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+ -   ๋ถ๋งˆํฌ ์ €์žฅ [ํ–‰์ •] ํ•ญ์†Œ์‚ฌ๊ฑด

์„œ์šธ๊ณ ๋“ฑ๋ฒ•์› 2015.12.31 2015๋ˆ„71398

ใ€์‚ฌ๊ฑด๋ช…ใ€‘ ์š”์–‘๋ถˆ์Šน์ธ์ฒ˜๋ถ„์ทจ์†Œ ใ€์› ๊ณ ใ€‘ ์›๊ณ , ํ•ญ์†Œ์ธ ์›๊ณ 1 ์„œ์šธ ์ดํ•˜์ƒ๋žต ์†Œ์†ก๋Œ€๋ฆฌ์ธ ๋ณ€ํ˜ธ์‚ฌ1 ใ€ํ”ผ ๊ณ ใ€‘ ํ”ผ๊ณ , ํ”ผํ•ญ์†Œ์ธ ๊ทผ๋กœ๋ณต์ง€๊ณต๋‹จ ใ€์ „์‹ฌํŒ๊ฒฐใ€‘ 1์‹ฌ 2013๊ตฌ๋‹จ51933 ์„œ์šธํ–‰์ •๋ฒ•์› ใ€๋ณ€๋ก ์ข…๊ฒฐใ€‘ 2017. 04. 28 ใ€ํŒ๊ฒฐ์„ ๊ณ ใ€‘ 2017. 05. 26 ใ€์ฃผ๋ฌธใ€‘ ์ œ1์‹ฌํŒ๊ฒฐ์„ ์ทจ์†Œํ•œ๋‹ค. ํ”ผ๊ณ ๊ฐ€ 2012. 4. 12.์ž๋กœ ์›๊ณ ์—๊ฒŒ ํ•œ ์š”์–‘๋ถˆ์Šน์ธ์ฒ˜๋ถ„์„ ์ทจ์†Œํ•œ๋‹ค. ์†Œ์†ก๋น„์šฉ์€ ํ”ผ๊ณ ๊ฐ€ ๋ถ€๋‹ดํ•œ๋‹ค. ์ฒญ๊ท€์น˜์ง€ ๋ฐ ํ•ญ์†Œ์ทจ์ง€ ์ฃผ๋ฌธ๊ณผ ๊ฐ™๋‹ค. ใ€์ด์œ ใ€‘ 1. ๊ธฐ์ดˆ์‚ฌ์‹ค ๊ฐ€. ์›๊ณ ๋Š” 1984. 3. 28.์ƒ ์—ฌ์„ฑ์œผ๋กœ, 2003. 2. 4. โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ์ฃผ์‹ํšŒ์‚ฌ(์ดํ•˜ 'โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹'๋ผ๊ณ  ํ•œ๋‹ค)์— ์ž…์‚ฌํ•˜์—ฌ ๋ฐ˜๋„์ฒด โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ์—์„œ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ๊ณต์ • ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ ๋“ฑ์œผ๋กœ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋‹ค๊ฐ€ 2005. 2. 28. ํ‡ด์‚ฌํ•˜์˜€๋‹ค. ๋‚˜. ์›๊ณ ๋Š” ํ‡ด์‚ฌ ํ›„ 1๊ฐœ์›” ์ •๋„ ์ง€๋‚œ ํ›„์ธ 2005. 4. 2. ์‹ค์‹ ํ•˜์—ฌ ๋ณ‘์›์—์„œ ๊ฒ€์‚ฌ๋ฅผ ๋ฐ›์•˜๋Š”๋ฐ, ๋‹น์‹œ ์ฒด์ค‘๊ฐ์†Œ(weight loss), ์†Œ๋ณ€์ด์ƒ(nocturia), ๋ถ€์ข…(edema)์˜ ์ฆ์ƒ์„ ํ™•์ธํ•˜์˜€์œผ๋‚˜ ์ •ํ™•ํ•œ ๋ณ‘๋ช…์€ ์ง„๋‹จ๋ฐ›์ง€ ๋ชปํ•˜์˜€๋‹ค. ๊ทธ ํ›„ 2005. 7.๊ฒฝ๋ถ€ํ„ฐ๋Š” ์‹œ๋ ฅ์ €ํ•˜ ๋“ฑ์˜ ์ฆ์ƒ์„, 2008. 6์›”๊ฒฝ๋ถ€ํ„ฐ๋Š” ์™ผ์ชฝ ํŒ”๊ณผ ๋‹ค๋ฆฌ ๋ถ€์œ„์˜ ๊ฐ๊ฐ์ €ํ•˜ ๋ฐ ์œ„์•ฝ๊ฐ ๋“ฑ์˜ ์ฆ์ƒ์„, 2008. 7. 1.๊ฒฝ๋ถ€ํ„ฐ๋Š” ์ขŒ์ธก ์•ˆ๋ฉด๋งˆ๋น„ ๋“ฑ์˜ ์ฆ์ƒ์„ ๊ฐ ๋ณด์ด๋‹ค๊ฐ€ 2008. 11.๊ฒฝ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋ณ‘์›์—์„œ ๋‹ค๋ฐœ์„ฑ๊ฒฝํ™”์ฆ(Multiple Sclerosis, ์ดํ•˜ '์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘'์ด๋ผ ํ•œ๋‹ค)์˜ ์ง„๋‹จ์„ ๋ฐ›์•˜๋‹ค. ๋‹ค.์›๊ณ ๋Š” 2011. 7. 1. ํ”ผ๊ณ ์—๊ฒŒ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์— ๋Œ€ํ•œ ์š”์–‘๊ธ‰์—ฌ๋ฅผ ์‹ ์ฒญํ•˜์˜€์œผ๋‚˜, ํ”ผ๊ณ ๋Š” 2012. 4. 12. "์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ๋ฐœ๋ณ‘์›์ธ์ด ๋ช…ํ™•ํ•˜์ง€ ์•Š๊ณ , ๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ„์ด ์งง์œผ๋ฉฐ, ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ ๋…ธ์ถœ ์ •๋„๊ฐ€ ํ™•์ธ๋˜์ง€ ์•Š์•„ ์—…๋ฌด์™€ ์ƒ๋‹น์ธ๊ณผ๊ด€๊ณ„๊ฐ€ ์ธ์ •๋˜์ง€ ์•Š๋Š”๋‹ค."๋Š” ์ด์œ ๋กœ ์ด๋ฅผ ๋ถˆ์Šน์ธํ•˜์˜€๋‹ค(์ดํ•˜ '์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ฒ˜๋ถ„'์ด๋ผ ํ•œ๋‹ค). ๋ผ. ์›๊ณ ๋Š” ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ฒ˜๋ถ„์— ๋ถˆ๋ณตํ•˜์—ฌ ์‚ฐ์—…์žฌํ•ด๋ณด์ƒ๋ณดํ—˜์žฌ์‹ฌ์‚ฌ์œ„์›ํšŒ์— ์žฌ์‹ฌ์‚ฌ์ฒญ๊ตฌ๋ฅผ ํ•˜์˜€์œผ๋‚˜ 2013. 1. 17. ๊ธฐ๊ฐ๋˜์—ˆ๋‹ค. [์ธ์ •๊ทผ๊ฑฐ] ๋‹คํˆผ์ด ์—†๋Š” ์‚ฌ์‹ค, ๊ฐ‘ ์ œ1-3ํ˜ธ์ฆ(๊ฐ€์ง€๋ฒˆํ˜ธ ์žˆ๋Š” ๊ฒƒ์€ ๊ฐ€์ง€๋ฒˆํ˜ธ๋ฅผ ํฌํ•จํ•œ๋‹ค. ์ดํ•˜ ๊ฐ™๋‹ค), ์„ ์ œ8ํ˜ธ์ฆ์˜ ๊ฐ ๊ธฐ์žฌ ๋ฐ ๋ณ€๋ก  ์ „์ฒด์˜ ์ทจ์ง€ 2. ๋‹น์‚ฌ์ž์˜ ์ฃผ์žฅ ๋ฐ ์ด ์‚ฌ๊ฑด์˜ ์Ÿ์  ๊ฐ€. ๋‹น์‚ฌ์ž์˜ ์ฃผ์žฅ 1) ์›๊ณ ์˜ ์ฃผ์žฅ ์š”์ง€ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์€ ์›๊ณ ๊ฐ€ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ๋ฐ˜๋„์ฒด โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ(์ดํ•˜ '์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ'์ด๋ผ ํ•œ๋‹ค)์—์„œ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ๊ณต์ • ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ๋กœ ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋ฉด์„œ ๊ฐ๊ด‘์•ก(PR์•ก) ๋“ฑ ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ์— ์ง€์†์ ์œผ๋กœ ๋…ธ์ถœ๋˜๊ณ , ๊ต๋Œ€๊ทผ๋ฌด, ์ž์™ธ์„  ๋…ธ์ถœ ๋ถ€์กฑ, ๊ณผ๋กœ์™€ ์ง๋ฌด์ƒ ์ŠคํŠธ๋ ˆ์Šค ๋“ฑ์„ ๊ฒช์œผ๋ฉด์„œ ๋ฐœ๋ณ‘ ๋˜๋Š” ์•…ํ™”๋œ ๊ฒƒ์ด๋‹ค. ๋”ฐ๋ผ์„œ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘๊ณผ ์›๊ณ ์˜ ์—…๋ฌด์™€๋Š” ์ƒ๋‹น์ธ๊ณผ๊ด€๊ณ„๊ฐ€ ์žˆ๋‹ค๊ณ  ํ•  ๊ฒƒ์ž„์—๋„ ํ”ผ๊ณ ๊ฐ€ ์ด๋ฅผ ๋ถ€์ธํ•˜์—ฌ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ฒ˜๋ถ„์„ ํ•œ ๊ฒƒ์€ ์œ„๋ฒ•ํ•˜๋‹ค. 2) ํ”ผ๊ณ ์˜ ์ฃผ์žฅ ์š”์ง€ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ๋ฐœ๋ณ‘์›์ธ์ด ๋ช…ํ™•ํ•˜์ง€ ์•Š๊ณ , ์›๊ณ ์˜ ๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ„๋„ ์งง์œผ๋ฉฐ, ์›๊ณ ๊ฐ€ ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ์— ๋…ธ์ถœ๋œ 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์•„์ง ๋ฐํ˜€์ง€์ง€ ์•Š์•˜์œผ๋‚˜ ์ž๊ฐ€ ๊ฐ์ž‘1)์ด ๋ฐœ์ƒํ•ด ์ˆ˜์ดˆ๊ฐ€ ์ž๊ฐ€ ํ•ญ์ฒด์— ์˜ํ•ด ํŒŒ๊ดด๋œ๋‹ค๋Š” ๊ธฐ์ „๊ณผ ์™ธ๋ถ€์˜ ๋…ธ์ถœ๋กœ ์‹ ๊ฒฝ์„ธํฌ์˜ ์†์ƒ์ด ๋ฐœ์ƒํ•˜๊ณ  ์ด๋กœ ์ธํ•ด ๊ฐ์ž‘์ด ์ผ์–ด๋‚˜ ์ˆ˜์ดˆ๊ฐ€ ํŒŒ๊ดด๋œ๋‹ค๋Š” ๊ธฐ์ „์ด ์ œ์‹œ๋˜๊ณ  ์žˆ์œผ๋ฉฐ, ์œ ์ „์  ์š”์ธ๊ณผ ํ™˜๊ฒฝ์  ์š”์ธ์ด ํ•จ๊ป˜ ์ž‘์šฉํ•˜์—ฌ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ๋‹ค. ์šฐ๋ฆฌ๋‚˜๋ผ์—์„œ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ์œ ๋ณ‘๋ฅ ์€ 10๋งŒ ๋ช…๋‹น 3.5๋ช…์ธ๋ฐ, ํ‰๊ท  ๋ฐœ๋ณ‘์—ฐ๋ น์€ 38.3์„ธ์ด๋ฉฐ, 20๋Œ€์˜ ์œ ๋ณ‘๋ฅ ์€ 10๋งŒ ๋ช…๋‹น 1.4๋ช…์ด๋‹ค. ์ด์™€ ๊ฐ™์ด ์งˆํ™˜์˜ ์›์ธ ์ž์ฒด๊ฐ€ ๋ถˆ๋ถ„๋ช…ํ•˜๊ณ  ์—ฐ๊ตฌ๋Œ€์ƒ์ด ๋  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ํ™˜์ž์˜ ์ˆ˜๊ฐ€ ์ œํ•œ์ ์ด์–ด์„œ ์—ญํ•™์—ฐ๊ตฌ๋ฅผ ํ†ตํ•ด ํ†ต๊ณ„์ ์œผ๋กœ ์˜๋ฏธ ์žˆ๋Š” ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋„์ถœํ•˜๊ธฐ๋Š” ํ˜„์‹ค์ ์œผ๋กœ ์–ด๋ ค์šฐ๋‚˜, ์˜ํ•™์ ใ†์ž์—ฐ๊ณผํ•™์  ์—ฐ๊ตฌ์ž๋“ค์˜ ํ•ฉ๋ฆฌ์  ์ถ”๋ก ์„ ํ†ตํ•ด ์•Œ๋ ค์ง„ ํ™˜๊ฒฝ์  ์š”์ธ์—๋Š” โ‘  Epstein-Barr ๋ฐ”์ด๋Ÿฌ์Šค ๊ฐ์—ผ, โ‘ก ํ–‡๋น›๋…ธ์ถœ ๋ถ€์กฑ๊ณผ ๋น„ํƒ€๋ฏผ D ๊ฒฐํ•, โ‘ข ์ฝ”๋‚˜ ์ž…์œผ๋กœ ํก์ž…ํ•˜๋Š” ํก์—ฐ๊ณผ ๊ฐ„์ ‘ ํก์—ฐ, โ‘ฃ ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œใ†๋†์•ฝใ†์ค‘๊ธˆ์† ๋…ธ์ถœ, โ‘ค ์ฒญ์†Œ๋…„๊ธฐ์˜ ๋น„๋งŒ, โ‘ฅ ๊ต๋Œ€๊ทผ๋ฌด(ํŠนํžˆ 20๋Œ€ ์ด์ „์˜ ์ฒญ์†Œ๋…„๊ธฐ๋•Œ ๊ต๋Œ€๊ทผ๋ฌด ๊ฒฝํ—˜)๊ฐ€ ์žˆ๋‹ค2). (2) ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ํ™˜๊ฒฝ์  ์š”์ธ๋“ค์— ๊ด€ํ•œ ๊ตฌ์ฒด์  ์—ฐ๊ตฌ์„ฑ๊ณผ๋“ค์€ <๋ณ„์ง€1> '๋‹ค๋ฐœ์„ฑ ๊ฒฝํ™”์ฆ(MS)์˜ ์ง์—…์  ์›์ธ์— ๋Œ€ํ•œ ์—ฐ๊ตฌ๋“ค'์˜ ๊ธฐ์žฌ์™€ ๊ฐ™๋‹ค. ๋‚˜) ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ์˜ ์ผ๋ฐ˜์  ์—…๋ฌดํ™˜๊ฒฝ (1) โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ์€ ํฌ๊ฒŒ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ๊ณผ โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ์œผ๋กœ ๋‚˜๋‰˜๋Š”๋ฐ, ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ์—์„œ๋Š” ์›จ์ดํผ(Wafer)3)์˜ ์ œ์กฐ, ํšŒ๋กœ์„ค๊ณ„, ๊ฐ€๊ณต ๊ณต์ •์ด, โ—‹โ—‹์‚ฌ์—…์žฅ์—์„œ๋Š” ์›จ์ดํผ๋ฅผ ์นฉ์œผ๋กœ ์ ˆ๋‹จํ•˜๋Š” ๊ณต์ • ๋ฐ ์กฐ๋ฆฝ, ๊ฒ€์‚ฌ ๊ณต์ •์ด ์ด๋ฃจ์–ด์ง„๋‹ค. (2) ์›จ์ดํผ ๊ฐ€๊ณต ๊ณต์ •์€ โ‘  ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์— ์‹ค๋ฆฌ์ฝ˜ ์‚ฐํ™”๋ง‰์„ ํ˜•์„ฑํ•˜๋Š” ํ™•์‚ฐ(Diffusion) ๊ณต์ •, โ‘ก ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์— ํšŒ๋กœ๋ฅผ ๋งŒ๋“œ๋Š” ๊ด‘ํ•™ํ˜„์ƒ(Photolithography) ๊ณต์ •4), โ‘ข ์‚ฐํ™”๋ง‰๊ณผ ๊ด‘ํ•™ ๊ณผ์ •์—์„œ ๋งŒ๋“ค์–ด์ง„ ๊น€๊ด‘๋ง‰์„ ์ œ๊ฑฐํ•˜๋Š” ์‹๊ฐ(Etching) ๊ณต์ •, โ‘ฃ ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์— ์ „๋„์„ฑ ๋˜๋Š” ์ ˆ์—ฐ์„ฑ ๋ง‰์„ ํ˜•์„ฑํ•˜๋Š” ์ฆ์ฐฉ(Deposition) ๊ณต์ •[ํ™”ํ•™์  ๊ธฐ์ƒ ์ฆ์ฐฉ(Chmical Vapor Deposition: CVD)๊ณผ ๋ฌผ๋ฆฌ์  ๊ธฐ์ƒ ์ฆ์ฐฉ(Physical Vapor Deposition: PVD)์œผ๋กœ ๋‚˜๋‰œ๋‹ค.], โ‘ค ๋ฐ˜๋„์ฒด์— ์ „๋„์„ฑ์„ ๋ถ€์—ฌํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด '๋„ํŒํŠธ'(Dopant)๋ผ๋Š” ๋ถˆ์ˆœ๋ฌผ์„ ์ฃผ์ž…ํ•˜๋Š” ์ด์˜จ์ฃผ์ž…(Ion Implantation) ๊ณต์ •, โ‘ฅ ์›จ์ดํผ ๊ฐ€๊ณต ๊ณผ์ •์—์„œ ์ƒ์„ฑ๋œ ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์˜ ์‚ฐํ™”๋ง‰ ๋“ฑ์„ ํ™”ํ•™์ , ๋ฌผ๋ฆฌ์  ๋ฐฉ๋ฒ•์œผ๋กœ ์—ฐ๋งˆํ•˜๋Š” ์—ฐ๋งˆ(Chemical Mechanical Polishing: CMP) ๊ณต์ • ๋“ฑ 6๊ฐœ์˜ ์„ธ๋ถ€ ๊ณต์ •์œผ๋กœ ์ด๋ฃจ์–ด์ง„๋‹ค. (3) ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ์€ 1983๋…„ ์„ค๋ฆฝ๋˜์—ˆ๊ณ , 9๊ฐœ์˜ ์›จ์ดํผ ๊ฐ€๊ณต๋ผ์ธ์ด ์žˆ์œผ๋ฉฐ, 2011๋…„ ๊ธฐ์ค€์œผ๋กœ ์•ฝ 25,000๋ช… ๊ทผ๋ฌดํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. ๋‹ค) ์›๊ณ ๊ฐ€ ๊ทผ๋ฌดํ•œ ์žฅ์†Œ์˜ ๊ตฌ์ฒด์  ์—…๋ฌดํ™˜๊ฒฝ (1) ์›๊ณ ๊ฐ€ ๊ทผ๋ฌดํ•œ ์นดํ”ผ๋ผ์ธ ๊ณต์ •์€ ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์— ๋ถ€์ฐฉํ•˜๋Š” ๋ฐฐ์„ ๋ฌผ์งˆ์„ ๊ธฐ์กด์˜ ์•Œ๋ฃจ๋ฏธ๋Š„์—์„œ ๊ตฌ๋ฆฌ๋กœ ๋Œ€์ฒดํ•˜์—ฌ ์ƒ์‚ฐํ•˜๋Š” ๊ธฐ์ˆ ์„ ์—ฐ๊ตฌใ†๊ฐœ๋ฐœํ•˜๋Š” ๊ณณ์œผ๋กœ, ์ƒํ’ˆํŒ๋งค๋ฅผ ์œ„ํ•œ ์ƒ์‚ฐ์šฉ ์›จ์ดํผ ๋ฟ๋งŒ ์•„๋‹ˆ๋ผ ์‹ ๊ธฐ์ˆ  ๊ฐœ๋ฐœ์„ ์œ„ํ•œ ํ…Œ์ŠคํŠธ ์›จ์ดํผ๋„ ํ•จ๊ป˜ ์ƒ์‚ฐํ•˜๋Š” ๊ณต์ •์ด์—ˆ๋‹ค. (2) โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ๊ณต์ •์—์„œ๋Š” ์ผ๋ฐ˜ ์ƒ์‚ฐ๋ผ์ธ ๊ณต์ •๊ณผ ๋‹ฌ๋ฆฌ ์•ž์„œ ๋ณธ ์›จ์ดํผ ๊ฐ€๊ณต ๊ณต์ • ์ค‘ ์ด์˜จ์ฃผ์ž… ๊ณต์ •(โ‘ค)์„ ์ œ์™ธํ•œ ๋‚˜๋จธ์ง€ ๊ณต์ •(โ‘ ~โ‘ฃ, โ‘ฅ ๊ณต์ •)์ด ์ข์€ ๊ณต๊ฐ„์—์„œ ํ•จ๊ป˜ ์ด๋ฃจ์–ด์กŒ์œผ๋ฏ€๋กœ, ์›จ์ดํผ ๊ฐ€๊ณต์— ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ๋ชจ๋“  ์„ค๋น„๊ฐ€ ์†Œ๊ทœ๋ชจ๋กœ ์ง‘์•ฝ๋˜์–ด ์žˆ์—ˆ๊ณ , ์ผ๋ฐ˜ ์ƒ์‚ฐ๋ผ์ธ ๊ณต์ •์—์„œ ์ด๋ฏธ ์‚ฌ์šฉํ–ˆ๋˜ ๋…ธํ›„ํ•œ ์„ค๋น„๋“ค์ด ๋ฐฐ์น˜๋˜์—ˆ๋‹ค. ๋˜ํ•œ ์ƒ์‚ฐ์šฉ ์›จ์ดํผ์™€ ๊ด€๋ จ๋œ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ ์ด์™ธ์— ํ…Œ์ŠคํŠธ ์›จ์ดํผ๋ฅผ ์œ„ํ•œ ์•ฝํ’ˆ ๋“ฑ๋„ ํ•จ๊ป˜ ์‚ฌ์šฉ๋˜์—ˆ๋‹ค. (3) ํŠนํžˆ ํ…Œ์ŠคํŠธ ์›จ์ดํผ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์ž‘์—…์ž๋“ค์ด ์›จ์ดํผ ์ƒ์‚ฐ์— ์ ํ•ฉํ•œ ์„ค๊ณ„์™€ ๊ณต์ • ์กฐ๊ฑด์„ ์ฐพ์•„๋‚ด๊ธฐ ์œ„ํ•˜์—ฌ ๋งค์ž‘์—…๋งˆ๋‹ค ์„ค๊ณ„์™€ ๊ณต์ •์กฐ๊ฑด์„ ๋‹ฌ๋ฆฌ ์„ค์ •ํ•ด ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๊ธฐ๋กํ•˜์˜€๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์—, ์ž๋™์œผ๋กœ ๊ฐ๊ด‘์•ก์ด ํˆฌ์ž…๋˜๋Š” ์ƒ์‚ฐ์šฉ ์›จ์ดํผ์™€ ๋‹ฌ๋ฆฌ ์ž‘์—…์ž๊ฐ€ ์„ค๋น„๋ฅผ ์—ด๊ณ  ์ง์ ‘ ์†์œผ๋กœ ๊ฐ๊ด‘์•ก์„ ๋„ํฌํ•˜๊ธฐ๋„ ํ•˜์˜€๋‹ค. (4) ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ  ์†Œ์ˆ˜์˜ ์‚ฌ๋žŒ์ด ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ณต์ •์˜ ์„ค๋น„๋ฅผ ๋™์‹œ์— ๋‹ด๋‹นํ•˜๋‹ค๋ณด๋‹ˆ ๊ฐ๊ด‘์•ก ๊ต์ฒด ๋˜๋Š” ๊ฐ๊ด‘์•ก ๋„ํฌ ๋“ฑ๊ณผ ๊ฐ™์ด ์ผ๋ฐ˜ ์ƒ์‚ฐ๋ผ์ธ ๊ณต์ •์—์„œ ํ˜‘๋ ฅ์—…์ฒด ์ง์›์ด๋‚˜ ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๊ฐ€ ๋‹ด๋‹นํ•˜๋Š” ์ž‘์—…๋“ค์„ ์›๊ณ ์™€ ๊ฐ™์€ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ๋“ค์ด ์ง์ ‘ ๋‹ด๋‹นํ•˜๊ธฐ๋„ ํ•˜์˜€๋‹ค. (5) โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ๊ณต์ •์ด ์ด๋ฃจ์–ด์ง€๋Š” ์ž‘์—…์žฅ์€ ๋ฏธ์„ธ๋จผ์ง€์˜ ์œ ์ผ์„ ์ฐจ๋‹จํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•˜์—ฌ ์ฐฝ๋ฌธ์ด ์—†๋Š” ๋ฐ€ํ๊ณต๊ฐ„์œผ๋กœ ๋˜์–ด ์žˆ๊ณ , ์™ธ๋ถ€๊ณต๊ธฐ๊ฐ€ ๋ฏธ์„ธ์ž…์ž๋ฅผ ์—ฌ๊ณผํ•˜๋Š” HEPA ํ•„ํ„ฐ๋ฅผ ํ†ตํ•ด ๋“ค์–ด์™€ ๊ทธ ๊ณต๊ธฐ๊ฐ€ ๊ณต์žฅ๋‚ด์—์„œ ๊ณ„์† ์ˆœํ™˜ํ•˜๋Š” ๊ตฌ์กฐ์˜ ๋ฐฉ(์ด๋ฅธ๋ฐ” ํด๋ฆฐ๋ฃธ)์œผ๋กœ ๋˜์–ด ์žˆ๋‹ค. ๊ทธ ๊ฒฐ๊ณผ ์œ„ ๊ฐ ๊ณต์ •์˜ ์–ด๋Š ํ•œ ๊ณต์ •์—์„œ ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ์ด ๋ฐœ์ƒํ•˜๋”๋ผ๋„ ๊ทธ๊ฒƒ์ด ๋ณ„๋„๋กœ ๋ฐฐ์ถœ๋จ์ด ์—†์ด ์ž‘์—…์žฅ ๋‚ด์— ๊ณ„์† ๋จธ๋ฌผ ์ˆ˜ ๋ฐ–์— ์—†์–ด ๊ทธ ๋ฐฉ์— ์žˆ๋Š” ๋ชจ๋“  ์ž‘์—…์ž๋“ค์ด ์งใ†๊ฐ„์ ‘์˜ ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฐ›์•˜๋‹ค. (6) โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์€ 2002๋…„๋ถ€ํ„ฐ 2005๋…„๊นŒ์ง€ ์•ฝ 4๋…„๊ฐ„ ์šด์˜๋˜์—ˆ๊ณ , ์›”ํ‰๊ท  3,000๊ฐœ ์ •๋„์˜ ์›จ์ดํผ๋ฅผ ์ƒ์‚ฐํ•˜์˜€๋‹ค. ๋ผ) ์›๊ณ ์˜ ์—…๋ฌด๋‚ด์—ญ (1) ์›๊ณ ๋Š” ์œ„ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ๊ณต์ • ์ค‘์—์„œ 2003. 2.๋ถ€ํ„ฐ 2004๋…„ ์ดˆ๊นŒ์ง€๋Š” ์ฃผ์—…๋ฌด๋กœ ์—ฐ๋งˆ(CMP) ๊ณต์ •5)๊ณผ ์„ธ์ •(Clean) ๊ณต์ •6), ๊ธˆ์†๋ฐฐ์„ (Metal) ๊ณต์ •7)์„ ๋‹ด๋‹นํ–ˆ๊ณ , ๋ณด์กฐ์—…๋ฌด๋กœ ํ™”ํ•™์ฆ์ฐฉ(CVD)๊ณผ ์‹ฌ๊ฐ(Etching)์„ ๋‹ด๋‹นํ–ˆ๋‹ค. ๋‹น์‹œ ์—ฐ๋งˆ ๊ณต์ •์—๋Š” ์Šฌ๋Ÿฌ๋ฆฌ(Slury)๋ผ๋Š” ๋ฐœ์•”๋ฌผ์งˆ์ด ์‚ฌ์šฉ๋˜์—ˆ์œผ๋ฉฐ, ํ™”ํ•™์ฆ์ฐฉ ๊ณต์ •์—๋Š” ๋ชจ๋…ธ์‹ค๋ž€, ํฌ์Šคํ•€, ๋””๋ณด๋ž€, ์‚ฌ์—ผํ™”๊ทœ์†Œ ๊ฐ€์Šค ๋“ฑ์˜ ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ ๋“ฑ์ด ์‚ฌ์šฉ๋˜์—ˆ๋‹ค. (2) ์›๊ณ ๋Š” 2004๋…„ ์ดˆ๋ถ€ํ„ฐ 2005. 2. 28. ํ‡ด์‚ฌํ•  ๋•Œ๊นŒ์ง€ ์ฃผ์—…๋ฌด๋กœ ํฌํ† (Photo) ๊ณต์ •์„ ๋‹ด๋‹นํ•˜์˜€๊ณ , ๋ณด์กฐ์—…๋ฌด๋กœ ๊ฒ€์‚ฌ์—…๋ฌด(SAM ๊ฒ€์‚ฌ8), SCOPE ๊ฒ€์‚ฌ9))๋ฅผ ํ•˜์˜€๋‹ค. ์›๊ณ ๋Š” ๊ตฌ์ฒด์ ์œผ๋กœ ๊ฐ๊ด‘์•ก์ด ๋„ํฌ๋˜๋Š” ๊ธฐ๊ณ„๋ฅผ ๋‹ค๋ฃจ๋ฉด์„œ ๋Ÿฐ(Run)10)์„ ์œ„ ๊ธฐ๊ณ„์— ๋„ฃ๊ณ  ๋นผ๋Š” ์ž‘์—…์„ ํ•˜์˜€๋‹ค, ๊ฐ๊ด‘์•ก ๋„ํฌ์„ค๋น„ ๋‹น 4๊ฐœ์˜ ๊ฐ๊ด‘์•ก๋ณ‘์ด ์žฅ์ฐฉ๋˜์–ด ์žˆ์—ˆ๊ณ , ๊ฐ ๊ฐ๊ด‘์•ก๋ณ‘๋งˆ๋‹ค ๋…ธ์ฆ์ด ๋‹ฌ๋ ค ์žˆ์—ˆ๋‹ค. 1์ผ 1ํšŒ ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๊ฐ€ ๊ฐ๊ด‘์•ก๋ณ‘ ๋šœ๊ป‘์„ ์—ด๊ณ  ๋…ธ์ฆ์— ์—ฐ๊ฒฐํ•˜๋Š” ๋ฐฉ๋ฒ•์œผ๋กœ ๊ฐ๊ด‘์•ก๋ณ‘์„ ๊ต์ฒดํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ์ฃผ 2~3ํšŒ ์ •๋„๋Š” ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๊ฐ€ ์•„๋‹Œ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ๊ฐ€ ๊ฐ๊ด‘์•ก๋ณ‘์„ ์ง์ ‘ ๊ต์ฒดํ•˜์˜€๋‹ค. ํฌํ†  ๊ณต์ •์—์„œ ์‚ฌ์šฉ๋˜๋Š” ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์€ ๊ฐ๊ด‘์•ก, ํ˜„์ƒ(Develop)์•ก, ์‹œ๋„ˆ(Thinner)๊ฐ€ ์žˆ์—ˆ๋‹ค. ์›๊ณ ๋Š” ๊ทธ ๋ฐ–์—๋„ IPA, ์•„์„ธํ†ค, ์‹œ๋„ˆ ๋“ฑ์˜ ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜์—ฌ ์ž‘์—…์žฅ์ด๋‚˜ ์„ค๋น„์— ๋ฌป์€ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์„ ์ œ๊ฑฐํ•˜๋Š” ์ผ๋„ ํ•˜์˜€๋‹ค. (3) ํ•œํŽธ ์›จ์ดํผ ์ƒ์‚ฐ์„ค๋น„์— ๋ฌธ์ œ๊ฐ€ ๋ฐœ์ƒํ•  ๊ฒฝ์šฐ ๋ชจ๋‘ ๋Œ€ํ”ผ๋ฅผ ํ•˜๊ณ  ์—”์ง€๋‹ˆ์–ด๊ฐ€ ํ•„์š”ํ•œ ์กฐ์น˜๋ฅผ ์ทจํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด ์›์น™์ด์—ˆ์ง€๋งŒ, ์นดํ”ผ๋ผ์ธ ๊ณต์ •์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๊ธฐ๊ณ„๊ฐ€ ๋…ธํ›„๋˜์–ด 2~3์ผ์— 1๋ฒˆ์”ฉ ๋ฌธ์ œ๊ฐ€ ๋ฐœ์ƒํ•˜์˜€์œผ๋ฏ€๋กœ, ๋•Œ๋•Œ๋กœ ์—ฌ์„ฑ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ๊ฐ€ ์ง์ ‘ ์กฐ์น˜๋ฅผ ์ทจํ•˜๊ธฐ๋„ ํ•˜์˜€๋‹ค. (4) ์›๊ณ ๋Š” 4์กฐ 3๊ต๋Œ€๋กœ ํ•˜๋ฃจ 8์‹œ๊ฐ„ ๊ทผ๋ฌด๋ฅผ ํ•˜์˜€๊ณ , ํ•œ ๋‹ฌ์— ํ‰๊ท  6~7์ผ ์ •๋„ ํœด๋ฌดํ•˜์˜€์œผ๋ฉฐ, ํ•œ ๋‹ฌ์— 2~3๋ฒˆ ์ •๋„ ์ดˆ๊ณผ๊ทผ๋ฌด๋ฅผ ํ•˜์˜€๋‹ค. ๋งˆ) ์›๊ณ ๊ฐ€ ์—…๋ฌด ์ค‘ ์ทจ๊ธ‰ํ•˜์˜€๊ฑฐ๋‚˜ ๋…ธ์ถœ๋œ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์˜ ์ข…๋ฅ˜์™€ ์„ฑ์งˆ ์›๊ณ ๊ฐ€ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ๊ณต์ •์—์„œ ์ทจ๊ธ‰ํ•œ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ์˜ ์ข…๋ฅ˜์™€ ์„ฑ์งˆ์€ <๋ณ„์ง€2> 'โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์—์„œ ์ทจ๊ธ‰ํ•œ ํ™”ํ•™์ œํ’ˆ์˜ ์„ฑ๋ถ„๋ฌผ์งˆ' ๊ธฐ์žฌ์™€ ๊ฐ™๊ณ , ํฌํ†  ๊ณต์žฅ์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•˜๋Š” ๋ฌผ์งˆ์˜ ์ข…๋ฅ˜์™€ ์„ฑ์งˆ์€ <๋ณ„์ง€3> 'ํฌํ†  ๊ณต์ • ๋ถ€์‚ฐ๋ฌผ' ๊ธฐ์žฌ์™€ ๊ฐ™์œผ๋ฉฐ, ๊ฐ๊ด‘์•ก ์„ฑ๋ถ„ ๋ฌผ์งˆ์˜ ์ข…๋ฅ˜์™€ ์„ฑ์งˆ์€ <๋ณ„์ง€4> '๊ฐ๊ด‘์•ก ์„ฑ๋ถ„ ๋ฌผ์งˆ' ๊ธฐ์žฌ์™€ ๊ฐ™๊ณ , ์‹œ๋„ˆ ์ œํ’ˆ์˜ ๋ฌผ์งˆ์˜ ์ข…๋ฅ˜์™€ ์„ฑ์งˆ์€ <๋ณ„์ง€5> '์‹œ๋„ˆ ์ œํ’ˆ์˜ ์„ฑ๋ถ„ ๋ฌผ์งˆ' ๊ธฐ์žฌ์™€ ๊ฐ™๋‹ค. ๋ฐ”) ์›๊ณ ์˜ ๊ฑด๊ฐ•์ƒํƒœ ๋“ฑ ์›๊ณ ๋Š” ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ์—์„œ ๊ทผ๋ฌดํ•  ๋‹น์‹œ 18~20์„ธ์˜€๊ณ , ์Œ์ฃผ๋‚˜ ํก์—ฐ์„ ํ•˜์ง€ ์•Š์•˜์œผ๋ฉฐ, ์›๊ณ ์˜ ๊ฐ€์กฑ ์ค‘์— ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘ ๋“ฑ์„ ์•“์€ ์‚ฌ๋žŒ์€ ์—†๋‹ค. ์›๊ณ ๋Š” ์•ž์„œ ๋ณธ ๋ฐ”์™€ ๊ฐ™์ด ํ‡ด์‚ฌ ํ›„ 1๊ฐœ์›” ์ •๋„ ์ง€๋‚œ ํ›„์ธ 2005. 4. 2. ์‹ค์‹ ํ•˜์—ฌ ๊ทธ๋•Œ๋ถ€ํ„ฐ ์‹œ๋ ฅ์ €ํ•˜, ์™ผ์ชฝ ํŒ”๊ณผ ๋‹ค๋ฆฌ ๋ถ€์œ„์˜ ๊ฐ๊ฐ์ €ํ•˜ ๋ฐ ์œ„์•ฝ๊ฐ, ์ขŒ์ธก ์•ˆ๋ฉด๋งˆ๋น„ ๋“ฑ์˜ ์ฆ์ƒ์„ ์ˆœ์ฐจ์ ์œผ๋กœ ๋ณด์ด๋‹ค๊ฐ€ 2008. 11.๊ฒฝ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ํ™•์ธ ํŒ์ •์„ ๋ฐ›์•˜๋‹ค. ์‚ฌ) ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌํ‰๊ฐ€์œ„์›ํšŒ ํ‰๊ฐ€๊ฒฐ๊ณผ ์›๊ณ ๊ฐ€ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์š”์–‘๊ธ‰์—ฌ ์‹ ์ฒญ์„ ํ•˜์ž ํ”ผ๊ณ ๋Š” โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์—ฐ๊ตฌ์›์— ์—ญํ•™ ์กฐ์‚ฌ๋ฅผ ์˜๋ขฐํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ์ด 16๋ช…์˜ ์œ„์›์œผ๋กœ ์ด๋ฃจ์–ด์ง„ ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌํ‰๊ฐ€์œ„์›ํšŒ์˜ ์‹ฌ์˜๊ฒฐ๊ณผ๋Š” ๋‹ค์Œ๊ณผ ๊ฐ™๋‹ค. โ‘  ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ๋†’๋‹ค๊ณ  ๋ณธ ๊ฒฌํ•ด(1์ธ) ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ ๋…ธ์ถœ๊ณผ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘ ๊ฐ„์˜ ์—ฐ๊ด€์„ฑ ์ฆ๊ฑฐ๊ฐ€ ์žˆ์œผ๋ฏ€๋กœ ์—…๋ฌด๊ด€๋ น์„ฑ์ด ๋†’๋‹ค๊ณ  ํŒ๋‹จ๋จ. โ‘ก ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค๊ณ  ๋ณธ ๊ฒฌํ•ด(2์ธ) ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘๊ณผ ์ง์—…์  ์š”์ธ์— ๋Œ€ํ•œ ๋ช…ํ™•ํ•œ ๊ทœ๋ช…์€ ๋ถ€์กฑํ•˜๋‚˜ ํฌ๊ท€์งˆํ™˜์ด๋ผ๋Š” ์ ๊ณผ ํ˜„์žฌ๊นŒ์ง€ ๋ฉ”ํƒ€๋ถ„์„์—์„œ ์ œ์‹œ๋œ ๊ฒฐ๊ณผ, ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ ๋…ธ์ถœ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ ๋“ฑ์„ ์ข…ํ•ฉํ•  ๋•Œ ์—…๋ฌด ๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค๊ณ  ํŒ๋‹จ๋จ. โ‘ข ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ๋‚ฎ๋‹ค๊ณ  ๋ณธ ๊ฒฌํ•ด(6์ธ) ๋น„๋ก ์ ์€ ๋ฌธํ—Œ์ด๊ธฐ๋Š” ํ•˜๋‚˜ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์„ ์œ ๋ฐœํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์•Œ๋ ค์ง„ ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ์˜ ๋…ธ์ถœ์ด ์žˆ์—ˆ์Œ. ๊ทธ๋Ÿฌ๋‚˜ ๊ทธ ๋นˆ๋„์™€ ์–‘์„ ํ™•์ธํ•  ์ˆ˜ ์—†๊ณ  ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ์˜ ์ธ์ฒด์˜ํ–ฅ์„ ๊ฐ€์ค‘์‹œํ‚ฌ๋งŒํ•œ ์ž‘์—…์กฐ๊ฑด์ด ์•„๋‹ˆ๋ฏ€๋กœ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ๋‚ฎ๋‹ค๊ณ  ํŒ๋‹จ๋จ(๋‹ค๋งŒ ์•ž์œผ๋กœ ํฌ๊ท€ ์งˆ๋ณ‘์˜ ์ „๋ฌธ์˜์‚ฌ๊ฐ€ ํ‰๊ฐ€์— ์ฐธ์—ฌํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋„๋ก ํ‰๊ฐ€์œ„์› ์ œ๋„ ๋„์ž… ์ œ์•ˆ) โ‘ฃ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์˜ ํŒ๋‹จ์ด ๋ถˆ๊ฐ€๋Šฅํ•˜๋‹ค๊ณ  ๋ณธ ๊ฒฌํ•ด(7์ธ) ๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ„์ด 2๋…„ ์ •๋„์ด๊ณ , ํƒ€์—ฐ๊ตฌ์—์„œ๋Š” ๊ธˆ์† ๋ฐ ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ ๋“ฑ๊ณผ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘๊ณผ์˜ ๊ด€๋ จ์„ฑ์„ ๋ช…ํ™•ํžˆ ๋ฐํžˆ๊ณ  ์žˆ์ง€ ๋ชปํ•˜๋ฏ€๋กœ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์„ ํŒ๋‹จํ•˜๊ธฐ ์–ด๋ ค์›€ ์•„) ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์— ๊ด€ํ•œ ์˜ํ•™์  ์†Œ๊ฒฌ โ‘  โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™๊ต ๋ณด๊ฑด๋Œ€ํ•™์›: ๊ธ์ • ์›๊ณ ์˜ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์€ ํ˜„์žฌ๊นŒ์ง€์˜ ๊ณผํ•™์  ์—ฐ๊ตฌ์˜ ์ˆ˜์ค€์ƒ ๋ฐœ์ƒ์ด๋‚˜ ์•…ํ™”์— ๊ธฐ์—ฌํ•œ ๋‹จ์ž„์š”์ธ์„ ์ฐพ๊ธฐ๋Š” ์–ด๋ ต์ง€๋งŒ ๋‹ค์–‘ํ•œ ์š”์ธ๋“ค(๊ต๋Œ€๊ทผ๋ฌด๋กœ ์ธํ•œ ํ–‡๋น›๋…ธ์ถœ ๋ถ€์กฑ๊ณผ ๋น„ํƒ€๋ฏผ์˜ ๋ถ€์กฑ, ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ ๋…ธ์ถœ, ์ŠคํŠธ๋ ˆ์Šค, ๋ฐœ๋ณ‘ ์—ฐ๋ น)์ด ๋ณตํ•ฉ์ ์œผ๋กœ ์ž‘์šฉํ•˜์—ฌ ์ด‰๋ฐœใ†์•…ํ™”๋˜์—ˆ์„ ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์ด ๋†’์•„ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค. โ‘ก โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์˜ํ•™ํšŒ: ์œ ๋ณด(๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ๋งŒ ์ธ์ •) ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ ๋…ธ์ถœ์ด ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ๋ฐœ์ƒ๊ณผ ์—ฐ๊ด€์ด ์žˆ๋‹ค๋Š” ์ผ๋ถ€ ๋ณด๊ณ ๊ฐ€ ์žˆ์œผ๋ฏ€๋กœ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ๋ฐœ๋ณ‘์— ์˜ํ–ฅ์„ ์ฃผ์—ˆ์„ ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์ด ์žˆ๊ณ , ์ž์™ธ์„  ๋…ธ์ถœ๋„ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘๊ณผ ๊ด€๋ จ์ด ์žˆ๋‹ค๋Š” ์ผ๋ถ€ ๋ณด๊ณ ๊ฐ€ ์žˆ์ง€๋งŒ ๊ทธ ์ •๋„์˜ ์ฐจ์ด๊ฐ€ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์„ ์œ ๋ฐœํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š”์ง€์— ๋Œ€ํ•ด์„œ๋Š” ์•Œ ์ˆ˜ ์—†๋‹ค. โ‘ข โ—‹โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™๊ต โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋ณ‘์› ์ง์—…ํ™˜๊ฒฝ์˜ํ•™๊ณผ: ๊ธ์ • ํ˜„์žฌ๊นŒ์ง€ ์ง„ํ–‰๋œ ์—ฌ๋Ÿฌ ์—ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ์— ์˜ํ•˜๋ฉด ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘๊ณผ ์›๊ณ ์˜ ์—…๋ฌด์™€์˜ ์ธ๊ด€๊ด€๊ณ„๋ฅผ ๋ฐํžˆ๊ธฐ๋Š” ์–ด๋ ต๊ณ , ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค๊ณ  ๋‹จ์ •์ง€์„ ์ˆ˜๋„ ์—†๋‹ค. ๊ทธ๋Ÿฌ๋‚˜ ์•Œ๋ ค์ง„ ์—ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ๊ฐ€ ๋ถ€์กฑํ•˜๋‹ค๋Š” ๊ฒƒ์ด ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ๋‚ฎ๋‹ค๋Š” ์˜๋ฏธ๋กœ ์ง๊ฒฐ๋˜์–ด์„œ๋Š” ์•ˆ ๋œ๋‹ค. ํ˜„์žฌ๊นŒ์ง€ ์•Œ๋ ค์ง„ ์—ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ๋งŒ์œผ๋กœ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์„ ํŒ๋‹จํ•ด์•ผ ํ•œ๋‹ค๋ฉด, ์›๊ณ ์—๊ฒŒ ํ™•์ธ๋˜๋Š” ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ ๋…ธ์ถœ, ๊ต๋Œ€๊ทผ๋ฌด์™€ ์ž์™ธ์„  ๋…ธ์ถœ ๋ถ€์กฑ, ์ง๋ฌด ์ŠคํŠธ๋ ˆ์Šค ๋‹จ๋…์œผ๋กœ๋Š” ์—…๋ฌด์™€์˜ ๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค๊ณ  ํ•˜๊ธฐ ์–ด๋ ค์šฐ๋‚˜, ์ด๋“ค ์š”์ธ์ด ํ•จ๊ป˜ ์กด์žฌํ•˜์˜€๋˜ ์ , ์ด๋“ค ์š”์ธ์ด ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ์œ„ํ—˜์„ ์ฆ๊ฐ€์‹œํ‚ค๋Š” ๊ธฐ์ „, 20์„ธ ์ด์ „์— ๊ต๋Œ€๊ทผ๋ฌด๋ฅผ ์‹œ์ž‘ํ•œ ์ , ์•Œ๋ ค์ง„ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ์ž ๋ณต๊ธฐ ๋“ฑ์„ ๊ฐ์•ˆํ•˜๋ฉด ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘๊ณผ ์›๊ณ ์˜ ์—…๋ฌด์™€์˜ ๊ด€๋ จ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค๊ณ  ํŒ๋‹จํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์ด ํƒ€๋‹นํ•˜๋‹ค. โ‘ฃ โ—‹โ—‹์˜๋ฃŒ์› ์‹ ๊ฒฝ๊ณผ: ์œ ๋ณด(๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ๋งŒ ์ธ์ •) ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ ๋…ธ์ถœ๊ณผ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘ ์‚ฌ์ด์— ๊ด€๋ จ์ด ์žˆ์„ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ์ถ”์ •๋˜๋‚˜, ๋‹ค๋งŒ ๊ธฐ์กด ์—ฐ๊ตฌ๊ฒฐ๊ณผ๋“ค์ด ์ผ๊ด€์„ฑ์ด ์—†๊ณ  ์—ฐ๊ตฌ๋ฐฉ๋ฒ• ๋ฉด์—์„œ๋Š” ํŽธํ–ฅ ๋“ฑ์˜ ๋ฌธ์ œ๊ฐ€ ์žˆ์–ด์„œ ๊ทธ ์—ฐ๊ด€์„ฑ์„ ๋‹จ์ •ํ•˜๋Š” ๊ฒƒ์—๋Š” ์•„์ง๊นŒ์ง€ ํ•œ๊ณ„๊ฐ€ ์žˆ๋‹ค. ์›๊ณ ๊ฐ€ ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ์— ๋…ธ์ถœ๋œ ๊ฒฝ๋ ฅ์€ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ๋ฐœ๋ณ‘์— ์˜ํ–ฅ์„ ์ฃผ์—ˆ์„ ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์ด ์žˆ๋‹ค. โ‘ค โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™๊ต ์‚ฐ์—…๋ณด๊ฑดํ•™๊ณผ: ๊ธ์ • ์›๊ณ ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ํ˜„์žฌ์˜ ๊ณผํ•™์ˆ˜์ค€์—์„œ ์œ ์˜๋ฏธํ•˜๊ฒŒ ์ฃผ์žฅ๋˜๊ณ  ์žˆ๋Š” ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์„ ์ฆ๊ฐ€์‹œํ‚ค๋Š” ๋Œ€ํ‘œ์ ์ธ ํ™˜๊ฒฝ์š”์ธ๋“ค ์ค‘ 3๊ฐ€์ง€(ํ–‡๋น ๋…ธ์ถœ ๋ถ€์กฑ, ์ฒญ์†Œ๋…„๊ธฐ ๊ต๋Œ€๊ทผ๋ฌด, ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ ๋…ธ์ถœ)๊ฐ€ ์—…๋ฌด์กฐ๊ฑด์— ์˜ํ•จ์ด ๋ถ„๋ช…ํ•˜๋ฏ€๋กœ, ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์€ ์›๊ณ ์˜ ์—…๋ฌด์— ๊ธฐ์ธํ•˜์˜€์Œ์„ ๋ถ€์ •ํ•  ์ˆ˜ ์—†๋‹ค. ์ž) ๊ทธ ๋ฐ–์˜ ์‚ฌ์ • (1) โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ LCD ์‚ฌ์—…์žฅ๊ณผ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ์—์„œ ๊ทผ๋ฌดํ•œ ์‚ฌ๋žŒ ์ค‘ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์ด ๋ฐœ๋ณ‘ํ•œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋ฐํ˜€์ง„ ์‚ฌ๋žŒ์€ ์›๊ณ ๋ฅผ ํฌํ•จํ•˜์—ฌ ์•„๋ž˜ ํ‘œ ๊ธฐ์žฌ์™€ ๊ฐ™์ด 4๋ช…์˜ ์—ฌ์„ฑ์ด๋‹ค.
์ˆœ๋ฒˆ ์ด๋ฆ„(์ถœ์ƒ์—ฐ๋„) ์‚ฌ์—…์žฅ(์ œํ’ˆ/๊ณต์ •) ๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ„
1 ์†Œ์™ธ1(1980๋…„์ƒ) ๊ธฐํฅ(LCD/ํ…œ์†”๋” ๋“ฑ) 1997.6.~2000.6.
2 ์†Œ์™ธ2(1984๋…„์ƒ) ์ฒœ์•ˆ(LCD/ํŒจ๋„๊ฒ€์‚ฌ, ๋ชจ๋“ˆ1ํŒŒํŠธ) 2002.11.~2007.2.
3 ์†Œ์™ธ3(1980๋…„์ƒ) ๊ธฐํฅ(๋ฐ˜๋„์ฒด/๋””ํ“จ์ „, ํด๋ฆฐ) 1997.7.~2005.7.
4 ์›๊ณ (1984๋…„์ƒ) ๊ธฐํฅ(๋ฐ˜๋„์ฒด/ํฌํ† , ํด๋ฆฐ) 2003.2.~2005.2.
