 직접적인 발병원인으로 확인된 것은 없는 점, ② 원고 원고5가 발암물질로 알려지거나 의심받고 있는 벤젠, TCE 등에 상당 기간 지속적으로 노출되었다고 볼 만 한 자료가 없는 점, ③ 원고 원고5가 참가인 회사에서 퇴사한 이후 동일 업종에서 약 4년간 근무하는 등 퇴직 이후에도 유사 업종에 종사했던 점, ④ 원고 원고5가 퇴사 후 약 9년이 지난 다음 비호지킨 림프종의 진단을 받았고, 교대 근무로 인한 야간근무 가 인체의 생체리듬을 깨뜨리는 근무이기는 하지만 일정한 시기가 지나면 인체가 적응 하고 야간근무나 과로가 백혈병의 유발요인이라고 보지 않는 것이 의학계의 일반적인 견해인 점 등에 비추어 보면, 원고 원고5는 그 주장과 같이 유해화학물질에 지속적으 로 노출되어 비호지킨 림프종이 발병하였다고 볼 수 없고 달리 이를 인정할 만한 증거 가 없으므로 원고 원고5의 주장은 이유 없다. 따라서 피고의 원고 원고5에 대한 이 사건 처분은 적법하다. 3. 결론 그렇다면, 원고 원고1, 원고2의 각 청구는 이유 있으므로 이를 인용하고, 원고 원고3, 원고4, 원고5의 각 청구는 이유 없으므로 이를 기각하기로 하여 주문과 같이 판결한다. 재판장 판사 재판장 판사1 판사 판사1 판사 판사2 【별지】【환경 수첩】 공정별 GAS

공정		분류	특성	환경영향	화학물질
Diffusion		가연성 가스	가연성, 폭발성	화재	H₂
		독성가스	독성, 부식성	산성비, 고엽현상	HCL(암화수소) POCl₃(옥시염화인)
		기타가스	조연성, 질식성	화재	O₂(산소), N₂(질소)
CVD	LP	가연성 가스	가연성, 폭발성, 독성, 부식성	화재, 구조물 부식	SiH₂Cl₂(디클로로실렌)
		독성가스	가연성, 폭발성, 독성, 부식성	구조물 부식, 어류피해	NH₃(암모니아)
		기타가스	조연성, 질식성	동ㆍ식물 피해	N₂(질소), N₂O(이산화질소)
	AP	가연성 가스	자연발화성, 폭발성, 독성, 부식성	하천오염, 화재	SiH₄(실란), B₂H₆(디보란), PH₃(포스핀), SiH₂cl₂(디클로로실렌)
		독성가스	독성, 부식성	동ㆍ식물 피해	WF₆(육불화텅스텐) HF(불화수소)
		기타 가스	조연성, 질식성	화재	질소, 산소
DRY ETCH		독성가스	독성, 부식성	산성비, 고엽현상, 구조물부식	NH₃(삼불화질소), BCl₃(삼염화붕소), HCl(염화수소), SF₆(육불화황), SiCl₄(사염화규소)
DRY ETCH		기타 가스	조연성, 질식성	질식	He(헬륨), CHF₃(삼불화에탄), C₂F₆(프레온116), CF₄(사불화메탄)
ION IMP		가연성 가스	폭발성, 독성, 부식성	화재, 하천오염	AsH₃(아르신), PH₃(포스핀)
ION IMP		독성 가스	폭발성, 독성, 부식성	질식	BF₃(삼불화붕소)
METAL 증착		기타 가스	질식성	질식	Ar(아르곤)
EPI공정		액화 가스	독성, 부식성	악취(질식), 구조물 부식	SiHiCl₂(디클로로실렌), HCl(염소), SiHCl₃(트리클로로실렌), PH₃(포스핀), B₂H₆(디보란)

공정별 화학물질

세정(cleaning) 식각(Etching)	유기용 제류(SOLVENT)	인화성, 독성	식수오염, 농작물피해, 생물체 암유발	(CH)₂CO(아세톤), IPA(이소프로필알콜), ACT-CMI(디메털아세트아미드, 2-메틸에탄올아민 혼합물), CH₃Cl(염화메틸), TCE(트리클로로에틸렌), THINNER
	산류	독성, 부식성, 산화성, 접촉성	어류 피해, 토양 산성화	H₂O₂(과산화수소), H₂SO₄(황산), HNO₃(질산), HF(불산), HCl(염화수소), H₃PO₄(인산), CH₃COOH(아세트산)
	알칼리류	독성, 부식성	하천오염	NH₄OH(암모니아수), NH₄F(불화암모늄)
사진(Photo)	유기화합물	독성, 인화성, 접촉성	식수오염, 농작물피해, 생물체 암유발	사진김광액(pr), 표면밀착제(HMDS), (CH₃)₂CO, THINNER
사진(Photo)	알칼리류	독성, 부식성	하천 오염	사진현상액
불순물 침적(Diffusion)	액화가스	독성, 부식성, 질식성	질식	옥시염화인(POCl₃), 브롬화붕소
UTIUTY	산류	독성, 부식성, 접촉성, 산화성	식수오염, 농작물피해, 생물체 암유발	H₂SO₄, HCl, H₂O₂, NaHSO₃, NaCCl
	알칼리류	독성, 부식성, 접촉성	하천 오염	Naoh, Ca(OH)₂, Na₂CO₃, KOH
	알콜류	독성, 인화성	악취	CH₃OH