(2) ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ์— ๋Œ€ํ•œ 2004๋…„ ์ƒ๋ฐ˜๊ธฐ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ ์ธก์ •๊ฒฐ๊ณผ ์›๊ณ ๊ฐ€ ๊ทผ๋ฌดํ•œ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์˜ ํฌํ†  ๊ณต์ •์—์„œ ํ˜ผํ•ฉ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ๊ฐ€ 'Trace(๋ถ„์„๊ฒฐ๊ณผ ์ˆซ์ž๋กœ ํ‘œํ˜„ํ•  ์ˆ˜ ์—†๋Š” ๋ฏธ๋ฏธํ•œ ์ˆ˜์ค€์„ ์ผ๋ฐ˜์ ์œผ๋กœ ํ‘œํ˜„)'๋กœ ์ธก์ •๋˜์—ˆ๊ณ , WET ๊ณต์ •์—์„œ๋„ ํ˜ผํ•ฉ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ๊ฐ€ 0.0045๋กœ ์ธก์ •๋˜์–ด ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์น˜ 1.216๋ณด๋‹ค ๋‚ฎ์•˜๋‹ค. (3) โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™๊ต ์‚ฐ์—…ํ˜‘๋ ฅ๋‹จ์ด 2009. 6.๋ถ€ํ„ฐ 2009. 10.๊นŒ์ง€ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ์˜ ์œ ํ•ด์ธ์ž ๋…ธ์ถœํ‰๊ฐ€๋ฅผ ํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ๋‹น์‹œ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ์— ์„ค์น˜๋œ ๊ฐ€์Šค๋ˆ„์ถœ ๊ฐ์ง€์‹œ์Šคํ…œ ์ž‘๋™ ๋‚ด์—ญ์„ ๋ถ„์„ํ•œ ๊ฒฐ๊ณผ์— ๋”ฐ๋ฅด๋ฉด, 6๊ฐœ์›”์— ์ด 46๋ฒˆ์˜ ๊ฒฝ๋ณด๊ฐ€ ๋ฐœ์ƒํ–ˆ๋Š”๋ฐ, ๊ทธ ์ค‘ PM(์‹ค๋น„์œ ์ง€ใ†๋ณด์ˆ˜์ž‘์—…)์œผ๋กœ ์ธํ•œ ๊ฒฝ๋ณด๊ฐ€ ๋งŽ์•˜๊ณ , ์ผ๋ถ€ ๋…์„ฑ ๋ฌผ์งˆ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๋…ธ์ถœ๊ธฐ์ค€์„ ํ›จ์”ฌ ์ดˆ๊ณผํ•  ์ •๋„๋กœ ๋…ธ์ถœ๋˜์—ˆ์Œ์—๋„ ์œ„ ์‚ฌ์—…์žฅ์—์„œ ํ˜„์žฅ๊ทผ๋กœ์ž๋“ค์„ ๋Œ€ํ”ผ์‹œํ‚ค์ง€ ์•Š์€ ์‚ฌ์‹ค์ด ๋“œ๋Ÿฌ๋‚ฌ๋‹ค. (4) ์‚ฐ์—…์•ˆ์ „๋ณด๊ฑด๊ณต๋‹จ์€ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ์— ๋Œ€ํ•˜์—ฌ 2013. 4. 1.๋ถ€ํ„ฐ 10์ผ๊ฐ„ ์•ˆ์ „๋ณด๊ฑด์ง„๋‹จ์„ ์‹ค์‹œํ•˜์˜€๋Š”๋ฐ, ๋‹น์‹œ ์ง„๋‹จ๊ฒฐ๊ณผ์— ๋”ฐ๋ฅด๋ฉด "์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ์˜ ์•ˆ์ „๊ต์œก์ด ํ˜•์‹์ ์œผ๋กœ ์ด๋ฃจ์–ด์ ธ ์•ˆ์ „๋ณด๊ฑด ๋‹ด๋‹น์ž์กฐ์ฐจ ๊ณต์ • ์•ˆ์ „๊ด€๋ฆฌ์— ๋Œ€ํ•˜์—ฌ ์ž˜ ์•Œ์ง€ ๋ชปํ•˜๊ณ , ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ์— ์œ ํ•ด๊ฐ€์Šค๋ฅผ ์‹ค์™ธ๋กœ ๋ฐฐ์ถœ์‹œํ‚ค๋Š” ์‹ค๋น„๊ฐ€ ์—†์œผ๋ฉฐ, ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ์— ๋‹จ๊ธฐ๊ฐ„ ๊ณ ๋†๋„๋กœ ๋…ธ์ถœ๋  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์ž‘์—…์— ๋Œ€ํ•œ ๊ด€๋ฆฌ๊ฐ€ ์ œ๋Œ€๋กœ ๋˜์–ด ์žˆ์ง€ ์•Š๋‹ค."๋ผ๋Š” ๋‚ด์šฉ์ด ์ง€์ ๋˜์–ด ์žˆ๋‹ค11). [์ธ์ •๊ทผ๊ฑฐ] ๋‹คํˆผ ์—†๋Š” ์‚ฌ์‹ค, ๊ฐ‘ ์ œ1, 4-6, 8, 10, 14, 21, 23, 26-28, 31ํ˜ธ์ฆ, ์„ ์ œ3-9, 11ํ˜ธ์ฆ์˜ ๊ฐ ๊ธฐ์žฌ, ์ œ1์‹ฌ๋ฒ•์›์˜ โ—‹โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™๊ต โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋ณ‘์›์žฅ, โ—‹โ—‹์˜๋ฃŒ์›์žฅ์— ๋Œ€ํ•œ ๊ฐ ์ง„๋ฃŒ๊ธฐ๋ก๊ฐ์ •์ด‰ํƒ๊ฒฐ๊ณผ, ์ œ1์‹ฌ๋ฒ•์›์˜ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์˜ํ•™ํšŒ์— ๋Œ€ํ•œ ์‚ฌ์‹ค์กฐํšŒ๊ฒฐ๊ณผ, ์ด ๋ฒ•์›์˜ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™๊ต ์‚ฐ์—…๋ณด๊ฑดํ•™๊ณผ์— ๋Œ€ํ•œ ์‚ฌ์‹ค์กฐํšŒ๊ฒฐ๊ณผ, ๋ณ€๋ก  ์ „์ฒด์˜ ์ทจ์ง€ 2) ๊ตฌ์ฒด์  ํŒ๋‹จ ์œ„ ์ธ์ •์‚ฌ์‹ค์— ์˜ํ•˜์—ฌ ์•Œ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๋‹ค์Œ์˜ ์‚ฌ์ • ๋“ฑ์„ ์œ„ ๋ฒ•๋ฆฌ์— ๋น„์ถ”์–ด ๋ณด๋ฉด, ์›๊ณ ์˜ ์—…๋ฌด๋กœ ์ธํ•˜์—ฌ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์ด ๋ฐœ๋ณ‘ํ•˜์˜€๊ฑฐ๋‚˜ ๊ธฐ์กด์˜ ์งˆ๋ณ‘์ด ์ •์ƒ์ ์ธ ์ง„ํ–‰์†๋„ ์ด์ƒ์œผ๋กœ ๊ธ‰๊ฒฉํ•˜๊ฒŒ ์•…ํ™”๋˜์—ˆ๋‹ค๊ณ  ์ธ์ •๋˜๋ฏ€๋กœ, ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘๊ดด ์—…๋ฌด์™€๋Š” ์ƒ๋‹น์ธ๊ณผ๊ด€๊ณ„๊ฐ€ ์ธ์ •๋œ๋‹ค๊ณ  ํ•  ๊ฒƒ์ด๋‹ค. ๋”ฐ๋ผ์„œ ์ด์™€ ๋‹ค๋ฅธ ์ „์ œ์— ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ฒ˜๋ถ„์€ ์œ„๋ฒ•ํ•˜์—ฌ ์ทจ์†Œ๋˜์–ด์•ผ ํ•œ๋‹ค. ๊ฐ€) ํ˜„์žฌ์˜ ์˜ํ•™์ ใ†์ž์—ฐ๊ณผํ•™์  ๊ธฐ์ˆ ์ˆ˜์ค€์— ์˜ํ•˜๋ฉด, ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ๋ฐœ๋ณ‘์›์ธ์œผ๋กœ ์œ ์ „์  ์š”์ธ๊ณผ ํ™˜๊ฒฝ์  ์š”์ธ์ด ํ•จ๊ป˜ ๊ฑฐ๋ก ๋˜๊ณ  ์žˆ์ง€๋งŒ, <๋ณ„์ง€1> '๋‹ค๋ฐœ์„ฑ๊ฒฝํ™”์ฆ(MS)์˜ ์ง์—…์  ์›์ธ์— ๋Œ€ํ•œ ์—ฐ๊ตฌ๋“ค'์— ๊ธฐ๋ก๋œ ํ™˜์ž-๋Œ€์กฐ๊ตฐ ์—ฐ๊ตฌ, ์ฝ”ํ˜ธํŠธ ์—ฐ๊ตฌ, ๋ฉ”ํƒ€๋ถ„์„ ์—ฐ๊ตฌ์˜ ๋‚ด์šฉ๊ณผ ์•ž์„œ ์ธ์ •ํ•œ ์˜ํ•™์  ์†Œ๊ฒฌ ๋“ฑ์„ ์ข…ํ•ฉํ•ด ๋ณด๋ฉด, ์•ž์„œ ๋ณธ 6๊ฐ€์ง€ ํ™˜๊ฒฝ์  ์š”์ธ์€ ๋…์ž์ ์œผ๋กœ ๋˜๋Š” ์œ ์ „์  ์š”์ธ๊ณผ ํ•จ๊ป˜ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ๋ฐœ๋ณ‘ ๋˜๋Š” ์•…ํ™”์— ์˜ํ–ฅ์„ ๋ฏธ์นœ๋‹ค๊ณ  ์ธ์ •๋œ๋‹ค. ๋‚˜) ๋˜ํ•œ ์œ„ 6๊ฐ€์ง€ ํ™˜๊ฒฝ์  ์š”์ธ๊ณผ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ์ธ๊ณผ๊ด€๊ณ„๋ฅผ ๊ฒ€ํ† ํ•จ์— ์žˆ์–ด์„œ๋Š” ์œ„ 6๊ฐ€์ง€ ํ™˜๊ฒฝ์  ์š”์ธ ์ค‘ ์–ด๋Š ํ•˜๋‚˜์˜ ์ˆ˜์ค€์ด ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์„ ๋ฐœ์ƒ์‹œํ‚ค๋Š”๋ฐ ์ถฉ๋ถ„ํ•˜์˜€๋Š”์ง€ ์—ฌ๋ถ€๋งŒ์„ ๊ฒ€ํ† ํ•  ๊ฒƒ์ด ์•„๋‹ˆ๋ผ ์œ„ 6๊ฐ€์ง€์˜ ํ™˜๊ฒฝ์  ์š”์ธ์„ ๋ณตํ•ฉ์ ์œผ๋กœ ๊ณ ๋ คํ•˜์—ฌ์•ผ ํ•˜๋Š”๋ฐ, ์›๊ณ ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ๋’ค์—์„œ ์ž์„ธํžˆ ์–ธ๊ธ‰ํ•˜๋Š” ๋ฐ”์™€ ๊ฐ™์ด ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ์— ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋ฉด์„œ ์œ„ 6๊ฐ€์ง€ ์š”๊ฑด ์ค‘ ์ตœ์†Œ 3๊ฐ€์ง€ ์ด์ƒ์˜ ์š”์ธ(โ‘  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์ž‘์—…์žฅ์— ์‚ฌ์šฉ๋œ ๋‹ค์–‘ํ•œ ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ์™€ ๊ทธ ์„ฑ๋ถ„ ๋ฌผ์งˆ์˜ ์ธ์ฒด์œ ํ•ด์„ฑ, ์›๊ณ ์˜ ๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ„ ๋™์•ˆ ์ด๋ฃจ์–ด์กŒ๋˜ ์›จ์ดํผ ์ƒ์‚ฐ๋Ÿ‰ ๋“ฑ์—๋‹ค๊ฐ€ ์›๊ณ ์™€ ํ•จ๊ป˜ ๊ทผ๋ฌดํ•˜์˜€๋˜ ๋™๋ฃŒ ์†Œ์™ธ4์˜ ์ง„์ˆ , โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™๊ต ์‚ฐํ•™ํ˜‘๋ ฅ๋‹จ, ์‚ฐ์—…์•ˆ์ „๋ณด๊ฑด๊ณต๋‹จ์ด ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ์— ๋Œ€ํ•˜์—ฌ ์‚ฌํ›„์ ์œผ๋กœ ์‹ค์‹œํ•œ ๊ฐ ์ง„๋‹จ๊ฒฐ๊ณผ ๋“ฑ์„ ๋”ํ•˜์—ฌ ๋ณด๋ฉด, ์›๊ณ ๊ฐ€ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ์— ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋ฉด์„œ <๋ณ„์ง€2> ~ <๋ณ„์ง€5> ๊ธฐ์žฌ์˜ ๊ฐ ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ์— ์ƒ๋‹นํ•œ ์ •๋„ ๋…ธ์ถœ๋˜์—ˆ๋‹ค๊ณ  ๋ด„์ด ์ƒ๋‹นํ•˜๋‹ค(2004๋…„ ์ž‘์—…ํ™˜๊ฒฝ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ์— ๋”ฐ๋ฅด๋ฉด ์œ ๊ธฐ์šฉ์ œ ๋˜๋Š” ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ ๋…ธ์ถœ ์ •๋„๊ฐ€ ๋ฏธ์•ฝํ•œ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๊ธฐ์žฌ ๋˜์–ด ์žˆ์œผ๋‚˜, ์œ„ ์ธก์ •๊ฒฐ๊ณผ๋Š” ์›๊ณ  ๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ„ ์ค‘ ๋‹จ 1ํšŒ์— ๊ฑธ์ณ ์กฐ์‚ฌ๋œ ๊ฒƒ์ด์–ด์„œ ๊ทธ ์ฆ๋ช…๋ ฅ์ด ํฌ์ง€ ์•Š์„ ๋ฟ ์•„๋‹ˆ๋ผ, ๋‹น์‹œ ์ธก์ •ํ•œ ๋ฌผ์งˆ์˜ ์ข…๋ฅ˜๋„ ๋ถˆ์‚ฐ, ์งˆ์‚ฐ ๋“ฑ 8๊ฐœ ๋ฌผ์งˆ์— ๋ถˆ๊ณผํ•˜์—ฌ ์œ„ ์ฆ๊ฑฐ๋งŒ์œผ๋กœ ์•ž์„œ์˜ ์ธ์ •์„ ๋’ค์ง‘๊ธฐ์— ๋ถ€์กฑํ•˜๋‹ค). ๋ผ) ์›๊ณ  ์ฆ์ƒ์˜ ๋ฐœํ˜„ ๊ฒฝ๊ณผ ,์น˜๋ฃŒ์˜ ๊ฒฝ์œ„ ๋“ฑ์— ๋น„์ถ”์–ด ๋ณผ ๋•Œ ์›๊ณ ๋Š” ์ ์–ด๋„ ํ‡ด์ง 1๋‹ฌ ํ›„์ธ 2005๋…„. 4. 2.๊ฒฝ์—๋Š” ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์ด ๋ฐœ๋ณ‘ํ•˜์˜€๋‹ค๊ณ  ์ธ์ •๋˜๊ณ , ์—ฌ๊ธฐ์— ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ์ž ๋ณต๊ธฐ13) ๋“ฑ์„ ๊ณ ๋ คํ•˜์—ฌ ๋ณด๋ฉด, ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘๊ณผ ์›๊ณ  ๊ทผ๋ฌด๊ธฐ๊ฐ„๊ณผ์˜ ์‹œ๊ธฐ์  ๋ฐ€์ ‘์„ฑ๋„ ๋„‰๋„‰ํžˆ ์ธ์ •๋œ๋‹ค14). ๋งˆ) ์›๊ณ ๋Š” ๋งŒ 18์„ธ์˜ ์–ด๋ฆฐ ๋‚˜์ด์— ์ž…์‚ฌํ•˜์—ฌ ๋ฐ€ํ๋œ ์ž‘์—…๊ณต๊ฐ„์—์„œ ๊ต๋Œ€๊ทผ๋ฌด, ์•ผ๊ฐ„๊ทผ๋ฌด ๋“ฑ์„ ์ง€์†ํ•จ์œผ๋กœ์จ ์ƒ๋‹น ๊ธฐ๊ฐ„ ์ž์™ธ์„  ๋…ธ์ถœ ๋ถ€์กฑ์œผ๋กœ ์ธํ•˜์—ฌ ๋ฉด์—ญ์ฒด๊ณ„์— ์˜ํ–ฅ์„ ์ค„ ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ๋น„ํƒ€๋ฏผ D์˜ ํ•ฉ์„ฑ์ด ๊ฐ์†Œํ•˜์˜€์„ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋ณด์ธ๋‹ค. ๋ฐ”) ์šฐ๋ฆฌ๋‚˜๋ผ์—์„œ์˜ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ์œ ๋ณ‘๋ฅ (10๋งŒ ๋ช…๋‹น 3.5๋ช…), ํ‰๊ท  ๋ฐœ๋ณ‘์—ฐ๋ น(38.3์„ธ), 20๋Œ€์˜ ์œ ๋ณ‘๋ฅ (10๋งŒ ๋ช…๋‹น 1.4๋ช…)15) ๋“ฑ์— ๋น„์ถ”์–ด ๋ณด์•„๋„, ์›๊ณ ์˜ ๋ฐœ๋ณ‘ ์‹œ๊ธฐ๊ฐ€ ํ•œ๊ตญ์ธ์˜ ํ‰๊ท  ๋ฐœ๋ณ‘ ์—ฐ๋ น์— ๋น„ํ•ด ์ƒ๋Œ€์ ์œผ๋กœ ์ด๋ฅด๊ณ , ํŠนํžˆ ์•ž์„œ ๋ณธ ๋ฐ”์™€ ๊ฐ™์ด โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ ๋ฐ LCD ์‚ฌ์—…์žฅ์—์„œ ์˜คํผ๋ ˆ์ดํ„ฐ ์—…๋ฌด๋ฅผ ์ˆ˜ํ–‰ํ•œ ์ž ์ค‘ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์ด ๋ฐœ๋ณ‘ํ•œ ์‚ฌ๋žŒ์ด ์›๊ณ ๋ฅผ ํฌํ•จํ•˜์—ฌ 4๋ช…16)์— ์ด๋ฅด๋Š” ์ ๊นŒ์ง€ ๊ณ ๋ คํ•ด ๋ณด๋ฉด, ์•ž์„œ ๋ณธ ์—…๋ฌดํ™˜๊ฒฝ์ด ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์„ ์œ ๋ฐœํ•˜์˜€๊ฑฐ๋‚˜ ์ ์–ด๋„ ๊ทธ ๋ฐœ๋ณ‘์„ ์ •์ƒ์ ์ธ ์†๋„ ์ด์ƒ์œผ๋กœ ๋นจ๋ฆฌ ์ง„ํ–‰์‹œ์ผฐ๋‹ค๊ณ  ์ธ์ •๋œ๋‹ค. ์‚ฌ) ์›๊ณ ๊ฐ€ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ์—์„œ ์ˆ˜ํ–‰ํ•œ ์œ„ ์—…๋ฌด ์™ธ์—๋Š” ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ๋ฐœ๋ณ‘์„ ๋ถˆ๋Ÿฌ์˜ฌ ๋งŒํ•œ ๊ฐ€์กฑ๋ ฅ ๋“ฑ์˜ ์œ ์ „์  ์š”์ธ์ด๋‚˜ ๋‹ค๋ฅธ ํ™˜๊ฒฝ์  ์š”์ธ์ด ํ™•์ธ๋˜์ง€ ์•Š๋Š”๋‹ค. ์•„) ์•ž์„œ ๋ณธ 5๊ฐœ ๊ธฐ๊ด€์˜ ์˜ํ•™์  ์†Œ๊ฒฌ ์ค‘ 3๊ฐœ ๊ธฐ๊ด€์ด ์›๊ณ ์˜ ์—…๋ฌด์™€ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘ ์‚ฌ์ด์˜ ์ƒ๋‹น์ธ๊ณผ๊ด€๊ณ„๋ฅผ ๊ธ์ •ํ•˜๊ณ  ์žˆ๊ณ , 2๊ฐœ ๊ธฐ๊ด€๋„ ๊ทธ ๊ฐ€๋Šฅ์„ฑ์€ ๋ถ€์ •ํ•˜์ง€ ์•Š๊ณ  ์žˆ์œผ๋ฉฐ, โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹์—ฐ๊ตฌ์› ์†Œ์† ์—ญํ•™์กฐ์‚ฌํ‰๊ฐ€์œ„์›ํšŒ์˜ ์‹ฌ์˜๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ๋ณด๋”๋ผ๋„ ์—…๋ฌด๊ด€๋ จ์„ฑ์„ ๋‚ฎ๊ฒŒ ๋ณธ ๋น„์œจ์€ ์ „์ฒด ์œ„์› ์˜๊ฒฌ ์ค‘ ์•ฝ 37% ์ •๋„(6/16)์— ๋ถˆ๊ณผํ•™, ์•ฝ 19%(3/16)๋Š” ์—…๋ฌด๊ด€๋ น์„ฑ์„ 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์›๊ธฐ๋‘ฅ์„ ๋งŒ๋“  ํ›„ ์ด๊ฒƒ์„ ์ง€๋ฆ„ 5~10cm, ๋‘๊ป˜ ์ˆ˜๋ฐฑ ใŽ›๋กœ ์–‡๊ฒŒ ์ ˆ๋‹จํ•˜๊ณ  ํ•œ์ชฝ ๋ฉด์„ ๊ฑฐ์šธ๊ฐ™์ด ์—ฐ๋งˆํ•˜์—ฌ ๋งŒ๋“  ์›ํŒ์„ ๋งํ•œ๋‹ค. 4) ๊ตฌ์ฒด์ ์œผ๋กœ, ์›จ์ดํผ ์œ„์— ํšŒ๋กœํŒจํ„ด์„ ๋งŒ๋“œ๋Š” ์ž‘์—…์ธ๋ฐ, ๋จผ์ € ์—ฌ๋Ÿฌ ๊ฐ€์ง€ ํ™”ํ•™๋ฌผ์งˆ๋กœ ์›จ์ดํผ๋ฅผ ์„ธ์ฒ™ํ•œ ํ›„ ๊ฐ๊ด‘์•ก์„ ๋ฐ”๋ฅด๊ณ  ์ด๋ฅผ ๊ฑด์กฐํ•œ ๋‹ค์Œ ๋น›์„ ์˜์—ฌ ํšŒ๋กœํŒจํ„ด ์‚ฌ์ง„์„ ์ฐ๋Š” ๋…ธ๊ด‘์ž‘์—…์„ ํ•œ ๋’ค ์ด๋ฅผ ํ˜„์ƒํ•˜๊ณ , ๊ทธ๋ ค์ง„ ํŒจํ„ด์„ ๊ณ ์ •ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ๋ฒ ์ดํ‚น ์ž‘์—…์„ ํ•œ ๋’ค ๊ฐ๊ด‘์•ก์„ ์ œ๊ฑฐํ•˜๋Š” ๊ณผ์ •์ด๋‹ค. ์ดํ•˜ ์ค„์—ฌ์„œ ํฌํ† (Photo) ๊ณต์ •์ด๋ผ ํ•œ๋‹ค. 5) ์›จ์ดํผ ๊ฐ€๊ณต๊ณผ์ •์—์„œ ์ƒ์„ฑ๋œ ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์˜ ์‚ฐํ™”๋ง‰ ๋“ฑ์„ ํ™”ํ•™์  ๋˜๋Š” ๋ฌผ๋ฆฌ์  ๋ฐฉ๋ฒ•์œผ๋กœ ์—ฐ๋งˆํ•˜์—ฌ ํ‰ํƒ„ํ™”์‹œ์ผœ์ฃผ๋Š” ๊ณต์ • 6) ์›จ์ดํผ๊ฐ€ ํ™•์‚ฐ, ํฌํ† , ์‹๊ฐ, ์ฆ์ฐฉ, ์—ฐ๋งˆ ๋“ฑ์˜ ๊ณต์ •์„ ๊ฑฐ์น˜๋Š” ์‚ฌ์ด์— ๊ฐ ๊ณต์ •์—์„œ ๋ฐœ์ƒํ•œ ๋ถˆ์ˆœ๋“ค์„ ์ œ๊ฑฐํ•˜๋Š” ์ž‘์—… 7) ์›จ์ดํผ ํ‘œ๋ฉด์— ๊ตฌ๋ฆฌ์›์ž๋ฅผ ๋ถ€์ฐฉ์‹œ์ผœ ํšŒ๋กœ๋ฅผ ์—ฐ๊ฒฐํ•˜๋Š” ๊ณต์ • 8) ๋ฐ˜๋„์ฒด ๊ฒ€์‚ฌ์šฉ ์ดˆ์ŒํŒŒ ํ˜„๋ฏธ๊ฒฝ(Scaning Acoustic Microscope)์„ ์ด์šฉํ•œ ์ดˆ์ŒํŒŒ ๊ฒ€์‚ฌ๋ฅผ ๋งํ•œ๋‹ค. 9) ์นฉ์˜ ์ƒ‰๊น” ๊ฒ€์‚ฌ์ด๋‹ค. 10) ๋Ÿฐ(Run)์€ ์›จ์ดํผ 25์žฅ์œผ๋กœ ๊ตฌ์„ฑ๋˜๋Š” ๋‹จ์œ„๋ฅผ ๋งํ•œ๋‹ค. 11) ๋‹น์‹œ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๊ฐ€ ์˜์—…๋น„๋ฐ€ ๋“ฑ์„ ์ด์œ ๋กœ ์œ ํ•ด๋ฌผ์งˆ ๋ˆ„์ถœ๊ด€๋ฆฌ์‹œ์Šคํ…œ ํ‰๊ฐ€์— ํ•„์š”ํ•œ ์ž๋ฃŒ๋ฅผ ์ œ์ถœํ•˜์ง€ ์•Š์•˜๋˜ ์‚ฌ์ •๊นŒ์ง€ ๊ณ ๋ คํ•ด ๋ณด๋ฉด, ์œ„์—์„œ ์ง„๋‹ค๋…ธ๋”˜ ๊ฒƒ ์ด์ƒ์˜ ๋ฌธ์ œ์ ์ด ์žˆ์—ˆ์„ ๊ฒƒ์œผ๋กœ ๋ณด์ธ๋‹ค. 12) ๋‚˜๋จธ์ง€ ๋ฐ”์ด๋Ÿฌ์Šค ๊ฐ์—ผ, ํก์—ฐ, ์ฒญ์†Œ๋…„๊ธฐ์˜ ๋น„๋งŒ์€ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ํ™˜๊ฒฝ์  ์š”์ธ์ด๊ธด ํ•˜๋‚˜, ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์—…๋ฌด์™€์˜ ๊ด€๋ จ์„ฑ์„ ๋ถ€์ •ํ•˜๋Š” ์†Œ๊ทน์  ์š”๊ฑด์œผ๋กœ ์ž‘์šฉํ•˜๋ฏ€๋กœ, ์›๊ณ ์˜ ๊ฒฝ์šฐ ์ ์–ด๋„ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘๊ณผ ์—…๋ฌด์™€์˜ ๊ด€๋ จ์„ฑ์„ ์ธ์ •ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๋Š” ์ ๊ทน์  ์š”์ธ์€ ๋ชจ๋‘ ์ถฉ์กฑํ•˜์˜€๋‹ค๊ณ  ์ธ์ •๋œ๋‹ค. 13) ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์˜ ์ž ๋ณต๊ธฐ๋Š” ์ˆ˜๋…„ ์ด์ƒ์œผ๋กœ ๋‹ค์†Œ ๊ฐ™๋‹ค๊ณ  ์•Œ๋ ค์ ธ ์žˆ๋‹ค(์ œ1์‹ฌ๋ฒ•์›์˜ โ—‹โ—‹โ—‹๋Œ€ํ•™๊ต โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๋ณ‘์›์žฅ์— ๋Œ€ํ•œ ์ง„๋ฃŒ๊ธฐ๋ก๊ฐ์ •์ด‰ํƒ๊ฒฐ๊ณผ ์ฐธ์กฐ). 14) ์›๊ณ ๋Š” ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์‚ฌ์—…์žฅ์— ๊ทผ๋ฌดํ•˜๋˜ ์ค‘์—๋„ ๋งŒ์„ฑ์ ์ธ ๋‘ํ†ต, ์–ด์ง€๋Ÿฌ์›€, ๊ตฌํ† ์ฆ์ƒ, ์ƒ๋ฆฌ๋ถˆ์ˆœ, ์ฒด์ค‘๊ฐ์†Œ(10kg) ๋“ฑ์˜ ์ฆ์ƒ์„ ๊ฒฉ์—ˆ๋‹ค๊ณ  ์ฃผ์žฅํ•˜๊ณ  ์žˆ๋‹ค. 15) ์œ ๋ณ‘๋ฅ ์„ ๊ธฐ์ดˆ๋กœ ์œ„ ์ˆ˜์น˜์—์„œ ์ดํ™˜๊ธฐ๊ฐ„(ํ‰๊ท  3.8๋…„)์„ ๋‚˜๋ˆˆ ๋ฐœ์ƒ๋ฅ ์„ ์‚ฐ์ •ํ•˜๋ฉด 10๋งŒ ๋ช…๋‹น 0.37๋ช…์ž‰ ๋œ๋‹ค. 16) โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹๊ฐ€ ๋ฐํžŒ 1997๋…„๋ถ€ํ„ฐ 2016๋…„๊นŒ์ง€์˜ โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ์‚ฌ์—…์žฅ ๋ˆ„์  ์ž„์ง์› 120,915๋ช…์„ ํ† ๋Œ€๋กœ ํ•ด๋‹น ๊ธฐ๊ฐ„ ๊ทผ๋ฌด์ž ์ค‘ 4๋ช…์—๊ฒŒ ์ด ์‚ฌ๊ฑด ์ƒ๋ณ‘์ด ๋ฐœ๋ณ‘ํ•˜์˜€๋‹ค๋Š” ์‚ฌ์‹ค์„ ๊ธฐ์ดˆ๋กœ ์œ ๋ณ‘๋ฅ ์„ ์ถ”์‚ฐํ•˜๋ฉด 10๋งŒ ๋ช…๋‹น 3.32๋ช…์ด๊ณ , ๋ฐœ์ƒ๋ฅ ๋ณด๋‹ค ํ›จ์”ฌ ๋†’์„ ๋ฟ ์•„๋‹ˆ๋ผ, ๋”๊ตฌ๋‚˜ ์œ„ ์ˆ˜์น˜๋Š” โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ์ž„์ง์› 120,915๋ช…์ด ๋ชจ๋‘ 20๋Œ€์— ํ•ด๋‹นํ•˜๊ณ , โ—‹โ—‹โ—‹โ—‹ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์‚ฌ์—…์žฅ ๋ฐ LCD ์‚ฌ์—…์žฅ์—์„œ ๊ทผ๋ฌดํ•œ ๊ฒƒ์„ ์ „์ œ๋กœ ํ•œ ๊ฒƒ์ด๋ฏ€๋กœ, ์ด๋Ÿฌํ•œ ์ ๊นŒ์ง€ ๊ฐ์•ˆํ•˜๋ฉด ์œ„ ์ˆ˜์น˜๋Š” ํ›จ์”ฌ ๋” ๋†’๊ฒŒ ๋‚˜์˜ฌ ๊ฒƒ์ด๋‹ค. ใ€์ฐธ์กฐ์กฐ๋ฌธใ€‘ ์‚ฐ์—…์žฌํ•ด๋ณด์ƒ๋ณดํ—˜๋ฒ• ์ œ4์กฐ ใ€์ฐธ์กฐํŒ๋ก€ใ€‘ ๋Œ€๋ฒ•์› 1999. 1. 26. ์„ ๊ณ  98๋‘10103 ํŒ๊ฒฐ ๋Œ€๋ฒ•์› 2015. 6. 11. ์„ ๊ณ  2011๋‘32898 ํŒ๊ฒฐ

๋Œ“๊ธ€ 0๊ฐœ
๋กœ๊ทธ์ธ ํ•˜์‹œ๋ฉด, ํŒ๋ก€ ๋Œ“๊ธ€์„ ๋“ฑ๋กํ•˜์‹ค ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค.
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[ ์†Œ์†ก๊ฒฝ๊ณผ ]



[ ์ฐธ์กฐํŒ๋ก€ ]

๋Œ€๋ฒ•์› 2015. 6. 11. ์„ ๊ณ  2011๋‘32898 ํŒ๊ฒฐ
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[ ์ฐธ์กฐํŒ๋ก€ ์ฒด๊ณ„๋„ ]

-


[ ์ฐธ์กฐ์กฐ๋ฌธ ํƒœ๊ทธ ]


[ ์œ ์‚ฌ ํŒ๋ก€ ]


[ ๊ณต์œ ํ•˜๊ธฐ ]

 

๊ฐœ์ธ์ •๋ณด์ฒ˜๋ฆฌ๋ฐฉ์นจ     ์‚ฌ์šฉ์ž ์นดํŽ˜