각주내용 1) 스퍼트(Sputter) 공정은 전기적 신호 전달을 위한 금속배선을 웨이퍼 표면에 증착시키는 공정을 말한다. 2) 웨이퍼란 고순도로 정제된 실리콘 용액을 주물에 넣어 회전시키면서 실리콘 원기둥을 만든 후 이것을 지름 5~10cm, 두께 수백 µm로 얇게 절단하고 한쪽 면을 거울같이 연마하여 만든 원판을 말한다. 이 웨이퍼 표면에 전자회로를 만들고 도판트를 추가하여 작은 사각형으로 잘라낸 것이 집적회로(IC)이다. 3) 도판트(Dopant)란 반도체의 전도를 향상시키기 위하여 사용하는 물질을 말한다. 4) 칩 내부와 칩의 지지대(Lead Frame)를 연결하는 공정. 5) 금선을 보호하기 위해 밀봉하는 공정. 6) 더미 웨이퍼(dummy wafer)란 웨이퍼 품질의 균일성을 높일 목적으로 웨이퍼 가공시 정상적인 웨이퍼의 양 측면에 설치되는 가짜(제품화되지 않는) 웨이퍼로서 사이드 웨이퍼(side wafer)라고도 한다. 7) 반도체 제조 공정 중 하나의 공정을 진행하기 위해 마련된 작업장을 베이(bay)라고 하고, 베이와 베이가 묶여 있는 작업공간 을 통틀어 라인이라고 한다. 8) 웨이퍼 25장을 담을 수 있는 용기. 9) 이 과정에서 중앙공급장치를 통하여 실텐, 질소, 염화수소 등이 튜브에 공급되면서 웨이퍼를 고온으로 가열한다. 10) 압력을 이용하여 위쪽의 공기를 아래쪽으로 이동, 배출시켜 공기를 순환하는 방식. 11) 물, 불화수소산(HF), 불화암모늄(NH4F), 계면활성제의 혼합물. 12) 흔적(trace)이란 검출은 되지만 정확한 양을 측정하는 것이 의미 없는 경우에 사용하는 용어로 정량한계 미만 또는 검출한계 미만을 의미한다. 13) 전체 측정 개체수를 100개로 환산한 경우 그 중 99번째 있는 개체를 의미한다. 14) 표준화 사망비의 경우 고용보험 코호트는 1995. 7. 1.부터 2006. 12. 31.까지 반도체 사업장에서 1개월 이상 근무한 적이 있 는 근로자 167,196명(남자 69, 909명, 여자 97, 287명)을 대상으로, 인사자료 코호트는 1998. 1. 1.부터 2006. 12. 31.까지 반도체 사업장에서 1개월 이상 근무한 적이 있는 근로자 102, 348명(남자 45,650명, 여자 56,698명)을 대상으로 하여 이들 중 림 프 조혈계 암으로 인하여 사망한 근로자 수를 일반 국민과 비교하였다. 표준화 암등록비의 경우 고용보험 코호트는 1995. 7. 1.부터 2005. 12. 31.까지 반도체 사업장에서 1개월 이상 근무한 적이 있는 근로자 166, 824명을 대상으로, 인사자료 코호트는 1998. 1. 1.부터 2005. 12. 31.까지 반도체 사업장에서 1개월 이상 근무한 적이 있는 근로자 95, 688명을 대상으로 하여 이들 중 림프 조혈계 암으로 진단받은 근로자 수를 일반 국민과 비교하였다. 고용보험 코호트는 관찰기간이 3년 더 길고 회사 외부 자료라는 점에서 인사자료 코호트에 비하여 더 객관적이라는 장점이 있으나 순수한 반도체 근로자라고 할 수 없는 근로자가 포함되어 있고 공정이나 세부 직무를 알 수 없다는 단점이 있고, 인사자료 코호트는 이와 반대되는 장·단점이 있다. 15) 확산 공정 13종, 식각 공정 21종, 화학증착 공정 10종, 세척작업 10종, 임폴란트 공정 7종, 금속배선 공정 5종, 평탄화 공정 5종, 감광 공정 28종. 16) 금형세정 3종, 성형 공정 12종, 도금 공정 15종, 기타 공정 6종. 17) 반도체 생산 설비를 가동하기 위해 필요한 배관과 부대시설을 두는 공간으로 라인 내부의 공간 아래층에 위치하고 있다. 18) 국제암연구소는 TCE를 발암성 물질 중 그룹 IIA로 분류하고 있는데, 이는 인간에게 암을 일으킨다는 증거는 제한적이지만 동물에게 암을 일으킨다는 증거는 충분한 물질에 해당한다. 19) 고용보험 코호트에 의한 반도체 사업장 여성 근로자들에 대한 백혈병으로 인한 표준화 사망비의 경우 95% 신뢰구간 0.41 -1.70, 표준화 암등록비의 경우 95% 신뢰구간 0.58 - 1.71이고, 인사자료 코호트에 의한 반도체 사업장 여성 근로자들에 대 한 백혈병으로 인한 표준화 사망비의 경우 95% 신뢰구간 0.54 - 3.22, 표준화 암등록비의 경우 95% 신뢰구간 0.57 - 2.59이 다. 한편, 인사자료 코호트에 의한 반도체 사업장 라인(Fab) 생산직 여성 근로자들에 대한 백혈병으로 인한 표준화 사망비의 경우 95% 신뢰구간 0.24 - 3.46이고, 표준화 암등록비의 경우 95% 신뢰구간 0.43 - 3, 11 이다. 나머지는 별지 각 표 참조. 20) 결정질 실리카(Silica crystalline)는 국제암연구소가 지정한 그룹1에 해당하는 폐암을 일으키는 발암물질이나, 비결정질 실리 카(Sillica amorhpous)나 비결정질 증기 실리카(Sillica amorhpous fumed)는 발암물질에 해당하지 않는다. 21) ○○사업장에는 1 ~ 4라인까지 있는데 2라인의 경우 다른 라인과 달리 Finish 작업을 담당하는 별도의 부속건물이 설치되어 있었고 이를 F동이라고 불렀다. 22) 이 때 리드(Lead)와 리드(Lead) 사이의 댐버(Damber)를 절단하고 외부 리드(Outer Lead)를 단계별로 절단한다. 23) 국제암연구소는 1995년 TCE를 림프종과 간암에 대해 Group 2A로 지정하였다. 그러나 1, 1, 1-TCE나 HCFC-Wlb는 발암물질로 지정되어 있지 않다. 24) 천장을 통하여 공급된 공기가 다시 천장을 통하여 배출되는 방식. 【참조조문】 산업재해보상보험법 【참조판례】 2004. 4. 9. 선고 2003두12530 판결 2005. 11. 10. 선고 2005두8009 판결 대법원 2008. 5. 15. 선고 2008두3821

[출처] 근로복지공단 : 산재판례서비스 - 2010구합1149 (2010구합1149_서울행정법원)

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[ 참조조문 ]

산업재해보상보험법

[ 참조판례 ]

2004. 4. 9. 선고 2003두12530 판결
2005. 11. 10. 선고 2005두8009 판결
대법원 2008. 5. 15. 선고 2008두3821

[ 참조판례 체계도 ]

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유족급여및장의비부지급처분취소 유족 업무상질병

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